JPS5842750A - ストレインゲ−ジ用合金およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は鉄（Ｆｅ）、クロム（Ｏｒ）、コバルト（ＣＯ
）およびニッケル（Ｎ１）からなる合金あるいはこれを
主成分とし、副成分として銅（Ｏｕ）、タングステン（
Ｗ）、モリブデン（ＭＯ）　、ニオブ（Ｗｂ）、タンタ
ル（Ｔａ）、バナジウム（Ｖ）、パラジウム（Ｐｄ）、
錫（Ｓｎ）、アンチモン（Ｓｂ）　、マンガン（Ｍｎ）
、アルミニウム（Ａり、シリコン（Ｓｉ）　、チタン（
Ｔｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ　）およびジルコニウム（
Ｚｒ）の１種あるいは２種以上の合計０．／−Ｂ’ｆ＆
の元素からなり、少量の不純物を含むストレインゲージ
用合金およびその製造方法に関するもので、その目的と
するところはゲージ率が大きく、ゲージ率の組成に対す
る変化が小ざく、他の諸物件に優れ、かつ加工が容易な
ストレインゲージ用合金を提供するにある。

ストレインゲージは、一般に弾性歪によってゲージ細線
またはゲージ箔の電気抵抗が変化する現象を利用し、逆
に抵抗変化を測定することによって歪の量あるいは応力
を計測するもので、広く歪測定に用いられるばかりでな
く、近年は平衡型記録計等の工業器の機械置−電装置変
換器要素、所謂、ストレインセンサとしても利用される
。

ストレインゲージ材料に課せられる条件は、Ｌ　ゲージ
率が大きいこと ２対銅熱起電力が小ざいこと ＆比電気抵抗が大きいこと 也　比電気抵抗の温度係数が小ざいことへ加工性がよく
、機械的性質がよいこと巳安価なこと などに要約される。

ところで、ストレインゲージは、その構造が金属線＠（
／３〜Ｂμ講）または箔（３〜ｊμ１１）を格子状ある
いはロゼツト状に配置してなり、またその使用法として
は前記ゲージを被測定物に接着剤で貼付し、被測定物に
生じた歪を、ゲージの抵抗変化から間接的に測定するも
のである。

ス）レインゲー°ジの感度はゲージ率Ｋによって決まり
、Ｋの値は一般に次の式で表わされる〇ここでＲはゲー
ジ細線の全抵抗 δはゲージ細線のポアソン比 ρはゲージ細線の比電気抵抗 ｌはゲージ細線の全長 この式でδは金属においてほぼ０．３であるから、ゲー
ジ率Ｋを大きくするためにはΔρ／ρ・ＣΔｌ／　ｌ　
）−１を大きくしなければならない０すなわち、引張変
形を与えた時に、材料の長ざ方向の電子構造が大幅に変
化して、ρが増すという性質を具備する必要がある。

さてストレインゲージは、近年マイクロコンピュータ−
の進歩に伴って、その応用領域がますます拡大して高感
度な圧力変換器やロードセルに多用されつつある。特に
ロードセルにおいては、商業面における料金はかりの他
にホッパースケールやタンクスケールの力量針、圧延や
押田における圧力計、コンスタントフィーダや車輌３！
ｉ社計やクレーン荷重針等の工業用はかりに用いられ、
マイクロコンピュータ−と共に部品の個数、重置あるい
は圧力等の横用と指示の他に、自動制御による工場管理
において製品の高品位安定化や歩留まりの向上ばかりで
なく、省力および省エネルギーの目的も担っている。

ところが自動制御技術において、計測器機の高精度およ
び高信頼性を得るためにはロードセルに用いられている
ストレインゲージ素子の特性が重要な決定要因となる。

第１表には、現在知られている主要なストレインゲージ
素子の材料について、そのゲージ率に、対銅熱起電力Ｅ
ｍｆ　１比亀気抵抗ρと比電気抵抗ρの温度係数Ｏｆが
示しである。

第７表のうちＯｕ　−Ｎｉ系合金が従来最も多く用いら
れている。この合金は比電気抵抗ρの温度係数Ｏｆの小
ざい特長を有する反面、ゲージ率におよび比電気抵抗ρ
の値も小ざすぎ、また対銅熱起電力Ｅｍｆが大溝いため
に、ストレインゲージ用材料の特性としては十分とはい
えない。また同一ロツ）内またはロフト間にお行る性能
のばらつきけ５−ｔＯ％にも達し非常に不安定である。

その他の合金の特性についても一長一短があり、従来用
いられてきたストレインゲージ材料の代替用としては、
その特性が十分とはいい難かった。

本発明者らは先にゲージ率Ｋが大きく、かつ他の緒特性
に優れたストレインゲージ用材料として、Ｆ８−　Ｏｒ
　−Ｃｏ系合金が非常に有望であることを提案してきた
（特公昭Ｉｔｓ−／３２２９）。しかし上記合金系はそ
のゲージ率Ｋが組成に対して大きく変化する欠点、即ち
組成に対するゲージ率の変動が２７％にも達するため、
ばらつきの少ない安宇した製品を製造することは至難で
あった。

よって本発明者らは、ばらつきの少ない高性能、なスト
レインゲージ用材料を得るために、ゲージ率Ｋが大きく
、組成に対するゲージ率の変化が少なく、他の緒特性も
優れ、そして鍛造や圧延、引抜きの如き加工性の良好な
ストレインゲージ用合金の開発およびその製造方法を得
る目的で研究を続け、上記Ｆｅ　−Ｏｒ　−Ｃｏ系合金
の改良をみた結果、ＣｒＪ−３３％、Ｃｏ／７〜７０％
、Ｎｉ　Ｏ，０／　〜４０　％および残部Ｆｅからなる
合金およびこれを主成分とし、ざらに副成分としてＯｕ
　１０％以下、Ｗ７％以下、Ｎｏ７０％以下、Ｎｂ　７
％以下、Ｔ＆１０％以下、ｖ　ｔｏ％以下、Ｐｄ２７％
以下、Ｓｎ　ｓ％以下、ｓｂ　ｓ％以下、Ｉｎ１０　％
　以下、ｈｔ　ｓ％以下、ｓ１ｓ％以下、Ｔ１ｊ％１／
、Ｇｅ　４！％以下およびＺｒ　７％以下の１種または
２種以上の合計０．／−ｇ％と、少量の不純物とからな
る合金は、ゲージ率Ｋが大きく、組成に対するゲージ率
の変化が極めて小ざく、その他の緒特性に優れ、かつ加
工が容易であるストレインゲージ用合金を見い出した◎ 以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

本発明合金な製造するには、上記合金組成にな・るよう
にまず主成分のＯｒ　ｓ〜３ｊ％、ｃ３０／７〜７０％
、Ｍｉ　Ｏ，０／　−Ｊ　％残部Ｆｅと副成分のＯｕ　
１０％以下、Ｗ７％以下、Ｎｏ１０％以下、Ｎｔ）　７
％以下、’Ｉ’ｌＬ／（７％以下、ｖ　ｔｏ　ｓ以下、
ｐａ　ｇ％以下、Ｓｎ　５％以下、Ｓｂ　５％以下、Ｈ
ｎｔｏ％以下、五ｌｊ％以下、ｓｉｓ製以下、Ｔ１７％
以下、Ｇｅ　ｌ　％以下および２τ７％以下の７種また
は２種以上の合計０．１〜Ｂ％以下の適当量を空気中、
好ましくは非酸化性雰囲気酸剤、脱硫剤を少量（１％以
下）添加してできるだけ不純物を取り除き、充分に攪拌
し、組成的に均一な溶融合金を得る。

つぎにこれを適当な形および大きさの鋳型に注入して健
全な鋳塊を得、さらにこの鋳塊を高温あるいは常温にお
いて、鍛造、圧延あるいは引抜き等の方法によって、加
工率７％以上の冷間加工を施し、目的の形状のもの例え
ば直径０．０１−の線材あるいは厚ｇｏ、ｏｓ■の箔材
を造り、この線材または箔材を上記の加工後そのまま、
あるいは、水素、中その他の適当な非酸化性ガス中もし
くは真空中で４！ＯＯ″Ｃ以下の温度で１分以上／Ｄｏ
時間以下加熱する熱処理を加えて目的の試料を得る。そ
して上記方法により得られた合金試料について、ゲージ
率に１対銅熱起電力Ｅｍｆｓ非電気抵抗ρおよび非電気
抵抗ρの温度係数を測定したところ、ゲージ率に；コ〜
Ｂ、７、対銅起電力Ｅｍｆ　ｒ±３μＶ／”Ｃ以下、非
電気抵抗ｐの最大値ｔ　９０μΩ−備およびρの温痩係
’ｔｌｔ　Ｏｆ：　＋　ｔｏ　ｘ　ｔｏ−’／′ｃ以下
＋７）４１１ｆ有Ｌ、カッゲージ率にの組成依存性が極
めて小ざい特長を有するストレインゲージ用合金が得ら
れる。

第７図はゲージ率Ｋにおよほす冷間加工率の効果を調べ
たものである。図かられかるように、加工を加える前の
ゲージ率にはいずれの合金試料の場合でもコ以下である
が、加工処理を施すことによってゲージ率は急激に増加
して、はｆｆ−５ｌｕ値となる。そしてゲージ率Ｋが２
以上を示す加工率はいずれの合金試料の場合においても
、／％以上であることが明白である。したがって上記冷
間加工は緻密な加工組織を形成することにより、高いゲ
ージ率を得る効果があるが、特に加工率３％以上の加工
を施した場合に著しい。また上記の冷間加工についで行
われる加熱処理（再結晶温度以下の温度と時間）は加工
による内部歪の一部を除去し、ゲージ率およびその他の
緒特性を安定化する効果がある。その場合加熱温度が高
いほど、あるいは加熱時間が長いほど効果が著しい。こ
こで加熱温間が高ければ加熱時間はより短かくてよく、
また逆に加熱温度が低ければ加熱時間はより長くしなけ
ればなら紮いことは当然である。

次に本発明の実施例について述べる。

実施例１ 原料としては９デ、９７％純度の電解鉄、９９．４Ａｌ
１％純度の金属クロム、タデ、５９％純度の電解コバル
トおよび９９．ｔ％純度の電解ニッケルを用いた。試料
を造るには原料を全型ｆＩｊｋｌＯＯｇでアルミナ坩堝
に入れ、酸化を防ぐため表面にアルゴンガスを吹きつけ
ながら、空気中で高周波誘導電気炉を用いて溶かした。

その後よく攪拌して均質な溶融合金とした。

つぎにその溶融合金を内径１０錫、高ざ／２０−の鉄製
に鋳込み、得られた紳塊を１０００℃で鍛造して外径！
錫の丸棒とした。ざらに１０００℃で中間焼鈍した後、
スェージングおよび冷間引抜きにより直径ｏ３−とし、
再び１０００℃で中間焼鈍をして冷間引抜きにより直径
０．０１−の細線とし、長ざ７０　ｅｌｌに切断して試
料とした。この場合の最終加工率（減面率）はり１％で
ある。これらの各種加工は高温においても常温において
も容易に行うことができた。この試料の加工および熱処
理条件と対応した特性は第２表のとおりである０ 実施例２ の製造 原料は実施例１と同じ純度の鉄、クロム、コノ（ル）お
よびニッケルと９９．９％純度のタングステンを用いた
。試料の製造方法は実施例１と同じである。試料に種々
の加工および熱処理を施して第３表に示すような特性を
得た。

、実施例３ 原料は実施例１および実施例２と同じ純度の鉄、クロム
、コバルＦ１ニッケルおよびタングステンと９デ、？７
％純度の銅を用いた。試料の製造方法は実施例１と同じ
である。試料に種々な加工および熱処理を施して第ｑ表
に示すような特性を得た。

なお本発明合金領域に属する代表的な合金は特性値を、
Ｉｔ’ｅ−（３ｒ−Ｃｏ　ｊ元合金との比較で示す、と
第３表のとおりである。

第−図は加工率９ｇ％で冷間引抜きして得たＦｅ−０ｒ
　−Ｏｏ　−Ｎｉ系合金の各種試料について、Ｏｒ　／
ｊ％一定ＩＴ’、Ｎｉ６０％以下を組成パラメータとし
た場合におけるゲージ率にとＣｏ　ｌとの関係を示す曲
Ｉｓ図である。図にみるようにＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏ　１元
合金のゲージ率にはＣｏ　ｌの増加とともに減少するが
、本発明合金であるＦｅ　−Ｏｒ　−Ｇｏ　−Ｎｉ系合
金の場合、低ＣＯ側におけるゲージ率には急激に減少す
る。そのためＣｏ軸に対してゲージ率にの極大を示す領
域が出現する。この極大はＮ１添加社が増加するととも
に漸次ｃｏ　ｔの少ない側に移動し、それとともに極大
の値も小ざくなり、Ｎｉｂ。

外においてはゲージ率Ｋが３以下となる。したがってゲ
ージ率Ｋが極大を示す部分においてはＱＯ量に対して不
変のゲージ率Ｋを有することになる０例えば、Ｎｉ＝、
２置％の曲線についてみると、ｏｏｎ〜ｙ％の範囲にお
行るゲージ率には３．９０〜！、９／で、はとんど−電
値とみなしてもよいほどで、比軽合金であるＦｅ−０ｒ
−Ｃｏ　Ｊ元系合金（Ｎｉ＝Ｏ％）の曲線には全くみら
れない大きな特長である。第・−図において本発明の請
求条件であるゲージ率Ｋが一以上を示す組成範囲は点ム
（Ｏｒ／ｊ％、００２７％　、Ｎｉ　４０％およびＦｅ
残余）と点Ｂ　（Ｏｒ　／ｊ％、００Ｊ７搭、Ｎ１ｊ１
７％およびＦｅ残余）を結ぶ線から上部にあることがわ
かる。またゲージ率Ｋが２以下を示す合金組成は本発明
の請求範囲からはずれる仁とはいうまでもない。

第３図は加工率９１％で冷間引抜きして得たＦｅ−Ｑｒ
−Ｑｏ−Ｎｉ系合金の各試料について、０７１３％、一
定置で、０ｏ２ｔ〜ｐ％を組成パラメータとした場合に
おけるゲージ率べとＮｉ　ｌｉｔとの関係を示す曲線図
である。Ｎｉ　ｊｌに対するゲージ率の変化は一般にＮ
ｉ　１０〜／ｊ％において極小、およびＮｉ　ｆｆ〜Ｂ
％において極大を示した後、Ｎ１置の増加とともに漸次
減少する。そしてその変化の様子は、０００％の場合を
除いて、００置にはほとんど関係がないことが明らかで
ある。第３＠においても、第ＪｌｉＵと同様極小と極大
を有する組成領域ではＫが不変を示すことがわかるｏ　
ＩＩ　ｓ図において本発明の請求条件であるゲージ率Ｋ
がコ以上を示す組成範囲は点０　（Ｏｒ　／ｊ　％、Ｃ
ｏ　０％、’５ｉｉｒ、ｚ％およびＦｅ残余）と点Ｄ　
（Ｏｒ　ｔｓ％、Ｃ０３０％、Ｎ土ｔａ％およびＦｅ残
余）を結Ｊ：＠から上部にあることがわかる。またゲー
ジ率Ｋが２以下を示す合金組成は本発明の請求範囲から
はずれることはいうまでもない。

第１Ｉ図は上記第３図と同じ試料について、対銅熱起電
力Ｋｍｆｓ比電気抵抗ρおよび比電気抵抗ρの温度係１
ｆｋＣｆの特性を示しである。図にみるように対銅熱起
電力Ｅｍｆは組成に対して複雑に変化し１４３〜−１μ
ＶｆＣで、従来のＯｕ　−Ｎｉ　Ｔ％金合金第１表参照
）の値に比べて非常に小ざいことがわかる。

特に対銅熱起電力Ｅｍｆの極大を示すＮｉ　１３％の組
成においては約ｌμｖ／′ｃ以下で、合金組成を任意に
選ぶことにより極めて小ざい値を示すため、応用上直流
電源を用いる装置においては安定した性能を発揮できる
。比電気抵抗ρはＣＯを含まないＦｅ　−／ｊ％Ｏｒ−
Ｎｉ比較合金を除いた本発明合金ではＣＯ置に関係なく
　Ｎｉ約１３％において極小を示す。そしてその値はａ
〜９０μΩｃｍと大きい。比電気抵抗ρの温度係ｔｋＯ
ｆはρの変化にほぼ対応しており、Ｎｉｌｊ％において
極大を示す。Ｏｆの値は最高＋　ｔｏ　ｘ　１０−’／
’ＣでＯｕ　−Ｎｉ、１％金合金＋２０　Ｘ　１０−６
／′Ｃと比べるとはるかに大きいが、＋１０　Ｘ　１０
−’ｌに以下の場合には補償回路を用いることによって
相殺可能である。

以上のように本発明合金のゲージ特性は広い範囲の組成
に亘って優秀である。すなわち上記実施例１乃至実施例
２、第３表および第、２図乃至第１図からもわかるよう
に、Ｏｒ　３〜３３％、００７７〜２ｏ％、Ｎｉ０．０
／　〜４０％、および残部ＦｅからなるＦｅ　−Ｏｒ　
−Ｏｏ　−Ｎｉ系亭元合金においてゲージ率Ｋがコ〜ｊ
、７、対銅熱起電力Ｅｍｆが±３μｖ／℃以下、比！！
気低抵抗がＵ〜りＯμΩ−Ｃｍ、ρの温度係数Ｃｊｆが
＋１０　Ｘ　１０−’／Ｃ以下の特性が得られる。ざら
に上記Ｆｅ　−ｃｒ　−００−Ｎｉ系ｃ元合金を主成分
として、副成分であるＯｕ　ｔ　Ｗ　ｅ　Ｎｏ　＃　Ｎ
ｂ　ｅ　Ｔａ　ｔ　Ｖ　ｅ　Ｐｄ　ｅ　Ｓｎ　＃　Ｓｂ
　ｔ　Ｍｎ　ａムｌ　ｅ　Ｓｉ　＋　Ｔｉ’＊　Ｃ８お
よびＺｒのｌ積または２種以上の合計０．１〜２５％を
含有した合金の場合においても、ゲージ特性は従来のＣ
ｕ　−Ｎｉ合金の特性について先に示した各値、すなわ
ちに＝２．ｏり〜コ、ｌコＥ　ｍ　ｆ！１３μＶ／’Ｃ
１１）　＝　４！ｊ　〜１９　ｐａ−ｃｍ９Ｊ：ヒＯｆ
＝±Ｏ，コＸ　１０−’／ｃに比較して総合的評価を行
うと全く遜色なく、極めて優秀である。

本発明合金は特にゲージ率Ｋが大きく、かっＫの組成依
存性がほとんどないという従来比類をみない特長を有し
ているので、高感度高安定性を要求されているロード七
ル用ストレインゲージとして非常に好適である＠本発明
合金は加工状態かあるいは約１１００℃以下の低温度の
熱処理を施して使用するが、実鰹例にみられるように、
ｔｏｏ”ｃ以下では緒特性は僅かの変化しか示ざない。

しがしｇｏ。

℃以上では特性が急速に変化する。また本発明合金は常
温においてもまた高温においても鍛造、圧延、引抜き、
スェージング等の加工が容易で工業上利するところが大
きい。

次に本発明合金において、合金の組成をＯｒ　Ｊ〜Ｂ　
％、００１７〜７０％、ＮｉＯ，０／〜＃１以下、およ
び残部Ｆｅと限定し、あるいはこれを主成分とし、副成
分として添加する元素をａｕｔｏ％以下、Ｗ７％以下、
ＭＯ１０％以下、Ｎｂ　７％以下、Ｔａ　１０％以下、
ｙ　ｔｏ％以下、ｐａ　ｇ％以下、Ｓｎ　５％以下、ｓ
ｂ　ｓ％以下、Ｉｎ　１０％以下、Ａｊｓ％以下、Ｓｌ
ｊ％以下、Ｔ１１％以下、Ｇｅｅ％以下およびＺｒ　’
１％以下と限定した理由は、第２図乃至第す図、各実施
例および第３表で明らかなように、その組成範囲のゲー
ジ率には２以上で、優れたゲージ特性を示し、かつ加工
性も良好であるが、組成がこの範囲をはずれるとゲージ
特性は劣化し所期の特性は得られなくなるばかりでなく
、加工が困難となり１ストレインゲ一ジ用合金として不
適当となるからである。第を表に主成分の組成と各種条
件の関係を示す。

さらに（３ｒＪ　〜３３％、Ｃｏ／７〜７θ％、Ｎｉ　
Ｏ，０／　〜１０％、および残部Ｆｅの組成範囲の合金
はゲージ率Ｋが２以上で、ゲージ率の組成依存性が極め
て小ざい特長を有し、その上加工性が良好であるが、一
般にこれにざらにＷ　ｔ　Ｍｏ　、　ＮｂおよびＴａの
添加はゲージ率Ｋを高める効果があり、またＯｕ　ｅ　
Ｖ　ａＰｄ＃　Ｓｎ　ａ　ｓｂおよびＺｒの添加は、ゲ
ージ率に以外のゲージ特性の改善に対する効果があり、
ａｎｅＡｔ　＃　Ｓｉ　ｅ　ＴｉおよびＧｅおよびＧｅ
の添加は＃Ｉ造加工および冷間引抜き加工を良好にする
効果がある。

また本発明合金において、冷間加工率（減面率）を１％
以上と限定した理由は第１図で明らかなように、加工率
１％以上のゲージ率には２以上の高い値を示すが、これ
以下の加工率ではゲージ率Ｋが小ざいばかりでなく、製
造における加工率の制御が困難となるので、ストレイン
ゲージ用合金の製造方法として不適当となるからである
。

また本発明合金において冷間加工後の加熱湿度をｌ１０
０℃以下と限定した理由は、第２表乃至第ｑ表からも明
らかなように、ｌ１００℃以下ではゲージ、特性は儀か
しか変化しないが、参〇〇℃の温度で加熱を行うと比電
気抵抗の温度係数Ｏｆが１０　Ｘ　１０−’７ｃの値を
越えてしまい、スジレインゲージの要求特性からはずれ
てしまうため、スジレインゲージ用合金の製造方法とし
て不適当となるからである・ 最後に本発明合金において、冷間加工後、さらにＷＯＯ
℃以下の温度で加熱を行う場合、加熱時間を１分以上１
００１Ｉ関以下と限定した理由は、第１表乃至餉参表か
らも明らかなように、上記時間の範囲内で加熱処理を行
うとゲージ特性はあまり変化しないばかりか、加工歪が
一部除＊されるためゲージ特性が安宇し、そのため経年
変化の少ないストレインゲージ用合金な提供することが
可能である。しかし、加熱時間を７分未満とする場合は
ゲージ特性の安定性が劣り、また１００時間、の場合に
はゲージ特性が急速に劣化することによるため、スジレ
インゲージ用合金の製造方法として不適当となるからで
ある。

以上本発明によれば従来実用されているＮｉ　−Ｏｕ系
合金あるいは公知のＦｅ　−ｃｒ　−Ｃｏ系合金等に比
較してゲージ率の組成に対するばらつきが皆無升材料を
得ることができるばかりでなく、かつ優れたゲージ特性
と良好な加工性を有する合金とその製造方法を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は代表的な本発明合金のゲージ率にと冷間加工率
との関係を示す曲ＩＩ図、第一図は９１％冷間加工を施
したＦｅ　−１３％ａｒ　−ｃｏ　ｍ金と、異った置の
Ｎｉ（，２０，ＪＯ＃　Ｒ、！０あるいは６０％）を含
む本発明合金のゲージ率にとＣｏ置との関係を示す曲線
図、第３図は９／％冷間加工を施したＸｉ’ｅ−／１％
−Ｏｒ　−Ｎｉ合金と、異った綴のＣｏ　（２３、Ｊｏ
、　１１するいは卯％）を含む本発明合金のゲージ率に
とＮ１置との関係を示す曲線図、および第ダ図は第３図
において用いたものと同じ合金の対銅熱起電力１ｅ　ｌ
、ｆ　ｓ比電気抵抗ρおよび比電気抵抗の温度係数Ｏｆ
とＮｉ　ｌとの関係を示す特性図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　　重量比にてクロム３〜３５％、コバル）７７〜７
   ０％、ニッケル０．０／〜Ｖ％および残部鉄と、少置の
   不純物からなり、ゲージ率が２以上を有することを特徴
   とするストレインゲージ用合金。 ２　重量比にてクロムＪ　−３１％、コバル）７７〜７
   ０％、ニッケル０．０／、−％および残部鉄を主成分と
   し、副成分として銅１０％以下、タングステン７％以下
   、モリブデン１０％以下、ニオ１７％以下、タンタル１
   ０％以下、バナジウム１０％以下、パラジウム３％以下
   、錫ｊ％以下、アンチ上２１％以下、マンガン１０％以
   下、アル之ニウム！襲以下、シリコン３％以下、チタン
   ！襲以下、ゲルマニウム＃襲以下およびジルコニウム７
   襲以下の１種または２種以上の合計０．１〜２５％と、
   少置の不純物とからなり、ゲージ率が２以上を有す子こ
   とを特徴とするスジレインゲージ用合金。 ３重量比にてクロム３〜３５％、コバルト１７〜７０％
   、ニッケル０．０１〜６０％および残部鉄と、少量の不
   純物からなる合金に加工率１％以上の冷間加工ヲ施し、
   さらにこれを４００℃以下のｉｌｌで１分以上１００時
   間以下加熱することによりゲージ特性が安定で、ゲージ
   率が２以上を有する合金を得ることを特徴とするストレ
   インゲージ用合金の製造方法。 て銅１０％以下、タングステン７％以下、モリアンチそ
   ２３％以下、マンガン１０％以下、アル之ニウムｊ％以
   下、９９７２３％以下、チタンｊ％以下、ゲルマニウム
   １７％以下およびジルコニウム７襲以下の１種または２
   種以上の合計Ｏ，ｔ−Ｓ％と、少量の不純物とからなる
   合金に加工率１％以上の冷間加工を施し、さらにこれを
   ４１００℃以下の温度で１分以上ｗ時間以下加熱するこ
   とによりゲージ特性が安定で、ゲージ率が２以上を有す
   る合金を得ることを特徴とするストレインゲージ用合金
   の製造方法。