JPH0276658A - 静電吸着方法 - Google Patents
静電吸着方法Info
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- JPH0276658A JPH0276658A JP23073588A JP23073588A JPH0276658A JP H0276658 A JPH0276658 A JP H0276658A JP 23073588 A JP23073588 A JP 23073588A JP 23073588 A JP23073588 A JP 23073588A JP H0276658 A JPH0276658 A JP H0276658A
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- Japan
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- dielectric
- dielectric substance
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、半導体ウェハー、半導体チップなどの物体
を吸着し、搬送または保持する場合等に用いられる静電
吸着方法に間するものである。
を吸着し、搬送または保持する場合等に用いられる静電
吸着方法に間するものである。
（従来の技術）
第４図は従来の例であり、例えは、タングステンよりな
る一対の電極１は、例えばアルミナセラミックス等の誘
電体２により支持され、包囲されており、直流電源４よ
りスイッチ３をＯＮすることにより高電圧を電極１に印
加することで例えば、シリコンウェハー等の物体５を静
電力で吸着し、スイッチ３をＯＦＦすることによって静
電力を消失させウェハーを離すものである。
る一対の電極１は、例えばアルミナセラミックス等の誘
電体２により支持され、包囲されており、直流電源４よ
りスイッチ３をＯＮすることにより高電圧を電極１に印
加することで例えば、シリコンウェハー等の物体５を静
電力で吸着し、スイッチ３をＯＦＦすることによって静
電力を消失させウェハーを離すものである。
（発明が解決しようとする問題点）
しかし、このような静電吸着では、ウェハーを離す場合
に、とりわけ電極に印加する電圧が高くかつ長時間（１
０〜２０分間程度）に及ぶとき、誘電体２０表面上に誘
起されている誘電体分極によって物体５が離脱しにくく
なり、離脱できないための搬送エラーが発生する等の欠
点があった。
に、とりわけ電極に印加する電圧が高くかつ長時間（１
０〜２０分間程度）に及ぶとき、誘電体２０表面上に誘
起されている誘電体分極によって物体５が離脱しにくく
なり、離脱できないための搬送エラーが発生する等の欠
点があった。
また印加する電圧が０．５ｋＶ程度の低いものであって
も誘電体２の誘電率が高い場合には、または吸着を強め
ようと物体５と誘電体２との接触面の平坦度を特別良好
にした場合にもやはり離脱しにくいと言う欠点があった
。
も誘電体２の誘電率が高い場合には、または吸着を強め
ようと物体５と誘電体２との接触面の平坦度を特別良好
にした場合にもやはり離脱しにくいと言う欠点があった
。
（発明の目的）
本発明の目的は、前記の静電吸着面からの吸着物体の離
脱しにくさを解決し・、迅速且つ安定に離脱を可能にし
た静電吸着方法の提供にある。
脱しにくさを解決し・、迅速且つ安定に離脱を可能にし
た静電吸着方法の提供にある。
（問題を解決するための手段）
本発明は、吸着する物体と接する誘電体面に第２の誘電
体を設ける構成によちて前記目的を達成したものである
。
体を設ける構成によちて前記目的を達成したものである
。
（実施例）
以下図を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の第１の実施例である。一対の電極１を
支持、包囲している誘電体２とシリコンウェハー等の導
電性の被吸着物体５との間に新たに第２の誘電体６を設
けている。誘電体２は通常アルミナセラミックスからな
り、厚さ（ｔ］）は、５０〜２００μｍ程度であるが、
その表面にさらに例えばポリイミドのような、誘電体２
よりも誘電率の小さい異種の誘電体を厚さ（ｔ２）、２
５〜５０μｍ程度積層して形成する。これによって第２
図に示すように誘電体２のみならず誘電体６にも電極１
に直流電源４から高電圧を印加することで生じる誘電体
分極が生じる。
支持、包囲している誘電体２とシリコンウェハー等の導
電性の被吸着物体５との間に新たに第２の誘電体６を設
けている。誘電体２は通常アルミナセラミックスからな
り、厚さ（ｔ］）は、５０〜２００μｍ程度であるが、
その表面にさらに例えばポリイミドのような、誘電体２
よりも誘電率の小さい異種の誘電体を厚さ（ｔ２）、２
５〜５０μｍ程度積層して形成する。これによって第２
図に示すように誘電体２のみならず誘電体６にも電極１
に直流電源４から高電圧を印加することで生じる誘電体
分極が生じる。
誘電体６によって分極が弱められるためにスイッチ３を
ＯＦＦすることによって物体５は誘電体６の吸着面から
容易に離脱できる。
ＯＦＦすることによって物体５は誘電体６の吸着面から
容易に離脱できる。
また誘電体６の表面の平坦度を加減し、比較的柔軟な材
質等に適宜変更することで物体５の離脱特性をコントロ
ールすることも可能である。また誘電体６暮交換容易な
例えば、シート状のものを誘電体に接着するということ
も同様に可能である。
質等に適宜変更することで物体５の離脱特性をコントロ
ールすることも可能である。また誘電体６暮交換容易な
例えば、シート状のものを誘電体に接着するということ
も同様に可能である。
第３図は本発明の第２の実施例であり電極１が複数対で
あること以外は第１の実施例と同じである。
あること以外は第１の実施例と同じである。
（発明の効果）
本発明によれば迅速かつ安定に、静電吸着面から吸着物
体を離脱させることが可能である。
体を離脱させることが可能である。
第１図は本発明の実施例の静電吸着方法を示す断面図。
第２図は静電吸着による誘電体分極を説明する図。第３
図は本発明の第２の実施例を示す断面図。第４図は従来
例の静電吸着方法の断面図。 １・・・電極、２・・・第１の誘電体、３・・・スイッ
チ、４・・・直流電源、５・・・誘電性物体、６・・・
第２の誘電体。 特許出願人 日電アネルバ株式会社 代理人 弁理士 村上 健次
図は本発明の第２の実施例を示す断面図。第４図は従来
例の静電吸着方法の断面図。 １・・・電極、２・・・第１の誘電体、３・・・スイッ
チ、４・・・直流電源、５・・・誘電性物体、６・・・
第２の誘電体。 特許出願人 日電アネルバ株式会社 代理人 弁理士 村上 健次
Claims (2)
- （１）誘電体によって包囲された一つまたは一対あるい
はそれ以上の対からなる電極に電圧を印加して物体を静
電吸着力によって吸着する方法において、物体と接する
誘電体面に第２の誘電体を具備することを特徴とする静
電吸着方法。 - （２）前記第２の誘電体が、第１の誘電体と異種即ち誘
電率を異にすることを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の静電吸着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63230735A JPH07102488B2 (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 静電吸着機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63230735A JPH07102488B2 (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 静電吸着機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0276658A true JPH0276658A (ja) | 1990-03-16 |
| JPH07102488B2 JPH07102488B2 (ja) | 1995-11-08 |
Family
ID=16912479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63230735A Expired - Lifetime JPH07102488B2 (ja) | 1988-09-14 | 1988-09-14 | 静電吸着機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07102488B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04304942A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-28 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 静電チャック基板および静電チャック |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6228648A (ja) * | 1985-07-30 | 1987-02-06 | Hiromichi Fujita | フオト、ブリツチ、チエツカ−、 |
-
1988
- 1988-09-14 JP JP63230735A patent/JPH07102488B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6228648A (ja) * | 1985-07-30 | 1987-02-06 | Hiromichi Fujita | フオト、ブリツチ、チエツカ−、 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04304942A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-28 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 静電チャック基板および静電チャック |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07102488B2 (ja) | 1995-11-08 |
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