JPH0272303A - カラーフィルターおよび液晶カラー表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はカラーフィルターおよび液晶カラー表示装置
に関し、さらに詳しくは、いわゆる膜はがれやクラック
の発生を防止することができて耐熱性の向上した保護層
を有するカラーフィルター、およびこのカラーフィルタ
ーを用いてなり、保護層との接着性に優れるとともに電
気抵抗の低い透明導電膜を有するカラーフィルター付き
基板を備えるものであって、大型化した場合においても
高品質の画像を実現することのできる液晶カラー表示装
置に関する。

［従来技術および発明が解決しようとする課題］光透過
性基板上にカラーフィルター層を有するカラーフィルタ
ーは、たとえば液晶カラー表示装置、カラー撮像管、カ
ラー固体撮像素子などに広く用いられている。

そして、たとえばこのカラーフィルター層の上に透明導
電膜を形成して液晶カラー表示装置を製造する場合には
、液晶カラー表示装置を製造するプロセスにおいて、洗
浄用純水、有機溶剤等の薬液および液晶混合物から、さ
らにはプロセス中の装置との接触による破損から前記カ
ラーフィルター層を保護する必要がある。

そこで、このカラーフィルター層上に保護層を設けてな
るカラーフィルターが知られている。

しかしながら、在来の保護層はいずれも、たとえばアク
リル系樹脂やウレタン系樹脂などのような耐熱性の充分
とは言い難い樹脂を用いて形成されているので、たとえ
ばこのような樹脂を用いてなる保護層の上に、透明導電
膜を形成する場合には、透明導電膜の形成温度を高くす
ることができない。

すなわち、在来のカラーフィルターにおける保護層の上
に透明導電膜を形成する場合に、カラーフィルターを、
たとえば、１８０’Ｃを超える温度下に６時間以上さら
すと、保護層が黄変したり、分解によって保護層の厚み
が減少する所ｍ膜減りを生じたり、保護層か不透明化し
て光透過率の低下を招いたり、保護層にクラックか発生
して場合によフては保護層かカラーフィルター層から剥
離してしまう所謂膜はかれを生じたりする、等の種々の
不都合を生じる。

そして、このような不都合を生じたカラーフィルタを、
たとえば液晶カラー表示装置に用いると、色ズレ、画像
ムラ等が生じ′乙均−でかつ高い画像品質を実現するこ
とかできない。

また、透明導電膜を形成する方法には、基板加熱スパッ
タ法が従来より広く用いられているのであるか、この方
法によっては電気抵抗の低い透明導電膜の成膜が困難で
あるので、特に液晶カラー表示装置を大型化する場合に
駆動電圧の小さい液晶カラー表示装置を得ることが困難
であるという問題がある。

しかも、基板加熱スパッタ法によれば、基板温度を、通
常は２００°Ｃ以上にする必要かあるので、カラーフィ
ルターを構成する光透過性基板が変形したり、保護層に
前記の種々の不都合が生じたりするという問題がある。

この発明は前記の事情に基づいてなされたものである。

すなわち、この発明の目的は、いわゆる膜はがれやクラ
ックの発生を防止することができて耐熱性の向上した保
護層を有するカラーフィルターおよびこのカラーフィル
ターを用いてなり、透明導電膜の低抵抗化を図ることが
できるとともに保護層と透明導電膜の接着性が良好であ
って、大型化した場合においても、色ズレ、画像ムラ等
がなく、均一で優れた画像品質を実現することのできる
液晶カラー表示装置を提供することにある。

［前記！！題を解決するための手段］ 前記課題を解決するために、この発明者か鋭意検討した
結果、光透過性基板上のカラーフィルター層を特定の樹
脂からなる保護層で被覆してなるカラーフィルターは、
保護層におけるいわゆる膜はがれやクラックの発生を防
止することができて耐熱性に優れ、また、このようなカ
ラーフィルターの保護層の上に、特定の方法を採用して
形成した透明導電膜を有するカラーフィルター付き基板
を備えてなる液晶カラー表示装置は、透明導電膜の低抵
抗化を図ることができるとともに保護層と透明導電膜の
接着性が良好であって、液晶カラー表示装置を大型化し
た場合においても１色ズレ、画像ムラ等がなく、均一で
優れた画像品質を実現することがてきることを見い出し
て、この発明に到達した。

請求項１の発明の構成は、光透過性基板上のカラーフィ
ルター層の上に、シリコン変性樹脂からなる保護層を有
することを特徴とするカラーフィルターてあり、 請求項２の発明の構成は、光透過性基板上のカラーフィ
ルター層の上にシリコン変性樹脂からなる保護層を有す
るとともに、前記保護層上に反応性蒸着法により形成し
てなる透明導電膜を有するカラーフィルター付き基板を
備えてなることを特徴とする液晶カラー表示装置である
。

請求項１に記載のカラーフィルターは、たとえば第１図
に示すように、光透過性基板ｌ上に、カラーフィルター
層２と、保護層３とを、少なくとも有するものである。

次に、請求項１に記載のカラーフィルターについて、光
透過性基板、カラーフィルター層、保護層の順に詳述す
る。

（光透過性基板） 光透過性基板は、光透過性を有していれば、透明であっ
ても良いし、半透明であっても良い、さらに、透明電極
の蒸着工程などにおいてカラーフィルターか高温にさら
されることかあるので。

光透過性基板の素材としては、良好な耐熱性を有するも
のか好ましい。

このような基板を構成する素材の例としては、ポリエチ
レンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポ
リスチレン、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン
、ポリビニルアルコールおよび酢酸セルロースなどの高
分子化合物、ソータガラス、ホウケイ酸ガラスなどのガ
ラス、石英およびサファイア等の無機物質などを挙げる
ことがてきる。

光透過性基板は、前記の素材を用いて、板状、シート状
あるいはフィルム状などの形態で使用することかできる
。

光透過性基板の厚みは、用途および材質に合せて適宜に
設定することができるが、通常は、０．５　ｇ　ｍ　−
１０ｍ　ｍの範囲内にある。特に、液晶カラー表示装置
用の基板としてたとえばガラスを用いる場合には、０．
３〜２　ｍ　ｍの範囲内の厚みのものを用いるのかよい
。

なお、光透過性基板のカラーフィルター層とは反対側の
表面には、アンチハレーション用の光透過性のバッキン
グ層を設けていてもよい。さらに、カラーフィルター層
の特性を損なわない範囲内て光透過性基板を着色しても
よい。

光透過性基板の、カラーフィルター層を形成する表面は
、液晶カラー表示装置に従来から使用されている基板と
同じ程度の表面精度を有していれば特に制限がないので
あるか、より一層の高い画像品質を実現するためには、
基板の表面精度として±０．１　牌ｍ、好ましくは±０
．０５１Ｌｍであるのが望ましい。

前述の通り、光透過性基板の表面にはカラーフィルター
層が形成されるのであるが、カラーフィルター層と基板
との接着力を強化すると共に基板の表面が粗面であれば
その粗面を平滑面とするためには光透過性基板の表面に
下引層を設けるのか好ましい。

前記下引層な形成する素材としては、たとえば、ゼラチ
ン、アルブミン、カゼイン・セルロース誘導体、澱粉誘
導体、アルギン酸ナトリウム。

ポリビニルアルコール、ポリビニルとロリドン。

ポリアクリル酸共重合体およびポリアクリルアミドなど
が挙げられる。

前記下引層の厚みは、カラーフィルターの分光特性を考
慮すると薄いことが好ましく、通常はｌｐｍ以下であり
、好ましくは０．０５〜０．５ｐｍの範囲内である。

この光透過性基板の表面には、前記下引き層を介して、
あるいは前記下引き層を介することなく直接に次に詳述
するカラーフィルター層が形成される。

（カラーフィルター層） カラーフィルター層は少なくとも二種の画素を有し、天
然色のカラー画像表示を目的とするのであれば、赤、緑
および青の組合せまたはシアン、マゼンタおよびイエロ
ーの組合せによる三種の画素とするのが良い、この複数
の画素の配列は規則的であればよく、たとえばストライ
ブ状、モザイク状の画素配列にしてもよい。また、特定
の部分にブラックマトリックスや透明部分を有していて
もよい。

この発明の方法において、カラーフィルター層は、たと
えば印刷法、染色法、電着法、写真法、昇華法、感光性
着色樹脂法などの種々の方法をいずれも好適に採用して
形成することが可能であり、カラーフィルター層の形成
方法に特に制限はない。

ただし、銀塩写真法を採用すると、平面性の優れたカラ
ーフィルター層を形成することができるのて、カラーフ
ィルター層の形成に銀塩写真法を採用することは特に好
ましい。

カラーフィルター層の表面精度は、±０．１　ｐ、ｍ以
下であるのが好ましく、±０．０５ｐｍ以下であるのは
特に好ましい。

カラーフィルター層の表面精度を±０．１　ＪＬｍ以下
にすることにより、このカラーフィルター層の表面に形
成する透明導電膜に厚みの大小が生じるのを防止して、
透明導電膜の抵抗値を均一にすることができる。

カラーフィルター層の厚みは、通常、０．１〜ｌＱｐＬ
ｍの範囲内であり、好ましくは０６５〜３μｍの範囲内
である。この厚みを前記の範囲内にすることにより、充
分な色濃度を実現して、分光特性および色再現性を充分
なものにすることができるとともに、各画素間の境界の
尖鋭性を補償して色にごりのない良好な画像品質を実現
することかてきる。

この発明のカラーフィルターは、以上に詳述したカラー
フィルター層の表面に、シリコン変性樹脂からなる保護
層を有するものである。

（保護層） 保護層は、光透過性を有するものであり、少くとも前記
カラーフィルター層の全表面を覆いさえすれば、前記透
明基板の表面の一部が露出する状態に形成しても良い。

いずれにせよ、この発明において重要な点の一つは、保
護層かシリコン変性樹脂を含有することにある。

前記シリコン変性樹脂は、光透過性を有するとともに耐
熱性に優れるからである。

前記シリコン変性樹脂としては、たとえば分子内に少な
くとも下記の構造を有する樹脂を好適なものとして挙げ
ることかできる。

一３ｔ−０−３ｌ− ／＋＋。

このような構造を有する樹脂は、シリコン変性樹脂の前
駆体の溶液を塗布して薄膜を形成した後、加熱処理によ
り１分子間または分子内で、たとえば以下に示すような
脱アルコール反応を起させて得ることができる。

ンＳｉ　−０［＋　ＲＯ−Ｃ≦−〉姪＋　　Ｏｋ≧Ｓｉ
　−ＯＲ＋　１１０−　Ｃζ　−〉ミＳｉ　−０−Ｃ妊
ミＳｉ　　　ｏＨ＋Ｉ’ｔｏ　　ｓｉ％−泗≧Ｓ　ｉ　
−０−Ｓ　ｉ妊また、分子間あるいは分子内で、たとえ
ば脱アミン反応、脱酢酸反応、脱オキシム反応、脱アミ
ド反応を起させることによっても前記の構造を有する樹
脂を得ることがてきる。

前記シリコン変性樹脂の主骨格としては、たとえば次の
ものが挙げられる。なお、以下の式中、Ａ「は芳香環を
表わす。

芳香族ポリアミド系 ポリイミド系 ポリフェニレン系 ポリキシリレン系 ポリフェニレンオキシド系 ポリベンダイミダゾール系 ）Ａｒ　　　ＯＡｒ　　Ｓｏｔ→−Ｔ、ポリα メチルスチレン系 さらに前記シリコン変性樹脂の高分子構造の他の例とし
ては、たとえば次に示すものか挙げられる。

ポリスチレン系 ノボラック系 ポリビニルフェノール系 （本頁。

以下余白） ＰＭＭＡ系 −ＣＩ＋、−Ｃ− Ｃ＝０ ０　　（：１１２Ｓｉ（ＣＨｚ）ｓ ポリオレフィンスルホン系 −Ｃ１１□ −ＣＨ−Ｓｏ□　− ｕｔ 己］１□−３ｉ（ＣＨｚ）ｚ ポリシルセスキオキサン系 〜ＣＩＩｔＣｌｌｔ−Ｓｉεで代表されるへ斗Ｃ資−８
１ミ。

ポリシラン系 前記シリコン変性樹脂におけるシリコン官能基と高分子
主鎖との結合の具体例としては、たとえ〜ＣＩｌ□Ｃ１
ｂ　　０−３ｉミで代表される→Ｃ）７０−３ｉミなど
が挙げられる。

さらにまた、前記シリコン変性樹脂として、シリコン変
性アクリル樹脂、金属原子含有シリコン重合体、フッ素
化ケイ素樹脂などを挙げることもできる。

前記シリコン変性アクリル樹脂としては、たとえば、特
開昭６０−１５２５５２号公報において示されたゴム組
成物、すなわち架橋基として二重結合を有するアクリル
ゴム９０〜ＩＯ重量％と、平均組成式％式％ （式中、Ｒ′は置換または非置換の一価の炭化水素基、
ａは１．９８０〜２．００１の数を表わし、Ｒ”（７）
うち０．０２〜ｌＯモル％がビニル基である。）で示さ
れ、平均重合度が１０００を超え１００００以下のオル
ガノポリシロキサンｌＯ〜ｇｏ虫量％とからなるゴム組
蹴鞠、さらに前記アクリルゴム９０〜１０重量％と前記
オルガノポリシロキサン１０〜９０重量％とからなる混
合物１００兎量部に対し、脂肪族不飽和基含有シロキサ
ン−アクリル酸エステル共工合体を３〜５０１量部含有
するゴム組成物などが挙げられる。

また、前記シリコン変性アクリル樹脂としては、たとえ
ば次式（Ｉ）： ［ただし、式中、Ｒ１およびＲ２は炭素数が１〜１０の
範囲内である一価の脂肪族炭化水素基、フェニル基およ
び一価のハロゲン化炭化水素基のいずれかであり、ｋは
１以上の整数である。またＲ１およびＲ２は同じであっ
てもよいし、互いに相違していても良い、］ で表わされるオルガノポリシロキサンと、（本頁、以下
余白） 次式 ［たたし、式中、Ｒ３は水素原子またはメチル基であり
、Ｒ４はメチル基、エチル基およびフェニル基のいずれ
かであり、Ｘは塩素原子、メトキシおよびエトキシのい
ずれかである。］で表わされるアクリル化合物との縮合
反応生成物、あるいは前記式（Ｉ）で表わされるオルガ
ノポリシロキサンと、次式（■）： ［ただし、式中、Ｒ′３．Ｒ’およびＸは前記と同じ意
味である。］ て表わされるアクリル化合物 および／または次式（■）： ＣＨｔ＝　Ｃ−Ｃ−０−（ＣＨｔ）ｉ−３ｉ−Ｘ３（ｍ
　）（ただし、式中、Ｘは前記と同じ意味である。）て
表わされるアクリル化合物との縮合反応生成物などが挙
げられる。

前記金属原子含有シリコン重合体は、たとえば下記の式
で表わされるものである。

（ただし１式中、　ＭｅはＡＪＩＴｉおよびＳｎのいず
れかである。） 前記シリコン変性樹脂は、たとえば耐熱性シリコン変性
樹脂ｒＪＨＲＪシリーズなどの市販品としても入手可能
である。

いずれにせよ、前記シリコン変性樹脂の重量平均分子量
（Ｍ、）は、通常、１０”　〜１（１’の範囲てあり、
好ましくは５θＯ〜１０５のａＩＩ囲てあり、さらに好
ましくは１０３〜１０’の範囲である。

保護層は、たとえば前記カラーフィルター層が硬膜化し
た後にスピンナー塗布法、スプレィ塗布法、オフセット
印刷法、スクリーン印刷法などの機械的塗布法を行うこ
とにより、前記カラーフィルター層の表面精度を損なう
ことなく形成することができる。

保護層の厚みは、通常、５Ｂｍ以下であり、好ましくは
ｌｐＬｍ以下である。

（その他） 以上に詳述した光透過性基板とカラーフィルター層と保
護層とを少なくとも有する請求項１に記載のカラーフィ
ルターは、いわゆる膜はがれやクラックの発生を防止す
ることができて耐熱性の向上した保ｇＩ層を有するもの
てあって、たとえば液晶カラー表示装置、カラー撮像管
、カラー固体撮像素子などに好適に用いることができる
。

次に、このカラーフィルターを用いてなる請求項２に記
載の液晶カラー表示装置について詳述する。

請求項２に記載の液晶カラー表示装置は、たとえば第２
図に示すように、光透過性基板ｌ上に。

カラーフィルター層２と、保護層３とを、少なくとも有
するカラーフィルター４における保護層３の上に、反応
性蒸着法を採用して形成した透明導電膜５を有するカラ
ーフィルター付き基板旦を備えるものであり、このよう
な構成のカラーフィルター付き基板旦とたとえば従来と
同様の構成の透１！Ｉ導電膜付き基板ｌＯとの間に、第
２図に示したように液晶物質２０を刺入してなる。

（透明導電Ｍ） 請求項２に記載の液晶カラー表示装置においてｉ要な点
の一つは、前記のカラーフィルターにおける前記保護層
の上に反応性蒸着法を採用して形成した透明導電膜を有
することにある。

反応性蒸着法は、イオン化もしく社活性化された反応用
ガスの存在下で蒸着を行なう手法である。

前記の蒸着に好適に使用することのできる蒸着物質とし
ては、たとえばＩＴＯ（Ｉｎ、０．−８ｎＯよ）および
錫酸化物（Ｓｎ　Ｏ，）を挙げることができる。これら
のうち、好ましいのはＩＴＯであり、インジウムに対す
る錫の含有率が４重量％以下であるものは特に好ましい
。

＋ｉ７ｉ記反応用ガスとしては、たとえばｍ素、窒素、
ハロゲン、アンモニア、水素、モノシラン、ホスフィン
、ジボラン、アルシン、炭化水素、フレオンなどを挙げ
ることができる。

反応性蒸着法においては、前記反応用ガスをイオン化も
しくは活性化して、このイオン化もしくは活性化された
反応用ガスの存在下で蒸着を行なう。

前記反応用ガスをイオン化もしくは活性化するには、た
とえば高周波放電装置を使用する。

蒸着条件については、特に制限はないが、電気抵抗が低
いとともに光透過率が高く、しかも耐熱性、耐擦性、耐
薬品性等の実用性能のより向上した透明導電膜を得るた
めには、蒸着条件が次式：％式％ ［ただし１式中、Ｐは前記反応用ガスの圧力（ｔｏｒｒ
）を表わし、Ｒは蒸着速度（Ａ／秒）を表わし、Ｗは前
記高周波放電装置の高周波放電電力（Ｗａｔｔ）を表わ
す、］ を満足することか好ましい。

前記反応性蒸着法を採用して形成される透明導電膜の透
明度は、通常、光透過率が７０％以上、好ましくは８０
％以上であれば良い。

また、透明導電膜の導電性の程度は、抵抗値が１００Ω
／口以下であり、好ましくは５０Ω／口であり、特に好
ましくは２０Ω／口以下である。

透明導電膜の液晶物質側（前記光透過性基板とは反対側
）の表面の精度は、通常、±０．１　＃Ｌｍであり、好
ましくは±０．０３ＪＬｍであり、特に好ましくは上口
、旧舊ｍである。

透明導電膜の厚みは、通常、０．０５〜ｌルｍであり、
好ましくは０．１〜０．３４ｍである。透明導電膜の厚
みがｌｐｍよりも大きくなると、表面精度を前記範囲に
維持することができなくなることがある。また、厚みが
０．５ｇｍよりも小さいと、透明導電膜の導電不良を生
じることがある。

（その他） 請求項２に記載の液晶カラー表示装置においては、さら
に配向層を有していてもよい。

前記配向層は、従来から行なわれているように、たとえ
ばカラーフィルター付き基板においては、前記透明導電
膜上に、　ＳｉＯ＊、ＭｇＯ，１１ｇＦｇなどを用いた
斜め蒸着法を行って形成しても良いし。

あるいはイミド系、アミド系、ポリビニルアルコール系
、フェノキシ系などの高分子物質、アルキルアンモニウ
ムハライド、カルボン酸クロム錯体、有機シラン化合物
などの被膜の表面を、綿布、ビニロン布等で擦するラビ
ング法を行って形成しても良い、また、前記カラーフィ
ルター層を備えない透明導電膜付き基板においては、前
記光透過性基板上に前記カラーフィルター付き基板にお
けるのと同様にして配向層を形成すれば良い。

前記配向層の厚みは１通常、　０．０１〜ｌ＃Ｌｍであ
り、好ましくは０．０３〜０．２ｐｍである。

請求項２に記載の液晶カラー表示装置における透明導電
膜付き基板はスイッチング素子を有していても良い、ス
イッチング素子は３端子型の薄膜トランジスタ（アモル
ファスシリコン、ポリシリコン）または２端子型のダイ
オード（アモルファスシリコン）、バリスタ、Ｍ　Ｉ　
Ｍ　（Ｍｅｔａｌ−Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ−Ｍｅｔａｌ）
を用いることがてきる。

請求項２に記載の液晶カラー表示装置において使用する
ことのてきる液晶物質については特に制限はなく、たと
えばネマティック液晶、カイラルネマティック液晶、コ
レステリック液晶、スメクティック液晶、カイラルスメ
クティック液晶等のいずれをも用いることができる。ま
た、これらの液晶物質を組合わせて用いることもできる
。

表示モードについても特に制限はなく、たとえばツイス
トネマティック（ＴＮ）型モード、ゲスト・ホスト（Ｇ
Ｈ）型モード、電圧制御複屈折（ＥＣＢ）型モート、コ
レステリック−ネマティック型相転移モード、動的散ａ
（ＤＳ）型モードなどのいずれのモードも用いることが
できる。

この発明の液晶カラー表示装置は、たとえば数字表示、
文字表示、アナログ表示、グラフィック表示、テレビ表
示などの種々の用途に用いることができ、特に大面積の
テレビ表示に好適に利用可能である。

［実施例］ 次に、この発１町の実施例を示し、この発明についてさ
らに具体的に説明する。

（実施例１） ■カラーフ　ルター−の／ ゼラチン１０重量％水溶液に、硝酸銀溶液と臭化カリウ
ムおよびヨウ化カリウムを含む溶液とを同時に加えるこ
とにより、３モル％のヨウ化銀を含むヨウ臭化銀乳液（
平均粒子径：　０．００５　ｇ　ｍ、ゼラチン濃度＝９
重量％）からなる感光剤を調製した。この調製の際の沈
殿条件を０．０５４ｍの平均粒子径を有するリップマン
乳剤か得られるように規制した。

次に、厚み１．１　ｍｍのホウケイ酸ガラス基板（８０
ｍｍＸ９０ｍｍ）上に前記の感光剤を乾燥厚みが３ｇｍ
になるように塗布して感光剤層を形成した。

次いで、このハロゲン化銀感光材料の上に、辺か１５０
ｇｍの正方形の開口部を有するカラーフィルター用クロ
ムマスクを重ね、タングステンランプを用いて第一回目
の露光を行った。

この第一回目の露光を行ったハロゲン化銀感光材料を、
液温を２５℃に調整した青色発色現像液に３分間浸漬し
た。

青色発色現像液は以下に記載するＩＩＩ威物を８ＤＯｍ
ｌの水に溶解した後、さらに水を加えて全量を１文とし
た。

現像主薬・・・・・・・・・・・・・・・１．８６ｇ［
４−アミノ−３−メチル−Ｎ−エチル−Ｎ−（２−ヒド
ロキシエチル）アニリン硫＃塩］シアン発色カプラー・
・・・・・・・・・０．ｌ１１６ｇ［Ｎ−（ｏ−アセト
アミトプエネチル）−１−ヒドロキシ−２−ナフトアミ
ド］ マゼンタ発色カプラー・・・・壷・・・・１．０７ｇ［
１−（２，４，６−）リクロロフェニル）−３＝（ｐ−
ニトロアニリノ）−２−ピラゾリン−５−オン］ ニトリロトリメチレンスルホン酸・・・３．００ｍ　ｌ
無水硫酸ナトリウム・・・・・・・・・・６．６６ｇ０
．１％ヨウ化カリウム水溶液・・・・１１．００　ｍ　
５Ｌ焦木臭化ナトリウム・・・・・・・・・・０．８６
ｇ６−ニトロペンツイミダゾール・・・・・０．０２ｇ
亜硫酸ナトリウム・・・・・・・・・・２０．００　ｇ
ヘキシレングリコール・・・・・・・・５．００ｍ　ｌ
ポリエチレングリコール・・・・・・・０．６０ｍ　ｌ
ジエチルヒドロキシルアミン・・・・・０．２７ｍ　ｌ
パイトロキノンモノスルホン酸・・・・・Ｏ，１０ｇタ
ーシャリ−ブチルアミノボラン・・・、　０．０７ｇチ
オシアン酸ナトリウム・・・・・・・・１．００ｇ無水
炭酸ナトリウム・・・・・・・・・　１６．６７ｇ無水
炭酸水素ナトリウム・・・・・・・・４．ＯＱｇなお、
前記の青色発色現像液に水酸化ナトリウムを添加して、
２７℃におけるｐＨ値が１２．０になるように調整した
。

次いて、２８％酢酸３２ｍ　ｌと硫酸ナトリウム４５ｇ
とを含む停止液ｌ立生に、前記ハロゲン化銀感光材料を
塗布した基板を３０秒間浸漬してから５分間水洗し、乾
燥させることにより、基板上に青色部を形成した。

次に、前記青色部のすぐ隣に別のカラーフィルター用ク
ロムマスクを配置し、前記と同様の方法により第二回目
の露光を行った。

この第二回目の露光を行ったハロゲン化銀感光材料を、
液温を２５°Ｃに、ｉｌｌ！Ｉ整した緑色発色現像液に
３分間浸漬し、さらに、停止液に３０秒間浸漬してから
５分間水洗し、乾燥させることにより、基板上に緑色部
を形成した。

緑色発色現像液は以下に記載する組成物を８００ｍＭの
水に溶解した後、さらに水を加えて全量を１文とした。

Ｊ 現像主薬・・・・・・・・・・・・・・・２．０３ｇ［
Ｎ−エチル−Ｎ−メトキシエチル−３−メチル−ｐ−フ
ェニレンジアミン／ｐ−トルエンスルホン酸塩］ シアン発色カプラー・・・・・・・・・・１．９５ｇ［
Ｎ−（ｏ−アセトアミドフェネチル）−１−ヒドロキシ
−２−ナフトアミド］ イエロー発色カプラー・・・・・・・・・０．６３ｇ［
２−（ｐ−カルボキシフェノキシ）−２−ビグアロイル
−２′、４′−ジクロロアセトアニリド］ ニトリロトリメチレンスルホン酸・・・：ｔ、００ｍ　
ｌ無水１１！Ｌ酸ナトリウム・・・・・・・・・１０．
００　ｇｏ、１　％ヨウ化カリウム水溶液・・・・１０
．００ｍｊＬ無水臭化ナトリウム・・・・・・・・・・
０．９３ｇ６−二トロペンツイミタゾール・・・・・０
．０７ｇ亜硫酸ナトリウム・・・・・・・・・・　２０
．００ｇヘキシレングリコール・・・・・・・・５．０
０ｍ　ｌポリエチレングリコール・・・・・・・１．５
０ｍ　ｌジエチルヒドロキシルアミン・・・・・０．７
３ｍ　ｌハイドロキノンモノスルホン酸・・・・・０．
２０ｇなお、前記の緑色発色現像液に水酸化ナトリウム
を添加して、２７℃におけるｐＨ値が１２．０になるよ
うに調整した。

次に、前記緑色部の右隣り（すなわち青色部の左隣り）
に３番目のカラーフィルター用クロムマスクを配こし、
前記と同様の方法により第三回目の露光を行った。

この第三回目の露光を行ったハロゲン化銀感光材料を、
液温を２５°Ｃに調整した緑色発色現像液に３分間浸漬
し、さらに、停止液に３０秒間浸漬してから５分間水洗
し、乾燥させることにより、基板上に赤色部を形成した
。

赤色発色現像液は以下に記載する組成物を８００ｍＪｌ
の水に溶解した後、さらに木を加えて全量を１文とした
。

−ｈ 現像主薬・・・・・・・・・・・・・・・３．０７ｇ［
４−ア、ミノー３−メチルーＮ−エチル−Ｎ−（２−メ
タンスルホンアミドエチル）−アニリン硫酸塩水和物、
サスキュサルファイドハイドライド］ マゼンタ発色カプラー・・・・・・・・・１．０７ｇ［
１−（２”、４．６−ドリクロロフエニル）−３−（ｐ
−ニトロアニリノ）−２−ピラゾリン−５−オン］ イエロー発色カプラー・・・・・・・・・０．８３ｇ［
２−（ｐ−カルボキシフェノキシ）−２−ピグアロイル
−２′、４′−ジクロロアセトアニリド］ ニトリロトリメチレンスルホン酸・・・１００ｍ　ｌ無
水硫酸ナトリウム・・・・・・・・・・６．６６ｇ０．
１％ヨウ化カリウム水溶液・・・・１２．：１３　ｍ　
ｌ無水臭化ナトリウム・・・・・・・・・・０．７４ｇ
６−ニトロペンツイミダゾール・・・・・０．０２ｇシ
トラジン酸・・ｉ・・・・・・・・・・１．５０ｇター
シャリ−ブチルアミノボラン・・・・０．０７ｇ亜硫酸
ナトリウム・・・・・・・・・・　１：１．３０ｇヘキ
シレングリコール・・・・・・・・５．［］Ｏｍ　ｌポ
リエチレングリコール・・・・・・・０．８５ｍ　ｌジ
エチルヒドロキシルアミン・・・・・０．１７ｍ　ｌハ
イドロキノンモノスルホン酸・・・・・０．　Ｉｎ　ｇ
無水炭酸ナトリウム・・・・・・・・・１６．６７　ｇ
無水炭酸水素ナトリウム・・・・・・・・４．００ｇな
お、前記の赤色発色現像液に水酸化ナトリウムを添加し
て、２７℃におけるＰＨ値が１０．５になるようにｍ整
した。

このようにして得られたカラーフィルター層は、−辺が
１５０ｇｍの正方形の青色部、緑色部および赤色部が前
記ホウケイ酸ガラス基板全体に均一に形成されており、
青色部、緑色部および赤色部に色の濁りは見られなかっ
た。

また、この青色部、緑色部および赤色部を透過した単一
光源からの透過光の強度には殆ど差か見られなかった。

０区１」１生朕威 前記■て形成したカラーフィルター層か硬化した後、こ
のカラーフィルター層の上に、耐熱性シリコン変性樹脂
［商品名ｒＪＨＲ−：１０００．　；日本合成ゴム■製
］からなる塗布液を滴下し、スピンコーターを用いて３
００σｒｐｍ／３０秒で塗布した後、温度＋５０°Ｃの
条件下に６０分間焼成して膜厚１．ＯＪＬｍの保！１層
を得た。

得られた保護層の表面精度は±０．０５１Ｌｍであつた
。

以上のようにして形成してなるカラーフィルターにつき
、温度２００℃の条件下に１０時間放置して耐熱性の評
価を行なったところ、１０時間経過後においても保護層
に、所謂膜はかれやクラックの発生は見られず、また保
護層の黄変や不透明化も見られなかった。

（実施例２） ■九且豆ヱ笠五Ｉ遣 高周波放電装置［アネルハ■製］を使用した反応性黒石
法を以下の操作条件下にて行なうことにより、前記実施
例１の■で形成した保護層上に厚み０．２＃１．ｍのＩ
ＴＯ膜を形成した。

操作条件 蒸発源　　　　　ＩｎおよびＳｎ 反応用ガス　　　０２ 真空度　　　　　１０−’　　ｔｏｒｒ高周波放電電圧
　１００Ｗ 製膜時間　　　　１０分間 ■醍旦塁五ｌ遣 前記■で得られた透明電極上にポリイミド［商品名ｒサ
ンエバーＺＳＯ、、口広化学工業■製］を用いてオフセ
ット印刷を行ない、温度１７０℃の条件下に６０分間焼
成して膜厚０．１　ｇｍのポリイミド膜を得た。

次いで、レーヨンスェードを用いてラビング処理を行っ
て配向層とした。

得られた配向層の表面精度は±０．０５ｇｍであった。

■透明導電膜付き基板の作製 厚み１．１ｍｍのホウケイ酸ガラス基板（１００ｍｍＸ
Ｉｏｏｍｍ）上に前記■におけるのと同様の透明導電膜
を形成し、次いで、前記■におけるのと同様の配向層を
形成した。

■液晶カラー表示装置の組立 前記■および■の操作を行なって得られたカラーフィル
ター付き基板と前記■の操作を行なって得られた透明導
電膜付き基板とを、それぞれの透明電極がｌＯＩＬｍの
距離を隔てて対向するように配置し、且つ両プレートの
周縁部間にグラスファイバー製スペーサー［日本電気硝
子ｔＳ製、商品名ｒＰＦ−７ＤＳＪ　］をシール材［三
井東圧化学■製、商品名ｒＸＮ−５＾−ＣＪＩを用いて
設置した後、両プレート間にネマチック液晶［メルク■
製、商品名’ＺＬ２７２８　Ｊ　］を封入して、この発
明の液晶カラー表示装置とした。

この液晶カラー表示装置について、　　１／１００のデ
ユーティ−比で時分割駆動方式により作動させてそのコ
ントラスト比（各画素の明暗比）を求めたところ、表面
全体にわたり（コ０±１）＝１と均一であり、また表示
ムラもなかった。

［発明の効果］ この発明によると、 （１）　　カラーフィルター層を被覆する保護層が、充
分な耐熱性を有するシリコン変性樹脂からなるので、た
とえばカラーフィルターを高温下にさらした場合におい
ても、保護層に所謂膜はがれやクラックを生じたり、あ
るいは保護層が黄変したり、不透明化したりすることが
なく、 （２）シたがって熱による性能の低下のない高性能のカ
ラーフィルターを提供することかできるとともに。

（３）　　この高性能のカラーフィルターを用いるとと
もに、カラーフィルターに損傷を与えることのない反応
性蒸着法を採用して形成してなる透明導電膜を有するカ
ラーフィルター付き基板を備えてなるのて、電気抵抗か
低くて光透過率が高く、しかも耐熱性、耐擦性、耐薬品
性等の実用性源か向上して、たとえば大型化した場合に
おいても色ズレ、画像ズレ等を生じることかなくて、均
一で高い品質の画像を実現する液晶カラー表示装置を提
供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は請求項１の発明のカラーフィルターの一例を示
す説明図てあり、第２図は請求項２の発明の液晶カラー
表示装置の一例を示す説ＩＪ１図である。 ｌ・・・基板、２・・・カラーフィルター層、３・・・
保護層、４・・・カラーフィルター５・・・透明導電膜
、且・・・カラーフィルター付き基板。 第１

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）光透過性基板上のカラーフィルター層の上に、シ
   リコン変性樹脂からなる保護層を有することを特徴とす
   るカラーフィルター。
2. （２）光透過性基板上のカラーフィルター層の上にシリ
   コン変性樹脂からなる保護層を有するとともに、前記保
   護層上に反応性蒸着法により形成してなる透明導電膜を
   有するカラーフィルター付き基板を備えてなることを特
   徴とする液晶カラー表示装置。