JPS5888604A - トレ−サヘツド - Google Patents
トレ−サヘツドInfo
- Publication number
- JPS5888604A JPS5888604A JP18734081A JP18734081A JPS5888604A JP S5888604 A JPS5888604 A JP S5888604A JP 18734081 A JP18734081 A JP 18734081A JP 18734081 A JP18734081 A JP 18734081A JP S5888604 A JPS5888604 A JP S5888604A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable
- head
- movable body
- stylus
- cross
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/001—Constructional details of gauge heads
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、工作機械の倣い構出装置などに用いるトレ
ーサヘッドに関するものである。
ーサヘッドに関するものである。
従来、前述のようなトレーサヘッドとして、スタイラス
を可動体にこれらの軸線方向への移動可能に弾性支持し
、前記ＭＴｍＪ体をこれの軸線方向と直交す６−′Ｆ面
内の互に直りする方向への移動可能にヘッド本体に弾性
支持したものが知られている。
を可動体にこれらの軸線方向への移動可能に弾性支持し
、前記ＭＴｍＪ体をこれの軸線方向と直交す６−′Ｆ面
内の互に直りする方向への移動可能にヘッド本体に弾性
支持したものが知られている。
また、このようなトレーサヘッドとして、可動体の軸方
向に延びが′）互に位相が９０’ずれた位置に配設され
た各１対の相対向する平行ばれ２組で６ｆ動体を−＼ソ
ド本体に支持する方式のものかある。
向に延びが′）互に位相が９０’ずれた位置に配設され
た各１対の相対向する平行ばれ２組で６ｆ動体を−＼ソ
ド本体に支持する方式のものかある。
しかし、この方式では平行ばηが片側支持であり、スタ
イラスか平行ばねの自由端側ｔＣ＝Ｊ動体を介して支持
されるため、応答感度乞扁めるために、平行ばねの、・
よね力を弱くすると、スタイラスがモデルなどの被検出
物または仮測定物に接触した時に、スタイラスのｌ１ｑ
Ｉｌ紐に対して頑さ、高梢贋の形状検出かでさないとい
５問題かあ６゜また、従来、可動体の軸方向に延びる多
数のリボン鋼を日前状に両端部支持で配設し、こ几に可
動体を支持する方式のものもある。し、０）シ、この方
式のものではリボン鋼がｌｌ’Ｍ ｋもっているために
、これらのばねで２次元方向の移動を許容するには、リ
ボン鋼をねじって組付ける必要かあるなど、製作が面倒
となリ、軸方向の長が艮くｌ・レーサー＼ソドが大形化
する。さりに、前述した従来のものは、両者ともばＪＪ
が片持支持され自由端の変位は円弧状の軌跡を描（こと
に）了り、少なかりず前記細繊方向の誤差か伴っていた
。
イラスか平行ばねの自由端側ｔＣ＝Ｊ動体を介して支持
されるため、応答感度乞扁めるために、平行ばねの、・
よね力を弱くすると、スタイラスがモデルなどの被検出
物または仮測定物に接触した時に、スタイラスのｌ１ｑ
Ｉｌ紐に対して頑さ、高梢贋の形状検出かでさないとい
５問題かあ６゜また、従来、可動体の軸方向に延びる多
数のリボン鋼を日前状に両端部支持で配設し、こ几に可
動体を支持する方式のものもある。し、０）シ、この方
式のものではリボン鋼がｌｌ’Ｍ ｋもっているために
、これらのばねで２次元方向の移動を許容するには、リ
ボン鋼をねじって組付ける必要かあるなど、製作が面倒
となリ、軸方向の長が艮くｌ・レーサー＼ソドが大形化
する。さりに、前述した従来のものは、両者ともばＪＪ
が片持支持され自由端の変位は円弧状の軌跡を描（こと
に）了り、少なかりず前記細繊方向の誤差か伴っていた
。
この発明は、スタイラスを軸方向への移動幅能に弾性支
持したｉｆ動体馨、同一平面内Ｑ互に交叉する第１．第
２連結体により、可動体と第し連結体、第１連結体と第
２連結体、第２連結体とヘッド本体の間にそ扛ぞ几十字
ばねを介在させて、前記ヘッド本体に軸方間の襟数個所
で’ｊＱＬは支持すること＆’Ｃより、前述し１こ問題
τ解決して、軸線方向変位イ伴ねない完全な千何移動か
でざ０ようにし谷変位成分を精度よ＜ ８４１１定でき
るトレー丈ヘッドを提供韮ることを目的とｆるものであ
る。
持したｉｆ動体馨、同一平面内Ｑ互に交叉する第１．第
２連結体により、可動体と第し連結体、第１連結体と第
２連結体、第２連結体とヘッド本体の間にそ扛ぞ几十字
ばねを介在させて、前記ヘッド本体に軸方間の襟数個所
で’ｊＱＬは支持すること＆’Ｃより、前述し１こ問題
τ解決して、軸線方向変位イ伴ねない完全な千何移動か
でざ０ようにし谷変位成分を精度よ＜ ８４１１定でき
るトレー丈ヘッドを提供韮ることを目的とｆるものであ
る。
以ド、この発明の一実施例につざ図■を参ｊ１へして説
明する。
明する。
心に軸腕方向を垂直方向（以下Ｚ方向という）にして配
設されている。可動体ｌの下端には可動ヘッド３か固定
され、ｏｌ’動ヘッド３４カッく−２の下方に延びてい
る。可動ヘッド３内の中心にはスタイラス４が１」動体
ｌと同軸線上に配設され、スタイラス４は上、下板はね
５，６によって目」動ヘッド３にＺ方向への移動可能に
弾性支持されている。
設されている。可動体ｌの下端には可動ヘッド３か固定
され、ｏｌ’動ヘッド３４カッく−２の下方に延びてい
る。可動ヘッド３内の中心にはスタイラス４が１」動体
ｌと同軸線上に配設され、スタイラス４は上、下板はね
５，６によって目」動ヘッド３にＺ方向への移動可能に
弾性支持されている。
前記スタイラス４の下部は可動ヘッド３の下方に延び、
スタイラス４の下端には球状接触部４ａが形成されてい
る。差動トランスからなるＺ方向変位検出器７のコア８
がスタイラス４の上、下板げね５，６間に位置する部分
に収けられ、前記コア８と対応する位置にコイル９が配
置され、コイル９は＝Ｊ＠ヘッド３に固定さ几でいる。
スタイラス４の下端には球状接触部４ａが形成されてい
る。差動トランスからなるＺ方向変位検出器７のコア８
がスタイラス４の上、下板げね５，６間に位置する部分
に収けられ、前記コア８と対応する位置にコイル９が配
置され、コイル９は＝Ｊ＠ヘッド３に固定さ几でいる。
前日ピ可動−・ラド３門下部には吸振ダンパｌＯの筒体
１０ａが固定され、この筒体１０ａの上、−ト端にベロ
ーズ１０ｂ、ｌＯｃの一端が固定され、これらの他端が
スタイラス４に固定され、筒体１０ａ、％よびベローズ
ｌＯｂ、ｌＯｃで囲まれた内部にはシリコーンオイルが
封入され、スタイラス４に設けた鍔４ｂがシリコーンオ
イル内に挿入されている。前記カバー２内にはこｎと一
体にヘッド本体１１が固定され、ヘッド本体１１Ｖｃは
これの一部？栴成する左、右支持ブロック１２か相対向
して固定されている。前ｄピ町動体ｌの各角部外面には
、水平方向の第２図上下方向（以下Ｘ方向という）に延
びる４個の第１４結体１３が配設され、第１連結体１３
の外端と前記支持ブロック１２の両端部との間には水平
方向の第２図左右力回（以下Ｘ方向というンに延びる４
個の第λ連結体１４が配設されている。第１．第２迎結
体１３ 、１４ｖま、金属などの剛体かりなり、Ｘ方向
にａＪ動体ｌよつ少し短い長さをもっている。可動体ｌ
の角部外面と第１連結体１３の内端部とが十字ばね１５
を介して連結され、第１連結体１３の外端鄭と第２連結
体１４の一端部とか十字ばね１６を介して連結され、２
個所で婁桔博工沃；用動体ｌか支持ブロック１２にＸ、
Ｙ方向への移動可能に弾性支持されている。
１０ａが固定され、この筒体１０ａの上、−ト端にベロ
ーズ１０ｂ、ｌＯｃの一端が固定され、これらの他端が
スタイラス４に固定され、筒体１０ａ、％よびベローズ
ｌＯｂ、ｌＯｃで囲まれた内部にはシリコーンオイルが
封入され、スタイラス４に設けた鍔４ｂがシリコーンオ
イル内に挿入されている。前記カバー２内にはこｎと一
体にヘッド本体１１が固定され、ヘッド本体１１Ｖｃは
これの一部？栴成する左、右支持ブロック１２か相対向
して固定されている。前ｄピ町動体ｌの各角部外面には
、水平方向の第２図上下方向（以下Ｘ方向という）に延
びる４個の第１４結体１３が配設され、第１連結体１３
の外端と前記支持ブロック１２の両端部との間には水平
方向の第２図左右力回（以下Ｘ方向というンに延びる４
個の第λ連結体１４が配設されている。第１．第２迎結
体１３ 、１４ｖま、金属などの剛体かりなり、Ｘ方向
にａＪ動体ｌよつ少し短い長さをもっている。可動体ｌ
の角部外面と第１連結体１３の内端部とが十字ばね１５
を介して連結され、第１連結体１３の外端鄭と第２連結
体１４の一端部とか十字ばね１６を介して連結され、２
個所で婁桔博工沃；用動体ｌか支持ブロック１２にＸ、
Ｙ方向への移動可能に弾性支持されている。
なお、前記十字ばね１５，１６．１７は、Ｚ方向寸法か
短い２枚のばね片を互に直角をなすように配置して立体
交差させ、前述１−だ谷部材にばメ椀両端部をビスで締
付は固定するものであり、すべての十字ばねのばね常数
を互に等しくすることにより、Ｘ、Ｙ各方向に相等しく
かつ板ばね５，６によるＺ方向のばね常数とも等しいは
ね常数で可動体１を支持ブロック１２に弾性支持してい
る。
短い２枚のばね片を互に直角をなすように配置して立体
交差させ、前述１−だ谷部材にばメ椀両端部をビスで締
付は固定するものであり、すべての十字ばねのばね常数
を互に等しくすることにより、Ｘ、Ｙ各方向に相等しく
かつ板ばね５，６によるＺ方向のばね常数とも等しいは
ね常数で可動体１を支持ブロック１２に弾性支持してい
る。
さらに、第１図、第３図に示すように、可動体ｌの上端
部の隣接する２辺に板ばね１８．１９の下端部が固定さ
ｎ、これらの上端部にはＹ方向、Ｘ方向連結部材２０．
２１かそれぞれ固定されている。Ｙ方向、Ｘ方向連結部
材２０．２１は、Ｙ方向、Ｘ方向に延びて、可動体ｌ上
方で互に接触しないよ’５［直角に立体交差さｔている
。Ｙ方向。
部の隣接する２辺に板ばね１８．１９の下端部が固定さ
ｎ、これらの上端部にはＹ方向、Ｘ方向連結部材２０．
２１かそれぞれ固定されている。Ｙ方向、Ｘ方向連結部
材２０．２１は、Ｙ方向、Ｘ方向に延びて、可動体ｌ上
方で互に接触しないよ’５［直角に立体交差さｔている
。Ｙ方向。
Ｘ方向連結部材２０．２１の一端は差動トランスかりな
るＹ方向、Ｘ方向袈位横出器２２．２３のコア２４．２
５の内端とそれぞ才を固定さｒＬ、これらのコア２４．
２５と対応する位置に配置さルたコイル２６．２７かヘ
ッド本体１１に固定され、コア２４．２５の他端かＺ方
向に延びる板はね２８゜２９でヘッド本体１１に連結支
持されている。また、Ｙ方向、Ｘ方間連結部材２υ、２
１の他端はダンパ軸３０．３１の内端と固定され、これ
りの軸３０，３１はコア２４．２５の＠Ｉ＃延長方向に
延びる軸線をも５、ダンパ軸３０．３１の外端がＺ方向
に延びる板ばね３２，３３Ｙ介してヘッド本体１１に連
結支持されている。ヘッド本体１１に吸振ダノパｌＯと
同様な吸振ダンパ３４，３５の筒体３４ａ、３５ａが固
定され、これりの筒体３４Ｂ ’ｔ ３５ ａの両端に
ベローズ３４ｂ、３４ｃ、３５ｂ。
るＹ方向、Ｘ方向袈位横出器２２．２３のコア２４．２
５の内端とそれぞ才を固定さｒＬ、これらのコア２４．
２５と対応する位置に配置さルたコイル２６．２７かヘ
ッド本体１１に固定され、コア２４．２５の他端かＺ方
向に延びる板はね２８゜２９でヘッド本体１１に連結支
持されている。また、Ｙ方向、Ｘ方間連結部材２υ、２
１の他端はダンパ軸３０．３１の内端と固定され、これ
りの軸３０，３１はコア２４．２５の＠Ｉ＃延長方向に
延びる軸線をも５、ダンパ軸３０．３１の外端がＺ方向
に延びる板ばね３２，３３Ｙ介してヘッド本体１１に連
結支持されている。ヘッド本体１１に吸振ダノパｌＯと
同様な吸振ダンパ３４，３５の筒体３４ａ、３５ａが固
定され、これりの筒体３４Ｂ ’ｔ ３５ ａの両端に
ベローズ３４ｂ、３４ｃ、３５ｂ。
３５ｃの一端が固定され、これらの他端かダンノく軸３
０，３１１Ｌｌｉ！ｔ１足され、吸振ダンノく１０内に
封入さ几たシリコーンオイル内にダンノく軸３０，３１
に設けた鍔３０ａ、３１ａかそれぞれ仲人されている。
０，３１１Ｌｌｉ！ｔ１足され、吸振ダンノく１０内に
封入さ几たシリコーンオイル内にダンノく軸３０，３１
に設けた鍔３０ａ、３１ａかそれぞれ仲人されている。
次に、以上のように構成ざ扛たトＶ−サヘッドの動作に
ついて説明する。トレーサヘッドと被検出物と相対移動
により、スタイラス４の接触部４ａ変位検出器７のコア
８かコイル９に対して変位するので、Ｚ方向変位検出ａ
７によってＺ方向の変位が検出され／ｌ）。また、スタ
イラス４にＹ方向の力が作用し、十字ばれ１５，１６．
１７のばね力に抗して可動体ｌかＹ方向に移動−ヂ−る
と、板ばね１８、Ｙ方向連結部１，１−２０ Ｙ介して
Ｙ方向変位検出器２２のコア２４がコイル２６に対して
変位するので、Ｙ方向変位検出器２２によってＹ方向の
変位が検出される。さらに、スタイラス４にＸ方向の力
が作用して可動体ｌがＸ方向［８動すると、Ｙ方向の場
合と同様な作動でＸ方間変位検出器２３によってＸ方向
の変位が検出される。この場合のＸ方向の変位は同一平
面内で互いに直交して配置された第１．第２連粕体及び
十字ばねによって許容され、Ｚ軸方向の変位を伴わない
ので従来装置のような測定誤差は生じない。そして、Ｘ
、Ｙ。
ついて説明する。トレーサヘッドと被検出物と相対移動
により、スタイラス４の接触部４ａ変位検出器７のコア
８かコイル９に対して変位するので、Ｚ方向変位検出ａ
７によってＺ方向の変位が検出され／ｌ）。また、スタ
イラス４にＹ方向の力が作用し、十字ばれ１５，１６．
１７のばね力に抗して可動体ｌかＹ方向に移動−ヂ−る
と、板ばね１８、Ｙ方向連結部１，１−２０ Ｙ介して
Ｙ方向変位検出器２２のコア２４がコイル２６に対して
変位するので、Ｙ方向変位検出器２２によってＹ方向の
変位が検出される。さらに、スタイラス４にＸ方向の力
が作用して可動体ｌがＸ方向［８動すると、Ｙ方向の場
合と同様な作動でＸ方間変位検出器２３によってＸ方向
の変位が検出される。この場合のＸ方向の変位は同一平
面内で互いに直交して配置された第１．第２連粕体及び
十字ばねによって許容され、Ｚ軸方向の変位を伴わない
ので従来装置のような測定誤差は生じない。そして、Ｘ
、Ｙ。
Ｚ方向変位検出器２３，２２．７からの検出信号によっ
て被検出物Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の座標により、被検出物の形
状を検出−「ることができる。また、被検出物を被測定
物にした場合には、その形状な測定できる。
て被検出物Ｘ、Ｙ、Ｚ方向の座標により、被検出物の形
状を検出−「ることができる。また、被検出物を被測定
物にした場合には、その形状な測定できる。
このトレーサヘッドでは、スタイラス４にＸ方向、Ｙ方
向の少／’ｒ くとも−力の力が動くと、スタイラス４
をＺ方向に弾性支持した可動体ｌが、前記したように、
Ｘ方向、Ｙ方向に互に等しいばね力の十字ばね１５．１
６．１７と第１．第２連結体１３．１４とにより、ヘッ
ド本体１１の支持ブロック１２に、上下方向の２個所で
かつ可動体ｌこれらのａｍを垂直に保持して、Ｘ方向、
Ｙ方向の少なくとも一方に水平面に沿って平行移＠する
。
向の少／’ｒ くとも−力の力が動くと、スタイラス４
をＺ方向に弾性支持した可動体ｌが、前記したように、
Ｘ方向、Ｙ方向に互に等しいばね力の十字ばね１５．１
６．１７と第１．第２連結体１３．１４とにより、ヘッ
ド本体１１の支持ブロック１２に、上下方向の２個所で
かつ可動体ｌこれらのａｍを垂直に保持して、Ｘ方向、
Ｙ方向の少なくとも一方に水平面に沿って平行移＠する
。
また、前記十字はね１５，１６．１７は２万回の長さ寸
法か短（、ばれ常数な小さいものにすることができるの
で、スタイラス４の接触圧が小さくても、ＱＪ動体ｌが
Ｘ方向、Ｙ方向に移動する。したがって、このトレーサ
ヘッドは、高精度で応答性のよい、形状の検出、測定が
でざる。さりに、可動体ｌをこれの外周側でヘッド本体
１１に支持しているので、十字ばね１５，１６．１７の
Ｚ方向の長さ寸法が短いことと相まって、高さの低い小
形のトレーサヘッドを提供できる。
法か短（、ばれ常数な小さいものにすることができるの
で、スタイラス４の接触圧が小さくても、ＱＪ動体ｌが
Ｘ方向、Ｙ方向に移動する。したがって、このトレーサ
ヘッドは、高精度で応答性のよい、形状の検出、測定が
でざる。さりに、可動体ｌをこれの外周側でヘッド本体
１１に支持しているので、十字ばね１５，１６．１７の
Ｚ方向の長さ寸法が短いことと相まって、高さの低い小
形のトレーサヘッドを提供できる。
なお、この実施例で可動体ｌを角筒状にしたのは電量軽
減のためであり、可動体は角柱状のものでもよい。また
、板ばｒａｌｓ、１９ｙよび２８゜２９ 、３２ 、
：１３は連結部材２０，２１．ｆ６よびコア２４．２５
、ダンパ軸３０．３１を復帰されるだめのものである。
減のためであり、可動体は角柱状のものでもよい。また
、板ばｒａｌｓ、１９ｙよび２８゜２９ 、３２ 、
：１３は連結部材２０，２１．ｆ６よびコア２４．２５
、ダンパ軸３０．３１を復帰されるだめのものである。
そして、前記実施例でＶ工、第１連結部材なＹ方向、第
２連結部材をＸ方向に、廷びるようにしたが、この発明
は、第１連結部材４Ｘ方向、第２連鮎部材をＹ方向に遮
びるよ５にしてもよく、第４図に示すように、平１川が
形になるように第１．第２連結部材乞配設し、ヘッド
本体の４′）の支持ブロック［第２連結部材を弾性支持
してもよい。なお、第４図において、第２図と同行号は
対応する部分を示す。さらに、この発明では、第ｌ連結
部材。
２連結部材をＸ方向に、廷びるようにしたが、この発明
は、第１連結部材４Ｘ方向、第２連鮎部材をＹ方向に遮
びるよ５にしてもよく、第４図に示すように、平１川が
形になるように第１．第２連結部材乞配設し、ヘッド
本体の４′）の支持ブロック［第２連結部材を弾性支持
してもよい。なお、第４図において、第２図と同行号は
対応する部分を示す。さらに、この発明では、第ｌ連結
部材。
第２連結部材内ではＸ、Ｙ方向の寸法は相等しいことが
必要であるが、第１連結部材と第２連結部材とは長さを
異ならせてもよい。又、第１．第２連結体の２リンク構
成に加えて第３連結体τ加Ａ３リンク構成にしても有効
である３゜ 以上説明したよ５に、この発明のトレーサヘッドは、ス
タイラスを可動体にＺ方向丁なゎらこれの軸線方向への
移動可能に弾性支持し、前日１２町動体のＸ方向と直交
する平面で互に父叉する少な（とも第１．第２連結体に
より、ｉＪ動体と第１連結体との間、第ｌ、第２連結体
の相互間、Ｋよび第２連結体とヘッド本体の間にそれぞ
れ十字はねを介在させて、前記ヘッド本体にぞれぞ几移
動可能にＺ方向の複数個所で弾性支持すると共に、可動
体のＸ方向、Ｙ方向すなわり軸方向と直交する平面で互
に直交する谷万回の前６己十字ばねのはね常数を互に寺
しく構成したので、スタイラスおよび可動体が接触圧で
軸線方間と傾腑することなく、また、Ｚｌｌｌｌ方向の
変位を全く伴わないで完全な水平向に沿った平行移動が
達成さ几、高梢匿で応答性のよいトレースを行うことが
でき、しかも軸方向の長さが短く、小形のトレーサヘッ
ドを提供できるという効果がある。
必要であるが、第１連結部材と第２連結部材とは長さを
異ならせてもよい。又、第１．第２連結体の２リンク構
成に加えて第３連結体τ加Ａ３リンク構成にしても有効
である３゜ 以上説明したよ５に、この発明のトレーサヘッドは、ス
タイラスを可動体にＺ方向丁なゎらこれの軸線方向への
移動可能に弾性支持し、前日１２町動体のＸ方向と直交
する平面で互に父叉する少な（とも第１．第２連結体に
より、ｉＪ動体と第１連結体との間、第ｌ、第２連結体
の相互間、Ｋよび第２連結体とヘッド本体の間にそれぞ
れ十字はねを介在させて、前記ヘッド本体にぞれぞ几移
動可能にＺ方向の複数個所で弾性支持すると共に、可動
体のＸ方向、Ｙ方向すなわり軸方向と直交する平面で互
に直交する谷万回の前６己十字ばねのはね常数を互に寺
しく構成したので、スタイラスおよび可動体が接触圧で
軸線方間と傾腑することなく、また、Ｚｌｌｌｌ方向の
変位を全く伴わないで完全な水平向に沿った平行移動が
達成さ几、高梢匿で応答性のよいトレースを行うことが
でき、しかも軸方向の長さが短く、小形のトレーサヘッ
ドを提供できるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例？７バす縦断面図、第２図
および第３図は第１図のＵ−ｔ＋線および■−■巌に沿
う断面図、第４図はこの発明の他の実施例を示す第２図
と対応する概略部分横断面図である。 １・・・可動体、４・・・スタイラス、５，６・・・上
、下板ばね、１１・・・ヘッド本体、１２・・・支持ブ
ロック、ＩＪ、１４・−・第１．第２連結体、１５．１
６．１７・・・十字ばね。 ＠許出願人 代理人 弁理士 閂 間 正 １ ｔ Ｊ 図 −１９− 矛 ４ 図
および第３図は第１図のＵ−ｔ＋線および■−■巌に沿
う断面図、第４図はこの発明の他の実施例を示す第２図
と対応する概略部分横断面図である。 １・・・可動体、４・・・スタイラス、５，６・・・上
、下板ばね、１１・・・ヘッド本体、１２・・・支持ブ
ロック、ＩＪ、１４・−・第１．第２連結体、１５．１
６．１７・・・十字ばね。 ＠許出願人 代理人 弁理士 閂 間 正 １ ｔ Ｊ 図 −１９− 矛 ４ 図
Claims (1)
- スタイラスを可動体にこれらの軸線方向への移動ｏＪ能
に弾性支持し、前記可動体乞、この可動体の軸方向と直
交する平面で互に交叉する少くとも第１．第２連結体に
より、可動体と第１連粕体の間、第１．第２連結体の相
互間、および第２連結体と−＼ラッド体の間にそれぞれ
十字ばね乞介在させて、前記ヘッド本体にそれぞｎ移動
可ｎＬに軸方向の複数個所で弾性支持すると共に、目」
動体の軸方向と直交する平面で互にｌｌ１Ｌ父する谷方
向の前記十字ばねのはね常数を互に寺しく構成したこと
を％徴とするトレーサヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18734081A JPS5888604A (ja) | 1981-11-21 | 1981-11-21 | トレ−サヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18734081A JPS5888604A (ja) | 1981-11-21 | 1981-11-21 | トレ−サヘツド |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2388582A Division JPS5888612A (ja) | 1982-02-17 | 1982-02-17 | トレ−サヘツド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5888604A true JPS5888604A (ja) | 1983-05-26 |
| JPS6341001B2 JPS6341001B2 (ja) | 1988-08-15 |
Family
ID=16204281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18734081A Granted JPS5888604A (ja) | 1981-11-21 | 1981-11-21 | トレ−サヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5888604A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6074004U (ja) * | 1983-10-26 | 1985-05-24 | 日立精機株式会社 | 工作機械の接触形計測装置 |
| JPS6174810U (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-20 | ||
| JPS62126712U (ja) * | 1986-02-03 | 1987-08-11 | ||
| JPS6317408U (ja) * | 1986-07-17 | 1988-02-05 | ||
| JP2006510021A (ja) * | 2002-12-13 | 2006-03-23 | フランツ ハイマー マシーネンバウ コマンディートゲゼルシャフト | センタリング装置 |
| WO2015093244A1 (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | コニカミノルタ株式会社 | 測定プローブ及び形状測定装置 |
| JP2016161515A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
| JP2016161514A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
| US10422628B2 (en) | 2015-03-05 | 2019-09-24 | Mitutoyo Corporation | Measuring probe |
-
1981
- 1981-11-21 JP JP18734081A patent/JPS5888604A/ja active Granted
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6074004U (ja) * | 1983-10-26 | 1985-05-24 | 日立精機株式会社 | 工作機械の接触形計測装置 |
| JPS6174810U (ja) * | 1984-10-23 | 1986-05-20 | ||
| JPH0438247Y2 (ja) * | 1984-10-23 | 1992-09-08 | ||
| JPH0446168Y2 (ja) * | 1986-02-03 | 1992-10-29 | ||
| JPS62126712U (ja) * | 1986-02-03 | 1987-08-11 | ||
| JPH057529Y2 (ja) * | 1986-07-17 | 1993-02-25 | ||
| JPS6317408U (ja) * | 1986-07-17 | 1988-02-05 | ||
| JP2006510021A (ja) * | 2002-12-13 | 2006-03-23 | フランツ ハイマー マシーネンバウ コマンディートゲゼルシャフト | センタリング装置 |
| WO2015093244A1 (ja) * | 2013-12-18 | 2015-06-25 | コニカミノルタ株式会社 | 測定プローブ及び形状測定装置 |
| JP2016161515A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
| JP2016161514A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
| US9618312B2 (en) | 2015-03-05 | 2017-04-11 | Mitutoyo Corporation | Measuring probe |
| US9810529B2 (en) | 2015-03-05 | 2017-11-07 | Mitotoyo Corporation | Measuring probe for measuring a three-dimensional shape of an object to be measured |
| US10422628B2 (en) | 2015-03-05 | 2019-09-24 | Mitutoyo Corporation | Measuring probe |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6341001B2 (ja) | 1988-08-15 |
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