JPH0265967A - 砥面修正用プレート及び砥面修正方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は平面研磨機の砥石面の平行度、平坦度及び目詰
まりを修正し、平坦で均一な面を得る為の砥面修正用プ
レート及び砥面修正方法に関する。

（従来の技術） 太Ｗｉ！Ｉ歯車、内歯歯車及び両歯車と噛み合って自転
及び公転するキャリヤ歯車（遊星歯車）からなる遊星歯
車機構の両面研磨機に配設された固型砥石は、研磨作用
を重ねるに従い、目詰まりの発生や砥石面の寸法精度、
例えば平行度、平坦度に微妙な狂いが生じて（るため、
適宜な頻度で砥面修正のためのドレッシングを行なう必
要がある。

砥面のドレッシングは一般的には、キャリヤ歯車を砥面
修正用キャリヤー（ドレレサー）に交換して行なわれ、
砥面修正用キャリヤーは、通常交換前のキャリヤ歯車と
類似の形状を有し、飼えば第２図に示す如きドレッサー
を用いて行なわれる。

即ち、該ドレッサーは、内歯歯車及び太Ｉｉｌ！ｌ歯車
と噛み合う歯車（４１）（図面において歯は一部のみ刻
設されているが、実際は全周に渡っている。以下述べる
歯車についても同様である。）が外縁部に刻設され、内
側には定盤と平行な面を形成するように複数のペレット
（８）が配設されている。ペレット（８）は一般的には
ダイヤモンドの微細粉末を金属で固定した、所謂メタル
ボンドダイヤ砥石が使われている。

上記の如きドレッサーは、寸法安定性に優れている必要
があり、例えば比較的厚手の鋳鉄製プレートが素材とし
て使われることが多い。このため重く、プレートの着脱
が容易でなく、取扱いが困難で作業に長時間を要し、生
産性を低下させるという問題点があった。また、ペレッ
ト状のメタルボンド砥石を多数配設したドレッサーを使
用すると、ドレッシング後に各ペレットの条痕が砥石面
上に残るという欠点があった。

（発明が解決しようとする課題） 本発明は、と記問題点に鑑みなされたものであって、そ
の目的とするところは、両面研磨機の砥石面のドレッシ
ングにおいて、砥石面に特有の条痕を残すことなく目詰
まりがな（、平坦度、平行度に優れ、且つ作業性、安全
性がよく、更に作業者の肉体的疲労を軽減しつる砥面修
正用プレート及び砥面修正方法を提供するにある。

（課題を解決するための手段） 上述の目的は両面研磨機のキャリヤ歯車の両面に貫通す
る被研磨体把持孔に把持され、砥石面を平坦に修正する
砥面修正用プレートであって、平坦度と平行度に優れた
金属板の少なくとも一面にダイヤモンドの微細粉末を単
層状に配役固着してなる砥面修正用プレート並びに両面
研磨機のキャリヤ歯車の被研磨体把持孔に、平坦度と平
行度に優れた金属板の少なくとも一面にダイヤモンドの
微細粉末を単層状に配設固着した砥面修正用プレートを
把持し、上定盤又は下定盤に配設された砥石面を研磨す
る砥面修正方法にて達成される。

上記ダイヤモンドの微細粉末は、その粒径を揃えたもの
である事が好適であり、且つその平均粒径は好ましくは
１００μｍ以下で、更に好ましくは５０μｍ程度である
。本発明に於いて、ダイヤモンド微細粉末（以下、ダイ
ヤ微粉と記す）をプレート面に固着するには、擦過によ
って脱落することのない適宜な方法で行えばよいが、例
えば後述の如き電着法が好ましく用いられる。

電着法によるダイヤ微粉の固着は、例えば金属板上にク
ロム等の硬質金属を鍍金せしめ、該メツキ層をバインダ
ーとしてダイヤ微粉を単層上に半ば埋め込む様な形で固
着するものであり、強固な硬質金属を介してダイヤ微粉
を単層で固着せしめるため、砥面修正作業の際、脱落す
ることなくドレッサーとしての効果を永続的に発揮しう
るものである。かかる固着の強さは、ダイヤ微粉を単層
上に固設せしめることにより得られるのであって、複層
状又は団塊状では、一部脱落の可能性があり、更に平坦
な面の形成ができない。

上述の砥面修正用プレートは、それ自体の平坦度も良好
なものが好ましく、基板として平坦度が０、１μｔ／ｍ
ｔｐｓ以下のものが好適である。又、基板の材質は少な
くともその表面が鉄、アルミニウム。

ステンレス等の金属である必要がある。

本発明の砥面修正用プレートの形状は、特に限定される
ものでなく、キャリヤ歯車に穿孔された把持孔に嵌合す
る形状で且つキャリヤ歯車より若干厚手のものであれば
よい。又、ダイヤ微粉の固着は両面でも片面でもよく、
更に固着場所は平面部全体でも、部分でもよい。ダイヤ
微粉を全面でなく部分的に固着することにより、高価な
ダイヤ微粉の使用量を減らすと共に、ドレッシング時の
摩擦抵抗を減少することができる。その一実施態様を第
３図〜第５図に示す。例えば第５図はダイヤ微粉を円環
状に固着せしめたもので、第４図は扇形状に固着せしめ
たものであり、更に第６図はドツト状に固着せしめたも
のである。第４図および第５図の如き形状でダイヤ微粉
を固設したものはドレッシングに伴う砥石の細片、屑等
が外へ円滑に排出され、目詰まりを防止する効果を有し
好ましい。就中、第５図のものが、より好ましいもので
ある。又、第３図の如き円環状にダイヤ微粉を固設せし
めたものは、砥石面にドレッシングの条痕を残さず仕上
りが良好である。以下、図面によって本発明を詳述する
。

第１図は本発明に係る砥面修正用プレートが適用される
両面研磨機の研磨部を示す平面説明図である。下定盤（
１）には砥石セグメント（７）が形設され、また上定盤
（図示せず）が該下定盤（１）と相対峙する形で砥石が
配設されている。上下両定盤の外周紀 部には内歯歯車（２）が新設され、更に中心部には太陽
歯車（３）が配設されている。ここにおいて、下定盤（
１）、上定盤（図示せずン、内歯歯車（２）及び太陽歯
車（３）は各々独立して任意の方向及び速度で回転が可
能な構造を何する。キャリヤ歯車（４）は、内歯歯車（
２）及び太陽歯車（３）と噛み合って自転及び公転をし
、更に内部にその両面に貫通しワーク（被研磨体）（５
）を保持するための把持孔（６）が穿孔されている。把
持孔はワークの形状とほぼ同じで若干大きめに穿孔され
、その形状は円形、方形等様々のものがあり特に限定さ
れるものではない。また、その位置は各キャリヤ歯車の
把持孔が１個の場合はやや偏心させて穿孔するのが一般
的である。

ワーク（５）の研磨に際しては、キャリヤ歯車（４）を
本例では２個、各キャリヤ歯車同志が交錯しないような
位置となるよう下定盤（１）上に載置嵌合し、ワーク（
５）を把持孔（６）に嵌入し、その上にと定盤を装着す
る。上下両定盤と内歯歯車（２）及び太陽歯車（３）は
予め設定された方向及び速度で回転し、キャリヤ歯車（
４）は上定盤と下定盤（１）の間を自転及び公転せしめ
る。回転に伴いワーク（５）は砥石（７）によって研磨
される。尚、場合によっては下定盤（１）は静止状態に
してもよい。

本発明の砥面修正用プレートは、上述の如き両面研磨機
において、ワーク（５）の代りにキャリヤ歯車（４）の
把持孔（６）に把持され、研磨作業と同様の運転をする
ことにより、上定盤又は、下定盤（１）に形設された砥
石（７）面を研磨し、砥面の平坦度を修正するものであ
る。

（発明の効果） 本発明の砥面修正用プレートを用いると、砥石面に特有
の条痕を残すことなく、砥面の目詰まりを除去すると共
に、平坦度、平行度に優れた砥面の修正ができる。又、
本発明の砥面修正方法によれば、砥面のドレッシングの
際、ワークを取り外した後、本発明の軽量の砥面修正用
プレートをキャリヤ歯車の把持孔に把持させればよく、
重いドレッサーをキャリヤ歯車と交換するといった着脱
作業を省略することができ、作業者に対する肉体的疲労
を軽減させるのみならず、取扱いとのミスによる砥石面
の損傷等を未然に防ぐことができ、更に砥面のドレッシ
ングにおける作業時間を短縮することが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に適用される両面研磨機の上定盤を除
いた研磨部を示す説明図、第２図は、ドレッサーの説明
図である。第５図、第４図及び第５図は、本発明に係る
砥面修正用プレートの実施態様の一例を示す説明図であ
る。 （１）・・・下定盤　　　　　　（２）・・・内歯歯車
（３）・・・太陽歯車　　　　　（４）・・・キャリヤ
歯車（５）・・・ワーク（砥面修正用プレート）（６）
・・・把持孔　　　　　　（７）・・・砥石（８）・・
・ペレット　　　　　（９）・・・ダイヤ微粉固設部（
４１）・・・歯車 第１図 第２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）両面研磨機のキャリヤ歯車の両面に貫通する被研
   磨体把持孔に把持され、砥石面を平坦に修正する砥面修
   正用プレートであって、平坦度と平行度に優れた金属板
   の少なくとも一面にダイヤモンドの微細粉末を単層状に
   配設固着してなる砥面修正用プレート。
2. （２）両面研磨機のキャリヤ歯車の被研磨体把持孔に、
   平坦度と平行度に優れた金属板の少なくとも一面にダイ
   ヤモンドの微細粉末を単層上に配設固着した砥面修正用
   プレートを把持し、上定盤又は下定盤に配設された砥石
   面を研磨することを特徴とする砥面修正方法。