JPH0272651A - 品質保証用汎用計測システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、例えは半導体製造装置に適用されるＸＹステ
ージ等の１軸または２軸以上の移動機構あるいは駆動機
構を持つ装置に対して、移動あるいは駆動の精度を測定
し、保証するための品質保証用汎用計測システムに関す
るものである。

［従来の技術］ 従来より、この種の移動あるいは駆動機構を持つ装置に
おいては、その移動・駆動のための各種設定データを設
定したり、位置決め精度を測定すること等が必要である
。この場合、かかる装置を用いて製品を量産するときは
専用のデータ取り装置で、一方車品を生産する装置であ
るときは人手で、それぞれデータ取りおよびデータ処理
を行なっていた。

［発明が解決しようとする課題］ ところが従来より、移動あるいは駆動機構を持つ装置に
おいて、移動あるいは駆動機構の品質を調べる場合には
、位置決めのデータを測定および処理し表示するといり
たことに次のような欠点があった。

（１）人手により測定およびデータ処理を行なうとする
と、多大な手間と時間がかかる。

（２）測定およびデータ処理のために専用の計測用プロ
グラムを作るとすると、新しい装置のたびに計測用プロ
グラムを用意することになりコストがかかる。

（３）新しい装置のたびに計測用プログラムを用意する
と測定データが悪い場合、計測プログラムの不備による
ものか、装置が本当に悪いのか毎回区別しなければなら
ない。

（４）新しい装置のたびに計測用プログラムを用意する
と、計測用プログラムの操作方法が毎回変更し、利用者
は毎回操作方法を習得しなければならない。

本発明の目的は、上述の従来例における問題点に鑑み、
測定およびデータ処理のために専用の計測用プログラム
を作ることなく、汎用的な方式でこれらの処理を行なう
ことができる品質保証用汎用計測システムを提供するこ
とにある。

［課題を解決するための手段および作用コ上記の目的を
達成するため、本発明に係る品質保証用汎用計測システ
ムは、次に示すような手段を設けている。

（１）パーソナルコンピュータ等の入力手段（キーホー
ド等）および表示手段（ＣＲＴ等）を用いて、測定デー
タ内容の定義を任意に設定できる手段を備えている。

（２）パーソナルコンピュータ等により移動あるいは駆
動機構を持つ装置の位置決め座標を任意に設定できる手
段を備えている。

（３）パーソナルコンピュータ等により移動あるいは駆
動機構を持つ装置の移動順番を任意に設定できる手段を
備えている。

（４）パーソナルコンピュータ等により移動あるいは駆
動機構を持つ装置の各種設定パラメータデータを任意に
設定できる手段を備えている。

（５）パーソナルコンピュータ等により移動あるいは駆
動機構を持つ装置の各種設定フラグスイッチオン・オフ
を任意に設定することができる手段を備えている。

（６）上記の（２）、（３）、（４）、（５）に記載の
設定データをパーソナルコンピュータ等により外部記憶
装置に出力し、任意に読み出すことができる。

（７）上記の（２）、（３）、（４）、（５）に記載の
設定データをパーソナルコンピュータ等により移動ある
いは駆動機構を持つ装置の制御コントローラに転送し、
装置を移動あるいは駆動することかできる。

（８）パーソナルコンピュータ等によって移動あるいは
駆動機構を持つ装置の位置決め後の座標データを装置の
制御コントローラより読み込むことができる。

（９）パーソナルコンピュータ等によって、上記（８）
に記載のデータから移動あるいは駆動機構を持つ装置の
位置決め再現性における平均値、最大最小値標準偏差値
および直線近似値計算を行なうことができる。

（１０）上記（９）に記載の計算処理結果をバソナルコ
ンピュータ等によってＣＲＴ、プリンターおよびプロッ
ターに出力することができる。

（１１）上記（８）に記載の測定データおよび上記（９
）に記載の計算処理結果をパーソナルコンピュータ等に
よって外部記憶装置に出力することができる。

（１２）上記（８）に記載の測定データおよび上記（９
）に記載の計算処理結果からパーソナルコンピュータ等
によって移動あるいは駆動機構を持つ装置の位置決めを
誤差なく高速に行なうことを目的とする位置決め座標補
正データを作成することができる。

［実施例コ 以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る品質保証用汎用計測
システムを移動あるいは駆動装置としてのＸＹステージ
に適用した例を示す概略構成図である。同図において、
１はパーソナルコンピュータ、２はプログラムおよびデ
ータファイル用の外部記憶装置、３はプリンター　４は
プロッター５はプログラムディスク、６はデータファイ
ル用ディスク、７は装置制御用コントローラ、８は駆動
用ドライバ、９はＸＹステージである。

第２図、第３図、第４図および第５図は第１図のプログ
ラムディスク５に記憶されているプログラムのフローチ
ャート図である。第２図は計測用プログラムのメイン管
理ルーチンフロー、第３図は各種データ設定ルーチンフ
ロー、第４図は自動計測ルーチンフロー、第５図は測定
データファイル編集ルーチンフローである。

第１図において、先ずパーソナルコンピュータ１は外部
記憶装置２を通してプログラムディスク５よりプログラ
ムを読み取る。パーソナルコンピュータ１はデータファ
イル用ディスク６に記憶されている駆動用シーケンスデ
ータまたはキーボード入力によるシーケンスデータにし
たがって、ＸＹステージ９の位置決めシーケンスおよび
座標を決定し、シーケンスおよび座標データを装置制御
用コントローラ７に送る。装置制御用コントローラ７は
、送られたシーケンスデータにしたがって駆動用ドライ
バ８によってＸＹステージ９を移動し位置決めさせる。

シーケンスデータによって位置決めされたＸＹステージ
９の位置決めの後の座標データは、制御用コントローラ
７を通してパーソナルコンピュータ１に送られる。パー
ソナルコンピュータ１はＸＹステージ９の位置決め後座
標データを集め、平均計算、標準偏差計算等の演算処理
を行ない、プリンター３およびプロッター４にＸＹステ
ージ９の位置決め能力を示すデータとして出力する。

また、ＸＹステージ９の位置決め後座標データは、外部
記憶装置２を通してデータファイルディスク６に記憶さ
れる。後にパーソナルコンピュータ１によってデータフ
ァイルディスク６に記憶されたＸＹステージ９の位置決
め後座標データを任意に読み出してプリンター３および
プロッター４にＸＹステージ９の位置決め能力を示すデ
ータとして出力する。

なお、本実施例では本発明をＸＹステージに適用した例
を説明したが、これに限らず本発明は種々の移動あるい
は駆動機構を持つ装置に適用することができる。

第６図は、第１図のＸＹステージ９をＸＹオートハンド
１０に変えた実施例を示す。

第７図は、第１図のＸＹステージ９を多関節オートハン
ド１１に変えた実施例を示す。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば次に示すような効
果がある。

（１）測定およびデータ処理をパーソナルコンピュータ
等で汎用的に行なうことができるため、結果が出るまて
の時間が短縮され、人件費を抑えることができる。

（２）新しい装置に対しても対応できるため、計測用プ
ログラムを作るコストかかからない。

（３）同一のプログラムをくり返し使うことになるため
、プログラムの不備や不便な所が除去されシステムの信
頼性か高まる。

（４）装置が新しくなっても計測用プログラムの操作方
法は変わらないため、利用者はすぐに使うことがてきる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る品質保証用汎用計測
システムを移動あるいは駆動装置としてのＸＹステージ
に適用した例を示す概略構成図、第２図は、第１図のプ
ログラムディスクに記憶されている計測用プログラムの
メイン管理ルーチンフロー 第３図は、各種データ設定ルーチンフロー第４図は、自
動計測ルーチンフロー 第５図は、測定データファイル編集ルーチンフロー 第６図は、本発明をＸＹオートハンドに適用した実施例
を示す概略構成図、 第７図は、本発明を多関節オートハンド１１に適用した
実施例を示す概略構成図である。 パーソナルコンピュータ、 ：外部記憶装置、 プリンター ：プロッター プログラムディスク、 ：データファイル用ディスク、 制御用コントローラ、 ・駆動装置、 ＸＹステージ、 ＸＹオートハンド、 多関節オートハンド。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）測定データ内容の定義を設定するための入力手段
   と、該入力手段による入力データを確認するための表示
   手段とを具備し、該入力手段により入力された測定デー
   タ内容に基づいて自動計測制御を行なうことを特徴とす
   る品質保証用汎用計測システム。
2. （２）前記自動計測の計測結果に基づいて対象物体を移
   動あるいは駆動する機構を有し、さらに該対象物体の位
   置決め座標、移動順番、各種設定パラメータデータ、ま
   たは各種設定フラグスイッチのオン・オフを任意に設定
   する手段を備えた特許請求の範囲第１項記載の品質保証
   用汎用計測システム。
3. （３）前記設定手段により設定された各設定データを外
   部記憶装置に出力し、任意に読み出すことのできる特許
   請求の範囲第２項記載の品質保証用汎用計測システム。
4. （４）前記設定手段により設定された各設定データを前
   記移動あるいは駆動する機構を持つ装置の制御コントロ
   ーラに転送し、装置を移動あるいは駆動する特許請求の
   範囲第２項または第３項記載の品質保証用汎用計測シス
   テム。
5. （５）前記移動あるいは駆動する機構を持つ装置の位置
   決め後の座標データを装置の制御コントローラより読み
   込むことのできる特許請求の範囲第２項、第３項または
   第４項記載の品質保証用汎用計測システム。
6. （６）前記位置決め後の座標データから前記移動あるい
   は駆動する機構を持つ装置の位置決め再現性における平
   均値、最大最小値、標準偏差値および直線近似値計算を
   行なうことのできる特許請求の範囲第５項記載の品質保
   証用汎用計測システム。
7. （７）前記計算処理結果をＣＲＴ、プリンターおよびプ
   ロッターに出力することのできる特許請求の範囲第６項
   記載の品質保証用汎用計測システム。
8. （８）前記測定データおよび前記計算処理結果を外部記
   憶装置に出力することのできる特許請求の範囲第６項ま
   たは第７項記載の品質保証用汎用計測システム。
9. （９）前記測定データおよび前記計算処理結果から、前
   記移動あるいは駆動機構を持つ装置の位置決めを誤差な
   く高速に行なうための位置決め座標補正データを作成す
   ることのできる特許請求の範囲第８項記載の品質保証用
   汎用計測システム。