JPH0276903A - サーボアクチュエータ - Google Patents

サーボアクチュエータ

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JPH0276903A
JPH0276903A JP63225897A JP22589788A JPH0276903A JP H0276903 A JPH0276903 A JP H0276903A JP 63225897 A JP63225897 A JP 63225897A JP 22589788 A JP22589788 A JP 22589788A JP H0276903 A JPH0276903 A JP H0276903A
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JP
Japan
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chamber
piston
passage
servo
pressure difference
Prior art date
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Pending
Application number
JP63225897A
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English (en)
Inventor
Toshio Kamimura
敏夫 神村
Shigeyuki Takagi
高木 重行
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Nabtesco Corp
Original Assignee
Teijin Seiki Co Ltd
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F15B15/149Fluid interconnections, e.g. fluid connectors, passages
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F15B15/1423Component parts; Constructional details
    • F15B15/1447Pistons; Piston to piston rod assemblies
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F15B15/1423Component parts; Constructional details
    • F15B15/1466Hollow piston sliding over a stationary rod inside the cylinder

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Servomotors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「 この発明は、ダンパ機能を有するサーボアクチュエータ
に関する。
Lヱ立藍遣 従来のサーボ7クチユエータ1は、例えば航空機の可動
翼を駆動するために用いられており、このようなサーボ
アクチュエータ lを含むサーボ回路2としては例えば
第5図に示すようなものが知られている。同図において
、3はノズルフラッパタイプのサーボ弁であり、このサ
ーボ弁3は前記サーボアクチュエータ1のピストン4の
移動を制御する。前記サーボ弁3とサーボアクチュエー
タ lとの間には該サーボアクチュエータ 1の内部の
圧力変化を抑制してサーボ回路2を安定させる安定性補
償機構5が設けられ、この安定性補償機構5は圧力微分
ピストン8と、固定絞り 7と。
リーケージ弁8とから構成されている。そして、このも
のは、サーボ回路2に例えばステップ信号のような急激
に変化する信号が入力されてサーボアクチュエータ !
内の圧力が急上昇したとき、固定絞り 7の両側に生じ
る圧力差を検出してり一ケージ弁8を解放し、高圧サー
ボ油を低圧側に僅かに逃がしてサーボ回路2の安定を図
るようにしている。
が  しよ− しかしながら、このようなサーボ回路にあっては開口面
積が一定の固定絞り 7を設けているが、このような固
定絞り 7はその両側に発生する圧力差部と固定絞り 
7の内部を流れる流量Qとの関係が非線形である、即ち
圧力差部の1ノ2乗に固定絞り 7の開口面積を乗じた
値と流量Qとが比例関係にあるため、前述した入力ステ
ップ信号の値が変化した場合には、振動の減衰性1例え
ばステップ応答曲線の形状が大きく変化し、この結果、
サーボ回路2の動特性が大幅に変化してしまうという問
題点がある。しかも、このようなサーボ回路2はリーケ
ージ弁8を通じて高圧サーボ油を逃がすようにしている
ため、流体ロスが生じるという問題点もある。さらに、
このものは圧力微分ピストン6、固定絞り 7、リーケ
ージ弁8という3(1の部品が必要であるため、構造が
複雑になり、サーボ回路2全体が大型化し高価になると
いう問題点もある。
この発明は、入力信号値が変化した場合にもサーボ回路
の動特性があまり変化せず、しかも流体ロスの発生もな
く、さらに構造が簡単で小型安価なサーボアクチュエー
タを提供することを目的とする。
−め −゛ このような目的は、シリンダとピストンとの間に、サー
ボ油が流入しピストンの移動によってその容積が増減す
る第1室と、第1室から遮断されるとともにサーボ油が
流入出しピストンの移動によってその容積が第1室と逆
に減増する第2室と、第1.第2室から遮断されピスト
ンの移動によってその容積が第1室と同様に増減するダ
ンパ室と、を有し、かつ、前記ピストンに第2室とダン
パ室とを連通ずる通路が設けられたサーボアクチュエー
タにおいて、前記通路に、第2室とダンパ室との間の圧
力差が大きくなるに従い開口面積が増大する絞り弁を設
けることにより解決することができる。
1月 今、サーボ回路にステップ信号のような急激に変化する
信号が入力して、例えばサーボアクチュエータの第1室
に大量のサーボ油が流入し。
該サーボアクチュエータのピストンが急速移動を始めた
とする。このとき、前記第1室はサーボ油の流入によっ
て容積が増大し、一方、第2室はこのピストンの移動に
よって第1室とは逆に容積が減少し、また、ダンパ室は
その容積が第1室と同様に増大する。この結果、第2室
内の油は通路を通じてダンパ室内に流入するが、このと
き、該油は絞り弁を通過するため第2室の内圧が上昇し
、第2室とダンパ室との間に圧力差が生じる。そして、
この圧力差がピストンに流体力として作用し、前記ピス
トンの急速移動を抑制する。ここで、通路に設けられた
絞りが開口面積一定のものであると、従来と同様に圧力
差と流量とが非線形の関係、即ち圧力差の1/2乗に前
記一定開口面積を乗じた値と流量とが比例関係となり、
圧力差が大きくなるに従い流量増加が緩やかになるが、
この発明では通路に前記圧力差が大きくなるに従い開口
面積が増大する絞り弁を設けたので、前述した一定開口
面積のものに比較して開口面積が増大した分だけ流量が
増加し、これにより、前記一定開口面積のものより圧力
差と流量との関係が線形(正比例関係)に近くなる。こ
の結果、ピストン速度と減衰力との関係も線形に近付い
て入力信号値が変化してもサーボ回路の動特性はあまり
変化せず、ピストンの移動抑制効果を入力信号値の変化
に拘らずほぼ一定とすることができる。また、ピストン
の移動抑制のために高圧サーボ油を低圧側に逃がす必要
がないため流体ロスの発生もなく、さらにピストンに絞
り弁を設けるだけでよいため、構造が簡単となり回路全
体を小型で安価とすることもできる。
1呈1 以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第1図において、 11はサーボ回路に設けられたサー
ボアクチュエータであり、このサーボアクチュエータ1
1は内部に室13が形成されたシリンダ12と、このシ
リンダ12の室13内に摺動可能に挿入されたピストン
14とを有する。このピストン14は前記室13を一方
側の第1室15と他方側の第2室16とに遮断画成する
ピストン部17と、このピストン部17に一体形成され
シリンダ12の一端壁を貫通するロッド部18とから構
成されている。そして、このサーボアクチュエータ11
のシリンダ12は例えば航空機本体に、一方、ロッド部
18の先端は航空機の可動翼にそれぞれ連結されている
。また、前記シリンダ12の一端部には第1室15に連
通ずる流出入ボー)19が形成され、また、シリンダ1
2の他端部には第2室16に連通ずる流出入ポート20
が形成されている。そして、これら流出入ボー)19.
20は図示していないサーボ弁に接続され、このサーボ
弁が切換わることでサーボ油はこれら流出入ポート19
または20を通じて第1室15または1Bに流出入され
る。そして、このサーボ油の流出入により前記ピストン
14がシリンダ12内を軸方向他方または軸方向一方に
移動すると、第1室15の容積は増減し、このとき、第
2室IBの容積は第1室15とは逆に減増する。25は
前記ピストン14内に形成された空間であり、また、2
8は室13に収納されるとともにその基端がシリンダ1
2の他端壁に固定されたシリンダ12の一部を構成する
検出ロンドである。そして、この検出ロッド2Bは一端
方向に向かって延びその先端部が空間25内に挿入され
ている。また、この検出ロッド26にはピストン14に
形成された挿入ロッド27が挿入され、この検出ロッド
28は該挿入ロッド27の挿入帰を検出することで現時
点におけるピストン14の位置を検出し、その検出結果
をフィードバック信号として図示していない加算器に送
る。この加算器は設定信号とこのフィードバック信号と
を加算した後、加算結果を 。
制御信号として前記サーボ弁に送り該サーボ弁を制御す
る。また、前記検出ロッド2Bの先端には空間25の内
面に摺動可能に係合するピストン部28が形成されてい
る。28はピストン部17にポルト30により固定され
ピストン14の一部を構成するブロックであり、このブ
ロック28は前記空間25の他端開口を閉止する。この
結果、該ブロック2Bと前記ピストン部28との間のピ
ストン14内には第1、第2室15.16から遮断され
たダンパ室31が形成される。そして、このダンパ室3
1はピストン14が前述のように軸方向他方または一方
に移動すると、その容積は第1室15と同様に増減する
。第2図に示すように、前記ブロック28には、ダンパ
室31に連通する第1通路32および第2室!6に連通
ずる第2、第3通路33.34からなる通路35が形成
され、前記第1通路32と第2、第3通路33.34と
の間のブロック29内には弁室3Bが形成されている。
この弁室36内には中央部に環状溝37が形成されたス
プール38が摺動可能に収納され、これにより、前記弁
室36はスプール38の一方側に位置する一側室39と
スプール38の他方側に位置する他側室40とに区画さ
れる。また、このスプール3日内には一端が環状溝37
に、他端が一側室39に連通する内部路41が形成され
ている。42.43は前記−側室39および他側室40
にそれぞれ収納された中立スプリングであり、これらの
中立スプリング42.43はスプール38を他端方向お
よび一端方向へそれぞれ付勢することにより、該スプー
ル38を中立位置に保持する。そして、このスプール3
8が中立位置に保持されているとき、前記第2通路33
と環状溝37の一端部と、また第3通路34と環状溝3
7の他端部とは等量aだけアンダーラップしており、こ
の結果、スプール38が中立位置にあるときおよび中立
位置から距離aだけ軸・方向に移動する間においては、
絞り弁44は常に同一面積Aだけ開口している。しかし
、スプール38が中立位置から距離aを超えて移動する
と、絞り弁44の開口面積は面積Aを基準として増大し
、その増大量は移動距離に正比例する。前述した弁室3
B、スプール38、中立スプリング42.43は全体と
して、前記通路35の途中に設けられた絞り弁44を構
成し、この絞り弁44は第2室16とダンパ室3!との
間の差圧部が所定圧pより大きくなってスプール38が
距離aを超えて移動したとき、その開口面積がこのスプ
ール38の移動距離に正比例して増大する。なお、45
はロッド部18の先端部に形成された貫通孔である。
次に、この発明の一実施例の作用について説明する。
今、サーボ回路のサーボ弁にステップ信号のような急激
に変化する信号が入力され、該サーボ弁から例えばサー
ボアクチュエータ11の第1室15に大量のサーボ油が
流入し、これによりサーボアクチュエータ11のピスト
ン14が他端方向に急速移動を開始したとする。このと
き、前記第1室15はサーボ油の流入によって容積が増
大し、一方、第2室16はこのピストン14の移動によ
って第1室15とは逆に容積が減少し、また、ダンパ室
31はピストン14の移動によって第1室15と同様に
容積が増大する。この結果、第2室1B内の油は通路3
5を通じてダンパ室31内に流入するが、このとき、核
油は通路35に設けられた絞り弁44を通過するため、
第2室IBの内圧が上昇し、第2室16とダンパ室31
との間にピストン14の移動速度に応じた圧力差部が生
じる。そして、この圧力差部がピストン14の他端面に
流体力として作用し、前記ピストン14の急速移動を抑
制する。ここで、絞り弁44はそのスプール38が中立
位置に保持されているとき、第2通路33と環状溝37
の一端部とが、また第3通路34と環状溝37の他端部
とが等量aだけそれぞれアンダーラップしているため、
前記圧力差部が零から所定圧pまで上昇してスプール3
8が中立位置から距fiaだけ軸方向に離れた位置まで
移動する間は、絞り弁44の開口面積は第3図に示すよ
うに常に同一の面積Aである。この結果、圧力差部が所
定圧p以下にあっては、圧力差部と流量Qとが非線形の
関係、即ち圧力差部の1/2乗に前記同一開口面積Aを
乗じた値と流量Qとが比例関係となる。これを式で示す
と、 Q=AXcX部局 となる、ここで、Cは比例定数である。そして。
このように圧力差部が所定圧p以下の小さい間は、前述
した 1/2乗の影響があまりないため、圧力差部と流
量Qとは第4図に示すようにほぼ正比例の関係となる(
はぼ線形となる)、一方、圧力差部が所定圧pを超える
と、前述した172乗の影響が強くなって圧力差部の増
加に対する流量Qの増加が緩やかになり、前述した正比
例の関係から大きくずれてくる。しかしながら、この実
施例においては、圧力差部が所定圧pを超えると、絞り
弁44のスプール38は中立位置から距離aを超えて移
動するため、その開口面積は第3図に示すように圧力差
部の増大に正比例して増大し、この結果、圧力差部が所
定圧pを超えた段階での絞り弁44の開口面積は、前記
一定値Aと、圧力差部が所定圧pから上昇することによ
り増大した面積Bとの合計値となるのである。ここで、
第3図に示す傾斜直線の傾きをbとすると、前記増大面
積Bはこの勾配すに圧力差部を乗じた値となる。したか
って、圧力差部が所定圧pを超えた段階での絞り弁44
を通過する油の流量Qは、以下の式で表わされる。
Q−cX (A+B)X部局 = OX (A+ bX6p)X枠展 =cXAX6p   +cXbXI4’局 前記式においてCは比例定数である。ここで、前記式の
右辺の前半を第4図に示すと一点鎖線の曲!iITのよ
うになり、右辺の後半を示すと破線の曲線Uのようにな
る。そして、このような2本の曲線T、Uを合成したも
のが実際の流量Qと圧力差部との関係となるが、ここで
、都に乗じられた定数の値を適宜選択してやれば、第4
図に実線で示すように流量Qと圧力差部との関係を線形
に近付けることができる。そして、絞り弁44を前述の
ように圧力差部が所定圧pまでは一定開口面積Aであり
、所定圧pを超えると開口面積が圧力差部に正比例して
増大するようにしてやれば、流量Qと圧力差部との関係
を容易に線形に近付けることができる。この結果、ピス
トン14の移動速度と減衰力との関係も線形に近付いて
入力信号値が変化してもサーボ回路の動特性があまり変
化しなくなり、ピストン!4の移動抑制効果を入力信号
値の変化に拘らずほぼ一定とすることができる。また、
この実施例においては、ピストン14の移動抑制のため
に高圧サーボ油を低圧側に逃がす必要がないため流体ロ
スの発生もなく、さらにピストン14に絞り弁44を設
けるだけでよいため、構造が簡単となり回路全体を小型
で安価とすることもできる。
また、前述とは逆にサーボ弁からサーボアクチュエータ
11の第2室16に大量のサーボ油が流入し、これによ
りサーボアクチュエータ11のピストン14が一端方向
に急速移動を開始した場合も前述と同様に機能し、その
急速移動が抑制される。
なお、前述の実施例においては、絞り弁として圧力差部
が所定圧pまでは一定開口面積Aであり、所定圧pを超
えると開口面積が圧力差部に正比例して増大するような
弁を用いたが、この発明においては、圧力差部が零のと
きはゼロラップで開口面積が零であり、圧力差部が大き
くなった場合には、流量Qと該圧力差りとが正比例関係
(線形の関係)になるよう開口面積が増大する弁を用い
てもよい、この場合には、例えば絞り弁のスプールの周
面にその開口面積が軸方向中央に向かうに従い増大する
切欠きを形成すればよい、また、前述の実施例において
は、ピストンHに空間25を形成するとともに、該空間
25内にピストン部28を有する検出ロッド2Bを挿入
し、さらに、空間25の開口をブロック28によって閉
止してダンパ室31を形成したが、この発明においては
、ピストン内に前記空間25と同様の空間を形成すると
ともに、該空間に摺動可能に挿入される中空内筒をシリ
ンダの他端壁に固定し、この中空内筒内を第1室に、ピ
ストンのピストン部より一方側を第2室に、ピストン部
より他方側をダンパ室にし、前記ピストン部に形成され
た通路に絞り弁を設けるようにしてもよい。
魚に丸呈 以上説明したように、この発明によれば、入力信号値が
変化した場合でもサーボ回路の動特性をほぼ一定とする
ことができる。また、流体ロスの発生もなく、さらに構
造が簡単で小型、安価とすることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す正面断面図、第2図
は絞り弁近傍の正面断面図、第3図は圧力差部と絞り弁
の開口面積との関係を示すグラフ、第4図は圧力差部と
流量Qとの関係を示すグラフ、第5図はζ来のサーボ回
路を示す一部が記号で表された概略断面図である。 11・・・サーボアクチュエータ 12・・・シリンダ   14・・・ピストン15・・
・第1室    18・・・第2室31・・・ダンパ室
   35・・・通路44・・・絞り弁 特許出願人 −帝人製機株式会社 代理人  弁理士  多 1)敏 雄 第2図 第3図 第4図 第5図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. シリンダとピストンとの間に、サーボ油が流入しピスト
    ンの移動によってその容積が増減する第1室と、第1室
    から遮断されるとともにサーボ油が流入出しピストンの
    移動によってその容積が第1室と逆に減増する第2室と
    、第1、第2室から遮断されピストンの移動によってそ
    の容積が第1室と同様に増減するダンパ室と、を有し、
    かつ、前記ピストンに第2室とダンパ室とを連通する通
    路が設けられたサーボアクチュエータにおいて、前記通
    路に、第2室とダンパ室との間の圧力差が大きくなるに
    従い開口面積が増大する絞り弁を設けたことを特徴とす
    るサーボアクチュエータ。
JP63225897A 1988-09-09 1988-09-09 サーボアクチュエータ Pending JPH0276903A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63225897A JPH0276903A (ja) 1988-09-09 1988-09-09 サーボアクチュエータ
US07/404,566 US5007327A (en) 1988-09-09 1989-09-08 Servo actuator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63225897A JPH0276903A (ja) 1988-09-09 1988-09-09 サーボアクチュエータ

Publications (1)

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1398092B1 (en) 1997-11-27 2012-08-15 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Band plate winding system
US9803663B2 (en) 2011-10-27 2017-10-31 Parker-Hannifin Corporation Telescoping fluid porting tube
AU2018203763A1 (en) 2018-05-29 2019-12-19 Turnbull, Sam Dominic Seaton MR Intrascopic Cylinder

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE558505A (ja) *
US3118349A (en) * 1964-01-21 Actuator cylinder
US2735502A (en) * 1952-10-17 1956-02-21 Hydraulic power steering with valved
US2755777A (en) * 1952-12-16 1956-07-24 Weston Hydraulics Ltd Locking, damping and rate control means for fluid pressure servo systems
US3447424A (en) * 1967-09-19 1969-06-03 Billings R O Hydraulic cylinders having a quick exhaust
NL6813304A (ja) * 1968-09-18 1970-03-20
DE2022609B2 (de) * 1970-05-08 1972-05-10 Herbert Hänchen KG, 7304 Ruit Hydropneumatische kolbenzylinderanordnung
DE2461896A1 (de) * 1974-12-31 1976-07-08 Bosch Gmbh Robert Stelleinrichtung
US4386552A (en) * 1980-06-16 1983-06-07 Foxwell W John Power cylinder with internally mounted position indicator
JPS57171135A (en) * 1981-04-14 1982-10-21 Showa Mfg Co Ltd Oil hydraulic shock absorber
JPH0794845B2 (ja) * 1987-02-24 1995-10-11 本田技研工業株式会社 差圧応動式アクチュエータ

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Publication number Publication date
US5007327A (en) 1991-04-16

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