JPH027228A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ、産業上の利用分野 本発明は、真空Ｖ＃膜形成手段により形成された金属磁
性膜を磁性層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。

Ｂ１発明の概要 本発明は、非磁性支持体を冷却キャンに接触さ′せなが
らその表面に真空薄膜形成手段により金属磁性膜を形成
した後、巻取りロールに巻き取る磁気記録媒体の製造方
法において、前記非磁性支持体が冷却キャンから離間す
る位置にガスを吹き込み、または、巻取りロールに巻き
取られた磁気記録媒体に導電性材料よりなるロールを接
触させることにより、上記巻取りロールに巻き取られる
際、磁気記録媒体に対し形状の劣化が生ずることを防止
し歩留まりを向上させることができる磁気記録媒体の製
造方法を提供しようとするものである。

Ｃ０従来の技術 従来より磁気記録媒体としては、非磁性支持体上に酸化
物磁性粉末或いは合金磁性粉末等の粉末磁性材料を塩化
ビニル−酢酸ビニル系共重合体。

ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機バインダ
ー中に分散せしめた磁性塗料を塗布・乾燥することによ
り作製される塗布型の磁気記録媒体が広く使用されてい
る。

これに対して、高密度磁気記録への要求の高まりととも
に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ−０等の金
属磁性材料を、メツキや真空薄膜形成手段（真空蒸着法
やスパッタリング法、イオンブレーティング法等）によ
ってボリテステルフィルムやポリイミドフィルム等の非
磁性支持体上に直接被着した、いわゆる金属磁性薄膜型
の磁気記録媒体が提案され注目を集めている。この金属
磁性薄膜型の磁気記録媒体は抗磁力や角形比等に優れ、
短波長での電磁変換特性に優れるばかりでなく、磁性層
の厚みを極めて薄くすることが可能であるため記録減磁
や再生時の厚み損失が著しく小さいこと、磁性層中に非
磁性材であるそのバインダーを混入する必要がないため
磁性材料の充填密度を高めることができること等、数々
の利点を有している。

Ｄ６発明が解決しようとする課題 ところで、上述のような真空薄膜形成手段等により磁気
記録媒体を製造する場合、テープ状の非磁性支持体を送
りリールから巻取りリールに亘って走行させる中途部に
おいて大径の冷却キャンを介在させ、この冷却キャンの
周面を走行する際に上記非磁性支持体上に前記真空薄膜
形成手段により磁性層を形成させるようにしている。

しかしながら、上述のような方法では、冷却キャンから
巻取りリールに亘って走行する非磁性支持体が帯電して
しまうために、非磁性支持体が冷却キャンから容易に離
れず、従って上記巻取りリールに巻き取られる非磁性支
持体に対して大きなテンションがかかり該非磁性支持体
にしわやクラックが生ずる場合がある。特に、磁性層が
形成されない部分では、上記帯電が大きくクランクや盛
り上がり又しわ等の形状の劣化が発生し易く、歩留まり
の向上を妨げている。

そこで本発明は、上記従来の実情に鑑みて提案されたも
のであって、非磁性支持体が帯電している場合であって
も、上述の如きランク、しわ等のによる非磁性支持体の
形状の劣化を防止し歩留まりの向上を図ることができる
磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とするも
のである。

８０課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するために、非磁性支持体を冷
却キャンに接触させながらその表面に真空薄膜形成手段
により金属磁性膜を形成した後、巻取りロールに巻き取
る磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性支持体
が冷却キャンから離間する位置にガスを吹き込み、また
は、巻取りロールに巻き取られた磁気記録媒体に導電性
材料よりなるロールを接触させることを特徴とするもの
である。

本発明により製造される磁気記録媒体は、金属磁性薄膜
を磁性層とするいわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体
であり、ここで、金属磁性薄膜を構成する金属磁性材料
としては、通常この種の媒体で使用されるものがいずれ
も使用可能である。

例示すればＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の磁性金属や、ＦｅＣｏ
、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｆｅ−
Ｃｏ−Ｃｒ、Ｇｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、ＦｅＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒ
等である。

非磁性支持体の材料としても通常使用されるものが使用
でき、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ン−２，６−ナフタレート等のポリエステル樹脂や芳香
族ポリアミドフィルム、ポリイミド樹脂フィルム等が挙
げられる。

そして本発明においては、冷却キャンから上記非磁性支
持体が離間する位置にガスを吹き込むか、或いは、巻取
りロールに巻き取られる上記磁気記録媒体に導電性材料
よりなるロールを接触させるものとする。

前者の場合に用いられるガスとしては、酸素の他、上記
非磁性支持体上に被着形成された磁性層と反応しない所
謂不活性ガス等も使用することができる。この不活性ガ
スとしては、例えば、アルゴン、窒素等を挙げることが
できる。

また、上記ガスの流量については、余り大量のガスを流
入させると真空状態が維持できないとともに、余り少量
であると冷却キャンから上記磁気記録媒体を離脱させる
ために該支持体に大きなテンションがかかり本発明の目
的が達成できないことから、上記両要請を満足し得るよ
うに適宜設定すれば良い。

一方、後者として記載したロールは、巻取りロールに接
触するように設けることが必要であり、さらに該巻取り
ロールによって巻取られる非磁性支持体の巻き始め位置
に設けることが好ましい。

また、上記巻取りロールの材料は、導電性材料であるこ
とが必要であり、電気伝導率の高い材料、例えば、銅、
鉄等の金属や導電性樹脂等が挙げられる。なお、この導
電性樹脂は、該樹脂自体が導電性を有するものであって
も良く、また、該樹脂に金属粉末やカーボン等を混入し
て作成されたものであって良い。

Ｆ１作用 上述のような構成からなる本発明の磁気記録媒体の製造
方法によれば、非磁性支持体に帯電が生じている場合で
も、該支持体の劣化を生ずることなく巻取りロールに巻
き取られる。

すなわち、該非磁性支持体が冷却キャンから離脱する位
置にガスを吹き込むことによって、容易に酸キャンから
離脱され、巻取りロールに巻取られる非磁性支持体に大
きなテンションがかからない。したがって、非磁性支持
体が巻取りロールに巻き取られる際、しわやランク、盛
り上がり等を生ずることがない。

また、上記巻取りロールに巻取られる非磁性支持体に上
記導電性材料よりなるロールを接触させることによって
該支持体に対する帯電が解消されるとともに、巻き取ら
れる非磁性支持体は表面及び裏面の両方が接触されて巻
き取られて行くことから、該支持体に対してしわやラン
ク等を生ずることがない。

Ｇ、実施例 以下、本発明を通用した磁気記録媒体の製造方法の実施
例を具体的に説明する。なお、最初に請求項（１）記載
の発明に係る実施例について説明した後に請求項（２）
記載の発明に係る実施例について説明する。

先ず、請求項（１１記載の発明に係る磁気記録媒体の製
造方法に使用される製造装置の一例について説明する。

この製造装置は、第１図に示すように、内部が真空状態
となされた真空室内に、テープ状の非磁性支持体１が、
図中時計回り方向に定速回転する送りロール２から図中
反時計回り方向に定速回転するようにされた巻取りロー
ル３に順次走行するようにされている。

そして、上記送りロール２から巻取りロール３側に走行
する中途部には、上記非磁性支持体１を図中下方に引き
出すように設けられるとともに上記各ロール２．３の径
よりも大径となされた冷却キャン４が図中時計回り方向
に定速回転するように設けられている。なお、この冷却
キャン４には、内部に図示しない冷却装置が設けられて
おり、上記非磁性支持体１の温度上昇による変形等を抑
制している。

したがって、上記非磁性支持体ｌは、送りロール２から
順次送り出され、さらに上記冷却キャン４の円面を通過
し巻取りロール３に巻取られて行くようにされている。

なお、上記送りロール２と上記冷却キャン４との間及び
上記冷却キャン４と上記巻取りロール３との間にはそれ
ぞれガイドロール５，６が配設され、上記送りロール２
から冷却キャン３及び冷却キャン４から巻取りロール３
に亘って走行する非磁性支持体１に所定のテンションを
かけ、該非磁性支持体１が円滑に走行するようになされ
ている。

また、本装置内であって上記冷却キャン４の下方には、
加熱手段７により加熱され上記冷却キャン４の周面を走
行する非磁性支持体１の表面に被着形成される金属磁性
材料８が収容部９内に収納されている。上記金属磁性材
料８は、上記加熱手段７により加熱されることによって
蒸発し、上記非磁性支持体ｌの表面に被着して図示しな
い金属磁性薄膜となる。

さらに、上記冷却キャン４と上記金属磁性材料８の収納
部９との間であって該冷却キャン４の近傍には、冷却キ
ャン４の周面と対向するように湾曲形成されたシャッタ
１０が配設されている。このシャック１０は、上記金属
磁性材料８が上記非磁性支持体ｌに対して所定角度範囲
で斜めに蒸着されるように該支持体１０所定範囲を覆う
ものである。

したがって、非磁性支持体１には、該支持体１が上記シ
ャンク１０と対向する直前に至るまでに上記金属磁性材
料６による薄膜が形成されて磁気記録媒体となされ、上
記冷却キャン４から前記ガイドロール５を通過し巻取り
ロール３に巻取られるようにされている。

さらに、本装置には、図示しない装置外部からこの装置
内に亘ってガス管１１が配管されている。

このガス管１１の先＆Ｈ１１ａは、上記冷却キャン４か
ら上記非磁性支持体１が離間する位置の近傍であって上
記金属磁性？Ｊ股が形成された面と反対の面倒に設けら
れおり、該ガス管１１を介して上記非磁性支持体１の冷
却キャン４からの離間位置にガスが吹き込まれるように
されている。なお、このガス管１１の先ｆｍｌｌａから
吹き込まれるガスの流量は、本装置内を真空状態に保持
できるとともに、該冷却キャン４から上記磁気記録媒体
１が容易に離脱されて必要以上のテンションが該支持体
１にかからないように調節されている。

上記構成からなる本実施例の製造装置によ゛れば、非磁
性支持体１は、送りロール２から順次冷却キャン４に走
行し、この走行過程において金属磁性材料８が上記加熱
手段７により加熱され該支持体１の表面に金属磁性膜と
して被着し磁気記録媒体となされる。そして、上記磁気
記録媒体となされた該支持体１は、上記冷却キャン４か
ら前記巻取りロール３に向かって走行する。この際、本
製造装置には、上記非磁性支持体１が上記冷却キャン４
から離間する位置にガス管１１が配設され、所定量のガ
スが該支持体１の裏面側に吹き込まれるので、該支持体
１が大きく帯電している場合でも該支持体１に大きなテ
ンションがかかることなく該冷却キャン４から離間され
る。

そして、本発明者等は、上記構成からなる製造装置を用
いるとともに、以下に説明する各条件で磁気記録媒体を
製造した。

すなわち、上記装置に配設されたガス管１１から、酸素
ガスを吹き込んで磁気記録媒体を製造した（実施例１）
。

また、上記酸素ガスに代えアルゴンガスを吹き込で磁気
記録媒体を製造した（実施例２）。

一方、従来の製造方法の如くガスを一切吹き込むことな
く磁気記録媒体を製造した（比較例）。

そして、上述ような方法で製造された各々の磁気記録媒
体の変形等、次工程への実害を観察したところ、以下の
結果を得た。

すなわち、上記実施例１によって製造された磁気記録媒
体では、３０００ｍ中、２龍の盛り土がりが、また、実
施例２によって製造された磁気記録媒体では、３０００
ｍ中、１１ｍ以下の盛り上がりが発見された。しかし、
これら実施例１及び２で製造された磁気記録媒体では、
次工程に移行した際の実害もない。

これに対し、上記比較例によって製造された磁気記録媒
体では、３００　Ｑｍ中、該磁気記録媒体の端部におい
て５龍の盛り上がりが発見され、次工程への移行によっ
て上記盛り上がりが中央部にまで移動し、製品として使
用できる磁気記録媒体とはならなっかった。

上記各実施例及び比較例からの結果からも明らかなよう
に、非磁性支持体１が冷却キャン４から離間する位置に
ガスを吹き込むことによって、該非磁性支持体上に盛り
上がり等を生ずることなく、しかも次工程に移行した場
合の実害も発生することがないことが分かる。

次に、請求項（２）記載の発明に係る実施例について説
明する。

先ず、ここで使用される製造装置の一例について説明す
る。

この製造装置の基本的構成は、前記請求項（１）記載の
発明の実施例において説明した第１図に示す装置の構成
と基本的には同様の構成からなるものであることから、
同一部材については同一の符号を用いて説明する。

この製造装置は、第２図に示すように、非磁性支持体１
が送りロール２から冷却キャン４を通過して巻取りロー
ル３に順次走行するようになされている。なお、上記送
りロール２は、図中反時計回り方向に、巻取りロール３
は、時計回り方向にそれぞれ定速回転するようになされ
ている。

そして、上記非磁性支持体１には、上記冷却キャン４を
通過する際、該冷却キャン４の下方に配設された収容部
９内の金属磁性材料８が加熱手段７により加熱蒸発し、
該非磁性支持体１の表面に被着して図示しない金属磁性
薄膜が形成される。

なお、この第２図に示した装置は、上記第１図に示した
装置と異なり、上記収容部９は、上記金属磁性材料８が
該非磁性支持体１に対して垂直に被着形成されるよう上
記冷却キャン４の真下に設けられている。また、上記冷
却キャン４に対向して配設されたシャッタ２０には、上
記収容部９と上記冷却キャン４との間に開口部２０ａが
形成され、上述のように、非磁性支持体１上に金ｆｉｎ
　ｖＡ性層が垂直に被着形成されるようになされている
。

さらに、本装置では、上記巻取りロール３の近傍であっ
て、この巻取りロール３に巻き取られる非磁性支持体１
が、該巻取りロール３に巻き付く位置にタッチロール２
１が設けられている。このタフチロール２１は、周面が
該巻取りロール３の周面に摺接するとともに、この巻取
りロール３の回転方向とは逆方向に回動するように□な
され、例えば銅等の導電性材料により作成されている。

したがって、この第２図に示す製造装置によれば、上記
巻取りロール３及び上記タッチロール２１の両方により
圧接されながら該非磁性支持体ｌが巻き取れて行（ので
、該非磁性支持体１は形状の劣化を来すことがない。さ
らに、このタッチロール２１は、導電性材料により形成
されてなることから、上記非磁性支持体１の帯電を解消
することができる。

そこで、本発明者等は、以下の第１表に実施例Ａ−Ｄと
して記載する種々の条件からなる磁気記録媒体を、上記
構成からなる製造装置を用いて製造した場合と、タッチ
ロールのない製造装置を用いて製造した場合との間で比
較した。なお、この第１表において、◎は全く形状の劣
化が発見されなかったこと、○は◎よりは劣るが実用上
の問題はなかったこと、△はやや形状の劣化が発見され
たこと、×は形状の劣化があり実用不能であることをそ
れぞれ示す。

（以下、余白） 第１表 上記第１表からも明らかなように、非磁性支持体の厚め
が比較的厚い場合は、上記第２図に示して説明した装置
を用い°ζ磁気記録媒体を製造しなくとも、形状の劣化
は生じないが、実施例Ｃや実施例りのように非磁性支持
体１が薄い場合は、形状の劣化が著しいことが分かる。

すなわち、タッチロール２１が設けられた本装置を使用
して磁気記録媒体を製造することによって、形状の劣化
を防止することができ、特に、該磁気記録媒体に使用さ
れる非磁性支持体の厚みが薄いほど、この効果は顕著に
現われることが分がる。

上述のように、請求項（１）及び（２）記載の発明に係
る実施例によれば、磁気記録媒体に対する形状の劣化を
有効に防止することができ信頼性を有する磁気記録媒体
を製造することができる。

なお、上記請求項（１）に係る発明の実施例においては
、所謂斜方蒸着による磁気記録媒体の製造装置を示して
説明し、請求項（２）に係る発明の実施例においては所
謂垂直蒸着による磁気記録媒体の製造装置を示して説明
したが、上記請求項（１）及び請求項（２）に係る発明
は上記実施例に限定されるものではない。

すなわち、上記請求項（１）に係る発明は、所謂垂直蒸
着をすることにより非磁性支持体１上に金属磁性膜を被
着形成する手法を採用しても良く、また上記請求項（２
）に係る発明についても、所謂斜方蒸着により該金属磁
性膜を被着形成させる手法を採用しても良い。

Ｈ０発明の効果 上記各実施例の説明からも明らかなように、本発明に係
る磁気記録媒体の製造方法によれば、金属磁性薄膜を形
成し７た後の工程において該磁気記録媒体に形状の劣化
が発生することを有効に防止し、歩留まりの向上を図る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は磁気記録媒体の製造装置の一例を示す模式図、
第２図は他の磁気記録媒体の製造装置の一例を示す模式
図である。 ■・・・支持体 ３・・・巻取りロール ４・・・冷却キャン １１・・・ガス管 ２１・・・タッチロール 特　許　出　願　人　　ソニー株式会社代理人　　　弁
理士　　小　池　　晃（化２名）第２図 第１図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性支持体を冷却キャンに接触させながらその
   表面に真空薄膜形成手段により金属磁性膜を形成した後
   、巻取りロールに巻き取る磁気記録媒体の製造方法にお
   いて、前記非磁性支持体が冷却キャンから離間する位置
   にガスを吹き込むことを特徴とする磁気記録媒体の製造
   方法。
2. （２）非磁性支持体を冷却キャンに接触させながらその
   表面に真空薄膜形成手段により金属磁性膜を形成した後
   、巻取りロールに巻き取る磁気記録媒体の製造方法にお
   いて、前記巻取りロールに巻き取られた磁気記録媒体に
   導電性材料よりなるロールを接触させることを特徴とす
   る磁気記録媒体の製造方法。