JPH0259271A - スライシングマシン用切断工具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えばシリコンインゴットを所定の厚みのシ
リコンウェハにスライスするためのスライシングマシン
用切断工具の改良に関する。

（従来の技術） 一般に、このようなスライシングマシン用切断工具は、
回転支持体に支持されるディスク状のブレードと、該ブ
レードの内周縁部もしくは外周縁部に設けられた切刃と
でもって構成されている。

そして、上記切刃は、通常、例えばダイヤモンド砥粒等
の超硬質砥粒を電着することにより形成されている。

（発明が解決しようとする課題） ところが、上述の如く切断工具の切刃は、超硬質砥粒に
て形成されていることから、ワーク切断時に発生する切
粉が上記超硬質砥粒の隙間に侵入して目詰まりし易くな
る。このような目詰まりが切刃の反ワーク側切刃部で起
こると、該反ワーク側切刃部の切れ味が悪くなり、この
ため、切断されたスライス品がブレード側に反って、切
断時に供給されるクーラントによりブレードに水密着す
るという現象が起こる。

そして、このように上記切断されたスライス品がブレー
ド側に反ってブレードに水密着すると、該ブレードは回
転していることからスライス品に遠心力が作用し、該ス
ライス品がブレードを支持する回転支持体に衝突して砕
けるおそれがある。

また、ワーク切断後に切断工具が退避する際、切刃との
接触によってスライス品にソーマークが付くおそれもあ
る。さらには、ブレードとスライス品との接触による摩
擦熱によってブレードが熱劣化するおそれもある。

そこで、上述の如き切刃の目詰まり現象を解消するため
に、例えば特開昭５０−１５３３８８号公報に開示され
ているように、切刃に多数の貫通孔を形成することによ
り、ワーク切断時に発生する切粉を上記各貫通孔から逃
がして切刃の目詰まりを少なくし、切断能率および切断
精度の向上を図るようにした切断工具が提案されている
。

しかし、このように、切刃に多数の貫通孔を形成する場
合には、貫通孔の数が多くなり過ぎると強度的に弱くな
る等の不具合が生ずることから、実際にはその数には自
ずと制限があり、切刃の目詰まりを十分に解消すること
ができない。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、その目
的とするところは、ワーク切断時にスライス品をブレー
ドから離れる方向に反らせるよう切刃に適切な手段を講
することにより、スライス品のプレー、ドへの水密着に
よる損傷およびブレードの熱劣化等を確実に防止せんと
することにある。

（課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本発明の解決手段は、回転
支持体に支持されるディスク状のブレードと、該ブレー
ドの内周縁部もしくは外周縁部に設けられ、ワークを所
定の厚みにスライスする超硬質砥粒にて構成された切刃
とからなるスライシングマシン用切断工具を対象とし、
この場合、上記切刃の反ワーク側切刃部の砥粒の平均粒
径をワーク側切刃部のそれよりも大きく設定するように
する。

（作用） 上記の構成により、本発明では、切刃は、反ワーク側切
刃部の超硬質砥粒の平均粒径がワーク側切刃部のそれよ
りも大きく設定されていることから、上記反ワーク側切
刃部の砥粒の隙間がワーク側切刃部のそれよりも大きく
なって、反ワーク側切刃部のワーク切断時における切粉
の排出がスムーズになされて目詰まりすることがなく、
これにより切断されたスライス品のブレード側への反り
が回避され、該スライス品のブレードに水密着すること
による損傷およびブレードの熱劣化等が確実に防止され
ることとなる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第４図は本発明の実施例に係るスライシングマシン用切
断工具１を備えたスライシングマシンＡを概略的に示し
、本実施例では、ワークとしてのシリコンインゴットＷ
からスライス品としてのシリコンウェハＷ＝　（第３図
に表われる）を薄く切り出す場合を示す。

第４図中、２は図示しない基台に昇降可能に支持された
主軸であって、該主軸２の先端には、回転支持体として
の円形皿状のテンションディスク３が回転一体に取り付
けられている。該テンションディスク３の外周端部には
、第２図に示すように、中央部が開口され円形の薄板か
らなる厚さ約０．１８ｍｍのディスク状のブレード４が
上記テンションディスク３開口部を覆うように緊張状態
で取り付けられて支持され、該ブレード４の内周縁部に
は、上記シリコンインゴットＷを所定の厚みに（例えば
０．８ｍｍ）にスライスする超硬質砥粒としてのダイヤ
モンド砥粒５，５．・・・にて構成された厚さ約０．３
８關、幅約３ｍｒａの切刃６が一体的に電着により取り
付けられて形成されている。

そして、上記ブレード４と切刃６とでもって本発明の実
施例に係る切断工具１が構成されている。

また、本発明の特徴として、上記切断工具１の切刃６は
、第１図に拡大詳示するように、反ワーク側（図で左側
つまり切り出されるシリコンウェハＷ′側）切刃部６ａ
の各ダイヤモンド砥粒５の平均粒径が、その反対側であ
るワーク側（図で右側）切刃部６ｂのそれよりも大きく
設定されている。例えば上記反ワーク側切刃部６ａの各
ダイヤモンド砥粒５の平均粒径が５０μｍに、ワーク側
切刃部６ｂのそれが４０μｍにそれぞれ異なる粗さに形
成されている。このように、上記切刃６の各ダイヤモン
ド砥粒５の粗さを反ワーク側切刃部６ａとワーク側切刃
部６ｂとで異なるように形成する要領は、まず、ブレー
ド４の一方の全面をマスキングし、かつ他方の面をその
内周縁部を除いてマスキングする。次いで、粒子の粗い
ダイヤモンド砥粒５，５．・・・が混入されたニッケル
メッキ溶液中に上記マスキングされたブレード４を漬け
て電着し、上記非マスキング部分に反ワーク側切刃部６
ａを形成する。その後、この反ワーク側切刃部６ａが形
成された部分をマスキングし、かつ反対面側の内周縁部
を露出させる。しかる後、このブレード４を粒子の細い
ダイヤモンド砥粒５゜５、・・・が混入されたニッケル
メッキ溶液中に漬けて電着し、上記非マスキング部分に
ワーク側切刃部６ｂを形成するようにする。

このように構成された切断工具１を主軸２の駆動により
回転させつつ下降させることにより、第４図に示すよう
に、ワーク送り用モータ７の駆動によって加工位置にね
じ送りされたシリコンインゴットＷを所定の厚みにスラ
イスしてシリコンウェハＷ′を切り出す。

この際、上記切刃６の反ワーク側切刃部６ａの各ダイヤ
モンド砥粒５の平均粒径をワーク側切刃部６ｂのそれよ
りも大きく設定していることから、上記反ワーク側切刃
部６ａの各ダイヤモンド砥粒５の隙間はワーク側切刃部
６ｂのそれよりも大きくなっていて、反ワーク側切刃部
６ａのシリコンインゴットＷ切断時における切粉の排出
をスムーズになし得て目詰まりすることがなく、これに
より第３図に示すように、切断されるシリコンウェハＷ
′のブレード４側への反りを回避せしめて、該シリコン
ウェハＷ−のブレード４に水密着することによる損傷お
よびブレード４の熱劣化等を確実に防止することができ
る。

なお、上記実施例では、切刃６をブレード４の内周縁部
に形成した場合を示したが、これに限らず、例えばブレ
ード４の外周縁部に形成する場合にも適用可能なことは
勿論である。

（発明の効果） 以上説明したように、本発明によれば、回転支持体に支
持されるディスク状のブレードの内周縁部もしくは外周
縁部に、ワークを所定の厚みにスライスする超硬質砥粒
にて構成された切刃が設けられたスライシングマシン用
切断工具の上記切刃の反ワーク側切刃部の砥粒の平均粒
径をワーク側切刃部のそれよりも大きく設定したので、
切刃の反ワーク側切刃部における切粉の目詰まりを解消
し得、これによりワーク切断時にスライス品をブレード
から離れる方向に反らせて、スライス品のブレードへの
水密着による損傷およびブレードの熱劣化等を確実に防
止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係るスライシングマシン用切
断工具の切刃部分の拡大断面図、第２図は切断工具の全
体図、第３図はシリコンインゴットから切り出されるシ
リコンウェハの反り状態を示す説明図、第４図はスライ
シングマシンの概略構成図である。 １・・・切断工具、３・・・テンションディスク（回転
支持体）、４・・・ブレード、５・・・ダイヤモンド砥
粒（超硬質砥粒）、６・・・切刃、６ａ・・・反ワーク
側切刃部、６ｂ・・・ワーク側切刃部、Ｗ・・・シリコ
ンインゴット（ワーク）。 代 理 人 前 田 弘（他２名）ニー゛

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）回転支持体に支持されるディスク状のブレードと
   、該ブレードの内周縁部もしくは外周縁部に設けられ、
   ワークを所定の厚みにスライスする超硬質砥粒にて構成
   された切刃とからなるスライシングマシン用切断工具で
   あって、上記切刃は、反ワーク側切刃部の砥粒の平均粒
   径がワーク側切刃部のそれよりも大きく設定されている
   ことを特徴とするスライシングマシン用切断工具。