JPH025362Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH025362Y2 JPH025362Y2 JP13996282U JP13996282U JPH025362Y2 JP H025362 Y2 JPH025362 Y2 JP H025362Y2 JP 13996282 U JP13996282 U JP 13996282U JP 13996282 U JP13996282 U JP 13996282U JP H025362 Y2 JPH025362 Y2 JP H025362Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stylus
- axial direction
- detector
- movable
- differential transformer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims description 33
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、工作機械の倣い装置及び形状測定
機などとして用いる検出器に関するものである。
機などとして用いる検出器に関するものである。
前述のような検出器として、スタイラスを可動
体にこれの軸線方向への移動可能に弾性支持し、
前記可動体をこれの軸線方向と直交する平面内の
互に直交する方向への移動可能に検出ヘツド本体
に弾性支持したものが知られている。また、この
ような検出器として、スタイラスを軸線方向の２
個所で円板ばねによつて可動体に弾性支持し、両
円板ばね間にスタイラスの軸線方向の移動量を検
出するための差動トランスを配設し、スタイラス
先端側の円板ばねより先端側に吸振ダンパを配設
したものが先に提案されている。しかし、このよ
うな検出器のスタイラス支持構成では、触圧を小
さくし且つ次元可動部（スタイラス支持部）の長
さを長くすると、スタイラス及び円板のたわみに
よる影響が検出精度に作用するという問題があつ
た。
体にこれの軸線方向への移動可能に弾性支持し、
前記可動体をこれの軸線方向と直交する平面内の
互に直交する方向への移動可能に検出ヘツド本体
に弾性支持したものが知られている。また、この
ような検出器として、スタイラスを軸線方向の２
個所で円板ばねによつて可動体に弾性支持し、両
円板ばね間にスタイラスの軸線方向の移動量を検
出するための差動トランスを配設し、スタイラス
先端側の円板ばねより先端側に吸振ダンパを配設
したものが先に提案されている。しかし、このよ
うな検出器のスタイラス支持構成では、触圧を小
さくし且つ次元可動部（スタイラス支持部）の長
さを長くすると、スタイラス及び円板のたわみに
よる影響が検出精度に作用するという問題があつ
た。
この考案は、前述した問題を解消しようとする
ものであつて、スタイラスの先端側に円板ばねを
付加し、スタイラスを軸線方向の３個所以上で円
板ばねによつて可動体のような支持部材に弾性支
持することにより、円板ばねにかかる荷重を小さ
くし、スタイラスのオーバハング量を小さくし
て、そのたわみを防止して検出精度が高い検出器
を提供することを目的としている。
ものであつて、スタイラスの先端側に円板ばねを
付加し、スタイラスを軸線方向の３個所以上で円
板ばねによつて可動体のような支持部材に弾性支
持することにより、円板ばねにかかる荷重を小さ
くし、スタイラスのオーバハング量を小さくし
て、そのたわみを防止して検出精度が高い検出器
を提供することを目的としている。
以下、この考案の一実施例につき図面を参照し
て説明する。
て説明する。
図面において、１はスタイラスであり、このス
タイラス１は、後述する可動体２の下部にその一
部として設けた可動ヘツド３に、これらの軸線方
向の３個所で円板ばね４，５，６によつて軸線方
向への移動可能に弾性支持されている。前記円板
ばね４，５，６は、周知のごとく、半径方向の複
数個所に同心円状に配置されかつ円周方向の互に
異なつた位置に間隔部が形成されて、多数の円弧
状スリツトが設けられた、同様な形状にそれぞれ
構成され、内周面がスタイラス１に嵌合固定され
ている。スタイラス１の軸方向すなわちＺ方向変
位量を検出する差動トランス８の上方および下方
に円板ばね４，５が配置されまた、吸振ダンパ９
の上方および下方に円板ばね５，６が配置されて
いる。前記作動トランス８は、スタイラス１に設
けたコア１０と対応する位置にコイル１１が設け
られ、コイル１１がケース１２の内周側に装着さ
れている。また、吸振ダンパ９は、筒体１３が支
持筒１４に固定され、筒体１３の上、下端にベロ
ーズ１５，１６の一端部が固定され、これらの他
端部がスタイラス１に固定され、筒体１３および
ベローズ１５，１６で囲まれた内部にオイルが封
入され、スタイラス１に設けた鍔１７が筒体１３
内のオイル中に挿入されている。前記作動トラン
ス８のケース１２と吸振ダンパ９の支持筒１４
が、上、下リング１８，１９と共に可動ヘツド３
内に嵌合され、上リング１８とケース１２間、ケ
ース１２と支持筒１４間および支持筒１４と下リ
ング１９間にそれぞれ円板ばね４，５，６の外周
部が挟持されて、これらの部材が可動ヘツド３の
上、下壁間に固定されている。なお、可動体２
は、横断面が正方形筒状に構成され、その軸方向
と直交する平面で互に交叉する第１、第２連結体
２０，２１により、可動体２の各角部と第１連結
体２０、第１連結体２０と第２連結体２１、およ
び第２連結体２１と検出ヘツド本体２２間に、そ
れぞれ互にばね常数が等しい十字ばね２３（一部
は図示せず）によつて、上下方向の各２個所で、
ヘツド本体２２に弾性支持されている。すなわ
ち、先に提案された特願昭56−187340号のものと
同様な構成で前記ヘツド本体２２に弾性支持され
ている。また、ヘツド本体２２内には可動体２の
軸線方向と直交する平面内の互に直交する方向す
なわちＸ，Ｙ方向への変位量をそれぞれ検出する
ために、２個の差動トランス（図示せず）が設け
られ、これらが可動体に連結されている。
タイラス１は、後述する可動体２の下部にその一
部として設けた可動ヘツド３に、これらの軸線方
向の３個所で円板ばね４，５，６によつて軸線方
向への移動可能に弾性支持されている。前記円板
ばね４，５，６は、周知のごとく、半径方向の複
数個所に同心円状に配置されかつ円周方向の互に
異なつた位置に間隔部が形成されて、多数の円弧
状スリツトが設けられた、同様な形状にそれぞれ
構成され、内周面がスタイラス１に嵌合固定され
ている。スタイラス１の軸方向すなわちＺ方向変
位量を検出する差動トランス８の上方および下方
に円板ばね４，５が配置されまた、吸振ダンパ９
の上方および下方に円板ばね５，６が配置されて
いる。前記作動トランス８は、スタイラス１に設
けたコア１０と対応する位置にコイル１１が設け
られ、コイル１１がケース１２の内周側に装着さ
れている。また、吸振ダンパ９は、筒体１３が支
持筒１４に固定され、筒体１３の上、下端にベロ
ーズ１５，１６の一端部が固定され、これらの他
端部がスタイラス１に固定され、筒体１３および
ベローズ１５，１６で囲まれた内部にオイルが封
入され、スタイラス１に設けた鍔１７が筒体１３
内のオイル中に挿入されている。前記作動トラン
ス８のケース１２と吸振ダンパ９の支持筒１４
が、上、下リング１８，１９と共に可動ヘツド３
内に嵌合され、上リング１８とケース１２間、ケ
ース１２と支持筒１４間および支持筒１４と下リ
ング１９間にそれぞれ円板ばね４，５，６の外周
部が挟持されて、これらの部材が可動ヘツド３の
上、下壁間に固定されている。なお、可動体２
は、横断面が正方形筒状に構成され、その軸方向
と直交する平面で互に交叉する第１、第２連結体
２０，２１により、可動体２の各角部と第１連結
体２０、第１連結体２０と第２連結体２１、およ
び第２連結体２１と検出ヘツド本体２２間に、そ
れぞれ互にばね常数が等しい十字ばね２３（一部
は図示せず）によつて、上下方向の各２個所で、
ヘツド本体２２に弾性支持されている。すなわ
ち、先に提案された特願昭56−187340号のものと
同様な構成で前記ヘツド本体２２に弾性支持され
ている。また、ヘツド本体２２内には可動体２の
軸線方向と直交する平面内の互に直交する方向す
なわちＸ，Ｙ方向への変位量をそれぞれ検出する
ために、２個の差動トランス（図示せず）が設け
られ、これらが可動体に連結されている。
次に、以上のように構成された検出器の動作に
ついて説明する。検出器と被検出物とを相対移動
させることにより、スタイラス１の可動ヘツド３
から突出した先端接触部１ａが被検出物と接触す
る。この接触によりスタイラス１が円板ばね４，
５，６のばね力に抗して軸線方向に移動すると、
差動トランス８のコア１０がコイル１１に対して
変位するので、差動トランス８によつてスタイラ
ス１の軸線方向のすなわちＺ方向変位量が検出さ
れる。また、スタイラス１に軸線方向と直交する
平面の互に直交する方向すなわちＸ，Ｙ方向の力
が作用すると、この力の作用方向にスタイラス１
と一体に可動体２が平行移動して変位し、これに
連結された図示しない前記差動トランスによつ
て、スタイラス１の軸線方向と直交する平面上の
移動量が検出される。したがつて、各差動トラン
スからの検出信号によつて被検出物のＸ，Ｙ，Ｚ
方向の座標により、被検出物の形状を検出し、あ
るいはその形状を測定することができる。
ついて説明する。検出器と被検出物とを相対移動
させることにより、スタイラス１の可動ヘツド３
から突出した先端接触部１ａが被検出物と接触す
る。この接触によりスタイラス１が円板ばね４，
５，６のばね力に抗して軸線方向に移動すると、
差動トランス８のコア１０がコイル１１に対して
変位するので、差動トランス８によつてスタイラ
ス１の軸線方向のすなわちＺ方向変位量が検出さ
れる。また、スタイラス１に軸線方向と直交する
平面の互に直交する方向すなわちＸ，Ｙ方向の力
が作用すると、この力の作用方向にスタイラス１
と一体に可動体２が平行移動して変位し、これに
連結された図示しない前記差動トランスによつ
て、スタイラス１の軸線方向と直交する平面上の
移動量が検出される。したがつて、各差動トラン
スからの検出信号によつて被検出物のＸ，Ｙ，Ｚ
方向の座標により、被検出物の形状を検出し、あ
るいはその形状を測定することができる。
なお、この考案において、可動体を軸線方向と
直交する平面の互に直交する方向への移動可能に
弾性支持するための機構は必ずしも、前述した構
成のものに限られることなく、適宜の構成のもの
を用いることができ、またスタイラスを弾性支持
する支持体は可動体に限られることなく、この考
案はスタイラスの軸線方向の変位のみを検出する
検出器などにも適用することができる。
直交する平面の互に直交する方向への移動可能に
弾性支持するための機構は必ずしも、前述した構
成のものに限られることなく、適宜の構成のもの
を用いることができ、またスタイラスを弾性支持
する支持体は可動体に限られることなく、この考
案はスタイラスの軸線方向の変位のみを検出する
検出器などにも適用することができる。
以上説明したように、この考案の検出器は、ス
タイラスをこれの軸線方向の３個所で円板ばねに
よつて支持部材に弾性支持し、前記円板ばねを吸
振ダンパとスタイラスの軸線方向の変位検出用の
差動トランスの間と、吸振ダンパ、差動トランス
よりスタイラスの端部側とにそれぞれ配設したの
で、スタイラスが３枚の円板ばねで支持されて円
板ばねにかかる荷重が小さくなり、オーバハング
量が小さくなることにより、スタイラスのたわみ
が防止され、これによる影響を受けることがな
く、したがつて検出誤差が少なくなり、検出精度
を高めることができるという効果がある。
タイラスをこれの軸線方向の３個所で円板ばねに
よつて支持部材に弾性支持し、前記円板ばねを吸
振ダンパとスタイラスの軸線方向の変位検出用の
差動トランスの間と、吸振ダンパ、差動トランス
よりスタイラスの端部側とにそれぞれ配設したの
で、スタイラスが３枚の円板ばねで支持されて円
板ばねにかかる荷重が小さくなり、オーバハング
量が小さくなることにより、スタイラスのたわみ
が防止され、これによる影響を受けることがな
く、したがつて検出誤差が少なくなり、検出精度
を高めることができるという効果がある。
図面はこの考案の一実施例を示す一部を縦断し
た正面図である。 １……スタイラス、２……可動体（支持部材）、
４，５，６……円板ばね、８……差動トランス、
９……吸振ダンパ。
た正面図である。 １……スタイラス、２……可動体（支持部材）、
４，５，６……円板ばね、８……差動トランス、
９……吸振ダンパ。
Claims (1)
- スタイラスをこれの軸線方向の３個所以上で円
板ばねによつて支持部材に弾性支持し、前記円板
ばねを、吸振ダンパとスタイラスの軸線方向の変
位量検出用の差動トランスの間と、吸振ダンパ、
差動トランスよりスタイラスの端部側とにそれぞ
れ配設したことを特徴とする検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13996282U JPS5945503U (ja) | 1982-09-17 | 1982-09-17 | 検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13996282U JPS5945503U (ja) | 1982-09-17 | 1982-09-17 | 検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5945503U JPS5945503U (ja) | 1984-03-26 |
| JPH025362Y2 true JPH025362Y2 (ja) | 1990-02-08 |
Family
ID=30313529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13996282U Granted JPS5945503U (ja) | 1982-09-17 | 1982-09-17 | 検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5945503U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016171690A (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-23 | Fdk株式会社 | 交流入力回路 |
-
1982
- 1982-09-17 JP JP13996282U patent/JPS5945503U/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016171690A (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-23 | Fdk株式会社 | 交流入力回路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5945503U (ja) | 1984-03-26 |
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