JPH026815A - 圧力スイング吸着装置 - Google Patents
圧力スイング吸着装置Info
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- JPH026815A JPH026815A JP63157847A JP15784788A JPH026815A JP H026815 A JPH026815 A JP H026815A JP 63157847 A JP63157847 A JP 63157847A JP 15784788 A JP15784788 A JP 15784788A JP H026815 A JPH026815 A JP H026815A
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/40—Capture or disposal of greenhouse gases of CO2
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
- Y02P20/151—Reduction of greenhouse gas [GHG] emissions, e.g. CO2
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分ｆｆ？］
本発明は高純度ガスの製造に利用される圧力スイング吸
着装Ｍ（以下単にＰＳＡ装百という）に関し、詳細には
高純度の製品ガスを高回収率で回収することのできるＰ
ＳＡ装置に関するものである。
着装Ｍ（以下単にＰＳＡ装百という）に関し、詳細には
高純度の製品ガスを高回収率で回収することのできるＰ
ＳＡ装置に関するものである。
以下には原料空気からＮ、ガスを高純度で回収するＰＳ
Ａ装置について例示的に説明するが、本発明装置の適用
対象はこれによりて限定解釈されてはならない。
Ａ装置について例示的に説明するが、本発明装置の適用
対象はこれによりて限定解釈されてはならない。
［従来の技術］
第３図は前処理装置Ｒ及びＮ、ガスを選択的に汲置回収
するＰＳＡ装置Ｐによって構成されるＮ、ガス回収装置
の概略説明図である。前処理装置Ｒ１の圧縮機９によっ
て加圧された原料空気は前処理塔２ａ、２ｂのいずれか
に送給さね、吸着剤に！（２０及びＣＯ２成分な吸葛さ
せた後、ここを通過１）たＯ２／Ｎ２混合ガスは３塔式
ＰＳＡ装嘗Ｐへ送り込ま４する。第６図は該前処理塔２
ａ。
するＰＳＡ装置Ｐによって構成されるＮ、ガス回収装置
の概略説明図である。前処理装置Ｒ１の圧縮機９によっ
て加圧された原料空気は前処理塔２ａ、２ｂのいずれか
に送給さね、吸着剤に！（２０及びＣＯ２成分な吸葛さ
せた後、ここを通過１）たＯ２／Ｎ２混合ガスは３塔式
ＰＳＡ装嘗Ｐへ送り込ま４する。第６図は該前処理塔２
ａ。
２ｂの工程を示す説明図であり、吸着工程及び脱着工程
が周期的に交互に行なわれる。
が周期的に交互に行なわれる。
前処理済ガス導出管２１゜−時貯留ホルダ１１及び原料
ガス供給管１ａを介してＰＳＡ装置Ｐに供給される混合
ガスは、自動開閉弁（以下単に弁という）Ｖ＋〜■、を
介して吸着塔３ａ、３ｂ。
ガス供給管１ａを介してＰＳＡ装置Ｐに供給される混合
ガスは、自動開閉弁（以下単に弁という）Ｖ＋〜■、を
介して吸着塔３ａ、３ｂ。
３ｃのいずれかに導入される。冬場の底部には弁ｖ４〜
Ｖ、を介して排ガス廃棄管４ａが連結され、該排ガス廃
棄管４ａは前処理塔２ａ、２ｂの再生用ガス導入管２２
に連結され、吸着塔３ａ。
Ｖ、を介して排ガス廃棄管４ａが連結され、該排ガス廃
棄管４ａは前処理塔２ａ、２ｂの再生用ガス導入管２２
に連結され、吸着塔３ａ。
３ｂ、３ｃを通過した０２を主成分とする排ガスは前処
理塔内に吸着されたＨ、ＯとＣＯ２脱着のためのパージ
用ガスとして利用される。また吸着塔３ａ、３ｂ、３ｃ
下部には分岐管を介して脱着用管５が接続され、真空ポ
ンプ６によって脱着されたＮ２ガスは製品ガスホルダ２
０に貯留される。製品ガスホルダ２０には、洗浄用管８
が配設され、該洗浄用管８は分岐された後、弁Ｖ１３〜
ＶｔＳを介して吸着塔３ａ、３ｂ、３ｃの各頂部に連結
される。尚各吸着塔３ａ、３ｂ、３ｃは連結配管１０ａ
、１０ｂ、ｔｏｃによって直列的にも連結される。
理塔内に吸着されたＨ、ＯとＣＯ２脱着のためのパージ
用ガスとして利用される。また吸着塔３ａ、３ｂ、３ｃ
下部には分岐管を介して脱着用管５が接続され、真空ポ
ンプ６によって脱着されたＮ２ガスは製品ガスホルダ２
０に貯留される。製品ガスホルダ２０には、洗浄用管８
が配設され、該洗浄用管８は分岐された後、弁Ｖ１３〜
ＶｔＳを介して吸着塔３ａ、３ｂ、３ｃの各頂部に連結
される。尚各吸着塔３ａ、３ｂ、３ｃは連結配管１０ａ
、１０ｂ、ｔｏｃによって直列的にも連結される。
第４図は、吸着塔３ａ、３ｂ、３ｃの作動工程を示す説
明図であり、吸着工程開始時から脱着工程終了時までの
作動工程を１工程サイクルとじている。この１工程サイ
クルは図示の如く吸着工程、回収工程、洗浄工程及び脱
着工程より構成される。吸着工程では脱着の完了した吸
着塔内を加圧すると共に、０２／Ｎｚ混合ガスを供給管
１ａから加圧供給し、回収目的成分のＮ、ガスを吸着剤
に吸着させ不純成分ガス（主に０．ガス）を排ガス廃棄
管４ａ及び前処理装置Ｒを介して放出させる。又脱着工
程では吸着塔を真空ポンプ６によって減圧し、吸着塔内
の吸着剤に吸着されたＮ２を脱着し脱着用管５を通して
製品ガスホルダ２０に回収貯留する。
明図であり、吸着工程開始時から脱着工程終了時までの
作動工程を１工程サイクルとじている。この１工程サイ
クルは図示の如く吸着工程、回収工程、洗浄工程及び脱
着工程より構成される。吸着工程では脱着の完了した吸
着塔内を加圧すると共に、０２／Ｎｚ混合ガスを供給管
１ａから加圧供給し、回収目的成分のＮ、ガスを吸着剤
に吸着させ不純成分ガス（主に０．ガス）を排ガス廃棄
管４ａ及び前処理装置Ｒを介して放出させる。又脱着工
程では吸着塔を真空ポンプ６によって減圧し、吸着塔内
の吸着剤に吸着されたＮ２を脱着し脱着用管５を通して
製品ガスホルダ２０に回収貯留する。
次に回収工程及び洗浄工程を、吸着塔３ａの場合を例に
挙げて説明すると第５図（ａ）及び（ｂ）によって示さ
れる。即ち第５図（ａ）の状態においては、洗浄用管８
を通して高純度Ｎ２ガスを吸着塔３ｃへ送給し、塔内の
残留０．成分を追放し、吸着工程の終了した吸着塔３ａ
へ連結配管１０ｃを介して送り込み、洗浄済み排ガス中
のＮ２成分を回収する。このとき吸着塔３ａでは回収工
程が行なわれ、吸着塔３Ｃでは洗浄工程が行なわれる。
挙げて説明すると第５図（ａ）及び（ｂ）によって示さ
れる。即ち第５図（ａ）の状態においては、洗浄用管８
を通して高純度Ｎ２ガスを吸着塔３ｃへ送給し、塔内の
残留０．成分を追放し、吸着工程の終了した吸着塔３ａ
へ連結配管１０ｃを介して送り込み、洗浄済み排ガス中
のＮ２成分を回収する。このとき吸着塔３ａでは回収工
程が行なわれ、吸着塔３Ｃでは洗浄工程が行なわれる。
また第５図（ｂ）の状態では、吸着塔３ａは洗浄工程を
行ない、吸着塔３ｂは回収工程を行なう。
行ない、吸着塔３ｂは回収工程を行なう。
［発明が解決しようとする課！１１］
上記吸着工程の初期において吸着塔３ａ。
３ｂ、３ｃを通過した排ガス中のＮ２成分濃度は比較的
に低く、該排ガスを前処理装置Ｒの再生用パージガスと
して放出しても製品Ｎ、ガスの回収率を著しく低下する
ことはない。
に低く、該排ガスを前処理装置Ｒの再生用パージガスと
して放出しても製品Ｎ、ガスの回収率を著しく低下する
ことはない。
しかしながら、回収工程で排ガス廃棄管４ａへ流入する
排ガスは吸着工程終了後の２つの吸着塔を［第５図（ａ
） 、 （ｂ）に示す］を直列的に通過するものの、Ｎ
２ガスの濃度は高く（おおよそ９０％）、この排ガスを
前処理装置Ｒを経由して放出してしまうと％Ｎ２ガスの
回収率を著しく低下させることになる。尚吸着工程終期
における排ガス中のＮ２ガス濃度も比較的高く、これを
放散させることは回収率の低下につながる。
排ガスは吸着工程終了後の２つの吸着塔を［第５図（ａ
） 、 （ｂ）に示す］を直列的に通過するものの、Ｎ
２ガスの濃度は高く（おおよそ９０％）、この排ガスを
前処理装置Ｒを経由して放出してしまうと％Ｎ２ガスの
回収率を著しく低下させることになる。尚吸着工程終期
における排ガス中のＮ２ガス濃度も比較的高く、これを
放散させることは回収率の低下につながる。
そこで本発明者らは、回収目的成分ガスの濃度を高純度
に保持したままで、回収率を向上させることを目的とし
て種々研究を重ね、本発明を完成した。
に保持したままで、回収率を向上させることを目的とし
て種々研究を重ね、本発明を完成した。
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成し得た本発明は、排ガス廃棄管と再生用
ガス導入管を連結する配管を２系統に分岐させ、さらに
再合流せしめる構成とし、前記圧力スイング吸着塔にお
ける回収成分ガスを吸着する吸着剤を収納した回収吸着
塔を前記２系統のいずれか一方に設ける点を要旨とする
ものである。
ガス導入管を連結する配管を２系統に分岐させ、さらに
再合流せしめる構成とし、前記圧力スイング吸着塔にお
ける回収成分ガスを吸着する吸着剤を収納した回収吸着
塔を前記２系統のいずれか一方に設ける点を要旨とする
ものである。
［作用及び実施例］
第１図は本発明の代表的な実施例を示す概略説明図であ
る。第３図に示した従来例と比較すると本発明の特徴的
な構成は下記の通りである。即ち排ガス廃棄管４ａと再
生用ガス導入管２２の間を、バイパス管１２と回収吸着
塔配管１３の２系統によりて並列的に接続し、該回収吸
着塔配管１３には回収吸着塔１４及び弁Ｘ２ 、Ｎ３を
設け、前記バイパス管１２には弁ＸＩを配設する。
る。第３図に示した従来例と比較すると本発明の特徴的
な構成は下記の通りである。即ち排ガス廃棄管４ａと再
生用ガス導入管２２の間を、バイパス管１２と回収吸着
塔配管１３の２系統によりて並列的に接続し、該回収吸
着塔配管１３には回収吸着塔１４及び弁Ｘ２ 、Ｎ３を
設け、前記バイパス管１２には弁ＸＩを配設する。
上記回収吸着塔１４内には回収目的成分であるＮ２を選
択的に吸着する合成ゼオライトを装填する。
択的に吸着する合成ゼオライトを装填する。
−１−記バイパス管１２及び回収吸着塔配管１３は第２
図（Ａ）・・□−（Ｃ）に示す様に使用さｉする。即ち
排ガス廃棄管４ａ内を通過する排ガス中にＮ２成分が少
ないどきには、弁Ｘ ２ 、 Ｘ 、を閉鎖し゛ｒ弁Ｘ
、を開放し、バイパス管１２を介１．てこの１Ｊ［ガス
を再生用ガス導入管２２経由で前処理塔ｉ２ｎ。
図（Ａ）・・□−（Ｃ）に示す様に使用さｉする。即ち
排ガス廃棄管４ａ内を通過する排ガス中にＮ２成分が少
ないどきには、弁Ｘ ２ 、 Ｘ 、を閉鎖し゛ｒ弁Ｘ
、を開放し、バイパス管１２を介１．てこの１Ｊ［ガス
を再生用ガス導入管２２経由で前処理塔ｉ２ｎ。
２ｂへ送給する。
−・方吸名塔３ａ、３ｈ、３ｅのいずわかにおいて回収
工程を行なっているとき（第４図参照）、或は吸、覇王
程の後期即ちｔａガス廃棄管４り内を流れる排ガス中に
高濃度のＮ２ガスが混込しているときには、弁Ｘ、を閉
じて弁Ｘ２ 、Ｘ、を開放し、第２図（Ｂ）に示す如く
排ガスを回収吸着塔１４内へ導入し、排ガス中のＮ２成
分を吸着剤ｊζ吸着させ、該回収吸着塔１４を通過した
ガスのみを再生用ガス尋人管２２へ導く。
工程を行なっているとき（第４図参照）、或は吸、覇王
程の後期即ちｔａガス廃棄管４り内を流れる排ガス中に
高濃度のＮ２ガスが混込しているときには、弁Ｘ、を閉
じて弁Ｘ２ 、Ｘ、を開放し、第２図（Ｂ）に示す如く
排ガスを回収吸着塔１４内へ導入し、排ガス中のＮ２成
分を吸着剤ｊζ吸着させ、該回収吸着塔１４を通過した
ガスのみを再生用ガス尋人管２２へ導く。
上記の弁Ｘｌ−・Ｘ、の開閉制御は第４図の工程スケジ
１．−ルに合わせて時間的に制御づる手段としても良い
し、或は排ガス廃棄笠４ａにＮ、ガス濃度測定器を配置
し、該測定器の検出値に応じでｌｐ ｘ ＋・・−Ｘ、
を開閉制御′で外るｌ’ｉｒｌ構成し下も構ね／ｌい。
１．−ルに合わせて時間的に制御づる手段としても良い
し、或は排ガス廃棄笠４ａにＮ、ガス濃度測定器を配置
し、該測定器の検出値に応じでｌｐ ｘ ＋・・−Ｘ、
を開閉制御′で外るｌ’ｉｒｌ構成し下も構ね／ｌい。
また回収＠着塔１４内に吸、Ｈさ＄１． ＆ Ｎ ２成
分は次に述べる方法によって脱着して吸着剤の再生をは
かると共（ζ、Ｎ、成分を再び回収する。即ち第２図（
Ｃ）に示す様に、脱着工程が完了しＣ減圧状態にある吸
着塔（例λば３ａ）と回収吸１ｉ１４を、弁Ｘ２．Ｖ、
を開放することによって連通ずる。このどき弁Ｘ、、Ｘ
３は閉鎮とする。この作動Ｖ“より回収吸着塔１４内の
吸、Ｓ荊は減圧再生されると共に、脱着さｔまたＮ２成
分は吸着塔３ａ内に吸着されて再回収される・二とにな
る、この作動の後１ｌＸ３．Ｒ塔３ａにおい゛〔は吸着
工程が開始され、第４図に示す工程順序に従って運転が
繰返される。
分は次に述べる方法によって脱着して吸着剤の再生をは
かると共（ζ、Ｎ、成分を再び回収する。即ち第２図（
Ｃ）に示す様に、脱着工程が完了しＣ減圧状態にある吸
着塔（例λば３ａ）と回収吸１ｉ１４を、弁Ｘ２．Ｖ、
を開放することによって連通ずる。このどき弁Ｘ、、Ｘ
３は閉鎮とする。この作動Ｖ“より回収吸着塔１４内の
吸、Ｓ荊は減圧再生されると共に、脱着さｔまたＮ２成
分は吸着塔３ａ内に吸着されて再回収される・二とにな
る、この作動の後１ｌＸ３．Ｒ塔３ａにおい゛〔は吸着
工程が開始され、第４図に示す工程順序に従って運転が
繰返される。
尚該回収吸着塔１４の再生力法は上記の例に限らず、別
に真空ポンプ及びガスホルダを回収吸着塔１４に直列接
続Ｉ・、該回収吸着塔１４を使用し２ｔいと蕗に減圧１
．てＮ２成分を脱着できる様Ｖ構成し、該ガスホルダど
吸る塔３ａ、３ｂ、３ｃを別の配管を経由して接続し、
吸１着Ｊ程のいゆ”ｉｔかの時点で吸着塔３ａ、３ｈ、
３ｅ側へ送給しＴも構わない。
に真空ポンプ及びガスホルダを回収吸着塔１４に直列接
続Ｉ・、該回収吸着塔１４を使用し２ｔいと蕗に減圧１
．てＮ２成分を脱着できる様Ｖ構成し、該ガスホルダど
吸る塔３ａ、３ｂ、３ｃを別の配管を経由して接続し、
吸１着Ｊ程のいゆ”ｉｔかの時点で吸着塔３ａ、３ｈ、
３ｅ側へ送給しＴも構わない。
またバイパス管１２と回収吸着塔配管１３の再生用ガス
導入￥１２２側の合流点の下流部に、排ガス貯留用のガ
スボルダを配設してお怨、バイパス管１２及び回収吸着
塔配管１３を夫々通過する排ガスを均圧化すると共に、
弁Ｚ７゜Ｚ８を介して逆流さねてくる可能性がある０
２ ／ Ｎ ２混合ガスを減圧して吸着塔３ａ、３）３
，３Ｃ側へ逆流しない様にすることが推奨される。
導入￥１２２側の合流点の下流部に、排ガス貯留用のガ
スボルダを配設してお怨、バイパス管１２及び回収吸着
塔配管１３を夫々通過する排ガスを均圧化すると共に、
弁Ｚ７゜Ｚ８を介して逆流さねてくる可能性がある０
２ ／ Ｎ ２混合ガスを減圧して吸着塔３ａ、３）３
，３Ｃ側へ逆流しない様にすることが推奨される。
（実験例）
第１図及び第３図に示した装置を使って下記の条件でＮ
２ガスの回収実験を行ない、Ｎ、ガス回収率の比較を行
なフた。
２ガスの回収実験を行ない、Ｎ、ガス回収率の比較を行
なフた。
前処理塔自行 ＝５０１！ｌＩｌ
前処理塔高さ ：１０００１１１ｍ
前処理塔着剤 ：合成、ゼオライｉ・１３Ｘ型及びシリ
カゲル 原料空気供給量：３２０ＯＮｕ／ｈ 原料空気供給ＵＥ：５．口ｋｇ／ｃ１１１２Ｇ吸看塔内
径 ：８ｏＩＩＩ１１１ 吸看塔高さ ：１０００ｍｍ 吸着塔吸着剤 二合成ゼオライト５Ａ型脱着圧カ
ニ１００Ｔｏｖｒ この実験によれば、第３図に示した従来装置では、回収
率は約２５％であったが、本発明装置では回収率を３６
％とすることかできた。尚両装置とも回収Ｎ２ガスの純
度は９９．９９％であった。
カゲル 原料空気供給量：３２０ＯＮｕ／ｈ 原料空気供給ＵＥ：５．口ｋｇ／ｃ１１１２Ｇ吸看塔内
径 ：８ｏＩＩＩ１１１ 吸看塔高さ ：１０００ｍｍ 吸着塔吸着剤 二合成ゼオライト５Ａ型脱着圧カ
ニ１００Ｔｏｖｒ この実験によれば、第３図に示した従来装置では、回収
率は約２５％であったが、本発明装置では回収率を３６
％とすることかできた。尚両装置とも回収Ｎ２ガスの純
度は９９．９９％であった。
［発明の効果］
本発明により回収目的成分濃度は高純度のままで、従来
装置に比較して製品ガスの回収重管向上できる様になっ
た。
装置に比較して製品ガスの回収重管向上できる様になっ
た。
第１図は本発明の代表的な実施例を示す概略説明図、第
２図（Δ） 、 （Ｂ） 、 （Ｃ）は本発明装置の作
動状態を示す説明図、第３図は従来の装置例を示す概略
説明図、第４図は第３図に示す吸着塔の工程を示す説明
図、第５図（ａ） 、 （ｂ）は洗浄工程及び回収工程
を示す説明図、第６図は前処理塔の工程を示す説明図で
ある。 ｌａ・・・加圧原料ガス導入管 ２ａ、２ｂ・・・前処
理塔３ａ、３ｂ、３ｃ・・・吸着塔 ４ａ・・・
排ガス廃棄管６・・・真空ポンプ ８・・・洗
浄用管９・・・圧縮機 ｌＯ・・・製品ガスホルダ １０ａ、１０ｂ、１０ｃ ・・・連結配管１２・・・バ
イパス管 １３・・・排ガスホルダ１４・・・
回収吸着塔 ２１・・・前処理済ガス導出管 ２２・・・再生用ガス導入管 第５図（ａ） 第６図 第５図（ｂ） 時間
２図（Δ） 、 （Ｂ） 、 （Ｃ）は本発明装置の作
動状態を示す説明図、第３図は従来の装置例を示す概略
説明図、第４図は第３図に示す吸着塔の工程を示す説明
図、第５図（ａ） 、 （ｂ）は洗浄工程及び回収工程
を示す説明図、第６図は前処理塔の工程を示す説明図で
ある。 ｌａ・・・加圧原料ガス導入管 ２ａ、２ｂ・・・前処
理塔３ａ、３ｂ、３ｃ・・・吸着塔 ４ａ・・・
排ガス廃棄管６・・・真空ポンプ ８・・・洗
浄用管９・・・圧縮機 ｌＯ・・・製品ガスホルダ １０ａ、１０ｂ、１０ｃ ・・・連結配管１２・・・バ
イパス管 １３・・・排ガスホルダ１４・・・
回収吸着塔 ２１・・・前処理済ガス導出管 ２２・・・再生用ガス導入管 第５図（ａ） 第６図 第５図（ｂ） 時間
Claims (1)
- 前処理塔に設ける前処理済ガス導出管と圧力スイング吸
着塔に設ける加圧原料ガス導入管を連結すると共に、前
記圧力スイング吸着塔に設ける排ガス廃棄管と前記前処
理塔に設ける再生用ガス導入管を連結してなる圧力スイ
ング吸着装置において、前記排ガス廃棄管と再生用ガス
導入管を連結する配管を２系統に分岐させ、さらに再合
流せしめる構成とし、前記圧力スイング吸着塔における
回収成分ガスを吸着する吸着剤を収納した回収吸着塔が
前記２系統のいずれか一方に設けられてなることを特徴
とする圧力スイング吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63157847A JPH026815A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 圧力スイング吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63157847A JPH026815A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 圧力スイング吸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026815A true JPH026815A (ja) | 1990-01-11 |
| JPH048086B2 JPH048086B2 (ja) | 1992-02-14 |
Family
ID=15658660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63157847A Granted JPH026815A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | 圧力スイング吸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH026815A (ja) |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP63157847A patent/JPH026815A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH048086B2 (ja) | 1992-02-14 |
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