JPH0241880A - 産業用ロボットの位置決め精度補償方法と装置 - Google Patents

産業用ロボットの位置決め精度補償方法と装置

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JPH0241880A
JPH0241880A JP19282188A JP19282188A JPH0241880A JP H0241880 A JPH0241880 A JP H0241880A JP 19282188 A JP19282188 A JP 19282188A JP 19282188 A JP19282188 A JP 19282188A JP H0241880 A JPH0241880 A JP H0241880A
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temp
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Nobutoshi Torii
信利 鳥居
Akira Nihei
亮 二瓶
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、産業用ロボットの位置決め精度における温度
の影響を補償して高位置決め精度を得るようにする産業
用ロボットの位置決めにおける温度補償方法と装置とに
関する。
〔従来の技術〕
一般に産業用ロボットは、ロボットの動作プログラムを
格納すると共にその動作プログラムに従って指令を発す
るロボット制御装置と、そのロボット制御装置の指令に
従って作動する駆動源の駆動により、動作プログラムに
従う所望のロボット動作を遂行するロボット可動機構部
とを有し、肖該ロボット可動機構部は、ロボットの旋回
胴、ロボット腕、ロボット手首、及びエンドエフェクタ
としてのロボットハンド等から構成されている。
産業用ロボットの駆動源は多くは駆動モータ、特に電動
モータから形成されることが一般であり、電動モータの
場合は、作動に応じて熱を発生する。
そして、このようなモータ発生熱は、ロボットの可動機
構部に伝達することにより、ロボットの作業現場におけ
る温度変化と共にロボット可動機構部の伸び等の熱変形
の原因となり、ロボット最先端、つまり、エンドエフェ
クタの最先端における位置決め精度に影響を与える。特
に、最近の直接駆動型モータを駆動源としてロボットの
可動機構部、特に多関節ロボット腕を駆動して所望のロ
ボット動作を得る型の産業用ロボットでは、直接駆動モ
ータ(以下、DDモータ)の発生熱に対し、ロボット腕
の熱容量が比較的小さいためにモータ発生熱の影響が大
きく成って問題となっている。
〔発明が解決すべき課題〕
このような状況に対応すべく、ロボット使用現場の温度
安定を図る等の外的対策は既に講じられているが、ロボ
ット可動機構部を迅速に熱平衡状態に到達させて熱変形
の静定状態を迅速に形成し、それによりロボット最先端
における高位置決め精度を確保するようにした積極的な
位置決め精度の補償対策を講じたものは未だ提供されて
いない。
依って、本発明の目的は、産業用ロボットにおける位置
決め精度を積極的に高度に維持することができる補償方
法と装置とを提供せんとするものである。
〔解決手段〕
本発明によれば、ロボット制御装置の指令に従って可動
機構部が所望のロボット動作を行う産業用[7ボツトに
おける位置決必精度の補償方法において、前記ロボット
制御装置に前記可動機構の温度変化と加熱パラメータの
変化との間で定まる一定の熱平衡曲線データを予め測定
、記憶し、前記可動機構部の作動プログラムにおける前
記加熱パラメータを計測、計算して前記熱平衡曲線デー
タから該可動機構部の作動プログラムにおける温度上昇
値を予測し、前記予測した温度上昇値まで迅速に昇温せ
しめると共に前記可動機構部の温度実測値と前記予測温
度上昇値とを比較し、その後に、前記可動機構部が前記
予測温度上昇値まで昇温したことが検出されたときに、
該可動機構部を流動する冷却空気流を形成して核部の熱
平衡状態を維持させ、ロボット位置決めにおける温度影
響を補償するようにした産業用ロボットの位置決め精度
補償方法が提供され、また、ロボット制御装置からの指
令に従って作動する駆動モータの駆動によリ、プログラ
ムに応じた所望のロボット動作を行う可動機構部を有す
る産業用ロボットにおいて、前記ロボット制御装置の記
憶手段に前記可動機構の温度変化と前記駆動モータの出
力トルク値又は駆動電流値との間で定まる一定の熱平衡
曲線データを予め測定、記憶せしめると共に、前記可動
機構部の動作プログラムに従って駆動モータの出力トル
ク値または駆動電流値を測定するモータ出力測定手段と
、前記可動機構部の実際の温度値を測定、送信する温度
測定手段と、前記可動機構部の内部から外部に流出する
冷却空気流形成手段とを具備し、前記モータ出力測定手
段の実測出力トルク値を前記記憶手段の記憶した前記熱
平衡曲線データに対比、演算して熱平衡温度値を予測し
、前記温度測定手段による実測温度値が前記熱平衡温度
値に達するまで、前記冷却空気流形成手段の作動を遅延
させることを特徴とする産業用ロボットの位置決め精度
補償装置が提供される。
〔作 用〕
上述の本発明によれば、ロボット可動機構部はその動作
プログラム毎に加熱源のパラメータ、つまり、駆動モー
タの出力トルクを検出し、その出力トルクを予めロボッ
ト制御装置に記憶させた熱平衡曲線に当てはめてロボッ
ト可動機構部の温度の略平衡点を予測し、そのまま可動
機構部の温度が加熱源からの熱で予測点に達するまで冷
却空気流による冷却作用の開始を遅延させ、迅速に予測
平衡点まで到達させてから、熱平衡状態を維持して熱変
形の静定状態を維持させるから、ロボットの可動機構部
は、どのような動作プログラムを課せられたときも、迅
速に上記静定状態を実現して位置決め精度に対する熱変
形の影響を低減させ、高位置決め精度を維持するもので
ある。以下、本発明を添付実施例に従って詳細に説明す
る。
〔実施例〕
第1図は、本発明による位置決め精度補償装置を具備し
た産業用ロボットの1実施例を示す全体機構図、第2図
は予め測定されたデータに基づいてロボット制御装置に
記憶される当該ロボットの熱平衡曲線のグラフ図、第3
図はロボット制御装置で遂行される温度補償制御作用を
説明するフローチャート、第4A図、第4B図は冷却空
気流形成手段を具備した本発明に係る産業用ロボットと
従来のロボットとにおける熱平衡状態の達成状態を比較
図示したグラフ図、第5A図、第5B図は同じく冷却空
気流形成手段を具備した本発明に係る産業用ロボットと
従来のロボットとにおける熱変形の静定状態を比較図示
したグラフ図である。
さて、第1図を参照すると、同図に図示された実施例の
産業用ロボットはDDモータを駆動源にした水平多関節
ロボットとそのロボット制御装置であり、同ロボット1
0は、機台12を有し、この機台12から立設されたコ
ラト14は回転動作可能に形成されている。このコラム
14の頂端には第1のロボット腕16が縦方向のθ軸線
回りに旋回可能に枢着され、また、この第10ボツト腕
16の先端部に第20ボツト腕18が縦方向のU、軸線
回りに旋回可能に枢着されている。また、第20ボツト
腕18の先端には上下動可能なロボット手首20が設け
られ、このロボット手首20の先端にエンドエフェクタ
(図示なし)が装着される構成になっている。さて、第
1のロボット腕16は、その後端部の内部にe軸線と同
軸配置で該第10ボツト腕16を駆動するDDモータが
格納され、また、第2のロボット腕18の後端には同第
2のロボット腕18を駆動するDDモータが格納されて
いる。第2のロボット腕18の後端のケーシング18a
内にはDDモータに結合した角度検出器が格納されてい
る。更に、第20ボツト腕18の先端のケーシング18
b内には上下動可能なロボット手首20の上下動作動機
構が格納されている。
さて、本実施例による産業用ロボットは、ロボット可動
機構部を形成する第1、第20ボツト腕16.18、コ
ラム14において、第20ボツト腕18の先端から第1
0ボツト腕16及びコラム14を貫通、経由して機台1
2の適宜側部位置に設けた開口22に連通した冷却空気
通路28が形成されている。この冷却空気通路28は、
開口22から空気流Aをロボット機体外へ流出させるよ
うに配設され、上記開口22の近くに空気流を形成する
ファン24が設けられている。また、この産業用ロボッ
ト10の第1、第2のロボ、、ト腕16.18の外面ま
たは内部の適宜位置には夫々の腕16及び18の温度を
検出して電気的信号として後述するロボット制御装置へ
検出値を送信する温度測定器26a、26bが設けられ
いる。
他方、上記ロボット10に信号回路、動力回路等を介し
て接続されたロボット制御装置30が設けられている。
このロボット制御装置30は、°周知のロボット制御装
置と同様にROM32、RAM34から成る記憶手段と
、CPU36から成る演算制御手段とを具備している。
また、図示されていない前記ロボット10の夫々の駆動
モータのサーボ機構が具備され、これらのサーボ機構に
対してプログラムに従い指令を送出すると共に夫々のサ
ーボ機構からロボット先端の位置情報がフィードバック
される構成を有している。更に、同制御装置30には、
ロボット10の可動機構部における各駆動モータの駆動
電流値を計測するためにロボット10自体に或いはロボ
ット制御装置30内等の適宜位置に設けられたモータ電
流検出器50が検出した電流値を積分してモータ電流2
乗トルク値を算出する積分器38が設けられ、この積分
器38はCPO36に接続されて、積分データを該CP
U36へ供給する。また、CPU36は図示されていな
いインターフェース回路を介して前記ロボット10に設
けられたファン24の作動回路内のスイッチ40をオン
・オフ制御する構成に成っている。
上述したロボット制御装置30において、本発明によれ
ば、記憶手段におけるROM32にはロボット作用の基
本プログラムと共に予め本ロボット10の可動機構部の
駆動源を成す夫々のDDモータに関する出力トルク値を
加熱パラメータとして、種々の出力トルク状態で該DD
モータが作動した場合に、モータ発生熱により第10ボ
ツト腕16、第20ボツト腕18等の可動機構部におい
て生ずる温度上昇が熱平衡点に達する温度値を予め測定
して両者の関係を熱平衡曲線(第2図参照)として記憶
されている。また、ロボット制御装置30のRAM34
にはロボット10に作業者が教示するプログラムが記憶
されると共にCPU36が実行する演算結果が、随時記
憶可能になっている。
つぎに、上述の構成からなる本発明に係る産業用ロボッ
トの位置決狛精度補償作用に就いて説明する。
ロボット10は所望のロボット動作に応じて予めプログ
ラムがロボット制御装置30に教示、記憶される。そし
て、本発明によれば、これらの教示プログラムに従って
遂行されるロボット可動機構部の各動作サイクル(例え
ば、ロボット先端が成る1位置からワークを把持して他
の目的位置へそのワークを搬送し、その目的位置上へ位
置決めされるまでの行程)毎に駆動源である各DDモー
タの駆動電流をモータ電流検出器50によって実測・検
出することにより、動作サイクルにおけるDDモータの
出力トルクを積分器38で計算する。
こうして得られたDDモータの出力トルク値は積分器3
8からCPU36に人力される。CPU36はこのとき
、その実測計算されたDDモータの出力トルク値をRO
M32に保管された熱平衡曲線(第2図)にあて嵌めて
ロボット可!IJ機構部における温度上昇値を予測、推
定する(第3図におけるステップ2)。他方、ロボット
10においては、第10ボツト腕16、第20ボツト腕
18等の可動機構部に設けた温度測定器(本実施例では
、上記第10ボツト腕16、第20ボツト腕18に設け
た温度測定器26a、26b)からの測定データを常時
、ロボット制御装置30へ送出しているので各動作サイ
クルにおける第1、第20ボツト腕16.18の実際の
温度をロボット制御装置30においてわかる。故に、次
に、CPU36は、上述のようにして予測、推定した温
度上昇値に対して実際のロボット可動機構部の温度を比
較し、比較結果から、両者が一致する時点を検出する。
ここで、本発明によれば、この予測温度値に実測温度値
が到達するまで、冷却空気流路における冷却空気流を形
成させることなく、待機するのである。つまり、ファン
24の作動による冷却空気流の流動を開始させることな
く、冷却作用の開始を遅延させるのである。このように
冷却作用の開始を遅延させれば、ロボット可動機構部は
DDモータの発生熱の伝達により、迅速に温度上昇し、
予測、推定される熱平衡点の温度値へ迅速に到達する。
次いで、熱平衡点の温度値まで昇温、到達したときロボ
ット制御装置30のCPU36は、冷却空気流の流動を
開始させるために、ファン24の作動回路内のスイッチ
40をオンにする指令を発する(第3図のステップ3)
。こうして、熱平衡点の温度に到達後は冷却空気流によ
り、ロボット可動機構部が更に昇温することはなく、そ
の動作サイクル中は、熱平衡点に維持されるのである。
斯くして、可動機構部、つまり、第1、第2のロボット
腕16.18を迅速に熱平衡状態に到達させれば、当然
にこれら第1、第2のロボット腕16.18の温度上昇
による熱変形も静定状態に到達し、静定状態に到達後は
、その静定状態をファン24の作動で維持されるから、
可動機構部は熱変形量を補償されてロボット先端の位置
決めが行われることになる。従って、ロボット先端の位
置決めが高精度に維持されるのである。
また、ロボット10が1動作サイクルを終了して、教示
プログラムに従い、次の動作サイクルに入ると、再び、
上述と同様の位置決め補償が繰り返されるのである。
ここで、第4図、第4B図を参照すると、前者は、第1
図に示した水平多関節ロボット10に対して本発明に基
づく、温度補償装置を作動させて温度補償を遂行し、可
動機構部をDDモータで駆動してロボット動作を実行さ
せた場合に就き、第1、第2のロボット腕16.18に
おける時間と温度上昇との関係を図示したグラフであり
、第1、第2のロボット腕16.18は共に約6℃の熱
平衡点温度に約1.5時間で到達し、遅延時間後に冷却
空気流の冷却作用を開始させて、その温度を維持すると
温度平衡点が継続し、従って、可動機構部は熱変形が静
定状態で維持されることを示している。
他方、後者の第4B図のグラフは、同ロボット10に対
し、冷却空気流による冷却作用を全く作用させなかった
ときには、第1、第2のロボット腕16.18は温度が
漸増し続け、熱平衡点の温度約20℃に約7時間経過し
て到達することを示している。従って、熱平衡点の実現
が極めて遅く成り、熱変形の影響がロボット動作に影響
を与えることが推定ささるのである。
第5A図、第5B図を参照すると、前者は、第1図に示
したロボット10において、第1、第2のロボット腕1
6.18に関し、本発明の温度補償方法を実施した場合
に、両腕16.18の水平面内における直交2軸(X軸
とY軸との2軸)方向における合成された熱変形量(伸
び)を示したものである。この第4A図の図示から、本
発明による温度補償を実施した場合には、第1、第2の
ロボット腕16.18における熱変形量はX軸方向、Y
軸方向の両方向共に約20ミクロンの伸びの状態で略静
定状態に達していることが判り、しかも、約1.5時間
で、その静定状態に到達していることが判る。
他方、同ロボット10の第1、第2のロボット腕16.
18に対して本発明による温度補償を実施しなかった場
合には、第5B図から明らかなように、熱変形の静定状
態は、X軸、Y軸の両方向共に、約60ミクロンの伸び
の状態でようやく静定状態に達し、しかも、その静定状
態に達するためには、約3時間強の時間を要したことが
判る。
以上に説明した第4A図〜第5B図のグラフ表示の結果
からも明らかなように、本発明による補償装置を備え、
それを作用させて温度補償を行うことにより、産業用ロ
ボットの可動機構部は、その可動機構部の駆動源を加熱
源とした場合に、ロボット動作過程で、熱平衡点に迅速
に到達し、しかも、その熱平衡点温度をその後には、継
続的に維持されるから、熱変形量は素早く静定状態に到
達し、その静定状態を保持されることになり、従って、
可動機構部の熱変形を原因とした位置決め精度の劣化は
防止され、常時、高精度を維持することができるのであ
る。
なお、以上の記載においては、本発明を最も適用価値の
高いDDモータを駆動源とした水平多関節型ロボットに
就いて、説明したが、この実施例に限定するものではな
く、例えば、通常のサーボ電動モータと減速機とを組み
合わせた駆動源を使用する多関節ロボット等でも、ロボ
ット腕等の可動機構部の熱容量が比較的に小さい場合に
は、本発明を適用して温度補償を行えば、位置決め精度
の高レベルを保持できることは言うまでもない。
しかも、ロボットが高位置決め精度を要求される用途に
用いられるときは、かかる温度補償の効果は極めて重要
になる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、ロボット制御装置の指令に従って可動
機構部が所望のロボット動作を行う産業用ロボットにい
て、ロボット制御装置に可動機構の温度変化と加熱パラ
メータの変化との間で定まる一定の熱平衡曲線データを
予め測定、記憶し、前記可動機構部の作動プログラムに
おける加熱パラメータを計測、計算して熱平衡曲線デー
タから猿回り機構部の作動プログラドにおける温度上昇
値を予測し、その予測した温度上昇値まで迅速に昇温せ
しめると共に前記可動機構部の温度実測値と前記予測温
度上昇値とを比較し、その後に、前記可動機構部が前記
予測温度上昇値まで昇温したことが検出されたときまで
遅延させて該可動R構部を流動する冷却空気流を形成し
て核部の熱平衡状態を維持させ、ロボット位置決めにお
ける温度影響を補償するようにしたから、ロボット可動
部は素早くその熱変形が静定状態に達し、変動すること
がないから、ロボット先端の位置決め精度が高精度に維
持された状態でロボットの動作が遂行されることになる
。故に、産業用ロボットが精密部品の組み立て等の高精
度を要求される用途に適用される場合にも、その高精度
要求を充分に満足させたることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明による位置決め精度補償装置を具備し
た産業用ロボットの1実施例を示す全体機構図、第2図
は予め測定されたデータに基づいてロボット制御装置に
記憶される当該ロボットの熱平衡曲線のグラフ図、第3
図はロボット制御装置で遂行される温度補償制御作用を
説明するフローチャート、第4A図、第4B図は冷却空
気流形成手段を具備した本発明に係る産業用ロボットと
従来のロボットとにおける熱平衡状態の達成状態を比較
図示したグラフ図、第5A図、第5B図は同じく冷却空
気流形成手段を具備した本発明に係る産業用ロボットと
従来のロボットとにおける熱変形の静定状態を比較図示
したグラフ図。 10・・・ロボット、 16・・・第10ボツト腕、 18・・・第20ポツト腕、  24・・・ファン、2
6a、26b・・・温度検出器、 28・・・冷却空気通路、 30・・・ロボット制御装置、 38・・・積分器、 40・・・スイッチ、 50・・・モータ電流検出器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、ロボット制御装置の指令に従って可動機構部が所望
    のロボット動作を行う産業用ロボットにおける位置決め
    精度の補償方法において、前記ロボット制御装置に前記
    可動機構の温度変化と加熱パラメータの変化との間で定
    まる一定の熱平衡曲線データを予め測定、記憶し、前記
    可動機構部の作動プログラムにおける前記加熱パラメー
    タを計測、計算して前記熱平衡曲線データから該可動機
    構部の作動プログラムにおける温度上昇値を予測し、前
    記予測した温度上昇値まで迅速に昇温せしめると共に前
    記可動機構部の温度実測値と前記予測温度上昇値とを比
    較し、その後に、前記可動機構部が前記予測温度上昇値
    まで昇温したことが検出されたときに、該可動機構部を
    流動する冷却空気流を形成して該部の熱平衡状態を維持
    させ、ロボット位置決めにおける温度影響を補償するよ
    うにしたことを特徴とする産業用ロボットの位置決め精
    度補償方法。 2、前記加熱パラメータは、前記可動機構部の駆動モー
    タのトルク又は駆動電流であると共に該可動機構部は、
    前記駆動モータで駆動される前記ロボット腕である特許
    請求の範囲1.項に記載の産業用ロボットの位置決め精
    度補償方法。 3、ロボット制御装置からの指令に従って作動する駆動
    モータの駆動により、プログラムに応じた所望のロボッ
    ト動作を行う可動機構部を有する産業用ロボットにおい
    て、前記ロボット制御装置の記憶手段に前記可動機構部
    の温度変化と前記駆動モータの出力トルク値又は駆動電
    流値との間で定まる一定の熱平衡曲線データを予め測定
    、記憶せしめると共に、前記可動機構部の動作プログラ
    ムに従って駆動モータの出力トルク値または駆動電流値
    を測定するモータ出力測定手段と、前記可動機構部の実
    際の温度値を測定、送信する温度測定手段と、前記可動
    機構部の内部から外部に流出する冷却空気流形成手段と
    を具備し、前記モータ出力測定手段の実測出力トルク値
    を前記記憶手段の記憶した前記熱平衡曲線データに対比
    、演算して熱平衡温度値を予測し、前記温度測定手段に
    よる実測温度値が前記熱平衡温度値に達するまで、前記
    冷却空気流形成手段の作動を遅延させることを特徴とす
    る産業用ロボットの位置決め精度補償装置。 4、前記冷却空気流形成手段は前記可動機構部内に形成
    された空気流路と、該空気流路を介して前記可動機構部
    からロボット機体外へ流出する空気流を発生させる冷却
    ファンとから構成された特許請求の範囲3.項に記載の
    産業用ロボットの位置決めにおける温度補償装置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006281421A (ja) * 2005-04-05 2006-10-19 Yaskawa Electric Corp ロボットおよびロボットの異常検出方法
JP2008235836A (ja) * 2007-03-23 2008-10-02 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置、基板搬送モジュール、基板搬送方法及び記憶媒体
JP2009526985A (ja) * 2006-02-16 2009-07-23 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 関節式プローブヘッド装置および方法
JP2012176843A (ja) * 2011-02-28 2012-09-13 Akim Kk 部品搬送装置
CN104597176A (zh) * 2015-01-08 2015-05-06 聚光科技(杭州)股份有限公司 一种气相色谱仪的降温方法
CN111086023A (zh) * 2019-12-18 2020-05-01 南京熊猫电子股份有限公司 基于工业机器人内部温度的定位精度补偿方法及其使用方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006281421A (ja) * 2005-04-05 2006-10-19 Yaskawa Electric Corp ロボットおよびロボットの異常検出方法
JP2009526985A (ja) * 2006-02-16 2009-07-23 レニショウ パブリック リミテッド カンパニー 関節式プローブヘッド装置および方法
US8474148B2 (en) 2006-02-16 2013-07-02 Renishaw Plc Articulating probe head apparatus and method
EP1989504B1 (en) 2006-02-16 2015-11-11 Renishaw plc Articulating probe head apparatus and method
JP2008235836A (ja) * 2007-03-23 2008-10-02 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置、基板搬送モジュール、基板搬送方法及び記憶媒体
JP2012176843A (ja) * 2011-02-28 2012-09-13 Akim Kk 部品搬送装置
CN104597176A (zh) * 2015-01-08 2015-05-06 聚光科技(杭州)股份有限公司 一种气相色谱仪的降温方法
CN111086023A (zh) * 2019-12-18 2020-05-01 南京熊猫电子股份有限公司 基于工业机器人内部温度的定位精度补偿方法及其使用方法

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