JPH0243344A - ストレインゲージ用合金およびその製造方法 - Google Patents
ストレインゲージ用合金およびその製造方法Info
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- JPH0243344A JPH0243344A JP19074189A JP19074189A JPH0243344A JP H0243344 A JPH0243344 A JP H0243344A JP 19074189 A JP19074189 A JP 19074189A JP 19074189 A JP19074189 A JP 19074189A JP H0243344 A JPH0243344 A JP H0243344A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は鉄(Fe)、クロム(Cr)、コバルト(CO
)およびニッケル(Ni)からなる合金を主成分とし、
副成分として銅(Cu)、タングステン(W)、モリブ
デ7 (MO>、ニオブ(Nb)、タンクル(Ta)、
バナジウム(V)、パラジウム(Pd)、錫(Sn)、
アンチモン(sb)、マンガン(Mn)、アルミニウム
(Ajり、シリコン(Sl)、チタン(T1)、ゲルマ
ニウム(Ge)およびジルコニウム(Zr)の1種ある
いは2種以上の合計0.1〜25%の元素からなり、少
量の不純物を含むストレインゲージ用合金およびその製
造方法に関するもので、その目的とするところはゲージ
率が大きく、ゲージ率の組成に対する変化が小さく、他
の緒特性に優れ、かつ加工が容易なストレインゲージ用
合金を提供するにある。
)およびニッケル(Ni)からなる合金を主成分とし、
副成分として銅(Cu)、タングステン(W)、モリブ
デ7 (MO>、ニオブ(Nb)、タンクル(Ta)、
バナジウム(V)、パラジウム(Pd)、錫(Sn)、
アンチモン(sb)、マンガン(Mn)、アルミニウム
(Ajり、シリコン(Sl)、チタン(T1)、ゲルマ
ニウム(Ge)およびジルコニウム(Zr)の1種ある
いは2種以上の合計0.1〜25%の元素からなり、少
量の不純物を含むストレインゲージ用合金およびその製
造方法に関するもので、その目的とするところはゲージ
率が大きく、ゲージ率の組成に対する変化が小さく、他
の緒特性に優れ、かつ加工が容易なストレインゲージ用
合金を提供するにある。
ストレインゲージは、一般に弾性歪によってゲージ細線
またはゲージ箔の電気抵抗が変化する現象を利用し、逆
に抵抗変化を測定することによって歪の量あるいは応力
を計測するもので、広く歪測定に用いられるばかりでな
く、近年は平衡型記録計等の工業機器の機械量−電気量
変換器要素、所謂、ストレインセンサとしても利用され
る。
またはゲージ箔の電気抵抗が変化する現象を利用し、逆
に抵抗変化を測定することによって歪の量あるいは応力
を計測するもので、広く歪測定に用いられるばかりでな
く、近年は平衡型記録計等の工業機器の機械量−電気量
変換器要素、所謂、ストレインセンサとしても利用され
る。
ストレインゲージ材料に課せられる条件は、1、 ゲー
ジ率が大きいこと 2、 対銅熱起電力が小さいこと 3、 比電気抵抗が大きいこと 4、 比電気抵抗の温度係数が小さいこと5 加工性が
よく、機械的性質がよいこと6、 安価なこと などに要約される。
ジ率が大きいこと 2、 対銅熱起電力が小さいこと 3、 比電気抵抗が大きいこと 4、 比電気抵抗の温度係数が小さいこと5 加工性が
よく、機械的性質がよいこと6、 安価なこと などに要約される。
ところで、ストレインゲージは、その構造が金属細線(
13〜25μm)または箔(3〜5μm)を格子状ある
いはロゼツト状に配置してなり、またその使用法として
は前記ゲージを被測定物に接着剤で貼付し、被測定物に
生じた歪を、ゲージの抵抗変化から間接的に測定するも
のである。
13〜25μm)または箔(3〜5μm)を格子状ある
いはロゼツト状に配置してなり、またその使用法として
は前記ゲージを被測定物に接着剤で貼付し、被測定物に
生じた歪を、ゲージの抵抗変化から間接的に測定するも
のである。
ストレインゲージの感度はゲージ率Kによって決まり、
Kの値は一般に次の式で表される。
Kの値は一般に次の式で表される。
ここでRはゲージ細線の全抵抗
δはゲージ細線のポアソン比
ρはゲージ細線の比電気抵抗
lはゲージ細線の全長
この式でδは金属においてほぼ0.3であるから、ゲー
ジ率Kを大きくするためにはAρ/ρ・(Aβ/l−’
を大きくしなければならない。すなわち、引張変形を与
えた時に、材料の長さ方向の電子構造が大幅に変化して
、ρが増すという性質を具備する必要がある。
ジ率Kを大きくするためにはAρ/ρ・(Aβ/l−’
を大きくしなければならない。すなわち、引張変形を与
えた時に、材料の長さ方向の電子構造が大幅に変化して
、ρが増すという性質を具備する必要がある。
さてストレインゲージは、近年マイクロコンピュータ−
の進歩に伴って、その応用領域がますます拡大して高感
度な圧力変換器やロードセルに多用されつつある。特に
ロードセルにおいては、商業面における料金秤の他にホ
ッパースケールやタンクスケールの力量計、圧延や押出
における圧力計、コンスタントフィーダや車両重量計や
クレーン荷重計等の工業用件に用いられ、マイクロコン
ピユークーと共に部品の個数、重量あるいは圧力等の検
出と指示の他に、自動制御による工場管理において製品
の高品位安定化や歩留まりの向上ばかりでなく、省力お
よび省エネルギーの目的も担っている。
の進歩に伴って、その応用領域がますます拡大して高感
度な圧力変換器やロードセルに多用されつつある。特に
ロードセルにおいては、商業面における料金秤の他にホ
ッパースケールやタンクスケールの力量計、圧延や押出
における圧力計、コンスタントフィーダや車両重量計や
クレーン荷重計等の工業用件に用いられ、マイクロコン
ピユークーと共に部品の個数、重量あるいは圧力等の検
出と指示の他に、自動制御による工場管理において製品
の高品位安定化や歩留まりの向上ばかりでなく、省力お
よび省エネルギーの目的も担っている。
ところが自動制御技術において、計測機器の高精度およ
び高信頼性を得るためにはロードセルに用いられている
ストレインゲージ素子の特性が重要な決定要因となる。
び高信頼性を得るためにはロードセルに用いられている
ストレインゲージ素子の特性が重要な決定要因となる。
第1表には、現在知られている主要なストレインゲージ
素子の材料について、そのゲージ率K、対銅熱起電力E
mf、比電気抵抗ρと比電気抵抗ρの温度係数Cfが示
しである。
素子の材料について、そのゲージ率K、対銅熱起電力E
mf、比電気抵抗ρと比電気抵抗ρの温度係数Cfが示
しである。
第1表のうちCu−N i系合金が従来量も多く用いら
れている。この合金は比電気抵抗ρの温度係数Cfの小
さい特長を有する反面、ゲージ率におよび比電気抵抗p
の値も小さすぎ、また対銅熱起電力Emfが大きいため
に、ストレインゲージ用材料の特性としては十分とはい
えない。また同一ロット内またはロット間における性能
のばらつきは5〜10%にも達し非常に不安定である。
れている。この合金は比電気抵抗ρの温度係数Cfの小
さい特長を有する反面、ゲージ率におよび比電気抵抗p
の値も小さすぎ、また対銅熱起電力Emfが大きいため
に、ストレインゲージ用材料の特性としては十分とはい
えない。また同一ロット内またはロット間における性能
のばらつきは5〜10%にも達し非常に不安定である。
その他の合金の特性についても一長一短があり、従来用
いられてきたストレインゲージ材料の代替用としては:
その特性が十分とはいい難かった。
いられてきたストレインゲージ材料の代替用としては:
その特性が十分とはいい難かった。
本発明者らは先にゲージ率Kが大きく、かつ他の緒特性
に優れたストレインゲージ用材料としてRe−Cr−C
o系合金が非常に有望であることを提案してきた(特公
昭45−13229)。しかし上記合金系はそのゲージ
率Kが組成に対して大きく変化する欠点、即ち組成に対
するゲージ率の変動が20%にも達するため、ばらつき
の少ない安定した製品を製造することは至難であった。
に優れたストレインゲージ用材料としてRe−Cr−C
o系合金が非常に有望であることを提案してきた(特公
昭45−13229)。しかし上記合金系はそのゲージ
率Kが組成に対して大きく変化する欠点、即ち組成に対
するゲージ率の変動が20%にも達するため、ばらつき
の少ない安定した製品を製造することは至難であった。
よって本発明者らは、ばらつきの少ない高性能なストレ
インゲージ用材料を得るために、ゲージ率Kが大きく、
組成に対するゲージ率の変化が少なく、他の緒特性も優
れ、そして鍛造や圧延、弓抜きの如き加工性の良好なス
トレインゲージ用合金の開発およびその製造方法を得る
目的で研究を続け、上記Fe−Cr−Co系合金の改良
を試みた結果、本発明の知見を得たものである。
インゲージ用材料を得るために、ゲージ率Kが大きく、
組成に対するゲージ率の変化が少なく、他の緒特性も優
れ、そして鍛造や圧延、弓抜きの如き加工性の良好なス
トレインゲージ用合金の開発およびその製造方法を得る
目的で研究を続け、上記Fe−Cr−Co系合金の改良
を試みた結果、本発明の知見を得たものである。
本発明の特長とする所は下記の点にある。
第1発明
重量比にてクロム3〜35%、コバルト17〜70%、
ニンケル0.01〜60%および残部鉄を主成分とし、
副成分として銅10%以下、タンクステ77%以下、モ
リブデン10%以下、ニオブ7%以下、タンクル10%
以下、バナジウム10以下、パラジウム20%以下、錫
5%以下、アンチモン5%以下、マンガン10%以下、
アルミニウム5%以下、シリコン5%以下、チタン5%
以下、ゲルマニウム4%以下およびジルコニウム7%以
下の1種または2種以上の合計1〜25%と、少量の不
純物とからなり、ゲージ率が2以上を有することを特徴
とするストレインゲージ用合金。
ニンケル0.01〜60%および残部鉄を主成分とし、
副成分として銅10%以下、タンクステ77%以下、モ
リブデン10%以下、ニオブ7%以下、タンクル10%
以下、バナジウム10以下、パラジウム20%以下、錫
5%以下、アンチモン5%以下、マンガン10%以下、
アルミニウム5%以下、シリコン5%以下、チタン5%
以下、ゲルマニウム4%以下およびジルコニウム7%以
下の1種または2種以上の合計1〜25%と、少量の不
純物とからなり、ゲージ率が2以上を有することを特徴
とするストレインゲージ用合金。
第2発明
重量比にてクロム3〜35%、コバルト17〜70%、
ニッケル0.01〜60%および残部鉄を主成分とし、
副成分として銅10%以下、タングステン7%以下、モ
リブデン10%以下、ニオブ7%以下、タンクル10%
以下、バナジウム10%以下、パラジウム20%以下、
錫5%以下、アンチモン5%以下、マンガン10%以下
、アルミニウム5%以下、シリコン5%以下、チタン5
%以下、ゲルマニウム4%以下およびジルコニウム7%
以下の1種または2種以上の合計1〜25%と、少量の
不純物からなる合金に加工率1%以上の冷間加工を施し
、さらにこれを400℃以下の温度で1分以上100時
間以下加熱することによりゲージ特性が安定で、ゲージ
率が2以上を有する合金を得ることを特徴とするストレ
インゲージ用合金の製造方法。
ニッケル0.01〜60%および残部鉄を主成分とし、
副成分として銅10%以下、タングステン7%以下、モ
リブデン10%以下、ニオブ7%以下、タンクル10%
以下、バナジウム10%以下、パラジウム20%以下、
錫5%以下、アンチモン5%以下、マンガン10%以下
、アルミニウム5%以下、シリコン5%以下、チタン5
%以下、ゲルマニウム4%以下およびジルコニウム7%
以下の1種または2種以上の合計1〜25%と、少量の
不純物からなる合金に加工率1%以上の冷間加工を施し
、さらにこれを400℃以下の温度で1分以上100時
間以下加熱することによりゲージ特性が安定で、ゲージ
率が2以上を有する合金を得ることを特徴とするストレ
インゲージ用合金の製造方法。
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
本発明合金を製造するには、上記合金組成になるように
まず主成分のCr3〜35%、C017〜70%、N1
0.旧〜60%、残部Peと副成分のCu 10%以下
、W7%以下、Mo 10%以下、Nb7%以下、Ta
10%以下、VIO%以下、Pd 20%以下、Sn5
%以下、sb5%以下、Mn 10%以下、へβ5%以
下、Si5%以下、Ti5%以下、Ge4%以下および
Zr1%以下の1種または2種以上の合計1〜25%以
下の適当量を含有する合金を空気中、好ましくは非酸化
性雰囲気中あるいは真空中において適当な溶解炉を用い
て溶解した後、カルシウム合金、マクネンウム合金ある
いはその他の脱酸剤、脱硫剤を少量(1%以下)添加し
ててきるだけ不純物を取り除き、十分に攪拌し、組成的
に均一な溶融合金を得る。
まず主成分のCr3〜35%、C017〜70%、N1
0.旧〜60%、残部Peと副成分のCu 10%以下
、W7%以下、Mo 10%以下、Nb7%以下、Ta
10%以下、VIO%以下、Pd 20%以下、Sn5
%以下、sb5%以下、Mn 10%以下、へβ5%以
下、Si5%以下、Ti5%以下、Ge4%以下および
Zr1%以下の1種または2種以上の合計1〜25%以
下の適当量を含有する合金を空気中、好ましくは非酸化
性雰囲気中あるいは真空中において適当な溶解炉を用い
て溶解した後、カルシウム合金、マクネンウム合金ある
いはその他の脱酸剤、脱硫剤を少量(1%以下)添加し
ててきるだけ不純物を取り除き、十分に攪拌し、組成的
に均一な溶融合金を得る。
つぎにこれを適当な形および大きさの鋳型に注入して健
全な鋳塊を得、さらにこの鋳塊を高温あるいは常温にお
いて、鍛造、圧延あるいは引抜き等の方法によって、加
工率1%以上の冷間加工を施し、目的の形状のもの例え
ば直径0.06mmの線材あるいは厚さ0.02+nm
の箔材を造り、この線材または箔材を上記の加工後その
まま、あるいは、水素中その他の適当な非酸化性ガス中
もしくは真空中で400℃以下の温度で1分以上100
時間以下加熱する熱処理を加えて目的の試料を得る。そ
して上記方法により得られた合金試料について、ゲージ
率K、対銅熱起電力Emf、非電気抵抗ρおよび非電気
抵抗pの温度係数Cfを測定したところ、ゲージ率に:
2〜57、対銅起電力Emf: ±3μV/℃以下、非
電気抵抗ρの最大値、90μΩ−cmおよびρの温度係
数Cf:±l0XIO−’/を以下の特性を有し、かつ
ゲージ率にの組成依存性が極めて小さい特長を有するス
トレインゲージ用合金が得られる。
全な鋳塊を得、さらにこの鋳塊を高温あるいは常温にお
いて、鍛造、圧延あるいは引抜き等の方法によって、加
工率1%以上の冷間加工を施し、目的の形状のもの例え
ば直径0.06mmの線材あるいは厚さ0.02+nm
の箔材を造り、この線材または箔材を上記の加工後その
まま、あるいは、水素中その他の適当な非酸化性ガス中
もしくは真空中で400℃以下の温度で1分以上100
時間以下加熱する熱処理を加えて目的の試料を得る。そ
して上記方法により得られた合金試料について、ゲージ
率K、対銅熱起電力Emf、非電気抵抗ρおよび非電気
抵抗pの温度係数Cfを測定したところ、ゲージ率に:
2〜57、対銅起電力Emf: ±3μV/℃以下、非
電気抵抗ρの最大値、90μΩ−cmおよびρの温度係
数Cf:±l0XIO−’/を以下の特性を有し、かつ
ゲージ率にの組成依存性が極めて小さい特長を有するス
トレインゲージ用合金が得られる。
第1図はゲージ率Kにおよぼす冷間加工率の効果を調べ
たものである。図かられかるように、加工を加える前の
ゲージ率にはいずれの合金試料の場合でも2以下である
が、加工処理を施すことによってゲージ率は急激に増加
して、はぼ一定値となる。そしてゲージ率Kが2以上を
示す加工率はいずれの合金試料の場合においても、1%
以上であることが明白である。したがって上記冷間加工
は緻密な加工組織を形成することにより、高いゲージ率
を得る効果があるが、特に加工率20%以上の加工を施
した場合に著しい。また上記の冷間加工についで行われ
る加熱処理(再結晶温度以下の温度と時間)は加工によ
る内部歪の一部を除去し、ゲージ率およびその他の緒特
性を安定化する効果がある。その場合加熱温度が高いほ
ど、あるいは加熱時間が長いほど効果が著しい。ここで
加熱温度が高ければ加熱時間はより短くてよく、また逆
に加熱温度が低ければ加熱時間はより長くしなければな
らないことは当然である。
たものである。図かられかるように、加工を加える前の
ゲージ率にはいずれの合金試料の場合でも2以下である
が、加工処理を施すことによってゲージ率は急激に増加
して、はぼ一定値となる。そしてゲージ率Kが2以上を
示す加工率はいずれの合金試料の場合においても、1%
以上であることが明白である。したがって上記冷間加工
は緻密な加工組織を形成することにより、高いゲージ率
を得る効果があるが、特に加工率20%以上の加工を施
した場合に著しい。また上記の冷間加工についで行われ
る加熱処理(再結晶温度以下の温度と時間)は加工によ
る内部歪の一部を除去し、ゲージ率およびその他の緒特
性を安定化する効果がある。その場合加熱温度が高いほ
ど、あるいは加熱時間が長いほど効果が著しい。ここで
加熱温度が高ければ加熱時間はより短くてよく、また逆
に加熱温度が低ければ加熱時間はより長くしなければな
らないことは当然である。
次に本発明の実施例について述べる。
実施例1
1童)
原料としては99.97%純度の電解鉄、99.44%
純度の金属クロム、99.59%純度の電解コバルトお
よび998%純度の電解ニンケルを用いた。試料を造る
には原料を全重量100gでアルミナ坩堝に入れ、酸化
を防ぐため表面にアルゴンガスを吹き一つけながら、空
気中で高周波誘導電気炉を用いて溶かした。その後よく
攪拌して均質な溶融合金とした。つぎにその溶融合金を
内径10mm、高さ120mmの鉄壁に鋳込み、得られ
た鋳塊を1000℃で鍛造して外径5mmの丸棒とした
。さらに1000℃で中間焼鈍した後、スェージングお
よび冷間引抜きにより直径0.5mmとし、再び100
0℃で中間焼鈍をして冷間引抜きにより直径0.06m
mの細線とし、長さ70cmに切断して試料とした。こ
の場合の最終加工率(減面率)は98%である。これら
の各種加工は高温においても常温においても容易に行う
ことができた。この試料の加工および熱処理条件と対応
した特性は第2表のとおりである。
純度の金属クロム、99.59%純度の電解コバルトお
よび998%純度の電解ニンケルを用いた。試料を造る
には原料を全重量100gでアルミナ坩堝に入れ、酸化
を防ぐため表面にアルゴンガスを吹き一つけながら、空
気中で高周波誘導電気炉を用いて溶かした。その後よく
攪拌して均質な溶融合金とした。つぎにその溶融合金を
内径10mm、高さ120mmの鉄壁に鋳込み、得られ
た鋳塊を1000℃で鍛造して外径5mmの丸棒とした
。さらに1000℃で中間焼鈍した後、スェージングお
よび冷間引抜きにより直径0.5mmとし、再び100
0℃で中間焼鈍をして冷間引抜きにより直径0.06m
mの細線とし、長さ70cmに切断して試料とした。こ
の場合の最終加工率(減面率)は98%である。これら
の各種加工は高温においても常温においても容易に行う
ことができた。この試料の加工および熱処理条件と対応
した特性は第2表のとおりである。
実施例2
原料は実施例1と同じ純度の鉄、クロム、コバルト、ニ
ンケルおよびタングステンと9997%純度の銅を用い
た。試料の製造方法は実施例1と同しである。試料に種
々な加工および熱処理を施して第3表に示すような特性
を得た。
ンケルおよびタングステンと9997%純度の銅を用い
た。試料の製造方法は実施例1と同しである。試料に種
々な加工および熱処理を施して第3表に示すような特性
を得た。
なお本発明合金領域に属する代表的な合金は特性値を、
Fe−Cr−Co B元合金との比較で示すと第4表の
とおりである。
Fe−Cr−Co B元合金との比較で示すと第4表の
とおりである。
第2図は加工率98%で冷間引抜きして得たRe−Cr
Co−Ni系合金の各種試料について、Cr 15%一
定量で、N160%以下を組成パラメータとした場合に
おけるゲージ率にとCo量との関係を示す曲線図である
。図にみるようにFe−Cr−Co 3元合金のゲージ
率にはCo量の増加とともに減少するが、本発明合金で
あるFe−Cr−Co−Ni系合金の場合、低Co側に
おけるゲージ率には急激に減少する。そのた必口O軸に
対してゲージ率にの極大を示す領域が出現する。この極
大はNi添加量が増加するとともに漸次Co量の少ない
側に移動し、それとともに極大の値も小さくなり、Ni
60%においてはゲージ率Kが3以下となる。したが
ってゲージ率Kが極大を示す部分においてはCo量に対
して不変のゲージ率Kを有することになる。例えば、N
1=20%の曲線についてみると、Co 27〜30%
の範囲におけるゲージ率には390〜3.91で、はと
んど一定値とみなしてもよいほどで、比較合金であるF
e−Cr−[:03元系合金(Ni=O%)の曲線には
全くみられない大きな特長である。第2図において本発
明の請求項の条件であるゲージ率Kが2以上を示す組成
範囲は点A (Cr 15%、0027%、N160%
およびFe残余)と点B(Cr 15%、0037%、
N150%およびFe残余)を結ぶ線から上部にあるこ
とがわかる。
Co−Ni系合金の各種試料について、Cr 15%一
定量で、N160%以下を組成パラメータとした場合に
おけるゲージ率にとCo量との関係を示す曲線図である
。図にみるようにFe−Cr−Co 3元合金のゲージ
率にはCo量の増加とともに減少するが、本発明合金で
あるFe−Cr−Co−Ni系合金の場合、低Co側に
おけるゲージ率には急激に減少する。そのた必口O軸に
対してゲージ率にの極大を示す領域が出現する。この極
大はNi添加量が増加するとともに漸次Co量の少ない
側に移動し、それとともに極大の値も小さくなり、Ni
60%においてはゲージ率Kが3以下となる。したが
ってゲージ率Kが極大を示す部分においてはCo量に対
して不変のゲージ率Kを有することになる。例えば、N
1=20%の曲線についてみると、Co 27〜30%
の範囲におけるゲージ率には390〜3.91で、はと
んど一定値とみなしてもよいほどで、比較合金であるF
e−Cr−[:03元系合金(Ni=O%)の曲線には
全くみられない大きな特長である。第2図において本発
明の請求項の条件であるゲージ率Kが2以上を示す組成
範囲は点A (Cr 15%、0027%、N160%
およびFe残余)と点B(Cr 15%、0037%、
N150%およびFe残余)を結ぶ線から上部にあるこ
とがわかる。
またゲージ率Kが2以下を示す合金組成は本発明の請求
範囲からはずれることはいうまでもない。
範囲からはずれることはいうまでもない。
第3図は加工率98%で冷間引抜きして得たFe−Cr
Co−N i系合金の各試料について、Cr 15%一
定量で、C025〜40%を組成パラメータとした場合
におけるゲージ率にとNl量との関係を示す曲線図であ
る。Ni量に対するゲージ率の変化は一般にNi1O〜
15%において極小、およびNi 20〜25%におい
て極大を示した後、Nl量の増加とともに漸次減少する
。そしてその変化の様子は、Co0%の場合を除いて、
Co量にはほとんど関係がないことが明らかである。第
3図においても、第2図と同様極小と極大を有する組成
領域ではKが不変を示すことがわかる。第3図より明ら
かなように、Fe−Cr−C。
Co−N i系合金の各試料について、Cr 15%一
定量で、C025〜40%を組成パラメータとした場合
におけるゲージ率にとNl量との関係を示す曲線図であ
る。Ni量に対するゲージ率の変化は一般にNi1O〜
15%において極小、およびNi 20〜25%におい
て極大を示した後、Nl量の増加とともに漸次減少する
。そしてその変化の様子は、Co0%の場合を除いて、
Co量にはほとんど関係がないことが明らかである。第
3図においても、第2図と同様極小と極大を有する組成
領域ではKが不変を示すことがわかる。第3図より明ら
かなように、Fe−Cr−C。
系合金にN1を添加することによりゲージ率にの組成依
存性が少なくなりに=3〜4の間で安定となることかわ
かる。なおNi28.6%以下でゲージ率Kが3以上を
示すが、Nl量が286%を超えるとゲージ率は下る傾
向にある。ゲージ率にはCOの組成に関連してNi 2
2〜26%位に極大の点がある。またNi28.6%よ
り増加するに従いゲージ率は下る傾向にあり、C040
%以下でゲージ率には3以上となる。従ってNi28.
6%以下、Co 40%以下がよい。
存性が少なくなりに=3〜4の間で安定となることかわ
かる。なおNi28.6%以下でゲージ率Kが3以上を
示すが、Nl量が286%を超えるとゲージ率は下る傾
向にある。ゲージ率にはCOの組成に関連してNi 2
2〜26%位に極大の点がある。またNi28.6%よ
り増加するに従いゲージ率は下る傾向にあり、C040
%以下でゲージ率には3以上となる。従ってNi28.
6%以下、Co 40%以下がよい。
第4図は上記第3図と同じ試料について、対銅熱起電力
Emf、比電気抵抗ρおよび比電気抵抗ρの温度係数C
fの特性を示しである。図にみるように対銅熱起電力E
mfは組成に対して複雑に変化し、+3〜−4μV/℃
で、従来のCu−N i系合金(第1表参照)の値に比
べて非常に小さいことがわかる。特に対銅熱起電力Em
fの極大を示すN135%の組成においては約1μV/
℃以下で、合金組成を任意に選ぶことにより極めて小さ
い値を示すため、応用上直流電源を用いる装置において
は安定した性能を発揮できる。比電気抵抗ρは眠を含ま
ないFe−15%Cr−N i比較合金を除いた本発明
合金ではCo量に関係なくNi約15%において極小を
示す。そしてその値は68〜90Ωcmと大きい。比電
気抵抗ρの温度係数Cfはρの変化にほぼ対応しており
、Ni 15%において極大を示す。Cfの値は最高+
10×10″′4/℃でCu−N i系合金の+20X
10−6/℃と比べるとはるかに大きいが、±l0XI
(1−’/℃以下の場合には補償回路を用いることによ
って相殺可能である。
Emf、比電気抵抗ρおよび比電気抵抗ρの温度係数C
fの特性を示しである。図にみるように対銅熱起電力E
mfは組成に対して複雑に変化し、+3〜−4μV/℃
で、従来のCu−N i系合金(第1表参照)の値に比
べて非常に小さいことがわかる。特に対銅熱起電力Em
fの極大を示すN135%の組成においては約1μV/
℃以下で、合金組成を任意に選ぶことにより極めて小さ
い値を示すため、応用上直流電源を用いる装置において
は安定した性能を発揮できる。比電気抵抗ρは眠を含ま
ないFe−15%Cr−N i比較合金を除いた本発明
合金ではCo量に関係なくNi約15%において極小を
示す。そしてその値は68〜90Ωcmと大きい。比電
気抵抗ρの温度係数Cfはρの変化にほぼ対応しており
、Ni 15%において極大を示す。Cfの値は最高+
10×10″′4/℃でCu−N i系合金の+20X
10−6/℃と比べるとはるかに大きいが、±l0XI
(1−’/℃以下の場合には補償回路を用いることによ
って相殺可能である。
第5図は加工率90%の冷間加工後におけるゲージ率に
の加熱温度(歪取り熱処理温度)依存性を示すもので、
冷間加工後に400℃以下の歪取り熱処理を施すことは
ゲージ率Kを2〜4に保持する上で極約で有効であるが
、加熱温度を400℃以上とし、加熱時間を長くすると
ゲージ歪には下ることを示している。
の加熱温度(歪取り熱処理温度)依存性を示すもので、
冷間加工後に400℃以下の歪取り熱処理を施すことは
ゲージ率Kを2〜4に保持する上で極約で有効であるが
、加熱温度を400℃以上とし、加熱時間を長くすると
ゲージ歪には下ることを示している。
第6図は本発明合金のゲージ率にの加工依存性を示すも
ので、加工率を1〜95%と上昇させるとゲージ率に=
2〜4となることを示している。比較合金No ? (
Fe−15Cr−35Co)と比較して加工率1〜50
%の範囲で比較合金より良い値を示しており、加工率5
0%以上ではほぼ同じ値を示している。以上の理由で冷
間加工率は1%以上と限定した。
ので、加工率を1〜95%と上昇させるとゲージ率に=
2〜4となることを示している。比較合金No ? (
Fe−15Cr−35Co)と比較して加工率1〜50
%の範囲で比較合金より良い値を示しており、加工率5
0%以上ではほぼ同じ値を示している。以上の理由で冷
間加工率は1%以上と限定した。
第7図は本発明合金の冷間加工(加工率90%)後にお
けるゲージ率にの加熱時間依存性を示すもので、1分な
いし100時間、200〜500℃で熱処理を行った結
果は、100時間以上で加熱温度の高い程、ゲージ率K
が低下する傾向にあり、400 tで100時間ではゲ
ージ率に〜2の値を保持する限界温度と時間であること
を示している。
けるゲージ率にの加熱時間依存性を示すもので、1分な
いし100時間、200〜500℃で熱処理を行った結
果は、100時間以上で加熱温度の高い程、ゲージ率K
が低下する傾向にあり、400 tで100時間ではゲ
ージ率に〜2の値を保持する限界温度と時間であること
を示している。
以上のように本発明合金のゲージ特性は広い範囲の組成
に亘って優秀である。すなわち上記実施例1乃至実施例
2、第5表および第2図乃至第4図からもわかるように
、Cr3〜35%、Co 17〜70%、Ni 0.0
1〜60%、および残部FeからなるFeCr−Co−
Ni系4元合金に副成分であるCu、 W。
に亘って優秀である。すなわち上記実施例1乃至実施例
2、第5表および第2図乃至第4図からもわかるように
、Cr3〜35%、Co 17〜70%、Ni 0.0
1〜60%、および残部FeからなるFeCr−Co−
Ni系4元合金に副成分であるCu、 W。
Mo、 Nb、 Ta、 V、 Pd、 Sn、 Sb
、 Mn Aβ、 Si、 Ti。
、 Mn Aβ、 Si、 Ti。
Geおよび2rの1種または2種以上の合計1〜25%
を含有した合金の場合においても、ゲージ特性は従来の
Cu−Ni合金の特性について先に示した各位、すなわ
ちK 〜2.04〜2.12、Emf−−43μV/℃
、ρ−45〜49μΩ−cmおよびCf−±0.2 X
l0−’/℃に比較して総合的評価を行うと全く遜色な
く、極めて優秀である。
を含有した合金の場合においても、ゲージ特性は従来の
Cu−Ni合金の特性について先に示した各位、すなわ
ちK 〜2.04〜2.12、Emf−−43μV/℃
、ρ−45〜49μΩ−cmおよびCf−±0.2 X
l0−’/℃に比較して総合的評価を行うと全く遜色な
く、極めて優秀である。
本発明合金は特にゲージ率Kが大きく、かつKの組成依
存性がほとんどないという従来比類をみない特長を有し
ているので、高感度高安定性を要求されているロードセ
ル用ストレインゲージとして非常に好適である。本発明
合金は加工状態かあるいは約400℃以下の低温度の熱
処理を施して使用するが、実施例にみられるように30
0℃以下では緒特性は僅かの変化しか示さない。しかし
400℃以上では特性が急速に変化する。また本発明合
金は常温においてもまた高温においても鍛造、圧延、引
抜き、スェージング等の加工が容易で工業上利するとこ
ろが大きい。
存性がほとんどないという従来比類をみない特長を有し
ているので、高感度高安定性を要求されているロードセ
ル用ストレインゲージとして非常に好適である。本発明
合金は加工状態かあるいは約400℃以下の低温度の熱
処理を施して使用するが、実施例にみられるように30
0℃以下では緒特性は僅かの変化しか示さない。しかし
400℃以上では特性が急速に変化する。また本発明合
金は常温においてもまた高温においても鍛造、圧延、引
抜き、スェージング等の加工が容易で工業上利するとこ
ろが大きい。
次に本発明合金においては、合金の組成をCr3〜35
%、0017〜70%、Ni0.01〜60%以下、お
よび残部Feを主成分とし、副成分として添加する元素
をCu 10%以下、W7%以下、Mo IQ%以下、
Nb7%以下、Ta 10%以下、■10%以下、Pd
20%以下、Sn5%以下、sb5%以下、Mn I
Q%以下、15%以下、Si5%以下、Ti5%以下、
Ge4%以下およびZr7%以下と限定した理由は、第
2図乃至第4図、各実施例および第5表で明らかなよう
に、その組成範囲のゲージ率には2以上で、優れたゲー
ジ特性を示し、かつ加工性も良好であるが、組成がこの
範囲をはずれるとゲージ特性は劣化し所期の特性は得ら
れなくなるばかりでなく、加工が困難となり、ストレイ
ンゲージ用合金として不適当となるからである。第5表
に主成分の組成と各種条件の関係を示す。
%、0017〜70%、Ni0.01〜60%以下、お
よび残部Feを主成分とし、副成分として添加する元素
をCu 10%以下、W7%以下、Mo IQ%以下、
Nb7%以下、Ta 10%以下、■10%以下、Pd
20%以下、Sn5%以下、sb5%以下、Mn I
Q%以下、15%以下、Si5%以下、Ti5%以下、
Ge4%以下およびZr7%以下と限定した理由は、第
2図乃至第4図、各実施例および第5表で明らかなよう
に、その組成範囲のゲージ率には2以上で、優れたゲー
ジ特性を示し、かつ加工性も良好であるが、組成がこの
範囲をはずれるとゲージ特性は劣化し所期の特性は得ら
れなくなるばかりでなく、加工が困難となり、ストレイ
ンゲージ用合金として不適当となるからである。第5表
に主成分の組成と各種条件の関係を示す。
さらにCr 3−35%、Co 17〜70%、Ni0
.01−60%、および残部Feの組成範囲の合金はゲ
ージ率Kが2以」−で、ゲージ率の組成依存性が極めて
小さい特長を有し、その上加工性が良好であるが、これ
にさらにW、 Mo、 NbおよびTaの添加はゲージ
率Kを高める効果があり、またCu、 V、 Pd、
Sn、 SbおよびZrの添加は、ゲージ率に以外の
ゲージ特性の改善に対する効果があり、Mn、 八jl
!、 Si、 ′FiおよびGeの添加は鍛造加工およ
び連関引抜き加工を良好にする効果がある。
.01−60%、および残部Feの組成範囲の合金はゲ
ージ率Kが2以」−で、ゲージ率の組成依存性が極めて
小さい特長を有し、その上加工性が良好であるが、これ
にさらにW、 Mo、 NbおよびTaの添加はゲージ
率Kを高める効果があり、またCu、 V、 Pd、
Sn、 SbおよびZrの添加は、ゲージ率に以外の
ゲージ特性の改善に対する効果があり、Mn、 八jl
!、 Si、 ′FiおよびGeの添加は鍛造加工およ
び連関引抜き加工を良好にする効果がある。
また本発明合金においては、冷間加工率(減面率)を1
%以上と限定した理由は第1図で明らかなように、加工
率1%以上のゲージ率には2以上の高い値を示すが、こ
れ以下の加工率ではゲージ率Kが小さいばかりでなく、
製造における加工率の制御が困難となるので、ストレイ
ンゲージ用合金の製造方法として不適当となるからであ
る。
%以上と限定した理由は第1図で明らかなように、加工
率1%以上のゲージ率には2以上の高い値を示すが、こ
れ以下の加工率ではゲージ率Kが小さいばかりでなく、
製造における加工率の制御が困難となるので、ストレイ
ンゲージ用合金の製造方法として不適当となるからであ
る。
また本発明合金において冷間加工後の加熱温度を400
℃以下と限定した理由は、第2表乃至第4表からも明ら
かなように、4[10″C以下ではゲージ特性は僅かし
か変化しないが、400℃の温度で加熱を行うと比電気
抵抗の温度係数Cfがl0XIO−’/℃の値を越えて
しまい、ストレインゲージの要求特性からはずれてしま
うため、ストレインゲージ用合金の製造方法として不適
当となるからである。
℃以下と限定した理由は、第2表乃至第4表からも明ら
かなように、4[10″C以下ではゲージ特性は僅かし
か変化しないが、400℃の温度で加熱を行うと比電気
抵抗の温度係数Cfがl0XIO−’/℃の値を越えて
しまい、ストレインゲージの要求特性からはずれてしま
うため、ストレインゲージ用合金の製造方法として不適
当となるからである。
最後に本発明合金において、冷間加工後、さらに400
℃以下の温度で加熱を行う場合、加熱時間を1分以上1
00時間以下と限定した理由は、第2表乃至第4表から
も明らかなように、上記時間の範囲内で加熱処理を行う
とゲージ特性はあまり変化しないばかりか、加工歪が一
部除去されるためゲージ特性が安定し、そのため経年変
化の少ないストレインゲージ用合金を提供することが可
能である。しかし、加熱時間を1分未満とする場合はゲ
ージ特性の安定性が劣り、また100時間の場合にはゲ
ージ特性が急速に劣化することによるため、ストレイン
ゲージ用合金の製造方法として不適当となるからである
。
℃以下の温度で加熱を行う場合、加熱時間を1分以上1
00時間以下と限定した理由は、第2表乃至第4表から
も明らかなように、上記時間の範囲内で加熱処理を行う
とゲージ特性はあまり変化しないばかりか、加工歪が一
部除去されるためゲージ特性が安定し、そのため経年変
化の少ないストレインゲージ用合金を提供することが可
能である。しかし、加熱時間を1分未満とする場合はゲ
ージ特性の安定性が劣り、また100時間の場合にはゲ
ージ特性が急速に劣化することによるため、ストレイン
ゲージ用合金の製造方法として不適当となるからである
。
以上本発明によれば従来実用されているNi−Cu系合
金あるいは公知のFe−Cr−Co系合金等に比較して
ゲージ率の組成に対するばらつきが皆無な材料を得るこ
とができるばかりでなく、かつ優れたゲージ特性と良好
な加工性を有する合金とその製造方法を提供することが
できる。
金あるいは公知のFe−Cr−Co系合金等に比較して
ゲージ率の組成に対するばらつきが皆無な材料を得るこ
とができるばかりでなく、かつ優れたゲージ特性と良好
な加工性を有する合金とその製造方法を提供することが
できる。
第1図は代表的な本発明合金のゲージ率にと冷間加工率
との関係を示す曲線図、 第2図は98%冷間加工を施したFe−15%Cr−C
。 合金と、異なった量のN1(20,30,40,50あ
るいは60%)を含む本発明合金のゲージ率にとCo量
との関係を示す曲線図、 第3図は98%冷間加工を施したFe−15%Cr−N
i合金と、異なった量のCo(25,30,35あるい
は40%)を含む本発明合金のゲージ率にとNi量との
関係を示す曲線図、 第4図は第3図において用いたものと同じ合金の対銅熱
起電力Emf、比電気抵抗ρおよび比電気抵抗の温度係
数CfとNl量との関係を示す特性図である。 第5図は本発明合金の冷間加工(加工率90%)後にお
けるゲージ率の加熱温度依存性を示す特性図、 第6図は本発明合金のゲージ率の加工率依存性を示す特
性図、 第7図は本発明合金の冷間加工(加工率90%)後にお
けるゲージ率の加熱時間依存性を示す特性図である。
との関係を示す曲線図、 第2図は98%冷間加工を施したFe−15%Cr−C
。 合金と、異なった量のN1(20,30,40,50あ
るいは60%)を含む本発明合金のゲージ率にとCo量
との関係を示す曲線図、 第3図は98%冷間加工を施したFe−15%Cr−N
i合金と、異なった量のCo(25,30,35あるい
は40%)を含む本発明合金のゲージ率にとNi量との
関係を示す曲線図、 第4図は第3図において用いたものと同じ合金の対銅熱
起電力Emf、比電気抵抗ρおよび比電気抵抗の温度係
数CfとNl量との関係を示す特性図である。 第5図は本発明合金の冷間加工(加工率90%)後にお
けるゲージ率の加熱温度依存性を示す特性図、 第6図は本発明合金のゲージ率の加工率依存性を示す特
性図、 第7図は本発明合金の冷間加工(加工率90%)後にお
けるゲージ率の加熱時間依存性を示す特性図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、重量比にてクロム3〜35%、コバルト17〜70
%、ニッケル0.01〜60%および残部鉄を主成分と
し、副成分として銅10%以下、タングステン7%以下
、モリブデン10%以下、ニオブ7%以下、タンタル1
0%以下、バナジウム10以下、パラジウム20%以下
、錫5%以下、アンチモン5%以下、マンガン10%以
下、アルミニウム5%以下、シリコン5%以下、チタン
5%以下、ゲルマニウム4%以下およびジルコニウム7
%以下の1種または2種以上の合計1〜25%と、少量
の不純物とからなり、ゲージ率が2以上を有することを
特徴とするストレインゲージ用合金。 2、重量比にてクロム3〜35%、コバルト17〜70
%、ニッケル0.01〜60%および残部鉄を主成分と
し、副成分としてタングステン7%以下、モリブデン1
0%以下、ニオブ7%以下、タンタル10%以下の1種
または2種以上の合計1〜25%と、少量の不純物とか
らなり、ゲージ率が2以上を有することを特徴とする特
許請求の範囲1記載のストレインゲージ用合金。 3、重量比にてクロム3〜35%、コバルト17〜70
%、ニッケル0.01〜60%および残部鉄を主成分と
し、副成分として銅10%以下、バナジウム10%以下
、パラジウム20%以下、錫5%以下、アンチモン5%
以下およびジルコニウム7%以下の1種または2種以上
の合計1〜25%と、少量の不純物とからなり、ゲージ
率が2以上を有することを特徴とする特許請求の範囲1
記載のストレインゲージ用合金。 4、重量比にてクロム3〜35%、コバルト17〜70
%、ニッケル0.01〜60%および残部鉄を主成分と
し、副成分としてマンガン10%以下、アルミニウム5
%以下、シリコン5%以下、チタン5%以下およびゲル
マニウム4%以下の1種または2種以上の合計1〜25
%と、少量の不純物とからなり、ゲージ率が2以上を有
することを特徴とする特許請求の範囲1記載のストレイ
ンゲージ用合金。 5、重量比にてクロム3〜35%、コバルト17〜70
%、ニッケル0.01〜60%および残部鉄を主成分と
し、副成分として銅10%以下、タングステン7%以下
、モリブデン10%以下、ニオブ7%以下、タンタル1
0%以下、バナジウム10%以下、パラジウム20%以
下、錫5%以下、アンチモン5%以下、マンガン10%
以下、アルミニウム5%以下、シリコン5%以下、チタ
ン5%以下、ゲルマニウム4%以下およびジルコニウム
7%以下の1種または2種以上の合計1〜25%と、少
量の不純物からなる合金に加工率1%以上の冷間加工を
施し、さらにこれを400℃以下の温度で1分以上10
0時間以下加熱することによりゲージ特性が安定で、ゲ
ージ率が2以上を有する合金を得ることを特徴とするス
トレインゲージ用合金の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19074189A JPH066774B2 (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ストレインゲージ用合金およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19074189A JPH066774B2 (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ストレインゲージ用合金およびその製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14023781A Division JPS5842750A (ja) | 1981-09-08 | 1981-09-08 | ストレインゲ−ジ用合金およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0243344A true JPH0243344A (ja) | 1990-02-13 |
| JPH066774B2 JPH066774B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=16262991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19074189A Expired - Lifetime JPH066774B2 (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | ストレインゲージ用合金およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH066774B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001272203A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | 歪み測定装置 |
| US8075839B2 (en) * | 2006-09-15 | 2011-12-13 | Haynes International, Inc. | Cobalt-chromium-iron-nickel alloys amenable to nitride strengthening |
| WO2016183569A1 (en) * | 2015-05-14 | 2016-11-17 | Vishay Measurements Group, Inc. | High gage factor strain gage |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP19074189A patent/JPH066774B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001272203A (ja) * | 2000-03-24 | 2001-10-05 | Olympus Optical Co Ltd | 歪み測定装置 |
| US8075839B2 (en) * | 2006-09-15 | 2011-12-13 | Haynes International, Inc. | Cobalt-chromium-iron-nickel alloys amenable to nitride strengthening |
| WO2016183569A1 (en) * | 2015-05-14 | 2016-11-17 | Vishay Measurements Group, Inc. | High gage factor strain gage |
| CN107810383A (zh) * | 2015-05-14 | 2018-03-16 | 韦谢伊测量集团公司 | 高灵敏度系数应变仪 |
| US9933321B2 (en) | 2015-05-14 | 2018-04-03 | Vishay Measurements Group, Inc. | High gage factor strain gage |
| JP2018518665A (ja) * | 2015-05-14 | 2018-07-12 | ヴィシェイ メジャメンツ グループ, インク.Vishay Measurements Group, Inc. | ゲージ率の高い歪みゲージ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH066774B2 (ja) | 1994-01-26 |
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