JPS62124276A - フツ素ド−プ酸化スズコ−テイングを生ずる改良化学蒸着法 - Google Patents
フツ素ド−プ酸化スズコ−テイングを生ずる改良化学蒸着法Info
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- JPS62124276A JPS62124276A JP60299697A JP29969785A JPS62124276A JP S62124276 A JPS62124276 A JP S62124276A JP 60299697 A JP60299697 A JP 60299697A JP 29969785 A JP29969785 A JP 29969785A JP S62124276 A JPS62124276 A JP S62124276A
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- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の背景
（１１発明の分野
本発明は酸スズコーティングに関し、より詳しくは化学
蒸着によりフッ素ドープ酸化スズコーティングを生ずる
改良法に関する。
蒸着によりフッ素ドープ酸化スズコーティングを生ずる
改良法に関する。
（２）従来技術の説明
フッ素ドープ酸化スズコーティングがガラス、セラミッ
クス、金属および元素フィラメント（ｅｌｅ＋＋＋ｅｎ
ｔａｌ ｆｔ１ａ＋＊ｅｎｔ）を含む多種の基材表面に
有用な性質を与えることが知られている。上記被覆基材
はエネルギー効果窓（ｅｎｅｒｇｙ ｅｆｆｉｃｉｅｎ
ｔｗｉｎｄｏｉ＋）並びにオプトエレクトロ二ソクおよ
び半導体デバイスにおける熱反射要素として用途が見出
される。
クス、金属および元素フィラメント（ｅｌｅ＋＋＋ｅｎ
ｔａｌ ｆｔ１ａ＋＊ｅｎｔ）を含む多種の基材表面に
有用な性質を与えることが知られている。上記被覆基材
はエネルギー効果窓（ｅｎｅｒｇｙ ｅｆｆｉｃｉｅｎ
ｔｗｉｎｄｏｉ＋）並びにオプトエレクトロ二ソクおよ
び半導体デバイスにおける熱反射要素として用途が見出
される。
酸化スズコーティングの化学蒸着は文献に記載され、例
えば米国特許第３，６７７．８１４号、第３．９４９，
１４６号、第４，１３０．６７３号、第４，１４６，６
５７号、第４．２１３，５９４号、第４，２６５，９７
４号、シン・ソリッド・フイルムズ（Ｔｈ１ｎ ５ｏｌ
ｉｄ Ｆｉｌｍｓ ） ７７、５１〜６３ （１９８１
）ｉ６５〜６６；およびジャーナル・オブ・ジ・エレク
トロケミカル・ソサイエテイ （Ｊ、 Ｅｌｅｃｔｒｏ
ｃｈｅｍ、 Ｓｏｃ、 ） 、１２２．１１４４（１９
７５）が参照される。
えば米国特許第３，６７７．８１４号、第３．９４９，
１４６号、第４，１３０．６７３号、第４，１４６，６
５７号、第４．２１３，５９４号、第４，２６５，９７
４号、シン・ソリッド・フイルムズ（Ｔｈ１ｎ ５ｏｌ
ｉｄ Ｆｉｌｍｓ ） ７７、５１〜６３ （１９８１
）ｉ６５〜６６；およびジャーナル・オブ・ジ・エレク
トロケミカル・ソサイエテイ （Ｊ、 Ｅｌｅｃｔｒｏ
ｃｈｅｍ、 Ｓｏｃ、 ） 、１２２．１１４４（１９
７５）が参照される。
従来技術に記載された化学蒸着法はプロセス条件、また
は使用組成物、あるいは生ずる酸化スズコーティングの
性質が一定商業用途に完全には満足されない点に１つま
たはより多くの不利益がある。例えば製品がエネルギー
効果窓である場合に成功はプロセスで得られるコーティ
ングの比較的高くかつ変動するシート抵抗および低い蒸
着速度により制限された。
は使用組成物、あるいは生ずる酸化スズコーティングの
性質が一定商業用途に完全には満足されない点に１つま
たはより多くの不利益がある。例えば製品がエネルギー
効果窓である場合に成功はプロセスで得られるコーティ
ングの比較的高くかつ変動するシート抵抗および低い蒸
着速度により制限された。
ケイン（Ｋａｎｅ ）は米国特許第３．９４９．１４６
号においてアンチモンでドープしたジブチルススジアセ
タート、ビス（トリーｎ−プロピル）スズオキシドまた
はビス（トリーｎ−ブチル）スズオキシドからの酸化ス
ズコーティングの化学蒸着を記載している。しかし、抵
抗がプロセス変数に無関係である低いシート抵抗のフッ
素ドープコーティングを生成する方法の開示はない。
号においてアンチモンでドープしたジブチルススジアセ
タート、ビス（トリーｎ−プロピル）スズオキシドまた
はビス（トリーｎ−ブチル）スズオキシドからの酸化ス
ズコーティングの化学蒸着を記載している。しかし、抵
抗がプロセス変数に無関係である低いシート抵抗のフッ
素ドープコーティングを生成する方法の開示はない。
化学蒸着法はまたカトウ（Ｋａｔｏ ）により米国特許
第４ 、５００ 、５６７号に開示される。この方法は
各反応物の別々のガス流から形成される七ノブチルスズ
トリクロリドとハロジフルオロメタンとのガス混合物を
用いる。ガス混合物は次いでガラス表面上に蒸着される
。しかし、この方法ではコーティングの電気的性質が適
当でなく、また蒸着時間が長い。
第４ 、５００ 、５６７号に開示される。この方法は
各反応物の別々のガス流から形成される七ノブチルスズ
トリクロリドとハロジフルオロメタンとのガス混合物を
用いる。ガス混合物は次いでガラス表面上に蒸着される
。しかし、この方法ではコーティングの電気的性質が適
当でなく、また蒸着時間が長い。
従来技術の上記考察から明らかなようにフッ素ドープ酸
化スズコーティングの改良化学蒸着法、殊にプロセス条
件の範囲で一定かつ最低のシート抵抗を有するそのよう
なコーティングを与える方法が必要である。
化スズコーティングの改良化学蒸着法、殊にプロセス条
件の範囲で一定かつ最低のシート抵抗を有するそのよう
なコーティングを与える方法が必要である。
発明の概要
本発明によれば、反応性有機フッ素ドーパントおよび有
機スズ化合物を含む液体コーティング組成物を用いてフ
ッ素ドープ酸化スズコーティングを形成する改良された
化学蒸着法が提供される。
機スズ化合物を含む液体コーティング組成物を用いてフ
ッ素ドープ酸化スズコーティングを形成する改良された
化学蒸着法が提供される。
この方法は生ずるコーティングが最低かつ一定のシート
抵抗を有し、それが温度に実質的に無関係であるように
規定した一組のプロセス条件のもとで行なわれる。この
方法における変数は気相中のキャリヤーガス、水、有機
フッ素ドーパントおよび有機スズ化合物の濃度である。
抵抗を有し、それが温度に実質的に無関係であるように
規定した一組のプロセス条件のもとで行なわれる。この
方法における変数は気相中のキャリヤーガス、水、有機
フッ素ドーパントおよび有機スズ化合物の濃度である。
これらの濃度は式、
〔式中、
（エア）はキャリヤーガスの濃度、モル、（１１□０）
はキャリヤーガス中の水の濃度、モル、（ＯＦＤ ）は
キャリヤーガス中の有機フッ素ドーーバントの濃度、モ
ル、 （Ｏ）はキャリヤーガス中の有機スズ化合物の濃度、モ
ル、 である〕 により規定されるパラメーターＭにより関連される。
はキャリヤーガス中の水の濃度、モル、（ＯＦＤ ）は
キャリヤーガス中の有機フッ素ドーーバントの濃度、モ
ル、 （Ｏ）はキャリヤーガス中の有機スズ化合物の濃度、モ
ル、 である〕 により規定されるパラメーターＭにより関連される。
適当には、Ｍは５０，０００またはそれ未満、好ましく
は２０，０００またはそれ未満の値を有する。
は２０，０００またはそれ未満の値を有する。
これらのＭ値において、蒸着した酸化スズコーティング
は最低かつ一定のシート抵抗を有し、それは蒸着温度に
実質的に無関係である。規定した値より裔いＭ値ではシ
ート抵抗はＭが増加するとともに増加し、蒸着温度とと
もに増加する。
は最低かつ一定のシート抵抗を有し、それは蒸着温度に
実質的に無関係である。規定した値より裔いＭ値ではシ
ート抵抗はＭが増加するとともに増加し、蒸着温度とと
もに増加する。
化学蒸着法は有機フ・ノ素ドーパント１〜３０重量％お
よび有機スズ化合物７０〜９９％を含む液体コーティン
グ組成物を用いて行なわれる。好ましい組成は有機フッ
素ドーパント２〜１０％および有機スズ化合物９０〜９
８重量％、並びに場合による極性有機溶媒１〜１０重量
％である。
よび有機スズ化合物７０〜９９％を含む液体コーティン
グ組成物を用いて行なわれる。好ましい組成は有機フッ
素ドーパント２〜１０％および有機スズ化合物９０〜９
８重量％、並びに場合による極性有機溶媒１〜１０重量
％である。
蒸着はガラス上に行なわれ、５０，０００またはそれ未
満、好ましくは２０，０００またはそれ未満のＭ値に対
して約２５オーム／ｓｑ、の最低かつ一定のシート抵抗
を有する１８０〜２１０ｒ＋ｎ＋の厚さのフッ素ドープ
酸化スズコーティングが生成される。
満、好ましくは２０，０００またはそれ未満のＭ値に対
して約２５オーム／ｓｑ、の最低かつ一定のシート抵抗
を有する１８０〜２１０ｒ＋ｎ＋の厚さのフッ素ドープ
酸化スズコーティングが生成される。
発明の詳細な説明
次に第１図を参照すると本発明の化学蒸着法を行なうの
に適する装置が線図的に示される。酸素を含み、空気が
好ましいキャリヤーガスＩＯは計量されてフィードライ
ン１１に送られ、空気乾燥塔１２を通って乾燥空気の流
れ１３を与える。別の空気の流れが適当量の水１５を含
む増湿装置１４を通って所望相対湿度の湿潤空気流１６
を与える。それにより湿潤空気流１７は注入ポンプ２０
および注入器２１により蒸発器１８へ供給された液体コ
ーティング組成物を保持する容器１９を入れた蒸発器１
８を通過する。空気流は油浴（図示されていない）から
所望の蒸発温度に加熱される。
に適する装置が線図的に示される。酸素を含み、空気が
好ましいキャリヤーガスＩＯは計量されてフィードライ
ン１１に送られ、空気乾燥塔１２を通って乾燥空気の流
れ１３を与える。別の空気の流れが適当量の水１５を含
む増湿装置１４を通って所望相対湿度の湿潤空気流１６
を与える。それにより湿潤空気流１７は注入ポンプ２０
および注入器２１により蒸発器１８へ供給された液体コ
ーティング組成物を保持する容器１９を入れた蒸発器１
８を通過する。空気流は油浴（図示されていない）から
所望の蒸発温度に加熱される。
空気流２２中の蒸発した液体コーティング組成物は次い
で、基材２５が熱板２６上に配置され、コーティングノ
ズル２４を存する蒸着室２３へ移動する。所望のコーテ
ィングの蒸着後、蒸着の気体副生物が排出される。
で、基材２５が熱板２６上に配置され、コーティングノ
ズル２４を存する蒸着室２３へ移動する。所望のコーテ
ィングの蒸着後、蒸着の気体副生物が排出される。
本発明の方法における液体コーティング組成物は
（ａｌ 炭素がカルボン酸、酸無水物、エステル、ア
ルコール、ケトン、酸ハロゲン化物またはエーテルから
選ばれる酸素に結合している官能基に対するαまたはβ
に少くとも１個のフッ素原子が位置する反応性有機フッ
素ドーパント化合物１〜３０重量％、 （ｂ） アルキルスズトリクロリド、ジアルキルスズ
ジクロリド、アルキルジクロロスズアセタート、ジアル
キルクロロスズジアセタート、またはエステルスズトリ
クロリドである有機スズ化合物、あるいは四塩化スズ７
０〜９９重量％、を含む。
ルコール、ケトン、酸ハロゲン化物またはエーテルから
選ばれる酸素に結合している官能基に対するαまたはβ
に少くとも１個のフッ素原子が位置する反応性有機フッ
素ドーパント化合物１〜３０重量％、 （ｂ） アルキルスズトリクロリド、ジアルキルスズ
ジクロリド、アルキルジクロロスズアセタート、ジアル
キルクロロスズジアセタート、またはエステルスズトリ
クロリドである有機スズ化合物、あるいは四塩化スズ７
０〜９９重量％、を含む。
従って、適当な官能基および反応性有機フッ素ドーパン
トには次のものが含まれる。
トには次のものが含まれる。
互土杢／匁
トリフルオロ酢酸
クロロジフルオロ酢酸
ジフルオロ酢酸
ヘプトフルオロ醋酸
ペンタフルオロプロピオン酸
３−トリフルオロメチルクロトン酸
酸無水物
トリフルオロ酢酸無水物
ペンタフルオロ酪酸無水物
ペンタフルオロプロピオン酸無水物
クロロジフルオロ酢酸無水物
ペルフルオログルタル酸＝水物
ペルフルオロコハク酸無水物
エステル
トリフルオロ酢酸エチル
トリフルオロ酢酸ブチル
ブロモジフルオロ酢酸エチル
クロロフルオロ酢酸エチル
ペンタフルオロプロピオン酸メチル
ヘプトフルオロ酪酸メチル
トリフルオロ酢酸メチル
ペルフルオロブテン−３−酸メチル
トリフルオロ酢酸２，２．２−トリフルオロエチル
酢酸１，１、■−トリフルオロイソプロピルアルコ −
ル ２．２．２−）リフルオロエタノール ＩＨ，ＩＨ−へブタフルオロブタノール−１３，３，４
，４，５，５，５−ヘプタフルオロペンタノール−２ ヘプタフルオロイソプロパツール ヘキサフルオロ−２−メチルイソプロパツール ＩＨ，ＩＨ，５Ｈ−オクタフルオロ−１−ペンタノール ペルフルオロ−ｔ−ブタノール ２−トリフルオロメチルプロパノ−ルー２１．１．１−
）リフルオロプロパノ−ルー２ケトン ４．４．４−）リフルオロアセト酢酸エチル１．１．１
−トリフルオロアセチルアセトンビス（ペルフルオロイ
ソプロピル）ケトン３−ブロモ−１，１，１−トリフル
オロプロパノン ４．４．４−トリフルオロアセト酢酸エチルヘキサフル
オロアセチルアセトン ペンタフルオ口エチルエチルケトン １．１．１−トリフルオロアセトン メチルへブタフルオロプロピルケトン 酸ハロゲン化物 ヘプタフルオロブチリルクロリド ベルフルオログルタリルフルオリド ベルフルオロオクタノイルクロリド ベルフルオロサクシニルクロリド エーテル ２−クロロ−１，１，１−）リフルオロエチルメチルエ
ーテル ２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチルエチルエ
ーテル 代表的な反応性有機フッ素ドーパントにはトリフルオロ
酢酸、トリフルオロ酢酸無水物、トリフルオロアセト酢
酸エチル、トリフルオロエタノール、トリフルオロ酢酸
エチル、ペンタフルオロプロピオン酸、２−クロロ−１
，１，２−）リフルオロエチルエチルエーテル、１，１
．１−）リフルオロアセチルアセトンおよびヘプタフル
オロブチリルクロリドが含まれる。
ル ２．２．２−）リフルオロエタノール ＩＨ，ＩＨ−へブタフルオロブタノール−１３，３，４
，４，５，５，５−ヘプタフルオロペンタノール−２ ヘプタフルオロイソプロパツール ヘキサフルオロ−２−メチルイソプロパツール ＩＨ，ＩＨ，５Ｈ−オクタフルオロ−１−ペンタノール ペルフルオロ−ｔ−ブタノール ２−トリフルオロメチルプロパノ−ルー２１．１．１−
）リフルオロプロパノ−ルー２ケトン ４．４．４−）リフルオロアセト酢酸エチル１．１．１
−トリフルオロアセチルアセトンビス（ペルフルオロイ
ソプロピル）ケトン３−ブロモ−１，１，１−トリフル
オロプロパノン ４．４．４−トリフルオロアセト酢酸エチルヘキサフル
オロアセチルアセトン ペンタフルオ口エチルエチルケトン １．１．１−トリフルオロアセトン メチルへブタフルオロプロピルケトン 酸ハロゲン化物 ヘプタフルオロブチリルクロリド ベルフルオログルタリルフルオリド ベルフルオロオクタノイルクロリド ベルフルオロサクシニルクロリド エーテル ２−クロロ−１，１，１−）リフルオロエチルメチルエ
ーテル ２−クロロ−１，１，２−トリフルオロエチルエチルエ
ーテル 代表的な反応性有機フッ素ドーパントにはトリフルオロ
酢酸、トリフルオロ酢酸無水物、トリフルオロアセト酢
酸エチル、トリフルオロエタノール、トリフルオロ酢酸
エチル、ペンタフルオロプロピオン酸、２−クロロ−１
，１，２−）リフルオロエチルエチルエーテル、１，１
．１−）リフルオロアセチルアセトンおよびヘプタフル
オロブチリルクロリドが含まれる。
典型的な有機スズ化合物にはモノブチルスズトリクロリ
ド、ジブチルスズジクロリド、ブチルジクロロスズアセ
タート、ブチルクロロスズジアセタート、カルベトキシ
エチルスズトリクロリドが含まれる。四塩化スズもまた
スズ化合物として使用できる。
ド、ジブチルスズジクロリド、ブチルジクロロスズアセ
タート、ブチルクロロスズジアセタート、カルベトキシ
エチルスズトリクロリドが含まれる。四塩化スズもまた
スズ化合物として使用できる。
本発明の好ましい形態において液体コーティング組成物
には有機フッ素化合物２〜１０重量％および有機スズ化
合物９０〜９８重量％が含まれる。
には有機フッ素化合物２〜１０重量％および有機スズ化
合物９０〜９８重量％が含まれる。
本発明の液体コーティング組成物はまた極性有機化合物
を、組成物の約１００〜約％の量で含み、それは低温に
おける液体組成物の安定性を保証する。極性有機液体が
存在するとき液体コーティング組成物には有機フッ素ド
ーパント２〜１０重量％、有機スズ化合物８０〜９７重
量％および極性有機液体１〜１０重量％が含まれる。
を、組成物の約１００〜約％の量で含み、それは低温に
おける液体組成物の安定性を保証する。極性有機液体が
存在するとき液体コーティング組成物には有機フッ素ド
ーパント２〜１０重量％、有機スズ化合物８０〜９７重
量％および極性有機液体１〜１０重量％が含まれる。
本発明の好ましい形態において、有機フッ素ドーパント
はトリフルオロ酢酸、トリフルオロ酢酸無水物またはト
リフルオロアセト酢酸エチルであり、有機スズ化合物は
モノブチルスズトリクロリドである。
はトリフルオロ酢酸、トリフルオロ酢酸無水物またはト
リフルオロアセト酢酸エチルであり、有機スズ化合物は
モノブチルスズトリクロリドである。
プロセスにおける蒸発温度は適当には約１００〜約４０
０℃の範囲であり、約１５０〜２５０℃が好ましい。基
材温度は約４００〜約７００℃、好ましくは約５５０〜
約６５０℃の範囲である。
０℃の範囲であり、約１５０〜２５０℃が好ましい。基
材温度は約４００〜約７００℃、好ましくは約５５０〜
約６５０℃の範囲である。
キャリヤーガスは酸素含有ガスであり、それは空気また
は、酸素と不活性ガスとの混合物であることができ、好
ましくは空気である。
は、酸素と不活性ガスとの混合物であることができ、好
ましくは空気である。
キャリヤーガスは本発明のプロセス中で水蒸気を含有す
る。
る。
被覆される基材はガラス、セラミック、ソリッドステー
ト材料、金属、元素フィラメントなどであることができ
る。
ト材料、金属、元素フィラメントなどであることができ
る。
酸化スズフィルムのシート抵抗（オーム／ＳＱ、 ）は
ＡＳＴＭ標準法Ｆ３７４−８１に従って普通の４点プロ
ーブで測定される。
ＡＳＴＭ標準法Ｆ３７４−８１に従って普通の４点プロ
ーブで測定される。
フィルム厚さはブリティッシュ・スタンダーズ・インス
チチューション（Ｂｒ１ｔｉｓｈ ５ｔａｎｄａｒｄｓ
Ｉｎｓｔｉｔｕｔｉｏｎ ）法Ｂ５５４１１：バート１
２．１９８１、ｌ５Ｏ３５４３−１９８１に従うβ後方
散乱（ｂｅｔａ−ｂａｃｋ−ｓｃａｔｔｅｒ ）法によ
り測定される。
チチューション（Ｂｒ１ｔｉｓｈ ５ｔａｎｄａｒｄｓ
Ｉｎｓｔｉｔｕｔｉｏｎ ）法Ｂ５５４１１：バート１
２．１９８１、ｌ５Ｏ３５４３−１９８１に従うβ後方
散乱（ｂｅｔａ−ｂａｃｋ−ｓｃａｔｔｅｒ ）法によ
り測定される。
次に第２図を参照すると本発明のプロセス条件を規定す
るパラメーターＭを変えて最低かつ一定のシート抵抗を
有するフッ素ドープ酸化スズコーティングを得ることが
できることが知られる。
るパラメーターＭを変えて最低かつ一定のシート抵抗を
有するフッ素ドープ酸化スズコーティングを得ることが
できることが知られる。
５０．０００以下のＭ値に対し、コーティングのシート
抵抗は、約１８０〜２１０ｎＩｌ＋の厚さで２５オーム
／ｓｑ、である。ｓｏ、ｏｏｏを超えるＭ値に対し、シ
ート抵抗はＭが増すとともに急速に増加する。
抵抗は、約１８０〜２１０ｎＩｌ＋の厚さで２５オーム
／ｓｑ、である。ｓｏ、ｏｏｏを超えるＭ値に対し、シ
ート抵抗はＭが増すとともに急速に増加する。
実施例Ｉ
Ｍ値５０，０００以下である条件のもとで作った酸化ス
ズコーティング 七ノブチルスズトリクロリド（ＭＢＴＣ）１００部、ト
リフルオロ酢酸（ＴＦＡ）４．０４部および無水酢酸（
ＡＡ）（、比重１．６２）１．４５部の液体コーティン
グ組成物を、１２０℃に加熱した蒸発器に１０．５ｇ／
時の流量で送った。これはＭＢＴＣＯ，０３５モル／時
およびＴＦＡｏ、００３５モル／時に相当する。次いで
空気２８．８モル／時および■４□００．０６７モル／
時を含む湿潤空気を蒸発器に通し蒸気を５００℃に加熱
したガラススライド上に２０秒で蒸着させた。生じたコ
ーティングは２１０ｔｖの厚さを有した。計算Ｍ値は１
６，０００であった。コーティングの測定シート抵抗は
２５オーム／ｓｑ、であった。
ズコーティング 七ノブチルスズトリクロリド（ＭＢＴＣ）１００部、ト
リフルオロ酢酸（ＴＦＡ）４．０４部および無水酢酸（
ＡＡ）（、比重１．６２）１．４５部の液体コーティン
グ組成物を、１２０℃に加熱した蒸発器に１０．５ｇ／
時の流量で送った。これはＭＢＴＣＯ，０３５モル／時
およびＴＦＡｏ、００３５モル／時に相当する。次いで
空気２８．８モル／時および■４□００．０６７モル／
時を含む湿潤空気を蒸発器に通し蒸気を５００℃に加熱
したガラススライド上に２０秒で蒸着させた。生じたコ
ーティングは２１０ｔｖの厚さを有した。計算Ｍ値は１
６，０００であった。コーティングの測定シート抵抗は
２５オーム／ｓｑ、であった。
実施例２
Ｍ値がｓｏ、ｏｏｏより高い条件のもとで作った酸化ス
ズコーティング ＭＢＴＣＩ Ｏ０部、ＴＦＡ２部およびＡ Ａ ０．７
２部の液体コーティング組成物を蒸発器中へ１０．５ｇ
／時の流量で送った。これはＭＢＴＣｏ、０３６モル／
時でＴＦＡｏ、００１８モル／時に相当する。
ズコーティング ＭＢＴＣＩ Ｏ０部、ＴＦＡ２部およびＡ Ａ ０．７
２部の液体コーティング組成物を蒸発器中へ１０．５ｇ
／時の流量で送った。これはＭＢＴＣｏ、０３６モル／
時でＴＦＡｏ、００１８モル／時に相当する。
次いで空気２７．６モル／時およびＨ，０１，０２モル
／時を含む湿潤空気を蒸発器に通し、形成された蒸気混
合物を、５００℃に加熱したガラススライド上に蒸着さ
せた。１２秒で１９Ｏｎ＋ｍの厚さを有するフッ素ドー
プ酸化スズコーティングが生成された。計算Ｍ値は４．
３Ｘ１０’であった。コーティングの測定シート抵抗は
２３９オーム／ｓｑ。
／時を含む湿潤空気を蒸発器に通し、形成された蒸気混
合物を、５００℃に加熱したガラススライド上に蒸着さ
せた。１２秒で１９Ｏｎ＋ｍの厚さを有するフッ素ドー
プ酸化スズコーティングが生成された。計算Ｍ値は４．
３Ｘ１０’であった。コーティングの測定シート抵抗は
２３９オーム／ｓｑ。
であった。
実施例３
実施例１および２の手順に従い、５０，０００以下およ
びそれより高いＭ値に相当するＭＢＴＣｌＴＦＡ、空気
および水の濃度における小変動を試験し、第２図のグラ
フに記録した。５０，０００以下でシート抵抗は実質的
に最低で、約３０オーム／ｓｑ、の一定値と測定された
が、ｓｏ、ｏｏｏより高いＭ（ｉｉに対してシート抵抗
は実質的に高（、Ｍ値が増すとともに急速に増加した。
びそれより高いＭ値に相当するＭＢＴＣｌＴＦＡ、空気
および水の濃度における小変動を試験し、第２図のグラ
フに記録した。５０，０００以下でシート抵抗は実質的
に最低で、約３０オーム／ｓｑ、の一定値と測定された
が、ｓｏ、ｏｏｏより高いＭ（ｉｉに対してシート抵抗
は実質的に高（、Ｍ値が増すとともに急速に増加した。
規定したＭ値内で行なった本発明のドープ酸化スズコー
ティングはまた広い範囲の蒸着温度にわたり最低かつ一
定のシート抵抗を有することが認められたが、高いＭ値
（５０，０００より高い）で作った同様のコーティング
は異なる蒸着温度で増加するシート抵抗を示す。
ティングはまた広い範囲の蒸着温度にわたり最低かつ一
定のシート抵抗を有することが認められたが、高いＭ値
（５０，０００より高い）で作った同様のコーティング
は異なる蒸着温度で増加するシート抵抗を示す。
本発明はその一定の態様について記載されたけれども、
該技術内である変形および変更を行なうことができるこ
とが理解されよう。従って本発明は特許請求の範囲のみ
により拘束されるものである。
該技術内である変形および変更を行なうことができるこ
とが理解されよう。従って本発明は特許請求の範囲のみ
により拘束されるものである。
第１図は適当な化学蒸着法を行なう装置の略図であり、
第２図は本発明の方法により生じた酸化スズコーティン
グに対するシート抵抗のＭ値に対するグラフである。 １０・・・キャリヤーガス、 １２・・・乾燥塔１４
・・・増湿装置、 １５・・・水１８・・・蒸発
器、 ２０・・・注入ポンプ２１・・・注入
器、 ２３・・・蒸着室２４・・・コーティ
ングノズル、 ２５・・・基材２６・・・熱板。
グに対するシート抵抗のＭ値に対するグラフである。 １０・・・キャリヤーガス、 １２・・・乾燥塔１４
・・・増湿装置、 １５・・・水１８・・・蒸発
器、 ２０・・・注入ポンプ２１・・・注入
器、 ２３・・・蒸着室２４・・・コーティ
ングノズル、 ２５・・・基材２６・・・熱板。
Claims (12)
- （１）異なるプロセス条件のもとで最低かつ一定のシー
ト抵抗を有するフッ素ドープ酸化スズコーティングを生
ずる改良化学蒸着法であって、 （ａ）有機フッ素ドーパントおよび有機スズ化合物を含
む液体コーティング組成物であって、（ｉ）炭素がカル
ボン酸、酸無水物、エステル、アルコール、ケトン、酸
ハロゲン化物またはエーテルから選ばれる酸素に結合し
ている官能基に対するαまたはβに少くとも１個のフッ
素原子が位置する有機フッ素ドーパント１〜３０重量％
、および （ｉｉ）アルキルスズトリクロリド、ジアルキルスズジ
クロリド、アルキルジクロロスズアセタート、ジアルキ
ルクロロスズジアセタートまたはエステルスズトリクロ
リドである有機スズ化合物、あるいは四塩化スズ７０〜
９９重量％、 を含む液体コーティング組成物を形成し、 （ｂ）前記液体コーティング組成物を湿潤キャリヤーガ
ス中へ蒸発させてキャリヤーガス、水、有機フッ素ドー
パントおよび有機スズ化合物の蒸気混合物を形成し、 （ｃ）前記蒸気混合物を基材上で分解して前記コーティ
ングを形成させる、 ことを含み、 前記成分の蒸気濃度は、 Ｍ＝（エア）（Ｈ＿２Ｏ）／（ＯＦＤ）（Ｏ） 〔式中、 （エア）はキャリヤーガスの濃度、モル、 （Ｈ＿２Ｏ）はキャリヤーガス中の水の濃度、モル、 （ＯＦＤ）はキャリヤーガス中の有機フッ素ドーパント
の濃度、モル、 （Ｏ）はキャリヤーガス中の有機スズ化合物の濃度、モ
ル、 である〕 として規定されるパラメーターＭが５０，０００以下の
値を有しそれにより前記値のＭに対し最低かつ一定のシ
ート抵抗を有するフッ素ドープ酸化スズコーティングが
生ずることを特徴とする化学蒸着法。 - （２）Ｍが２０，０００またはそれ未満の値を有する、
特許請求の範囲第（１）項記載の方法。 - （３）シート抵抗が約１８０〜２１０ｎｍの厚さで約２
５オーム／ｓｑ．である、特許請求の範囲第（１）項記
載の方法。 - （４）液体コーティング組成物が前記有機フッ素ドーパ
ント２〜１０重量％と前記有機スズ化合物９０〜９８重
量％とからなる、特許請求の範囲第（１）項記載の方法
。 - （５）液体コーティング組成物が極性有機化合物１〜１
０重量％を含む、特許請求の範囲第（１）項記載の方法
。 - （６）前記組成物が前記有機フッ素ドーパント２〜１０
重量％、前記有機スズ化合物８０〜９７重量％および前
記極性有機化合物１〜１０重量％を含む、特許請求の範
囲第（５）項記載の方法。 - （７）極性有機化合物が無水酢酸、酢酸エチルまたはメ
チルイメブチルケトンである、特許請求の範囲第（６）
項記載の方法。 - （８）蒸発温度が１００〜４００℃である、特許請求の
範囲第（１）項記載の方法。 - （９）蒸着温度が４００℃より高く７００℃より低い、
特許請求の範囲第（１）項記載の方法。 - （１０）基材がガラスである、特許請求の範囲第（１）
項記載の方法。 - （１１）蒸着温度の上昇に関して実質的に最低かつ一定
のシート抵抗を有する、特許請求の範囲第（１）項記載
の方法の生成物。 - （１２）有機スズ化合物がモノブチルスズトリクロリド
、メチルスズトリクロリド、イソブチルスズトリクロリ
ド、ジブチルスズジクロリド、ジ−ｔ−ブチルスズジク
ロリド、ブチルジクロロスズアセタート、ブチルクロロ
スズジアセタート、またはカルベトキシエチルスズトリ
クロリドである、特許請求の範囲第（１）項記載の方法
。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/687,067 US4590096A (en) | 1984-12-28 | 1984-12-28 | Water vapor, reaction rate and deposition rate control of tin oxide film by CVD on glass |
| US687067 | 1984-12-28 | ||
| US748648 | 1985-06-25 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62124276A true JPS62124276A (ja) | 1987-06-05 |
| JPH036993B2 JPH036993B2 (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=24758907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60299697A Granted JPS62124276A (ja) | 1984-12-28 | 1985-12-26 | フツ素ド−プ酸化スズコ−テイングを生ずる改良化学蒸着法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4590096A (ja) |
| JP (1) | JPS62124276A (ja) |
| KR (1) | KR930004071B1 (ja) |
| ZA (1) | ZA859527B (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100666521B1 (ko) * | 1998-07-10 | 2007-01-11 | 메리엔느, 질르 | 산화 주석 필름 제조용 액상 코팅 조성물 및 이를 이용한 산화 주석 필름의 제조 방법 |
| JP2008069071A (ja) * | 1995-07-25 | 2008-03-27 | Pilkington Group Ltd | ガラスをコーティングする方法 |
| KR101352922B1 (ko) * | 2009-03-31 | 2014-01-17 | 피피지 인더스트리즈 오하이오 인코포레이티드 | 모노부틸틴 트리클로라이드의 회수 |
| JP2018535905A (ja) * | 2015-09-09 | 2018-12-06 | ピルキントン グループ リミテッド | 堆積法 |
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| US4776870A (en) * | 1985-08-05 | 1988-10-11 | Ford Motor Company | Method for improving emmissivity value of a pyrolytically applied film |
| GB8630791D0 (en) * | 1986-12-23 | 1987-02-04 | Glaverbel | Coating glass |
| US4857095A (en) * | 1987-08-10 | 1989-08-15 | Ford Motor Company | Method for forming a fluorine-doped tin oxide coating on a glass substrate |
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-
1984
- 1984-12-28 US US06/687,067 patent/US4590096A/en not_active Expired - Lifetime
-
1985
- 1985-12-11 KR KR1019850009308A patent/KR930004071B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1985-12-12 ZA ZA859527A patent/ZA859527B/xx unknown
- 1985-12-26 JP JP60299697A patent/JPS62124276A/ja active Granted
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| KR930004071B1 (ko) | 1993-05-20 |
| US4590096A (en) | 1986-05-20 |
| JPH036993B2 (ja) | 1991-01-31 |
| KR860005048A (ko) | 1986-07-16 |
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |