JPH0274026A - 電子ビーム装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、電子ビーム描画装置や走査電子顕微鏡等の電
子ビーム装置に関し、特に、これらの電子ビーム装置に
用いられる絞り板の汚れを防止するようにした電子ビー
ム装置に関する。

［従来の技術］ 例えば、可変面積型電子ビーム描画装置では、電子銃か
らの電子ビームを２枚の絞り板の開口を通過させると共
に、該絞り板の間に偏向器を配置し、最初の絞り板の開
口を通過した電子ビームの２枚目の絞り板上の照射位置
を該偏向器によって変化させ、各種断面の電子ビームを
形成するようにしている。又、走査電子顕微鏡等の電子
ビーム装置でも、対物レンズ等に、電子ビームの周辺部
をカットするための絞り板が使用されている。

［発明が解決しようとする課題］ 上述した絞り板には、常に電子ビームが照射されること
になり、この電子ビームの衝撃により、周囲の有機ガス
分子が該絞り板に付着し、汚れが生じる。この汚れが生
じると、電子が帯電し、ビームの非点収差が発生したり
、ビームの集束に悪影響を及ぼすことになる。又、可変
面積型電子ビーム描画装置では、汚れによって絞り板の
開口の形状が変化してしまい、描画の精度が悪化するこ
とになる。

この絞り板の汚れを防止するための手法として、該絞り
板を３００℃以上に加熱することが有効であることが良
く知られている。しかしながら、絞り板にヒータを埋め
込んでこのヒータに加熱電流を供給して加熱したり、絞
り板自体を高抵抗材料で形成し、絞り板自体に加熱電流
を供給して加熱すると、該電流の供給によって磁場が発
生する。

該磁場は、絞り板を通過する電子ビームを不正に偏向す
ることから、該磁場の発生は好ましいことではない。

本発明は、上述した点に鑑みてなされたもので、ビーム
に対する磁場の影響を無くして絞り板を加熱し、絞り板
の汚れを防止するようにした電子ビーム装置を提供する
ことを目的としている。

［課題を解決するための手段］ 本発明に基づく電子ビーム装置は、電子ビームの通逆を
制限する絞り板を備えた電子ビーム装置において、該絞
り板を加熱する手段と、該加熱手段の電源と、該絞り板
の開口を通過する電子ビームをブランキングする手段と
、該絞り板の温度を検出する検出手段と、該検出手段か
らの検出信号と基準温度信号とを比較する比較回路と、
該比較回路からの信号と該ブランキング信号とに基づい
て、該検出信号強度が該基準温度信号強度以下となった
期間と電子ビームのブランキング期間が一致した期間の
み該電源から該加熱手段に電流を供給するように制御す
る制御回路とを備えたことを特徴としている。

〔実施１１Ｆ’ｌＪ］ 第１図は本発明に基づく電子ビーム装置の要部を示して
いる。図中１は電子ビーム光軸０に沿って配置された絞
り板、２は電子ビームのブランキング電極である。該絞
り板１には加熱ヒータが埋め込まれており、該ヒータに
は、加熱電源３からの加熱電流がスイッチ４を介して供
給される。該絞り板１の温度は、サーミスタ温度計等の
温度検出回路５によって検出され、この温度信号は比較
回路６に供給されるが、該比較回路６には、基準温度信
号源７からの基準温度信号が供給されている。該比較回
路６からの信号はＡＮＤ回路８に供給される。ｆｆｌＡ
ＮＤ回路８には、ブランキング信号源９からのブランキ
ング信号も供給されている。

該ブランキング信号源９からのブランキング信号は増幅
器１０を介してブランキング電極２に供給される。

上述した如き構成において、光軸Ｏに沿って電子ビーム
が照射され、該電子ビームの一部は絞り板１の開口を通
過し、又、その残りの部分は絞り板に衝突して吸収され
る。又、電子ビームは、ブランキング信号源９からブラ
ンキング電極２に印加される電圧に応じてブランキング
され、絞り板１方向への照射が阻止される。該電子ビー
ムがブランキングされる場合は、電子ビーム描画装置に
あっては、描画パターンに応じて飛び飛びに電子ビーム
が被露光材料に照射される場合であり、走査電子顕微鏡
等では、走査信号の帰線期間となる。

第２図の（Ｃ）は、このようなブランキング信号＃、９
からブランキング電極２に印加されるブランキング信号
を示している。

該絞り板１は、汚れが付着しないような温度、例えば、
Ｔ１に維持されるように制御される。該絞り板１の温度
は温度検出回路５によって検出され、比較回路６に供給
されて基準温度信号Ｒ７からの温度Ｔ１に比例した信号
と比較される。該比較回路６は、検出温度が基準温度Ｔ
ｌより低くなるとハイレベル信号を発生する。第２図（
ａ）は温度信号を示しており、絞り板１の温度がＴ１よ
り低くなった期間、第２図（ｂ）に示すように、ハイレ
ベル信号を発生する。該第２図（ｂ）に示す比較回路６
の出力信号は、ブランキング信号源９からの第２図（ｃ
）に示す信号と共にＡＮＤ回路８に供給される。

該ＡＮＤ回路８は、供給される両信号が共にハイレベル
の時に第２図（ｄ）に示すハイレベル信号を発生する。

該ＡＮＤ回路８の出力信号は、スイッチ４に供給される
が、該スイッチ４はＡＮＤ回路８からの信号がハイレベ
ルの期間オンとなり、その期間のみ電Ｒ３からスイッチ
４を介して絞り板１のヒータに加熱電流が供給されるこ
とになる。

この結果、第２図（ａ）に示すように、絞り板１の温度
はほぼ１゛ｌ　に維持されることになる。又、絞り板１
に加熱ｒｄ流が供給される期間は、電子ビームのブラン
キング期間であり、該電流の供給によって発生した磁場
が電子ビームの照射に悪影響を与えることはない。

以上本発明の一実施例を詳述したが、本発明はこの実施
例に限定されることなく幾多の変形が可能である。例え
ば、絞り板にヒータを埋め込むようにしたが、絞り板目
体を高抵抗物質で形成し、絞り板目体に加熱電流を流す
ことによって絞り板の加熱を行っても良い。又、加熱電
流値を一定としたが、絞り板の温度に応じて加熱電流強
度を変化させても良い。

［効果］ 以上詳述したように、本発明においては、電子ビームの
ブランキング期間のみ絞り板の加熱電流を流すようにし
またので、電子ビームが不正に偏向されたり、集束に悪
影響を与えることなく、絞り板を汚れが付着しないよう
に加熱することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の要部を示す図、第２図は第
１図の装置の信号波形を示す図である。 １・・・絞り板　　　　２・・・ブランキング電極３・
・・加熱型Ｒ４・・・スイッチ ５・・・温度検出回路　６・・・比較回路７・・・基準
信号源　　８・・ＡＮＤ回路９・・・ブランキング信号
源 １０・・・増幅器

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子ビームの通過を制限する絞り板を備えた電子
   ビーム装置において、該絞り板を加熱する手段と、該加
   熱手段の電源と、該絞り板の開口を通過する電子ビーム
   をブランキングする手段と、該絞り板の温度を検出する
   検出手段と、該検出手段からの検出信号と基準温度信号
   とを比較する比較回路と、該比較回路からの信号と該ブ
   ランキング信号とに基づいて、該検出信号強度が該基準
   温度信号強度以下となった期間と電子ビームのブランキ
   ング期間が一致した期間のみ該電源から該加熱手段に電
   流を供給するように制御する制御回路とを備えた電子ビ
   ーム装置。