JPH024229A - 液晶表示パネルの製造方法 - Google Patents

液晶表示パネルの製造方法

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JPH024229A
JPH024229A JP63153253A JP15325388A JPH024229A JP H024229 A JPH024229 A JP H024229A JP 63153253 A JP63153253 A JP 63153253A JP 15325388 A JP15325388 A JP 15325388A JP H024229 A JPH024229 A JP H024229A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はアクティブマトリックス型液晶表示装置に用い
る液晶表示パネル製造方法に関するものである。
従来の技術 近年、液晶表示装置の絵素数増大に伴って、走査線数が
増え、従来から用いられている単純マトリックス型液晶
表示装置では表示コントラストや応答速度が低下する先
め、各絵素にスイッチング素子を配置したアクティブマ
トリックス型液晶表示装置が利用されつつある。しかし
ながら前記液晶表示装置に用いるアクティブマトリック
スアレイには数万個以上の薄膜トランジスタ(以後TP
Tと呼ぶ)を形成する必要がある。したがってすべての
アクティブマトリックスアレイを無欠陥で作製すること
は困難であり、現在の技術ではアクティブマトリックス
アレイ上に形成されたTPTを検査し、良否を判別する
必要がある。そこで容易にアクティブマトリックスアレ
イを検査することのできる液晶表示パネルの製造方法が
待ち望まれていた。
以下、従来の液晶表示パネルの製造方法について説明す
る。
第6図(a)、(ロ)は液晶表示パネルの完成後の平面
図およびAA’線での断面図である。第6図において1
はガラスなどの絶縁基板1,2はアクティブマトリック
スアレイのゲート信号線を駆動するためのIC(以後ゲ
ート駆動用ICと呼ぶ。)積載部、3はアクティブマト
リックスアレイのソース信号線を駆動するためのIC(
以後ソース駆動用ICと呼ぶ。)積載部、4は透明電極
などが形成された対向電極基板、5は封止樹脂、6は液
晶表示パネルの表示領域、7.8は液晶を配向させるた
めの配向膜、9は液晶である。なお図面において説明に
不要な箇所は省略してあり、また一部拡大あるいは縮小
した部分が存在する。また同一番号・同一記号の箇所は
同一内容あるいは同一構成の部分である0以上のことは
以下の図面においても同様である。
また第7回は第6図のアで示す点線内の一部拡大平面図
、第8図は第6図のイで示す点線内の一部拡大平面図、
第9図は第6図の表示領域6の一部拡大平面図である。
ただし第9図においては特に図面の作図を容易にするた
め対向電極基板などを省略している。第7図から第9図
において、10は絶縁基板1上にゲート信号線に信号を
印加するためのIC(図示せず。以後、ゲート駆動用I
Cと呼ぶ。)の端子電極と接続するために形成された端
子電極(以後、IC接続端子電極と呼ぶ。)、11は絶
縁基板l上に形成されたゲート信号線、12は絶縁基板
1上に形成されたソース信号線、28はゲート駆動用I
C(図示せず)を制御する信号を伝達するための信号線
(以後、ゲートIC制御信号線と呼ぶ、)、13はソー
ス信号線に信号を印加するためのIC(以後、ソース駆
動用ICと呼ぶ。図示せず。)のIC接続端子電極、1
5はゲート信号線11とソース信号線12の交点近傍に
形成されたスイッチング素子としての薄膜トランジスタ
(以後、TPTと呼ぶ。)、29は絵素電極である。
以下、従来の液晶表示パネルの製造方法について図面を
参照しながら説明する。
まず、第1工程にて、TPTなどが形成された絶縁基板
lに配向膜7等を形成し、次にITOなどの透明電極お
よび配向膜8などが形成された対向電極基板4を取り付
ける。同時に絶縁基板1と対向電極基板4間に液晶膜厚
を規定するスペーサ(図示せず)を散布し、また封止樹
脂5により前記基板の周辺部を封止する。次に前記基板
1と4間に液晶を注入・封止する。以上の第1工程終了
後の液晶表示パネルの平面図を示したものが第6図であ
る。
次に第2工程について第10図を用い説明する。
第2工程は前記第1工程まで終了した液晶表示パネルの
良否を判定する検査工程である。第1O図は第2工程で
ある液晶表示パネルの検査工程を説明するための説明図
である。第10図において、G、−G、はゲート信号線
、S、−S、はソース信号線、T、、−Ta2はT F
 T −P 11  P a aは絵素電極、R,−R
4は電圧の有無を検出するためのピックアップ抵抗、1
7.19は信号線と接続するためのプローブ、18はゲ
ート信号線に電圧を印加するための電圧印加手段、20
はピックアップ抵抗の両端に発生する電圧を検出するた
めの電圧検出手段、23はTPTのT、2に発生したゲ
ート・ドレイン間短絡欠陥、24はゲート信号線G2゜
とソース信号線S、の交点に発生した短絡(以後、クロ
スショートと呼ぶ、)である。検査方法としては、まず
ゲート信号線G1にプローブ17を圧接し、ゲート信号
線に電圧を印加する。次にプローブ19をソース信号線
S1から順に圧接していき、ピックアップ抵抗R,−R
,に電圧が発生していないかを検査する。次にプローブ
17をゲート信号線G2に圧接し、ゲート信号線G2に
電圧を印加し同様にプローブ19をソース信号線S1か
ら順に圧接していき、ピックアップ抵抗RIR4に電圧
が発生していないかを検査する。以上の動作を順次繰り
かえすことにより第2工程である検査をおこなう。第1
0図に示す液晶表示パネルでは、クロスショート24が
発生しているため、プローブ17をゲート信号線G2に
圧接し、プローブ19をソース信号線S4に圧接したと
きピックアップ抵抗R4に電圧が発生する。したがって
クロスショート24を検査することができる。またゲー
ト・ドレイン短絡欠陥23はプローブ17をゲート信号
線G8、プローブ19を信号線S2にそれぞれ圧接した
とき、ゲート信号線G3に印加された電圧によりTPT
のT3霊が動作状態(以後、オン状態と呼ぶ、逆に動作
していない状態をオフ状態と呼ぶ。)となる、したがっ
てゲート信号線G3→ゲート・ドレイン短絡欠陥23→
T’3tのドレイン→Txtのソース−ソース信号wA
S2→ピックアップ抵抗R2になる経路が発生すること
により、短絡欠陥23を検査することができる。
なお、クロスショートとゲート・ドレイン短絡欠陥の判
別はピックアップ抵抗に発生する電圧がクロスジシート
の方が大きいことから判別することができる。
次に第3工程について説明する。第3工程では第2工程
で良品と判定された液晶表示パネルにゲート駆動用IC
およびソース駆動用ICを絶縁基板1上のIC接続端子
電極に接続する。
以上の第1から第3工程により液晶表示パネルは完成す
る。
発明が解決しようとする課題 近年、液晶表示パネルの信号線の間隔は200μm以下
の微小化の傾向にあり、また信号線の本数は数百本以上
と増加の傾向にある。したがって、従来の液晶表示パネ
ルの製造方法の第二工程では、プローブ17.19を各
信号線に圧接する際に非常な困難がともなう、前述の困
難とは以下に示す事である。まず第1に液晶表示パネル
の信号線の間隔が微小になってきているため、信号線の
先端に形成されるプローブ圧接用パットが150tIm
角程度あるいはそれ以下と微小になってきていることが
あげられる。したがって、プローブを正確に位置決めす
る必要がある。前記位置決めのためには高度の位置決め
の装置を用いる必要があるため装置コストが高くつく。
また、位置決めに長時間を要するという問題点があつた
。第2に液晶表示パネルの信号線本数が増大してきてい
るため、プローブに圧接および位置決め回数が増大して
きていることがあげられる。したがってすべてのTPT
の良否およびすべての信号線のクロスショートを検査し
ようとすると膨大な時間を要する。
以上の理由により従来の液晶表示パネルの製造方法では
第2工程に膨大な時間と製造コストがかかる。したがっ
て、はとんど第2工程はおこなわず、液晶表示パネルの
完成後、前記パネルに映像を表示させて表示状態からパ
ネルの良・不良を判定していた。しかし、パネルの完成
後、不良と判定された場合、装着したソースおよびゲー
ト駆動用ICとパネルをともにすてざるををえず、製造
コストが増大するという問題点があった。
課題を解決するための手段 上記課題を解決するため本発明の液晶表示パネルの製造
方法は、TPTなどが形成された絶縁基板に対向電極基
板を装着し、前記基板間に液晶を注入・封止することに
よりパネルを形成する。
次にゲート信号線にゲート駆動用ICを積載し、前記I
Cを動作させ、前記信号線に信号を印加するとともに、
ソース信号線から出力される信号により、前記パネルの
良否を判定する。最後にソース信号線にソース駆動用I
Cを積載するというものである。
作用 本発明では、パネル形成後、ゲート駆動用ICを積載し
、前記ICを動作させることによりゲート信号線に信号
を印加する。したがって、ゲート信号線にプローブを圧
接する必要がない。ゆえにプローブはソース信号線に圧
接するだけですみ、またゲート駆動用ICからゲート信
号線に印加する信号は高速に変化させることができるた
め、前記パネルの検査時間および検査装置のコストを大
幅に減少させることができる。
実施例 以下本発明の液晶表示パネルの製造方法の一実施例につ
いて図面を参照しながら説明する。
まず第1工程は従来の液晶表示パネルの製造方法と同一
である。
以下、第2工程について説明する。第1図および第2図
は第2工程を行っている液晶表示パネルの一部拡大平面
図である。なお第2工程は液晶表示パネルの検査工程で
あり、第1図は第6図のアの点線内の部分、第2図は第
6図のイの点線内の部分を示している。第2工程におい
て、第1図に示すようにIC接続端子電極10にゲート
駆動用IC21を装着する。また第2図に示すようにI
C接続端子電極13にはソース駆動用ICは装着せず、
前記IC接続端子電極13にはプローブなどの接続手段
を圧接するために用いる。IC接続端子電極10と接続
されるゲート駆動用ICの端子電極(図示せず。以後I
C端子電極と呼ぶ。)上にはメツキ技術またはネイルヘ
ッドボンディンズの技術を用いて、数μmから1100
tIの高さのAuからなる突起電極(図示せず)が形成
されている。また前記突起電極上には数十μmの導電性
接合層を形成されている。前記導電性接合層は、接着剤
としてエポキシ系、フィノール系等を主剤として、A8
・Au −N、  ・C−3nO,などのフレークを混
ぜたものであり、転写等の技術で形成される。IC接続
端子電極とIC端子電極とは前記突起電極および導電性
接合層を介して電極的に接続される。特にフェノール系
樹脂は常温で硬化が進行しないため、本発明の方法に用
いることが好ましい0以上のよううにガラス基板などに
半導体チップを直接積載する技術をガラスオンチップ技
術(以後COG技術と呼ぶ。)という。8縁基板1にゲ
ート駆動用IC21を装着後、導電性接合層に熱を印加
し、前記接合層を仮硬化状態にする。前記仮硬化状態と
は、本硬化状態がIC接続端子電極とIC@子電極電極
間電性接合が硬化し、ゲート駆動用ICが永久装着され
前記端子電極間の抵抗値が500mΩ以下と低いのに対
し、ゲート駆動用ICがわずかな振動などで位置ずれが
おこさないが、容易に取りはずすことができる状態をい
う。また、仮硬化状態では前記端子電極間の抵抗は数1
0Ω程度あるのが通常であるが、検査工程ではゲート駆
動用ICの動作速度は10kl(z以下とゆっくりであ
るため、入力抵抗でICが誤動作をおこなうなどという
問題は生じない。
第3図および第4図は本発明の液晶表示パネルの製造方
法の第2工程の検査工程を説明するための説明図である
。第3図は一絵素電極にTFTが一個の場合、第4図は
一絵素電極にT F Tが2個の場合である。第3図お
よび第4図において、ps1〜ps5およびQS2・S
e2はプローブなどの接続手段、22は信号を検出する
ための信号検出手段、ss、−5s5およびUS2・U
S4はリレーなどで構成し、任意のソース信号線と信号
検出手段22と接続するための選択手段、26は信号を
印加するための信号印加手段、25はTFTのTM、に
発生したソース・ドレイン短絡欠陥である。
まず第3図に示す一絵素にTPTが1個の場合の第2工
程について説明する。まず接続手段PS、−PS4をソ
ース信号線端に形成されたIC接続端子電極に圧接する
。つぎにゲート駆動用IC21を動作させ、ゲート信号
vAc、のみにTPTをオン状態にする。信号(以後、
オン電圧と呼ぶ、)を印加し、他のゲート信号線にはT
PTをオフ状態にする電圧(以後、オフ電圧と呼ぶ、)
を印加する。ここではオン電圧を正電圧、オフ電圧を負
電圧として説明する。次に順次選択手段SS1から3S
、まで選択的に閉じていき、各ソース信号線に出力電圧
がないか信号検出手段22で測定する。次にゲート信号
線G2のみにオン電圧を印加し、他のゲート信号線には
オフ電圧を印加する。そして同じように選択手段S31
からS34まで選択的に閉じていき各ソース信号線に出
力電圧がないかどうか信号検出手段22で測定する。以
上の動作を順次くりかえすことにより、液晶表示パネル
の検査をおこなうことができる。
第3図に示す液晶表示パネルは、ゲート・ドレイン短絡
欠陥23が発生しているため、ゲート信号線G2にオン
電圧を印加し、選択手段S32を閉じたさい、ゲート信
号線G2→ゲート・ドレイン短絡欠陥→T4のドレイン
→T4のソース−ソース信号線S2→選択手段SS2な
る経絡が発生することにより、短絡欠陥23を検出する
ことができる。またクロスショート24は選択手段S3
3を閉じ、ゲート信号線G3にオン電圧を印加したとき
正電圧が、ゲート信号線G8にオフ電圧を印加したとき
負電圧が信号検出手段22に検出されるため、検出する
ことができる。
次に第4図を用いて、−絵素j極にTPTが2個形成さ
れた場合について説明する。特に第4図のように2個の
TPTが形成された場合は、すべてゲート信号線にオン
電圧またはオフ電圧を印加する必要がある。前述の理由
は各TPTに電圧が印加されずフローティング状態とな
ると、各TPTがどんな状態になるかわからず、正確な
検査がおこなわれないためである。したがって、ゲート
駆動用IC21により、すべてのゲート信号線を一度に
制御できることは効果が大きい。
まず駆動用IC21を動作させ、ゲート信号線G1のみ
にオン電圧を印加し、他のゲート信号線にはオフ電圧を
印加する。その時順次選択手段SS1からSS5まで選
択的に閉じていき各ソース信号線に出力電圧がないか信
号検出手段22で測定する。以上の動作を第3図の場合
と同じようにすべてのゲート信号線に対しておこなう。
第4図の場合ゲート信号綿G4にオン電圧を印加し、選
択手段SS8を閉じたときTPTのT M x xに短
絡欠陥23が発生かつ動作状態であるため、ゲート信号
線G、→短絡欠陥23→T M s 3ドレイン→T 
M s xソース−ソース信号線S3→ps8→SS3
→信号検出手段21なる電流経路が生じるため、TPT
のTMoに欠陥が発生していることを検出できる。次に
TPTのソース・ドレイン間短絡欠陥の検出方法につい
て説明する。まず駆動用rc21を動作させ、ゲート信
号線G1のみにオン電圧を印加し、他のゲート信号線に
はオフ電圧を印加する。次に選択手段US、およびUS
を閉じ、ソース信号線S2およびS4に信号印加手段2
6からの電圧を印加する。次に選択手段ss、、ss3
.ss5を順次選択的に閉じていき、各ソース信号線S
□、S3.S5に出力電圧がないか信号検出手段22で
測定する。次にゲート信号線G2のみにオン電圧を印加
し、前述の動作を行う。以上の動作をすべてのゲート信
号線に対して行う。今第4図ではTPTのTM、にソー
ス・ドレイン間短絡欠陥25が発生しているため、ゲー
ト信号線G2にオン電圧を印加し、TPTのTSllを
動作状態にし、かつ選択手段5S32を閉じたとき、信
号印加手段22→US2→QS2→ソ一ス信号線S2→
短絡欠陥25→P4→TFTのTS、→ソース信号線S
3→ps、→SS、→信号検出手段22なる電流経路が
生じるため、TPTのTM!lに短絡欠陥が発生してい
ることを検出できる。以上のようにして駆動用IC21
を・用いて液晶表示パネルの検査をおこなう0次に本発
明の液晶表示パネルの製造方法の第3工程について説明
する。第3工程では第2工程で良品と判定された液晶表
示パネルに対して行う、第2工程で不良と判定された液
晶表示パネルは仮接続されたゲート駆動用ICをとりは
ずされ、再使用される。まず、IC接続端子電極13に
ソース駆動用ICを装置する。なお前記ICはゲート信
号用ICとソース信号線に信号を印加するという差異以
外は突起電極および導電性接合層が形成されている点な
どほとんど同一構成である0次に電気オーブン・ヒート
コラムなどの方法を用い、ゲートおよびソース駆動用I
Cの導電性接合層を本硬化させ液晶表示パネルは完成す
る。
なお、本発明の実施例において、導電性接合層を仮硬化
させるとしたが、第2工程において、絶縁基板1などに
振動などを与えることがなく、ゲート駆動用IC21に
位置ずれが生じないときは、仮硬化させる必要がないこ
とは明らかである。また、ゲート駆動用IC21が低価
格で、パネルが不良のとき絶縁基板lといっしょにすて
ても問題ないときは、第2工程のゲート駆動用ICを装
着時に本硬化させてもよい。
また、本発明の実施例において、すべてのソース信号線
にプローブを圧接して検査工程をおこなうように表現し
たが、これに限定するものではなく、たとえば10本の
プローブを−かつしてソース信号線に圧接し、順次隣接
したソース信号線の組に圧接していってもよい。
また、ゲート駆動用ICはTPTが形成された基板に積
載するとしたが、これに限るものでなく、TPTなどの
スイッチング素子の信号線に信号を印加できる部位であ
ればよいことは明らかである。
また、駆動用ICはCOG技術で積載するとしたがこれ
に限定するものではなく、信号線に容易に信号を印加で
きるようにかつ容易にICを取りはずしができる技術で
あればよいことは明らかである。
発明の効果 本発明の液晶表示パネルの製造方法は、ゲート駆動用I
Cをパネルに装着し、検査工程をおこなうものである。
したがって、前記パネルの良否検査を前記パネルのゲー
ト信号線にプローブを圧接することなしに行うことがで
きる。また微細間隔で形成されたすべてのゲート信号線
に所定電圧を印加することができるから、すべてのゲー
ト信号線にプローブを圧接したのと同様の効果が得られ
、かつ前記所定電圧は電気的に切り換え可能であるから
、高速かつ精度のよい検査をおこなうことができる。ま
た検査工程でパネルが不良である場合は、装着したゲー
ト駆動用ICは仮接続状態であるので、取りはずして再
使用することが可能である。したがって液晶表示パネル
の製法コストを大幅に低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図および第5図は本発明の液晶表示パネル
の製造方法を説明するための液晶表示パネルの一部拡大
平面図、第3図および第4図は本発明の液晶表示パネル
の製造方法の検査工程を説明するための説明図、第6図
(a)、 (b)は液晶表示パネルの平面図および断面
図、第7図、第8図および第9図は第6図の一部拡大平
面図、第10図は従来の液晶表示パネルの検査工程を説
明するための説明図である。 1・・・・・・絶縁基板、2・・・・・・ゲート駆動用
IC積載部、3・・・・・・ソース駆動用IC積載部、
4・・・・・・対向電極基板、5・・・・・・封止樹脂
、6・・・・・・表示領域、7゜8・・・・・・配向膜
、9・・・・・・液晶、10.13・・・・・・IC接
続端子電極、11・・・・・・ソース信号線、12・・
・・・・ゲート信号線、14・・・・・・ソースIC制
御信号線、15・・・・・・TFT、16・・・・・・
対向電極基板、17゜19・・・・・・プローブ、18
・・・・・・電圧印加手段、20・・・・】・電圧検出
手段、21・・・・・・ゲート駆動用IC122・・・
・・・信号検出手段、23・・・・・・ゲート・ドレイ
ン短絡欠陥、24・・・・・・クロスショート、25・
・・・・・ソース・ドレイン短絡欠陥、26・・・・・
・信号印加手段、27・・・・・・ソース駆動用IC1
28・・・・・・ゲートICIII御信号線、29・・
・・・・絵素電極。 I− ナート駈勧用IC 第 図 第 図 pst−1%    mm  亭 段 S、〜ざ4=ll  択 4− 筏 ゾース舅動用IG ■C邊M烏子1倫 ソース信号線 ケート信号線 ゲートIC制印信号球 絶 縛 艦 版 ICC接続子子号 +5゛−丁F丁 29−*  素 t& +6 −・− 1り、+9−・ +8−−− 20 ・・− n ・− 8・・= T11〜゛−・・・ 8I−F114−・− G+イi − 弁 勾 電 1iM  薔 板 プローブ 電圧中710参設 眩圧楕田牛纜 ケート ドレインqw&2:舶 クロスショート PT 縮1Klir櫃 リシートへ号馴跋

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)アクティブマトリックス型液晶表示パネルの製造
    方法であって、絵素駆動用スイッチング素子から形成さ
    れた第1の基板に対向電極が形成された第2の基板を装
    着し、前記第1の基板と第2の基板間に液晶を注入・封
    止することによりパネルを形成し、前期パネル上のゲー
    ト信号線にゲート駆動用ICを積載した後、前期ICを
    動作させ、前記ゲート信号線に信号を印加し、前記パネ
    ル上のソース信号線に出力される信号から前期パネルの
    良否を判定し、前記パネル上のソース信号線にソース駆
    動用ICを積載することを特徴とする液晶表示パネルの
    製造方法。
  2. (2)第1の基板はガラス基板であることを特徴とする
    請求項(1)記載の液晶表示パネルの製造方法。
  3. (3)ゲート駆動用ICおよびソース駆動用ICは前記
    ICの端子上に突起電極を有することを特徴とする請求
    項(1)記載の液晶表示パネルの製造方法。
  4. (4)ゲート駆動ICおよびソース駆動ICはチップオ
    ンガラス技術を用いてパネルに積載することを特徴とす
    る請求項(1)記載の液晶表示パネルの製造方法。
  5. (5)ゲート信号線に印加する信号はスイッチング素子
    を動作させる電圧と動作させない電圧のうち少なくとも
    どちらか一方であることを特徴とする請求項(1)記載
    の液晶表示パネルの製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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