JPH0264004A - 圧力スイング吸着式高純度窒素製造方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、空気から高純度の窒素（Ｎ２）を分離回収
するための圧力スイング吸着式高純度窒素製造方法およ
びその装置（以下単にＮ２−ＰＳＡｈ法および装置とい
う）に関するものである。

〔従来の技術〕 従来、例えば３塔式に構成したＮ２−ＰＳＡ装置として
は第３図に示すようなものが知られている。合成ゼオラ
イトを吸着材とする３つの吸着塔１１．１２．１３の入
口には、原料空気供給管路２の下流端が弁２１．２２．
２３を介して、また洗浄用ガス供給管路３の下流端が弁
３１．３２゜３３を介してそれぞれ接続されている。一
方、上記吸着塔１１．１２．１３の出口には、排ガス排
出管路４の上流端が弁４１，４２．４３を介してまた脱
着ガス回収管路５の上流端が弁５１，５２゜５３を介し
てそれぞれ接続されＣいる。上記原料空気供給管路２の
上流端と、排ガス排出管路４の下流端とは前処理部７に
接続され、また上記洗浄用ガス供給管路３の上流端と、
脱着ガス回収管路５の下流端とは製品Ｎ２ホルダー６に
接続されている。さらに３つの吸着塔１１．１２．１３
は連絡管路１４，１５．１６によって弁１４１，１５１
．１６１を介して互いに連絡されている。

上記前処理部７は、２つの前処理塔７１．７２と、空気
ホルダー７３とから構成され、上記２つの前処理塔７１
．７２は原料空気圧縮機１０と空気ホルダー７３との間
に並列に配置されている。

上記原料空気圧縮機１０と前処理塔７１．７２とは弁７
０１．７０２を介して、また前処理塔７１゜７２と空気
ホルダー７３とは弁７３１．７３２を介してそれぞれ接
続されている。また上記前処理塔７１．７２と排ガス排
出管路４とは弁７４１゜７４２を介して接続されている
。

上記前処理部７では、原料空気が原料空気圧縮ｉｉｏに
よって加圧され、この原料空気が前処理塔７１に通され
ることにより水分（Ｎ２０）と炭酸ガス（ＣＯ２）とが
吸着され、残りの主として酸素（０２）と窒素（Ｎ２）
との混合ガスである原料空気が上記空気ホルダー７３に
蓄えられる。

この空気ホルダー７３と原料空気供給管路２の上流端と
が接続され、上記原料空気は３つの弁２１゜２２．２３
の＃ｔｌｒｆｌ操作に：Ｊ：ｚ７３ツ（７）吸着塔１１
゜１２．１３に選択的に供給される。

３つの吸着塔１１．１２．１３では、第４図に示すよう
に昇圧、吸着工程と、回収工程と、休止工程と、洗浄工
程と、脱着工程とで構成される１サイクルが３つの吸着
塔１１．１２．１３で１／３ザイクルずつずらせて連続
運転され、各管路２゜３．４．５と吸着塔１１．１２．
１３とを互いに接続する弁が自動的に開閉操作されて製
品Ｎ２ホルダー６に脱着回収された高純度のＮ２ガスが
連続的に蓄えられるようにしている。

上記１サイクルを第３図および第４図に基づいて第１吸
着塔１１を中心にして説明する。まず前工程で減圧状態
となった第１吸着塔１１に空気ボルダ−７３から弁２０
．２１を介して原′Ｆ１空気が供給され、この原料空気
によって第１吸着塔１１内が昇圧される。そして上記原
料空気内のＮ２成分が上記第１吸着塔１１内の吸＠林に
優先的に吸着される（昇圧、吸着工程）。

つぎに、弁４１が開状態にされるとともに、第３吸着塔
１３から洗浄排ガスが連絡管路１６を通して第１吸着塔
１１に供給され、これにより上記洗浄排ガス中のＮ２成
分が第１吸着塔１１内の吸着材に吸着回収され、残りの
０２リツチガスからなる洗浄排ガスが排ガス排出管路４
を通して前処理塔７２に導かれる（回収工程）。

この洗浄排ガスによって前処理塔７１．７２に吸着され
たＨ２ＯとＣＯ２とが脱着され、この１」２０やＣＯ２
は弁７５１．７５２を介して大気に排出される。

これにより第１吸着塔１１での昇圧、吸着工程および回
収工程が終了する。これらの間、第２吸着塔１２では脱
着工程、第３吸着塔１３では休止工程および洗浄工程が
それぞれ行なわれている。

つぎに、第１吸着塔１１は第２吸着塔１２での昇圧、吸
着工程が終了するまで休止した後、第１吸着塔１１には
製品Ｎ２ホルダー６から洗浄用ガス供給管路３を通して
製品Ｎ２である高純度Ｎ２ガスが洗浄用ガスとして弁３
１の開操作によって導かれる。この洗浄用ガス中のＮ２
成分によって第１吸着塔１１内の吸着材に一部吸着され
ていた０２が置換脱着されるとともに、この洗浄排ガス
は連絡管路１４を通して第２吸着塔１２に送られる。こ
の連絡管路１４を通る洗浄排ガスのＮ２ａ度を検出し、
このＮ２濃度が所定の値になれば弁１４１が閉じられる
。これによって第１吸着塔１１内は高純度のＮ２成分ガ
スにより充満される（洗浄工程）。この間、第３吸着塔
１３では脱着工程が行なわれている。

この後、弁５１を開いて脱着ガス回収管路５に設けられ
た真空ポンプ５４を作動させることにより、第１吸着塔
１１内が減圧されて吸着材からＮ２成分が脱着されると
ともに、この脱着されたＮ２成分が製品Ｎ２ホルダー６
に回収される。この間、第２吸着塔１２では休止工程お
よび洗浄工程、第３吸着塔１３では昇圧、吸着工程およ
び回収工程がそれぞれ行なわれている。

そして第１吸着塔１１では、再び昇圧、吸着工程から上
記各工程が順次繰返され、他の吸着塔１２．１３も対応
する各工程が繰返される。これによって製品Ｎ２ホルダ
ー６には連続的に高純度のＮ２成分ガスが製品Ｎ２とし
て蓄えられる。

上記各工程の内、各吸着塔１１，１２．１３の回収工程
では洗浄排ガスが排ガスとして排ガス排出管路４を通し
て前処理塔７１．７２の一方に送られ、この排ガスによ
ってその前処理塔の再生が行われる。上記２つの前処理
塔７１．７２の内、一方が原料空気中のＨ２ＯおよびＣ
Ｏ２を吸着する吸着工程の間、他方は上記Ｈ２０および
ＣＯ２を脱着して再生させる再生工程が行われる。

例えば第１前処理塔７１が吸着工程の場合には弁７０１
と弁７３１とが開状態、弁７４１と弁７５１とが閉状態
にそれぞれ設定され、第２前処理塔７２では弁７０２と
弁７３２とが開状態、弁７４２と弁７５２とが開状態に
それぞれ設定されて再生工程が行われる。これらの弁は
自動開閉弁によって構成され、所定時間毎に互いに逆の
状態に自動的に切換えられ、これにより吸着工程にある
前処理塔内の吸着材が破過状態となる前に再生工程に切
換えられるようにされている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来のＮ２−ＰＳＡ方法および装置において、前処
理部７の２つの前処理塔７１．７２の切換えに際して、
例えば第１前処理塔７１が吸着工程にある場合、弁７４
１を挟んで第１前処理塔７１側の管路内には原料空気圧
縮１１０によって加圧された比較的高圧の原料空気、吸
着塔１１．１２．１３側の管路４内には比較的低圧の洗
浄排ガスがそれぞれ存在しているために、上記弁７４１
と弁７５１とを開作動すると、弁７５１を通して圧力が
扱けるわずかな時間に、弁７４１を通して原料空気が圧
力差により排ガス排出管路４内を逆流して吸着塔１１．
１２．１３内に入込むという問題がある。

これを防止するために上記排ガス排出管路４との接続部
である弁７４１，７４２を逆止弁によって構成すること
が考えられる。ところが、この場合においても原料空気
と洗浄排ガスとの圧力差が比較的大きいために再生工程
と吸着工程との切換え時に瞬間的に原料空気が排ガス排
出管路４内に漏れ、吸着塔１１，１２．１３に入るおそ
れがある。この漏れた原料空気は製品Ｎ２の純度を低下
させ、この純度低下に対する上記原料空気の影響は得よ
うとする製品Ｎ２の純度が高いほど大きくなる傾向にあ
り、製品Ｎ２の純度向上を阻害する原因となる。

この発明は、このような従来の問題を解決するためにな
されたものであり、排ガス排出管路を通して原料空気が
吸着塔内に逆流することを確実に防止して製品Ｎ２の純
度を向上させることができるＮ２−ＰＳＡ方法および装
置を提供することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、この発明の請求項１では前
処理部で水分などを吸着除去することにより原料空気を
前処理し、この前処理した原料空気を原料空気供給管路
によって吸着塔に供給してこの吸着塔で原料空気中の窒
素成分を吸着回収し、この吸着塔からの排ガスを排ガス
排出管路によって上記前処理部゛に通し、この排ガスに
よって前処理部の１２着再生を行う圧力スイング吸着式
高純度窒素製造方法において、上記前処理部は複数の前
処理塔によって構成され、複数の前処理塔の内の一部で
は吸着除去工程、他部では脱着再生工程がそれぞれ行わ
れるとともに、これらの工程は弁の開１Ｊ操作によって
互いに切換えられ、この切換えに伴い上記弁を介して排
ガス排出管路内に逆流する原料空気をこの排ガス排出管
路に設けた捕捉用ホルダーによって溜めるように構成し
た。

また請求項２では、請求項１の構成に加え、排ガス排出
管路の吸着塔側に回収用ホルダーを設け、この回収用ホ
ルダーに吸着塔から排出される排ガスの内のＮ２ｍ度の
比較的高い排ガスを溜め、この排ガスを吸着塔が脱着工
程終了後、昇圧、吸着工程の前にこの吸着塔に入れてＮ
２成分を吸着させるように構成した。

さらに上記製造方法を実施するための装置として、請求
項３では原料空気から水分などを吸着除去して前処理す
る複数の前処理塔と、この前処理塔によって前処理され
た原料空気からＮ２成分を吸着する吸着塔とを有し、前
処理塔と吸着塔とは、この吸着塔からの排ガスが前処理
塔へ送給可能に排ガス排出管路によって互いに接続され
るとともに、上記前処理塔からの原料空気が吸着塔へ供
給可能に原料空気供給管路によって互いに接続され、こ
れら２つの管路と前処理塔とは弁によってユいに切換え
可能に接続され、上記排ガス排出管路には前処理塔と１
記２つの管路との切換え時に上記排ガス排出管路内に流
入する原料空気を溜める捕捉用ホルダーが設けられてい
るように構成した。

請求項４では請求項３の構成に加え、排ガス排出管路に
その吸着塔側に回収用ホルダーと、この回収用ホルダー
をバイパスするバイパス管路とが設けられているように
構成した。

請求項５では請求項４における回収ホルダーに吸着材を
充填した。

（作用） 上記請求項１および請求項３の構成によれば、前処理塔
の切換えに際して弁から原料空気が漏れても、捕捉用ホ
ルダーに溜められるので、上記原料空気が排ガス排出管
路を通して吸着塔内に流入することはない。

また請求１１２および請求項４の構成によれば、排ガス
排出管路を通して前処理塔に供給される排ガスは通常は
バイパス管路に通され、回収工程の終わり頃に排ガス排
出管路に排出されるＮ２濃度の比較的高いり［ガスを回
収用ホルダーに溜め、このＮ２濃度の比較的高い排ガス
を脱着工程終了後で昇圧、吸着工程開始前の吸着塔に入
れて上記排ガスのＮ２成分を吸着材に吸着させることに
より、Ｎ２成分の回収率の向上をも図ることができる。

さらに請求項５の構成によれば回収用ホルダー内の吸着
材に排ガス中の例えばＮ２成分を吸着させ、この吸着さ
せたＮ２成分を吸着塔に入れることによりＮ２成分の回
収率を効率よく向上させることができる。

〔実施例〕

第１図はこの発明の製造方法を実施するためのＮ２−Ｐ
ＳＡ装置を示している。この装置は第３図に示す従来の
Ｎ２−ＰＳＡ装置における吸着塔１１．１２．１３、こ
れらの吸着塔１１．１２゜１３に接続された各管路２，
３，４，５、および前処理部７などの構成と基本的には
同様の構成を有し、その排ガス排出管路４に捕捉用ホル
ダー８と、吸着材９１として合成ゼオライトが充填され
た回収用ホルダー９と、バイパス管路４ａとが付設され
たものである。

すなわち上記排ガス排出管路４にはその前処理塔７１．
７２側に捕捉用ホルダー８、吸着塔１１゜１２．１３側
に回収用ホルダー９がそれぞれ設けられ、この回収用ホ
ルダー９をバイパスするバイパス管路４ａが設けられて
いる。このバイパス管路４ａは上記回収用ホルダー９の
大口弁４４の上流側と出口弁４５の下流側との間に接続
され、このバイパス管路４ａには開閉弁４６が設けられ
ている。また排ガス排出管路４と前処理塔７１．７２と
を接続する弁７６１．７６２は逆止弁によって構成され
ている。

上記構成のＮ２−ＰＳＡＩ置の運転方法も第２図に示す
ように昇圧、吸着工程、回収工程、休止工程、洗浄工程
および脱着工程によって１サイクルが構成される点は従
来の運転方法と基本的に同じであるが、上記背圧、吸着
工程と回収工程とにおいて吸着塔１１．１２．１３と前
処理部７とのガスの受渡しが従来方法と異なっている。

このＮ２−ＰＳＡ装置の運転方法について排ガス排出管
路４を中心にして第１図および第２図に基づいて第１吸
着塔１１の回収工程の開始時点から説明する。なお、上
記時点では前処理部７では第１前処理塔７１が吸着工程
、第２前処理塔７２が再生工程にあるものとして説明す
る。

第１吸者塔１１の回収工程は、洗浄工程にある第３吸着
塔１３からの洗浄排ガスが連絡管路１６を通して第１吸
着塔１１に導入され、この洗浄排ガス中のＮ２成分が第
１吸着塔１１内の吸着材に吸着回収され、残りの洗浄排
ガスが排ガス排出管路４を通して前処理塔７２に送られ
る。

この際、排ガス排出管路４では弁４１および弁４６が開
状態、弁４２、弁４３、弁４４および弁４５が閉状態に
それぞれ設定されている。したがって上記洗浄排ガスは
バイパス管路４ａを通して前処理塔７２に送られる。

上記洗浄排ガスは、回収工程の進行にしたがってその中
のＮ２成分の回収が行なわれなくなり、そのＮ２濃度は
徐々に洗浄用ガスである製品Ｎ２のＮ２濃度に近付いて
Ｎ２濃度の比較的高いガスとなる。このため上記回収工
程の終わり頃（例えば回収工程の４　Ｑ　ＳｅＣ経過時
）からこの回収工程の終了時までの間には、バイパス管
路４ａの弁４６を閉状態にするとともに、弁４４と弁４
５とをｍ状態にし、これにより上記Ｎ２濃度の比較的高
い洗浄排ガスを回収用ホルダー９内に導き、回収用ホル
ダー９内の吸着材９１に上記洗浄排ガス中のＮ２成分を
吸着させる。

上記回収工程の終了後、弁４６をｍ状態、弁４４を開状
態にそれぞれ保ったまま、所定時間（例えば１〜２　ｓ
ｅｃ間）だけ弁４１と弁４５とをｍ状態にするとともに
、弁４２を開状態にする。これにより脱着工程が終わっ
て内部が減圧状態となった第２吸着塔１２と、回収用ホ
ルダー９とを連通させる。この結果、回収用ホルダー９
の内部が減圧されて吸着材９１からＮ２成分が脱着され
、この脱着ガスが第２吸着塔１２内に入り、この第２吸
着塔１２は上記脱着ガスによってこの分だけ昇圧される
とともに、そのＮ２成分が第２吸着塔１２の吸着材に吸
着される。

これによって、従来、前処理部７を通して大気中に廃棄
していた洗浄排ガスからＮ２成分を有効に回収すること
ができるので、￥Ｒ置に取入れる原料空気からのＮ２成
分の回収率を向上することができる。

この後、弁４２と弁４４とをｍ状態にすることにより、
第２吸着塔には原料空気供給管路２を通して従来方法と
同様に原料空気が供給され、この原石空気によって第２
吸着塔１２内が背圧されるとともに、この原料空気中の
Ｎ２成分が吸着される。

そしてこの第２吸着塔１２の昇任、吸着工程が終了して
回収工程開始時点で弁４２と弁４６とを開状態にする。

これにより第２吸着塔１２からの洗浄排ガスは、第１吸
着塔１１の回収工程と同様に、バイパス管路４ａを通し
て第２前処理塔７２に送られる。そしてこの第２吸着塔
１２の回収工程の終わり頃に、弁４６をｍ状態にすると
ともに、弁４４と弁４５とを開状態にしてＮ２１濃度が
比較的高くなった洗浄排ガスを回収用ホルダー９内に通
し、そのＮ２成分を吸着材９１に吸着させる。

そして、第２吸着塔１２の回収工程終了後、上記回収用
ホルダー９と、脱着工程の終了した第３吸着塔１３とを
連通させることにより、上記回収用ホルダー９内の＠肴
材９１からＮ２成分を脱着させるとともに、この脱着ガ
スを第３吸着塔１３に入れる。

以後、同様に第３吸着塔１３の回収工程の終わり頃に排
出される洗浄排ガスを回収用ホルダー９に通し、この洗
浄排ガス中のＮ２成分を吸着回収してこのＮ２成分を第
１吸看塔１１の昇圧、吸着工程の開始前に第１吸着塔１
１に入れる。

一方、前処理部７において吸着工程にある第１前処理塔
７１内の吸着材が破過状態となる前に、第１前処理塔７
１側では弁７３１と弁７０１とがｍ状態、弁７５１が開
状態にそれぞれ作動され、第２前処理塔７２側では弁７
３２と弁７０２とが開状態、弁７５２がｍ状態にそれぞ
れ作動され、これにより第１前処理塔７１が吸着工程か
ら再生工程、第２前処理塔７２が再生工程から吸着工程
にそれぞれ切換えられる。

この切換えの際に、弁７６１．７６２を通して瞬間的に
加圧下の原料空気が漏れ、この漏れた原料空気（以下リ
ーク原料空気という）が圧力差により排ガス排出管路４
を逆流しても、このリーク原料空気は捕捉用ホルダー８
に溜められて捕捉されるために、上記リーク原料空気が
吸着塔１１゜１２．１３内に流入することはない。これ
により製品Ｎ２の純度低下を防止することができ、従来
よりも製品Ｎ２ＯＮ２純度を向上させることができる。

なお上記実施例においては、回収用ホルダー９内に吸着
材９１が充填されている場合を示したが、これに限らず
、例えば吸着材９１が充填されていなくてもよい。この
場合には、回収工程の終わり頃に排出されるＮ２濃度の
比較的高い洗浄排ガスを弁４５をｍ状態にして回収用ホ
ルダー９内に溜め、この溜めた洗浄排ガスを脱着工程終
了後の吸着塔に導入すればよい。

また上記実施例においては、排ガス排出管路４に捕捉用
ホルダー８と回収用ホルダー９とを併置した場合を示し
たが、これに限らず、例えば排ガス排出管路に捕捉用ホ
ルダー８のみを設けてＮ２−ＰＳＡＩｆｉを構成しても
よい。この場合においても、前処理塔７１．７２の工程
の切換えに伴う原料空気の吸着塔１１．１２．１３への
逆流を確実に防止することができ、これにより製品Ｎ２
の純度の向上を図ることができる。

〔具体例〕

第１図に示すＮ２−ＰＳＡ装置を用いた上記実施例の方
法と、第３図に示すＮ２−ＰＳＡ装置を用いた従来の方
法とにより、原料空気１６ＯＮｄ／ｈ、圧力４．０に９
／ａｉ、の原料空気を前処理塔に供給し、３分間毎に前
処理塔の吸着工程と再生工程とを切換え、２ＯＮｙｊ／
ｈの製品Ｎ２を取出すようにそれぞれ運転した。

この結果、従来の方法による場合には製品Ｎ２の純度は
９９．９５％であったのに対して、この発明による場合
にはＮ２純度として９９．９９９％まで向上させること
ができた。

〔発明の効果〕

この発明の請求項１および請求項３のＮ２−ＰＳＡ方法
および装置によれば、前処理塔の切換えに際して弁から
原料空気が漏れても、捕捉用ホルダーに溜められるので
、上記原料空気が排ガス排出管路を通して吸着塔内に逆
流することはない。

これにより製品Ｎ２の純度を向上させることができる。

また請求項２および請求項４の方法および装置によれば
、回収工程の終わり頃に排ガス刊出管路に排出されるＮ
２濃度の比較的高い排ガスを回収用ホルダーに溜め、こ
のＮ２１度の比較的高い排ガスを脱着工程終了後で昇圧
、吸着工程開始前の吸着塔に入れて上記排ガスのＮ２成
分を吸着材に吸着させることにより、上記請求項１およ
び請求項３における製品Ｎ２の純度向上という効果に加
えて、Ｎ２成分の回収率の向上をも図ることができる。

さらに請求項５の構成によれば回収用ホルダー内の吸着
材に排ガス中の例えばＮ２成分を吸着させ、この吸着さ
せたＮ２成分を吸着塔に入れることによりＮ２成分の回
収率を効率よく向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係るＮ２−ＰＳＡ装置の実施例の説
明図、第２図は第１図の装置を用いた高純度Ｎ２の製造
方法の工程説明図、第３図は従来のＮ２−ＰＳＡ装置の
説明図、第４図は従来のＮ２−ＰＳＡ装置を用いた高純
度Ｎ２の製造方法の工程説明図である。 ２・・・原料空気供給管路、３・・・洗浄用ガス供給管
路、４・・・排ガス排出管路、５・・・脱着ガス回収管
路、６・・・製品Ｎ２ホルダー　７・・・前処理部、８
・・・捕捉用ホルダー、９・・・回収用ホルダー　１１
．１２゜１３・・・吸着塔、７１．７２・・・前処理塔
、７６１゜７６２・・・前処理塔と排ガス排出管路とを
接続する弁。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、前処理部で水分などを吸着除去することにより原料
   空気を前処理し、この前処理した原料空気を原料空気供
   給管路によって吸着塔に供給してこの吸着塔で原料空気
   中の窒素成分を吸着回収し、この吸着塔からの排ガスを
   排ガス排出管路によって上記前処理部に通し、この排ガ
   スによって前処理部の脱着再生を行う圧力スイング吸着
   式高純度窒素製造方法において、上記前処理部は複数の
   前処理塔によって構成され、複数の前処理塔の内の一部
   では吸着除去工程、他部では脱着再生工程がそれぞれ行
   われるとともに、これらの工程は弁の開閉操作によって
   互いに切換えられ、この切換えに伴い上記弁を介して排
   ガス排出管路内に逆流する原料空気をこの排ガス排出管
   路に設けた捕捉用ホルダーによって溜めるようにしたこ
   とを特徴とする圧力スイング吸着式高純度窒素製造方法
   。 ２、排ガス排出管路の吸着塔側に回収用ホルダーを設け
   、この回収用ホルダーに吸着塔から排出される排ガスの
   内のＮ＿２濃度の比較的高い排ガスを溜め、この排ガス
   を吸着塔が脱着工程終了後、昇圧、吸着工程の前にこの
   吸着塔に入れてＮ＿２成分を吸着させるようにしたこと
   を特徴とする請求項１記載の圧力スイング吸着式高純度
   窒素製造方法。 ３、原料空気から水分などを吸着除去して前処理する複
   数の前処理塔と、この前処理塔によって前処理された原
   料空気からＮ＿２成分を吸着する吸着塔とを有し、前処
   理塔と吸着塔とは、この吸着塔からの排ガスが前処理塔
   へ送給可能に排ガス排出管路によって互いに接続される
   とともに、上記前処理塔からの原料空気が吸着塔へ供給
   可能に原料空気供給管路によって互いに接続され、これ
   ら２つの管路と前処理塔とは弁によって互いに切換え可
   能に接続され、上記排ガス排出管路には前処理塔と上記
   ２つの管路との切換え時に上記排ガス排出管路内に流入
   する原料空気を溜める捕捉用ホルダーが設けられている
   ことを特徴とする圧力スイング吸着式高純度窒素製造装
   置。 ４、排ガス排出管路にその吸着塔側に回収用ホルダーと
   、この回収用ホルダーをバイパスするバイパス管路とが
   設けられていることを特徴とする請求項３記載の圧力ス
   イング吸着式高純度窒素製造装置。 ５、回収用ホルダーには吸着材が充填されていることを
   特徴とする請求項４記載の圧力スイング吸着式高純度窒
   素製造装置。