JPH0240512A - 荷重物体の振動及び加速度を測定する光ファイバー式モニター装置 - Google Patents
荷重物体の振動及び加速度を測定する光ファイバー式モニター装置Info
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- JPH0240512A JPH0240512A JP1158134A JP15813489A JPH0240512A JP H0240512 A JPH0240512 A JP H0240512A JP 1158134 A JP1158134 A JP 1158134A JP 15813489 A JP15813489 A JP 15813489A JP H0240512 A JPH0240512 A JP H0240512A
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- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims abstract description 22
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 claims description 7
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 11
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 244000089486 Phragmites australis subsp australis Species 0.000 description 1
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は光ファイバー式据勤センサーに関し、更に詳細
には、荷重物体の振動に応答して光ビームを位相変調す
るセンサーに関する。
には、荷重物体の振動に応答して光ビームを位相変調す
るセンサーに関する。
ウェスチングハウス・エレクトリック・コーポレーショ
ン及びアセア（ＡＳＥＡ）から市販されている従来型光
ファイバー式振動センサーはその帯域幅が比較的狭い。
ン及びアセア（ＡＳＥＡ）から市販されている従来型光
ファイバー式振動センサーはその帯域幅が比較的狭い。
ウェスチングハウスの振動センサーは共振周波数に同調
したリードにより支持される振動スクリーンを用いて光
フィアバーからの光ビームを遮断する構成である。アセ
アのセンサーは同じく共振作動点を有する片持ビームか
ら外れるように光ビームを鏡で反射させるものである。
したリードにより支持される振動スクリーンを用いて光
フィアバーからの光ビームを遮断する構成である。アセ
アのセンサーは同じく共振作動点を有する片持ビームか
ら外れるように光ビームを鏡で反射させるものである。
アセアのセンサーでは片持ビームが曲がると一部の光が
逃げる（即ち、反射光が再び光ファイバーへ戻らない）
ため、光ビームの振幅変調が得られる。これらのセンサ
ーはその狭い帯域内では著しい非線形特性を示す春が、
これは共振同調のためであり、光ビームを感知するモニ
ターの較正が適正でない場合には加速度計により発生さ
れる加速度信号を非線形増幅器及びフィルターに通す必
要がある。これらの従来型センサーはまた、１２乃至３
６％の温度ドリフト係数を持つため、温度の変動する環
境においてこれらのセンサーを使用するのは実際的では
ない。
逃げる（即ち、反射光が再び光ファイバーへ戻らない）
ため、光ビームの振幅変調が得られる。これらのセンサ
ーはその狭い帯域内では著しい非線形特性を示す春が、
これは共振同調のためであり、光ビームを感知するモニ
ターの較正が適正でない場合には加速度計により発生さ
れる加速度信号を非線形増幅器及びフィルターに通す必
要がある。これらの従来型センサーはまた、１２乃至３
６％の温度ドリフト係数を持つため、温度の変動する環
境においてこれらのセンサーを使用するのは実際的では
ない。
本発明の目的は非常に広い帯域幅を有するセンサーを提
供することにある。本発明の目的は更に温度ドリフトの
影響を受けないセンサーを提供することにある。本発明
では、外部電源を必要とせず、全帯域幅に亘って線形で
あるため高価な非線形補正増幅器及びフィルターを使用
せず、高い電位で使用することができる低コスト加速度
計が提供される。
供することにある。本発明の目的は更に温度ドリフトの
影響を受けないセンサーを提供することにある。本発明
では、外部電源を必要とせず、全帯域幅に亘って線形で
あるため高価な非線形補正増幅器及びフィルターを使用
せず、高い電位で使用することができる低コスト加速度
計が提供される。
上記目的は、位相変調器を用いて圧電結晶によりレーザ
ビームの位相を電気的に変調する振動センサーにより達
成される。変調ビームと非変調基準ビームとの間の位相
差を用いて加速度を求める。
ビームの位相を電気的に変調する振動センサーにより達
成される。変調ビームと非変調基準ビームとの間の位相
差を用いて加速度を求める。
本発明は、広義には、振動の測定値に相当する信号を光
ファイバーにより伝送する型式の、荷重物体の振動及び
加速度を測定する光ファイバーモニター装置であフて、
荷重物体の加速度に応答する加速度信号を発生する感知
手段と、加速度信号に応答して光ファイバー中の光ビー
ムの位相角特性を変化させる手段とよりなることを特徴
とするモニター装置を提案する。
ファイバーにより伝送する型式の、荷重物体の振動及び
加速度を測定する光ファイバーモニター装置であフて、
荷重物体の加速度に応答する加速度信号を発生する感知
手段と、加速度信号に応答して光ファイバー中の光ビー
ムの位相角特性を変化させる手段とよりなることを特徴
とするモニター装置を提案する。
以下、添付図面を参照して本発明を好ましい実施例につ
き詳細に説明する。
き詳細に説明する。
第１図の荷重物体１０のための広ｆ域加速度感知装置は
、従来型レーザ１２と従来型光学式位相検波器１４とを
用いる。適当なレーザ１２としてはカリフォル−ニす州
サンフオセのスペクトラ・ダイオード・ラボラトリーズ
・インコーホレーテッド（Ｓｐｅｃｔｒａ Ｄｉｏｄｅ
Ｌａｂｓ、 Ｉｎｃ、）から入手可能なモデル５ＤＬ
−２４０２−８２があり、一方検波器１４としては光フ
ァイバージャイロスコープに用いるようなものがある。
、従来型レーザ１２と従来型光学式位相検波器１４とを
用いる。適当なレーザ１２としてはカリフォル−ニす州
サンフオセのスペクトラ・ダイオード・ラボラトリーズ
・インコーホレーテッド（Ｓｐｅｃｔｒａ Ｄｉｏｄｅ
Ｌａｂｓ、 Ｉｎｃ、）から入手可能なモデル５ＤＬ
−２４０２−８２があり、一方検波器１４としては光フ
ァイバージャイロスコープに用いるようなものがある。
レーザ１２はコーヒレントなビームを発生し、該ビーム
は光ファイバー１６を介して従来型のビームスプリッタ
１８へ送られる。スプリットされたビームの１半分は従
来型光ファイバー２０を介して基準ビームとして位相検
波器１４へ送られ、該基準ビームと、振動に応答して位
相がシフトしたビームを比較して振動を測定する。
は光ファイバー１６を介して従来型のビームスプリッタ
１８へ送られる。スプリットされたビームの１半分は従
来型光ファイバー２０を介して基準ビームとして位相検
波器１４へ送られ、該基準ビームと、振動に応答して位
相がシフトしたビームを比較して振動を測定する。
その比較動作は木質的に加算であり、基準ビームと位相
変調された感知ビームとを加算して加速度信号、例えば
、 上記式の等符号の右の第１項は位相シフト中の大″ぎさ
を求めるために用いられる。ビームスプリッタ１８はも
う１つのスプリットビーム（感知ビーム）を光ファイバ
ー２２を介して振動センサー２４へ送る。振動センサー
は荷重物体１０に物理的に結合されている。センサー２
４はカリフォルニア州サン・シュアン・キャピストラー
ノ（ＳａｎＪｕａｎ （：ａｐｉｓｔｒａｎｏ）のエン
デブコ（Ｅｎｄｅｖｃｏ）から入手可能な従来型圧電結
晶２６を有し、該結晶は荷重物体１０により圧縮或いは
膨張されるか曲げられると電気信号を発生する。速度セ
ンサーのような他の振動センサーもほぼ１ボルトの信号
を生ずる限り使用できる。結晶２６の周波数応答は約１
ヘルツから数百メガヘルツの範囲にある。結晶２６によ
り発生される電気信号はアンフェノル（ａｍｐｈｅｎｏ
ｌ）のＬＩＮＩ−ＧＬＩＩＤＥ位相変調器シリーズ９４
７のような位相変調器２已に加えられる。位相変調器２
８は位相変調された光ビームを出力し、該光ビームは光
ファイバー３０を介して光学式位相検波器１４へ送られ
る。圧電結晶２６と位相変調器２８を組み合わせること
により温度ドリフト係数が２０℃から１００℃の間で木
質的にゼロであるセンサー２４が得られる。センサー２
４の大きさは普通１立方センチ以下であり、周波数範囲
が最大数百メガヘルツまでの広い線形加速度信号を発生
できる。動作時、位相検波器１４は圧電結晶２６の電気
信号を再生し、その再生信号は結晶２６により直接発生
させる信号と同様に処理される。結晶２６に発生する電
圧は低周波数では低いため、低周波数では検波器の出力
信号に幾らかの直線性を与える必要がある。このような
補償は特定の用途に応じて当業者が随意行なうことがで
きる。
変調された感知ビームとを加算して加速度信号、例えば
、 上記式の等符号の右の第１項は位相シフト中の大″ぎさ
を求めるために用いられる。ビームスプリッタ１８はも
う１つのスプリットビーム（感知ビーム）を光ファイバ
ー２２を介して振動センサー２４へ送る。振動センサー
は荷重物体１０に物理的に結合されている。センサー２
４はカリフォルニア州サン・シュアン・キャピストラー
ノ（ＳａｎＪｕａｎ （：ａｐｉｓｔｒａｎｏ）のエン
デブコ（Ｅｎｄｅｖｃｏ）から入手可能な従来型圧電結
晶２６を有し、該結晶は荷重物体１０により圧縮或いは
膨張されるか曲げられると電気信号を発生する。速度セ
ンサーのような他の振動センサーもほぼ１ボルトの信号
を生ずる限り使用できる。結晶２６の周波数応答は約１
ヘルツから数百メガヘルツの範囲にある。結晶２６によ
り発生される電気信号はアンフェノル（ａｍｐｈｅｎｏ
ｌ）のＬＩＮＩ−ＧＬＩＩＤＥ位相変調器シリーズ９４
７のような位相変調器２已に加えられる。位相変調器２
８は位相変調された光ビームを出力し、該光ビームは光
ファイバー３０を介して光学式位相検波器１４へ送られ
る。圧電結晶２６と位相変調器２８を組み合わせること
により温度ドリフト係数が２０℃から１００℃の間で木
質的にゼロであるセンサー２４が得られる。センサー２
４の大きさは普通１立方センチ以下であり、周波数範囲
が最大数百メガヘルツまでの広い線形加速度信号を発生
できる。動作時、位相検波器１４は圧電結晶２６の電気
信号を再生し、その再生信号は結晶２６により直接発生
させる信号と同様に処理される。結晶２６に発生する電
圧は低周波数では低いため、低周波数では検波器の出力
信号に幾らかの直線性を与える必要がある。このような
補償は特定の用途に応じて当業者が随意行なうことがで
きる。
位相変調器２８の詳細及び圧電結晶２６、荷重物体１０
を第２図に示す。光導波管２２により変調器２８に加え
られる光はＴＥモードであり光ファイバーコネクタ４０
により変調器２８に結合される。光ファイバーコネクタ
４０は光ファイバー２２をニオブ酸リチウム基板４４に
形成したチタンを拡散させた導波管４２に接続する。光
ビームは結晶２６に接続した導体４８により２つの電極
４６に電位を加えることにより位相変調される。
を第２図に示す。光導波管２２により変調器２８に加え
られる光はＴＥモードであり光ファイバーコネクタ４０
により変調器２８に結合される。光ファイバーコネクタ
４０は光ファイバー２２をニオブ酸リチウム基板４４に
形成したチタンを拡散させた導波管４２に接続する。光
ビームは結晶２６に接続した導体４８により２つの電極
４６に電位を加えることにより位相変調される。
導波管４２はコネクタ５０により光ファイバー３０に結
合されている。、構成要素４０．４６及び５０は前述し
た好ましい変調器２８の全部を構成する。動作時、結晶
２６は荷重物体１０により印加される力に応答して電位
を発生する。その電位は変調器２８の電８ｉ４６へ電荷
を移動させる。先導波管４２に加えられる電圧によりそ
の材料の屈折率を変化させる強力な電界が発生する。屈
折率の変換により光の伝搬速度が変化し、その結果基準
ビームに対して光ビームの位相がシフトする。
合されている。、構成要素４０．４６及び５０は前述し
た好ましい変調器２８の全部を構成する。動作時、結晶
２６は荷重物体１０により印加される力に応答して電位
を発生する。その電位は変調器２８の電８ｉ４６へ電荷
を移動させる。先導波管４２に加えられる電圧によりそ
の材料の屈折率を変化させる強力な電界が発生する。屈
折率の変換により光の伝搬速度が変化し、その結果基準
ビームに対して光ビームの位相がシフトする。
光ビームの位相には速度信号が載せられているため、そ
の信号は光源の強さには無関係である。
の信号は光源の強さには無関係である。
第３図に示す構成により、変調光ビームに直流バイアス
を加えることが可能である。圧電結晶２６と位相変調器
２８との間の位相変調器２８へリーによるバイアスがな
い場合には位相シフトは各サイクルにつき２度ゼロを通
過し、検波器１４が整流された振動信号を発生する。バ
ッテリーによるバイアスが検波器の出力信号を常に正に
して、低周波数撮動信号の出力信号レベルを増大させる
。バッテリー６０は位相変調器２８或いは圧電結晶２６
へ正味の電力を供給しないため、寿命が非常に長い。
を加えることが可能である。圧電結晶２６と位相変調器
２８との間の位相変調器２８へリーによるバイアスがな
い場合には位相シフトは各サイクルにつき２度ゼロを通
過し、検波器１４が整流された振動信号を発生する。バ
ッテリーによるバイアスが検波器の出力信号を常に正に
して、低周波数撮動信号の出力信号レベルを増大させる
。バッテリー６０は位相変調器２８或いは圧電結晶２６
へ正味の電力を供給しないため、寿命が非常に長い。
第４図は、別の光ファイバー６２のような第３の光源か
らの光を用いて従来型シリコンフォトセル６４により圧
電結晶への一方のリードにバイアスをかけるようにした
第２のバイアス付与方式を示す。フォトセル６４を用い
ると位相シフトが定である直流型オフセットにより光学
チップにバイアスが付与されるだけでなく、較正光信号
をファイバー６２を介して人力するとセンサー２６の較
正及びテストが可能となる。また、フォトセル６４を用
いて直流バイアスを交流変調して圧電結晶からの信号に
ビートを生ぜしめることができる。フォトセル６４は本
質的に無限大のインピーダンスを駆動するため、光ファ
イバー６２によりエネルギーを送りこむ必要はほとんど
ない。
らの光を用いて従来型シリコンフォトセル６４により圧
電結晶への一方のリードにバイアスをかけるようにした
第２のバイアス付与方式を示す。フォトセル６４を用い
ると位相シフトが定である直流型オフセットにより光学
チップにバイアスが付与されるだけでなく、較正光信号
をファイバー６２を介して人力するとセンサー２６の較
正及びテストが可能となる。また、フォトセル６４を用
いて直流バイアスを交流変調して圧電結晶からの信号に
ビートを生ぜしめることができる。フォトセル６４は本
質的に無限大のインピーダンスを駆動するため、光ファ
イバー６２によりエネルギーを送りこむ必要はほとんど
ない。
第５図は、振動信号から霊気的に隔離された構成により
バイアス信号と共に較正信号を発生させる第３の実施例
を示す。この構成では２つの位相変調器６６及び６８を
直列に接続する。もちろん、市販の変調器を２対の電極
４６を備えるように内部的に改造して２つの入力を持つ
装置としてもよい。第５図の構成によると、フォトセル
６４を介してセンサーにフィードバック信号を供給して
、振動により生じる位相シフトが最大感度領域にくるよ
うに結晶２６により光に導入される位相シフトを連続的
にバイアスすることにより性能が向上する。例えば、バ
イアスにより１８０°位相をシストさせると光ビームは
互いにほとんど打ち消し合って結晶２６により生じる小
さい位相シフトを検出することは困難となる場合がある
。バイアスの最適値はバイアス及び振動により位相がシ
フトしたビームが基準ビームから９０°離れた所に保持
されるような大きさである。
バイアス信号と共に較正信号を発生させる第３の実施例
を示す。この構成では２つの位相変調器６６及び６８を
直列に接続する。もちろん、市販の変調器を２対の電極
４６を備えるように内部的に改造して２つの入力を持つ
装置としてもよい。第５図の構成によると、フォトセル
６４を介してセンサーにフィードバック信号を供給して
、振動により生じる位相シフトが最大感度領域にくるよ
うに結晶２６により光に導入される位相シフトを連続的
にバイアスすることにより性能が向上する。例えば、バ
イアスにより１８０°位相をシストさせると光ビームは
互いにほとんど打ち消し合って結晶２６により生じる小
さい位相シフトを検出することは困難となる場合がある
。バイアスの最適値はバイアス及び振動により位相がシ
フトしたビームが基準ビームから９０°離れた所に保持
されるような大きさである。
光ファイバーがビーム中に低周波数の位相シフトノイズ
を発生させるような機械的応力下にある場合、第６図に
示す構成を採用するとこの種のノイズが実質的にゼロに
なる。この構成では光ファイバー２０．２２及び３０が
センサー２４へ又はセンサー２４から検波器１４の方向
に同−或いは平行な物理的経路を形成するように延びる
ため、基準ビームと感知ビームが同じ位相シフトを生じ
る。従来の光ファイバーケーブルの束は少なくとも３つ
の光ファイバーを含んでいるため、従来型光ファイバー
ケーブルの束はファイバーに生じる機械的な応力による
ノイズの減少及び直流バイアス及び較正光ビームの伝送
に特に適したものである。
を発生させるような機械的応力下にある場合、第６図に
示す構成を採用するとこの種のノイズが実質的にゼロに
なる。この構成では光ファイバー２０．２２及び３０が
センサー２４へ又はセンサー２４から検波器１４の方向
に同−或いは平行な物理的経路を形成するように延びる
ため、基準ビームと感知ビームが同じ位相シフトを生じ
る。従来の光ファイバーケーブルの束は少なくとも３つ
の光ファイバーを含んでいるため、従来型光ファイバー
ケーブルの束はファイバーに生じる機械的な応力による
ノイズの減少及び直流バイアス及び較正光ビームの伝送
に特に適したものである。
第７図はかかるバイアスによる機械的なノイズを除去す
ると共にセンサー２４の感度を倍増する構成を示す。こ
の構成では、レーザ１２からのビームがスプリッタ１８
により分割され、その後再び普通のスプリッタ７０及び
７２により分割される。スプリットされたビームの一方
（感知ビーム）はセンサー２４を通って従来型の反射器
７４により反射されるが、平行な経路を走るスプリット
されたビーム（基準ビーム）は同じ位置にある従来型の
反射器７６により反射される。反射器７４からのリター
ンビームは再びセンサー２４を通過し、その結果位相が
荷重物体１０の振動により２度変調される。この２度位
相が変調された感知ビームが基準ビームと共に検波器１
４に加えられる。
ると共にセンサー２４の感度を倍増する構成を示す。こ
の構成では、レーザ１２からのビームがスプリッタ１８
により分割され、その後再び普通のスプリッタ７０及び
７２により分割される。スプリットされたビームの一方
（感知ビーム）はセンサー２４を通って従来型の反射器
７４により反射されるが、平行な経路を走るスプリット
されたビーム（基準ビーム）は同じ位置にある従来型の
反射器７６により反射される。反射器７４からのリター
ンビームは再びセンサー２４を通過し、その結果位相が
荷重物体１０の振動により２度変調される。この２度位
相が変調された感知ビームが基準ビームと共に検波器１
４に加えられる。
本発明の種々の特徴及び利点は上述の詳細な説明から明
らかであろう。そして頭書した特許請求の範囲は本発明
の範囲内にあるかかる特徴及び利点を全て包含するもの
と意図されたものである。
らかであろう。そして頭書した特許請求の範囲は本発明
の範囲内にあるかかる特徴及び利点を全て包含するもの
と意図されたものである。
更に、多数の変形例及び設計変更が当業者により想到さ
れるであろうから、本発明をその実施例の特定の構成及
び動作に限定すべきでなく、従ってかかる適当な変形例
及び等価例は全て本発明の技術的範囲内に入るものと理
解されたい。
れるであろうから、本発明をその実施例の特定の構成及
び動作に限定すべきでなく、従ってかかる適当な変形例
及び等価例は全て本発明の技術的範囲内に入るものと理
解されたい。
第１図は、本発明の実施例による光ファイバー加速度計
式振動測定装置を示す。 第２図は、第１図のセンサー２４の構成を詳細に示す。 第３図は、加速度信号にバイアスを与える構成を示す。 第４図は、振動信号にバイアスを与える構成を示す。 第５図は、加速度信号にバイアスを与える別の構成を示
す。 第６図は、機械的な作用による低周波数位相シフトをゼ
ロにする構成を示す。 第７図は、機械的な作用による低周波数位相シフトをゼ
ロにすると共に振動センサー２４の感度を倍増させる構
成を示す。 １０・・・・荷重物体 １２・・・・レーザ １４・・・・光学式位相検波器 １８・・・・ビームスプリッタ ２４・・・・撮動センサー ２６・・・・圧電結晶 ２８・・・・位相変調器 ６０・・・・バッテリー ６４・・・・フォトセル ＦＩＧ。 ＦＩＧ。
式振動測定装置を示す。 第２図は、第１図のセンサー２４の構成を詳細に示す。 第３図は、加速度信号にバイアスを与える構成を示す。 第４図は、振動信号にバイアスを与える構成を示す。 第５図は、加速度信号にバイアスを与える別の構成を示
す。 第６図は、機械的な作用による低周波数位相シフトをゼ
ロにする構成を示す。 第７図は、機械的な作用による低周波数位相シフトをゼ
ロにすると共に振動センサー２４の感度を倍増させる構
成を示す。 １０・・・・荷重物体 １２・・・・レーザ １４・・・・光学式位相検波器 １８・・・・ビームスプリッタ ２４・・・・撮動センサー ２６・・・・圧電結晶 ２８・・・・位相変調器 ６０・・・・バッテリー ６４・・・・フォトセル ＦＩＧ。 ＦＩＧ。
Claims (11)
- （１）振動の測定値に相当する信号を光ファイバーによ
り伝送する型式の、荷重物体の振動及び加速度を測定す
る光ファイバーモニター装置であって、荷重物体の加速
度に応答する加速度信号を発生する感知手段と、加速度
信号に応答して光ファイバー中の光ビームの位相角特性
を変化させる手段とよりなることを特徴とするモニター
装置。 - （２）感知手段が荷重物体に結合された圧電結晶よりな
ることを特徴とする請求項第（１）項に記載のモニター
装置。 - （３）位相角特性を変化させる手段が光学式位相変調器
である変調手段により構成されていることを特徴とする
請求項第（１）項に記載のモニター装置。 - （４）加速度信号をバイアスするバイアス手段を含んで
なることを特徴とする請求項第（１）項に記載のモニタ
ー装置。 - （５）バイアス手段が感知手段と変調手段の間に結合さ
れたバッテリーよりなることを特徴とする請求項第（４
）項に記載のモニター装置。 - （６）バイアス手段がバイアス用光ビームを発生する光
源と光源に結合されるとともに感知手段と変調手段の間
に結合されてバイアス用光ビームを照射されるフォトセ
ルとよりなることを特徴とする請求項第（４）項に記載
のモニター装置。 - （７）バイアス手段が変調手段に接続された位相変調器
とバイアス用光ビームを発生する光源と、光源に結合さ
れるとともに位相変調器に接続されてバイアス用光ビー
ムを照射されるフォトセルとよりなることを特徴とする
請求項第（４）項に記載のモニター装置。 - （８）加速度信号をバイアスして較正信号を発生させる
バイアス／構成手段を含んでなることを特徴とする請求
項第（１）項に記載のモニター装置。 - （９）光源が、光ビームを発生するレーザと、変調手段
に結合されて光ビームの位相変調を検出する検波器より
なることを特徴とする請求項第（６）に記載のモニター
装置。 - （１０）レーザに結合されたビームスプリッタと、ビー
ムスプリッタと検波器の間に結合された第１の光ファイ
バーと、ビームスプリッタと変調手段の間に結合されて
それらの間を第１の光ファイバーと平行に延びる第２の
光ファイバーと、変調手段と検波器の間に結合されてそ
れらの間を第１の光ファイバーと平行に延びる第３の光
ファイバーとよりなることを特徴とする請求項第（９）
項に記載のモニター装置。 - （１１）レーザに結合されて基準ビームと感知ビームを
発生させる第１のビームスプリッタと、第１のビームス
プリッタと検波器に結合されて基準ビームを通過させる
第２のビームスプリッタと、第１のビームスプリッタと
検波器と変調手段とに結合されて感知ビームを変調手段
に送る第３のビームスプリッタと、第２のビームスプリ
ッタに結合されて基準ビームを第２のビームスプリッタ
へ反射させ第２のビームスプリッタが反射した基準ビー
ムを検波器へ送るようにする第１の反射手段と、変調手
段に結合されて感知ビームを反射させて変調手段を介し
て第３のビームスプリッタに送り返し、第３のビームス
プリッタが反射した感知ビームを検波器へ送るようにす
る第２の反射手段とよりなることを特徴とする請求項第
（９）項に記載のモニター装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/209,124 US4900919A (en) | 1988-06-20 | 1988-06-20 | Wide bandwidth fiber optic accelerometer |
| US209,124 | 1988-06-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0240512A true JPH0240512A (ja) | 1990-02-09 |
| JP2901995B2 JP2901995B2 (ja) | 1999-06-07 |
Family
ID=22777437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1158134A Expired - Lifetime JP2901995B2 (ja) | 1988-06-20 | 1989-06-20 | 荷重物体の振動及び加速度を測定する光ファイバー式モニター装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4900919A (ja) |
| JP (1) | JP2901995B2 (ja) |
| KR (1) | KR0153277B1 (ja) |
| CN (1) | CN1038701A (ja) |
| CA (1) | CA1326602C (ja) |
| ES (1) | ES2014665A6 (ja) |
| IT (1) | IT1232812B (ja) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0348842U (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-10 | ||
| JPH0526894A (ja) * | 1991-07-19 | 1993-02-02 | Mitsubishi Petrochem Co Ltd | 自己診断回路付き加速度センサ |
| US5335548A (en) * | 1992-06-19 | 1994-08-09 | The United States Of America As Represented By The Department Of Energy | Non-linear optical crystal vibration sensing device |
| US5338928A (en) * | 1993-04-28 | 1994-08-16 | General Electric Company | System and method for controlling deformation of a structure having a phase shift detector |
| US5461914A (en) * | 1994-03-14 | 1995-10-31 | The Regents Of The University Of California | Optical fiber gravity meter |
| US5652390A (en) * | 1995-12-07 | 1997-07-29 | Melkoumian; Baghrat V. | Method and device for autonomous measurement of an irregular movement based on resonatory sensor |
| KR100233052B1 (ko) * | 1997-11-04 | 1999-12-01 | 윤종용 | 전자렌지의 전원공급회로 |
| US6175108B1 (en) | 1998-01-30 | 2001-01-16 | Cidra Corporation | Accelerometer featuring fiber optic bragg grating sensor for providing multiplexed multi-axis acceleration sensing |
| US6191414B1 (en) | 1998-06-05 | 2001-02-20 | Cidra Corporation | Composite form as a component for a pressure transducer |
| US6233374B1 (en) | 1999-06-04 | 2001-05-15 | Cidra Corporation | Mandrel-wound fiber optic pressure sensor |
| US20080225375A1 (en) * | 2004-09-07 | 2008-09-18 | Raytheon Company | Optically frequency generated scanned active array |
| US7222534B2 (en) * | 2005-03-31 | 2007-05-29 | Pgs Americas, Inc. | Optical accelerometer, optical inclinometer and seismic sensor system using such accelerometer and inclinometer |
| US7533572B2 (en) * | 2006-08-15 | 2009-05-19 | Siemens Energy, Inc. | High bandwidth fiber optic vibration sensor |
| CN101788569B (zh) * | 2009-12-31 | 2012-05-23 | 中国科学院声学研究所 | 一种光纤加速度传感器探头及加速度传感器系统 |
| CN110133322B (zh) * | 2019-05-13 | 2020-08-25 | 浙江大学 | 基于电光效应的单片集成光学加速度计 |
| CN110133321B (zh) * | 2019-05-13 | 2020-11-24 | 浙江大学 | 基于相位检测的单片集成光学加速度计 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4085349A (en) * | 1976-03-12 | 1978-04-18 | Ird Mechanalysis, Inc. | Piezo electric transducer for measuring instantaneous vibration velocity |
| US4233847A (en) * | 1979-07-02 | 1980-11-18 | Walker Clifford G | Passive laser accelerometer |
| US4428234A (en) * | 1982-03-25 | 1984-01-31 | Walker Clifford G | Phase detection laser accelerometer |
| US4671113A (en) * | 1983-02-17 | 1987-06-09 | Carome Edward F | Fiber optic accelerometer |
-
1988
- 1988-06-20 US US07/209,124 patent/US4900919A/en not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-06-09 CN CN89104098A patent/CN1038701A/zh active Pending
- 1989-06-16 CA CA000603035A patent/CA1326602C/en not_active Expired - Fee Related
- 1989-06-19 KR KR1019890008407A patent/KR0153277B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1989-06-19 IT IT8941635A patent/IT1232812B/it active
- 1989-06-19 ES ES8902133A patent/ES2014665A6/es not_active Expired - Lifetime
- 1989-06-20 JP JP1158134A patent/JP2901995B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0153277B1 (ko) | 1998-12-15 |
| CA1326602C (en) | 1994-02-01 |
| IT8941635A0 (it) | 1989-06-19 |
| JP2901995B2 (ja) | 1999-06-07 |
| CN1038701A (zh) | 1990-01-10 |
| KR900000722A (ko) | 1990-01-31 |
| US4900919A (en) | 1990-02-13 |
| IT1232812B (it) | 1992-03-05 |
| ES2014665A6 (es) | 1990-07-16 |
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