JPH0257992A - 磁気抵抗素子及びその搭載構造 - Google Patents
磁気抵抗素子及びその搭載構造Info
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- JPH0257992A JPH0257992A JP63208441A JP20844188A JPH0257992A JP H0257992 A JPH0257992 A JP H0257992A JP 63208441 A JP63208441 A JP 63208441A JP 20844188 A JP20844188 A JP 20844188A JP H0257992 A JPH0257992 A JP H0257992A
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- magnetoresistive element
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- thin film
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
磁気インク印刷パターンを認識するための装置に用いら
れる磁気抵抗素子及びその搭載構造に関し、 磁気インク印刷パターン認識率の向上を目的とし、 ガラス又はSt基板上に磁性薄膜パターンを形成した磁
気抵抗素子において、外部回路を接続するパッドをエツ
チングにより基板に形成した凹部に設けるように構成す
る。
れる磁気抵抗素子及びその搭載構造に関し、 磁気インク印刷パターン認識率の向上を目的とし、 ガラス又はSt基板上に磁性薄膜パターンを形成した磁
気抵抗素子において、外部回路を接続するパッドをエツ
チングにより基板に形成した凹部に設けるように構成す
る。
本発明は磁気インク印刷パターンを認識するための装置
に用いられる磁気抵抗素子及びその搭載構造に関する。
に用いられる磁気抵抗素子及びその搭載構造に関する。
磁気インクにより印刷されたパターンを認識するための
磁気インク印刷パターン認識センサには従来1nSなど
の半導体磁気抵抗素子が用いられていたが、最近ではよ
り小型で量産性のある強磁性薄膜磁気抵抗素子を用いた
センサが開発されている。
磁気インク印刷パターン認識センサには従来1nSなど
の半導体磁気抵抗素子が用いられていたが、最近ではよ
り小型で量産性のある強磁性薄膜磁気抵抗素子を用いた
センサが開発されている。
第5図は従来の強磁性薄膜を用いた磁気抵抗素子を示す
図である。これはSt等の基板1の上にNiFe合金の
帯状の薄膜パターン(厚さ500〜1000人、幅10
0〜200声) 2と、この磁性薄膜パターンの長手
方向に対して傾きをもって形成された多数のAu電極パ
ターン(厚さ2000〜6000人)3よ・り構成され
た、いわゆるバーバーポール型である。
図である。これはSt等の基板1の上にNiFe合金の
帯状の薄膜パターン(厚さ500〜1000人、幅10
0〜200声) 2と、この磁性薄膜パターンの長手
方向に対して傾きをもって形成された多数のAu電極パ
ターン(厚さ2000〜6000人)3よ・り構成され
た、いわゆるバーバーポール型である。
このような磁気抵抗素子を用いた磁気インク印刷パター
ン認識センサは第6図に示すように磁気インク印刷パタ
ーン4から出る磁束により電気抵抗が変化する。この抵
抗変化を検出することにより磁気インク印刷パターンを
認識することができる。
ン認識センサは第6図に示すように磁気インク印刷パタ
ーン4から出る磁束により電気抵抗が変化する。この抵
抗変化を検出することにより磁気インク印刷パターンを
認識することができる。
上記従来の磁気インク印刷パターン認識センサは、その
検出感度を高めるためには磁気インク印刷パターンに磁
気抵抗素子を近ずける必要があるが第6図に示すように
、外部回路に接続するパッド5を端子6に接続している
ボンディングワイヤ7が磁性薄膜パターン2よりも高く
なっているため、磁気インク印刷パターン4と磁性薄膜
パターン2との距離が最低ボンディングワイヤ7の高さ
分だけ必要となり、検出能力向上の妨げとなっている。
検出感度を高めるためには磁気インク印刷パターンに磁
気抵抗素子を近ずける必要があるが第6図に示すように
、外部回路に接続するパッド5を端子6に接続している
ボンディングワイヤ7が磁性薄膜パターン2よりも高く
なっているため、磁気インク印刷パターン4と磁性薄膜
パターン2との距離が最低ボンディングワイヤ7の高さ
分だけ必要となり、検出能力向上の妨げとなっている。
本発明は磁気インク印刷パターン認識率の向上を可能と
した磁気抵抗素子及びそのボンディング作業を容易とし
た搭載構造を従供することを目的とする。
した磁気抵抗素子及びそのボンディング作業を容易とし
た搭載構造を従供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の磁気抵抗素子は、
ガラス又はSi基板10上に磁性薄膜パターン11を形
成した磁気抵抗素子において、外部回路を接続するパッ
ド12をエツチングにより基板10に形成した凹部13
に設けたことを特徴とする。
ガラス又はSi基板10上に磁性薄膜パターン11を形
成した磁気抵抗素子において、外部回路を接続するパッ
ド12をエツチングにより基板10に形成した凹部13
に設けたことを特徴とする。
また本発明の磁気抵抗素子の搭載構造は、請求項1記戦
の磁気抵抗素子15をプリント配線基板16の端面に接
着し、該プリント配線基板16のパッド17には金属ブ
ロック20を接着し、該金属ブロック20の側面と磁気
抵抗素子15のパッド12間をボンディングワイヤ18
で接続したことを特徴とする。
の磁気抵抗素子15をプリント配線基板16の端面に接
着し、該プリント配線基板16のパッド17には金属ブ
ロック20を接着し、該金属ブロック20の側面と磁気
抵抗素子15のパッド12間をボンディングワイヤ18
で接続したことを特徴とする。
磁気抵抗素子15の外部回路を接続するパッド12をエ
ツチングにより基板10に形成した凹部13に設けたこ
とにより、該パッド12から外部回路に接続するボンデ
ィングワイヤ18の高さを磁性薄膜パターン11よりも
低(することができ、磁気インク印刷パターンを認識す
るとき、磁性薄膜パターン11を磁気インク印刷パター
ン19に近かずけることができ、その認識率を向上する
ことができる。
ツチングにより基板10に形成した凹部13に設けたこ
とにより、該パッド12から外部回路に接続するボンデ
ィングワイヤ18の高さを磁性薄膜パターン11よりも
低(することができ、磁気インク印刷パターンを認識す
るとき、磁性薄膜パターン11を磁気インク印刷パター
ン19に近かずけることができ、その認識率を向上する
ことができる。
また、上記磁気抵抗素子をプリント配線基板16の端面
に接着し、該プリント配線基板16のパッド17には金
属ブロック20を接着し、該金属ブロック20の側面と
磁気抵抗素子15のパッド12間をボンディングワイヤ
18で接続することにより、磁気抵抗素子15とプリン
ト配線基板16のワイヤボンディング方向を同一とする
ことができ、ボンディング作業が簡単となる。
に接着し、該プリント配線基板16のパッド17には金
属ブロック20を接着し、該金属ブロック20の側面と
磁気抵抗素子15のパッド12間をボンディングワイヤ
18で接続することにより、磁気抵抗素子15とプリン
ト配線基板16のワイヤボンディング方向を同一とする
ことができ、ボンディング作業が簡単となる。
第1図は本発明の磁気抵抗素子の実施例を示す断面図で
ある。
ある。
同図において、10はガラス又はSi基板、11は磁性
薄膜パターン、12は外部回路を接続するパッドであり
、13が本発明の要点である凹部である。パッド12は
この凹部13に設けられている。またこの凹部13はそ
の側面が急峻であると磁性薄膜パターン11からパッド
12への引出しパターン14がエツジ部分で切断される
恐れがあるので、その傾斜は緩やかな方が良い。このた
めにはSt基板10の磁性薄膜パターン11を形成する
面を結晶の(100)面(エツチングが早い面)を用い
れば第2図に示すようにエツチングの異方性により凹部
13の側面には(111)面(エッチングが遅い面)が
現れ、緩やかな傾斜面となる。
薄膜パターン、12は外部回路を接続するパッドであり
、13が本発明の要点である凹部である。パッド12は
この凹部13に設けられている。またこの凹部13はそ
の側面が急峻であると磁性薄膜パターン11からパッド
12への引出しパターン14がエツジ部分で切断される
恐れがあるので、その傾斜は緩やかな方が良い。このた
めにはSt基板10の磁性薄膜パターン11を形成する
面を結晶の(100)面(エツチングが早い面)を用い
れば第2図に示すようにエツチングの異方性により凹部
13の側面には(111)面(エッチングが遅い面)が
現れ、緩やかな傾斜面となる。
またガラス基板の場合はエツチングによる凹部断面が曲
線状となるためやはり側面に傾斜ができる。
線状となるためやはり側面に傾斜ができる。
従って凹部13の形成にはエツチングによる形成が適す
る。
る。
このように構成された本実施例は、第3図に示すように
して用いられる。同図において、15は磁気抵抗素子、
16はプリント配線基板であり、該プリント配線基板1
6の端面に磁気抵抗素子15が接着され、そのパッド1
2とプリント配線基板16のパッド17間をボンディン
グワイヤ18で接続している。この場合、ボンディング
ワイヤ18は磁気抵抗素子15の凹部13に形成された
パッド12に接続されているため、その高さは磁性薄膜
パターン11よりも低くすることができる。このため(
b)図に示すように磁気インク印刷パターン19を認識
する場合、磁性薄膜パターン11を磁気インク印刷パタ
ーン19に極めて近ずけることができ、その認識率を向
上することができる。
して用いられる。同図において、15は磁気抵抗素子、
16はプリント配線基板であり、該プリント配線基板1
6の端面に磁気抵抗素子15が接着され、そのパッド1
2とプリント配線基板16のパッド17間をボンディン
グワイヤ18で接続している。この場合、ボンディング
ワイヤ18は磁気抵抗素子15の凹部13に形成された
パッド12に接続されているため、その高さは磁性薄膜
パターン11よりも低くすることができる。このため(
b)図に示すように磁気インク印刷パターン19を認識
する場合、磁性薄膜パターン11を磁気インク印刷パタ
ーン19に極めて近ずけることができ、その認識率を向
上することができる。
第4図は本発明の磁気抵抗素子の搭載構造の実施例を示
す図である。
す図である。
同図において、15は、外部回路への接続用パッド12
を基板10にエツチング形成された凹部13に設けた磁
気抵抗素子であり、該磁気抵抗素子15はプリント配線
基板16の端面に接着されている。また該プリント配線
板16のパッド17にはそれぞれ金属ブロック20が接
着されており、該金属ブロック20の側面と磁気抵抗素
子15のパッド12との間をボンディングワイヤ18で
接続している。
を基板10にエツチング形成された凹部13に設けた磁
気抵抗素子であり、該磁気抵抗素子15はプリント配線
基板16の端面に接着されている。また該プリント配線
板16のパッド17にはそれぞれ金属ブロック20が接
着されており、該金属ブロック20の側面と磁気抵抗素
子15のパッド12との間をボンディングワイヤ18で
接続している。
このように構成された本実施例は、磁気抵抗素子15側
とプリント配線基板16例のワイヤボンディングを同一
方向(矢印A方向)から行なうことができるため、ボン
ディングの際プリント配線基板を90’回転させる必要
がなく、(金属ブロック20がない場合は磁気抵抗素子
にポンディング後プリント配線基板を90°回転させる
必要がある。)ボンディング作業が簡単になる。
とプリント配線基板16例のワイヤボンディングを同一
方向(矢印A方向)から行なうことができるため、ボン
ディングの際プリント配線基板を90’回転させる必要
がなく、(金属ブロック20がない場合は磁気抵抗素子
にポンディング後プリント配線基板を90°回転させる
必要がある。)ボンディング作業が簡単になる。
以上説明した様に、本発明によれば、磁性薄膜パターン
を用いた磁気抵抗素子において、その外部回路に接続す
るパッドを基板にエツチングで形成した凹部に設けたこ
とによりボンディングワイヤの高さを低く抑えることが
でき、磁気検出用の磁性薄膜パターンを被測定物に極め
て近ずけることが可能となるため高感度、高分解能で被
測定物の検出ができ、磁気インク印刷パターン認識用の
装置に用いてその認識率向上に寄与することができる。
を用いた磁気抵抗素子において、その外部回路に接続す
るパッドを基板にエツチングで形成した凹部に設けたこ
とによりボンディングワイヤの高さを低く抑えることが
でき、磁気検出用の磁性薄膜パターンを被測定物に極め
て近ずけることが可能となるため高感度、高分解能で被
測定物の検出ができ、磁気インク印刷パターン認識用の
装置に用いてその認識率向上に寄与することができる。
また本発明の磁気抵抗素子の搭載構造はプリント配線基
板のパッドに金属ブロックを設けることによりボンディ
ング作業が極めて容易となる。
板のパッドに金属ブロックを設けることによりボンディ
ング作業が極めて容易となる。
第1図は本発明の磁気抵抗素子の実施例を示す図、
第2図は基板に形成する凹部を説明するための図、
第3図は本発明の磁気抵抗素子の使用状態を示す図、
第4図は本発明の磁気抵抗素子の搭載構造の実施例を示
す図、 第5図は従来の磁気抵抗素子を示す図、第6図は従来の
磁気インク印刷パターンを認識する装置を示す図である
。 図において、 lOは基板、 11は磁性薄膜パターン、 12はパッド、 13は凹部、 15は磁気抵抗素子、 16はプリント配線基板、 17はプリント配線基板のパッド、 18はボンディングワイヤ、 19は磁気インク印刷パターン、 20は金属ブロック を示す。 平面図 (Q) 0図のb−b線における断面図 (b) 本発明の磁気抵抗素子の実施例を示す図第 図 14・・・引出しパターン 本発明の磁気抵抗素子の搭載構造の実施例を示す図第 図 15・・・磁気抵抗素子
す図、 第5図は従来の磁気抵抗素子を示す図、第6図は従来の
磁気インク印刷パターンを認識する装置を示す図である
。 図において、 lOは基板、 11は磁性薄膜パターン、 12はパッド、 13は凹部、 15は磁気抵抗素子、 16はプリント配線基板、 17はプリント配線基板のパッド、 18はボンディングワイヤ、 19は磁気インク印刷パターン、 20は金属ブロック を示す。 平面図 (Q) 0図のb−b線における断面図 (b) 本発明の磁気抵抗素子の実施例を示す図第 図 14・・・引出しパターン 本発明の磁気抵抗素子の搭載構造の実施例を示す図第 図 15・・・磁気抵抗素子
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ガラス又はSi基板(10)上に磁性薄膜パターン
(11)を形成した磁気抵抗素子において、外部回路を
接続するパッド(12)をエッチングにより基板(10
)に形成した凹部(13)に設けたことを特徴とする磁
気抵抗素子。 2、請求項1記載の磁気抵抗素子(15)をプリント配
線基板(16)の端面に接着し、該プリント配線板(1
6)のパッド(17)には金属ブロック(20)を接着
し、該金属ブロック(20)の側面と磁気抵抗素子(1
5)のパッド(12)間をボンディングワイヤ(18)
で接続したことを特徴とする磁気抵抗素子の搭載構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63208441A JPH0257992A (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 磁気抵抗素子及びその搭載構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63208441A JPH0257992A (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 磁気抵抗素子及びその搭載構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0257992A true JPH0257992A (ja) | 1990-02-27 |
Family
ID=16556262
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63208441A Pending JPH0257992A (ja) | 1988-08-24 | 1988-08-24 | 磁気抵抗素子及びその搭載構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0257992A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010223652A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ組立体および磁気エンコーダ |
-
1988
- 1988-08-24 JP JP63208441A patent/JPH0257992A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010223652A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Hitachi Metals Ltd | 磁気センサ組立体および磁気エンコーダ |
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