JPH02500974A - 弗素ドープされた酸化錫の被膜の形成に有用な含弗素有機錫化合物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 １１発明の分野 本発明は、弗素ドープされた酸化錫の被膜の形成に有用な含弗素有機化合物に関 するものである。

２、先行技術の説明 本発明の化合物に関係があるが、化学蒸着のための液体被膜組成物の形成にとっ て必要な属性をもたない化合物を記述した先行技術の例は、次の通りである。

マンヶ（Ｍｅｎｋｅ）の米国特許□第ｓ、ｙｓ９’：ｈａ号には、スプレー溶液 法によって弗素ドープ酸化錫膜を作成する為の、非ハロゲン化有機錫−トリフル オロアセテート及び例えばメチルエチルケトンのような有機溶媒中のその組成物 の調製が開示されている。

しかしこれらの前駆物質（Ｐｒｅｃｕｒｓｏｒｓ　）は、揮発度が低く、溶媒を ゛添加しない、より有利な化学的蒸着法には不向きである。

ウオン（Ｖａｎｇ）及びシェリーブ（５ｈｒｅａｖｅ）著、「ケミカル・コムニ ニケーションズ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ　Ｃｏｍｍｕｎｌｅａｔｌｏｎｓ）Ｊ　（１ ９７０）、１５１頁、及び「ジェー・オルガノメット・ケミストリー（Ｊ、Ｏｒ ｇａｎｏｓｅｔ　Ｃｈｅｓ、）Ｊ　３ｇ（１９７２）、２８７頁、には、ジアル キルクロロ錫トリフルオロアセテートの調製が記載されている。

しかし、これらの化合物は、固体であり、化学的蒸着工程には使用出来ない。

ポスト（Ｈｏｓｔ）等の米国特許第４．０９３，６３８号には、弗素ドープされ た酸化錫被膜を供与するためには使用出プラム（Ｐｌｕｓ）他等の米国特許第４ ．３７４．７７８号には、弗素原子に直接に結合されている弗素有機錫化合物が 開示されている。

フランツ（Ｆｒａｎｚ）他等の米国特許第４．２５４．０４６号には、弗素ドー プされた酸化錫被膜を粉末蒸着させるためのジアルキル錫二弗化物が開示されて いる。

トムブソン（Ｔｈｏｍｐｓｏｎ）のフランス特許第１．４００．３１４号には、 モノ、ジー及びトリアルキル錫トリフルオロアセテート及びその製法が記載され ている。

リベルト（Ｌｉｂｅｒｔｅ）、ライフ（Ｒｅｉｒｆ）及びダビッドソン（Ｄａｖ ｌｄｓｏｈｎ）著「有機調製及び手順（Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｐｒｅｐａｒａｔｌｏ ｎ）　Ｊ　１（３）１７３−ＩＨｔ頁（１９６９）には、ジアルキル錫ポリフル オロカルボキシレートの調製が記載されている。

ｒＪ、オルガノメット・ケミストリ（Ｊ、Ｏｒｇａｎｏｓｅｔ。

Ｃｈｅｍ、）Ｊの論説（８）１５１（１９７０）には、ジアルキルクロロ錫トリ フルオロ・メチルアセテートが記載されている。

ｒＪ、オルガノメット・ケミストリ（Ｊ　、Ｏｒｇａｎｏｓｅｔ　。

Ｃｈｅｍ、）Ｊ　３９７２（１９７１）には、トリアルキルルキルオキサイド これらの先行技術には、特に液体被覆組成物からの化学蒸着に有用な有機錫前駆 物質はいない。

さらにモノアルキル又は関連した置換基、錫原子に直接結合された少なくとも１ つのトリフルオロメチル含有成分を含む有機錫化合物も開示されていない。

従って、本発明の目的は、シート抵抗の低い弗素ドープされた酸化錫被膜を形成 するために、直接に使用される新規な改良さ″れた有機錫化合物を提供すること にある。

本発明の別の目的は、化学蒸着法によって、弗素ドープされた酸化錫被膜を調製 するために、使用可能な前記化合物を提供することにある。

本発明の更に別な目的は、弗素ドープされた酸化錫被膜を、化学蒸着するための 液体被膜組成物において有利に使用可能な、モノアルキルクロロ錫トリフルオロ アセテート及び関連化合物を調製することにある。

発明の開示 本発明による弗素含有有機化合物は、次の一般式を有し、ここに、Ｒ−Ｃ−ＣＢ 　アルキル、アリール又はカルボアルコキシアルキル；　ａ−０．１　；　ｂ− １．２．３　；　ｃ−０。

１　；　ｄ−０．１　ｓ　ｅ−０−２　；　ｆ−１．２　；　ｎ−１−８　；　 ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ−４である 次の第１表には、上式中ａ．ｂ．ｃ．Ｉ’．ｄ．ｅ及びｎの各々の場合について 、上式による本発明の化合物が示されている。これらの化合物の調製に際して使 用される反応物質も示されている。

Ｃ’ｌ賛のロトψロローＮ凶賛のωト 従って、本発明の好ましい化合物には、次の物が含まれる。

化合物　化学式 １式％ エチルジクロロ錫　５ｎ（ＯＣＱＣＦｓ　）トリフルオロアセテート ５、ブチルジクロロ錫　ＣＨＣＩ　５ｎＯＣＨ２ＣＰ３トリフルオロ エトキシド ６、トリクｏｏ錫　５ｎＣＩ　０ＣＯＣＰｓトリフルオロアセテート 発明の詳細な説明 本発明の化合物は、次のようにして調製される。

一般的な反応工程 Ｒ５ｎＣＩ、＋１（ＯＣＯＣＨ３）　ｅ＋　［０（ＣＯ）ｄ　（ＣＨ２）　。

（ＣＦ　］　Ｍ　ｒｅｆｌｕｘ ｎ　２ｎ＋ｌ　ｒ Ｒ，５ｎＣＩ、　（ＯＣＯＣＨ３）　、　［０（Ｃｏ）、　（ＣＨ２）。

式中Ｍゝはカチオンを表はす。

本明細書において「アルキル」とは、炭素原子数が１−６の直鎖状又は分枝を含 むアルキル基を意味する。

また使用される「有機錫」化合物には、四塩化錫が含まれる。

従って、本発明の化合物を調製するために使用される代表的な有機錫反応物質の 例としては、三塩化モノブチル錫、三塩化イソブチル錫、三塩化メチル錫、二塩 化ジブチル錫、二塩化ジイソブチル錫、二塩化ジ−ｔ−ブチル錫、醋酸ブチルジ クロロ錫、三塩化カルベトキシエチル錫及び四塩化錫がある。

弗素反応物質は、カルボン酸、無水物、酸ハロゲン化物又はアルコールから選択 された、酸素に炭素が結合されている官能基に対してａ位置又はβ位置にあるト リフルオロメチル基を有する。

従って、好ましい弗素反応物質には、次の物が含まれる。

カルボン酸 トリフルオロ醋酸 クロロジフルオロ醋酸 ジフルオロ醋酸 ヘプタフルオロブチル酸 ベンタルフルオロプロピオン酸 ３−トリフルオロメチルクロトン酸 ノナフルオロペンタン酸 トリフルオロ醋酸無水物 ヘプタフルオロブチル酸無水物 ペンタフルオロプロピオン酸無水物 クロロジフルオロ醋酸無水物 ペルフルオロゲルタール酸無水物 ペルフルオロコハク酸無水物 酸ハロゲン化物 ヘプタフルオロブチルクロライド ベルフルオログルタールフルオライド ベルフルオロオクタノイルクロライド ベルフルオロスクニシルクロライド アルコール ２．２．２−）リフルオロエタノール ｌＨ，ＩＨ−へブタフルオロブタノール−１３、空、４，４．り、５．５−ヘプ タフルオロペンタノール−２へブタフルオロイソプロパツール ヘキサフルオロ−２−メチルイソプロパツールＩＨ，ｌＨ，５Ｈ−オクタフルオ ロ−１−ペンタノールペルフルオロ−１−ブタノール　２−トリフルオロメチル プロパノ−ルー２ １．１．１−トリフルオロプロパノ−ルー２ペルフルオロエタノール 本発明の好ましい実施態様によれば、モノブチル錫トリクロライドをトリフルオ ロ醋酸の塩と反応させて、ブチルジクロロ錫トリフルオロアセテートを生成させ る。

次に本発明の実施例について説明する。

反応式を示すと、次の通り Ｃ４Ｈ９ＳｎＣＩ３＋ＣＰ３ＣｏｏＫ −Ｃ４Ｈ９Ｃ１２５ｎＯＣＯＣＰ　３　＋　ＫＣＩＡ、モノブチル錫トリクロラ イド（ＭＢＴＣ）　（８，４８ｇ。

０．０３モル、７１．２重量％）とトリフルオロ醋酸（ＴＦＡ）（３，４２ｇ、 ０．０３モル、２８，８重量％）、苛性加里（ＫＯＨ）（２，０８ｇ、０．０３ モル）、水１５．２ｍｌ、エーテル５０１、メチルエチルケトン（ＭＥＫ　）　 ５０ｍ１及び相移行触媒（Ｎ”Ｂｒ−）としての０１８１（３３（Ｃ１（３）　 ｓ　Ｎ　”　Ｂｒ−０，１ｇとを、ＫＯＨを水に溶解させ、ＴＦＡを添加し、Ｍ ＢＴＣとエーテル及びＭＥＫを別々に充填し、Ｎ”Ｂｒ−を添加し、第２溶液を 第１溶液に添加し、窒素ブランケットの下にかき混ぜつつ還元まで加熱し、４８ ℃で２時間還流させることによって調製した。

１昼夜放置した後、水相と有機相とが生成した。

水相は、透明で無色の下層、を機相は、透明で黄色の上層であった。有機相は濃 縮し、残留物は、真空乾燥器内に１昼夜収納した。収率は、褐色の粘稠な液状の モノブチルジクロロ錫トリフルオロアセテート９．６０ｇであった（収率：８９ ％）。Ｓｎの分析値、３３％、実測値３６％；Ｃ１の分析値２０％、実測値２１ ％であった。

Ｂ、モノブチル錫トリクロライド（ＭＢＴＣ）　（２０（１ｇ、０．７モル）と トリフルオロ醋酸（ＴＦＡ）のナトリウム塩（１０ｇ、０．［１７モル）との反 応混合物を、７０℃にて３時間加熱し、室温において１昼夜放置した。塩化ナト リウム副生成物及び未反応ナトリウム塩は濾去した。

モノブチルジクロロ錫トリフルオロアセテート約１２重量％とモノブチル錫トリ クロライド８８重量％とから成る液状の被膜生成物が得られた。

［実施例２］ 実施例１と同様にして、モノフェニルジクロロ錫ヒドロキサイド（９，０ｇ、０ ．０３モル）とトリフルオロ醋酸（３，４２ｇ、０．０３モル）との反応混合物 を調製し、２時間還流させたところ、所望の生成物８１％が得られた。

［実施例３］ トリフルオロ醋酸のアンモニウム塩を用いて実施例２の実験を反復し、同様の結 果を得た。

弗素ドープされた酸化錫被膜を化学蒸着によってガラス上に調製するために、実 施例ＩＢの液状の被膜組成物を使用した。

水分を含む空気の雰囲気中において６５０℃で２秒間法着させることによって、 透明で曇りのない厚み２００ｎｍの被膜が得られた。シート抵抗は、１平方当た り４０オーム、赤外線反射率は、１０ＩｉＩ１１で７０％よりも高く、可視光の 透過率は、７０％よりも高かりた。

補正書の翻訳文提出書（特許法第１８４条の７第１項）平成　１年　１月１８日

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）式 ▲数式、化学式、表等があります▼ （上式において、Ｒは、アルキル・アリール又はカルボ７ルコキシアルキル、 ａ＝０，１、 ｂ＝１，２，３、 ｃ＝０，１、 ｄ＝０，１、 ｅ＝０，２、 ｆ＝１，２、 ｎ＝１−６、 ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝４である） から成ることを特徴とする弗素ドープされた酸化錫の被膜の形成に有用な含弗素 有機化合物。
2. （２）前記ＲがＣ１−Ｃ６のアルキルである請求の範囲第１項記載の含弗素有機 化合物。
3. （３）ブチルジクロロ錫トリフルオロアセテートである請求の範囲第１項記載の 含弗素有機化合物。
4. （４）ブチルクロロ錫ビス−トリフルオロアセテートである請求の範囲第１項記 載の含弗素有機化合物。
5. （５）ブチルクロロ錫アセテートトリフルオロアセテートである特許請求の範囲 第１項記載の含弗素有機化合物。
6. （６）カルボエトキシエチルジクロロ錫トリフルオロアセテートである特許請求 の範囲第１項記載の含弗素有機化合物。
7. （７）ブチルジクロロ錫トリフルオロエトキシドである特許請求の範囲第１項記 載の含弗素有機化合物。
8. （８）トリクロロ錫トリフルオロアセテートである特許請求の範囲第１項記載の 含弗素有機化合物。