JPH0237963B2 - - Google Patents
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- JPH0237963B2 JPH0237963B2 JP57174173A JP17417382A JPH0237963B2 JP H0237963 B2 JPH0237963 B2 JP H0237963B2 JP 57174173 A JP57174173 A JP 57174173A JP 17417382 A JP17417382 A JP 17417382A JP H0237963 B2 JPH0237963 B2 JP H0237963B2
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- scale
- illumination device
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- light
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 16
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 15
- NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 3-morpholin-4-yl-1-oxa-3-azonia-2-azanidacyclopent-3-en-5-imine;hydrochloride Chemical compound Cl.[N-]1OC(=N)C=[N+]1N1CCOCC1 NCGICGYLBXGBGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 9
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001739 density measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010137 moulding (plastic) Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は計測装置に用いられる光電式エンコー
ダに関する。
ダに関する。
測長、測角に用いられる光電式エンコーダとし
て、リニアエンコーダ、ロータリーエンコーダが
知られている。これらは、一般に、被測定物とし
ての移動体又は回転体に取りつけられて一体的に
動く主スケールとこの主スケールに対向して所定
位置に固定されるインデツクススケールと、主ス
ケール及びインデツクススケールを共にはさんで
対向する光源と光電変換装置とを有している。そ
して、各スケールには光の透過部と遮光部とが等
間隔で交互に格子状に形成されており、両スケー
ルの相対的移動による透過光の光量変化から主ス
ケールの移動量すなわち、被測定物の変位量が検
出される。
て、リニアエンコーダ、ロータリーエンコーダが
知られている。これらは、一般に、被測定物とし
ての移動体又は回転体に取りつけられて一体的に
動く主スケールとこの主スケールに対向して所定
位置に固定されるインデツクススケールと、主ス
ケール及びインデツクススケールを共にはさんで
対向する光源と光電変換装置とを有している。そ
して、各スケールには光の透過部と遮光部とが等
間隔で交互に格子状に形成されており、両スケー
ルの相対的移動による透過光の光量変化から主ス
ケールの移動量すなわち、被測定物の変位量が検
出される。
このような従来の光電式エンコーダでは、各ス
ケール上に交互に存在する光透過部と遮光部とが
不可欠であり、このために両スケールへ供給され
る光源からの光束の半分は主スケールにより常に
遮光され有効に利用されていない。しかも主スケ
ールで遮光される光は少なからず反射するため迷
光となつて測定に悪影響を及ぼし易かつた。ま
た、従来のこの種のスケールはガラス基板上にフ
オトリゾグラフイ技術によつてクロム等の薄膜を
形成することによつて製作されているため、製造
工程が複雑で結果的に高価な装置とならざるを得
なかつた。
ケール上に交互に存在する光透過部と遮光部とが
不可欠であり、このために両スケールへ供給され
る光源からの光束の半分は主スケールにより常に
遮光され有効に利用されていない。しかも主スケ
ールで遮光される光は少なからず反射するため迷
光となつて測定に悪影響を及ぼし易かつた。ま
た、従来のこの種のスケールはガラス基板上にフ
オトリゾグラフイ技術によつてクロム等の薄膜を
形成することによつて製作されているため、製造
工程が複雑で結果的に高価な装置とならざるを得
なかつた。
本発明の目的は上述のごとき欠点を解決すべ
く、光量損失が少なく、反射による迷光も少なく
しかも簡単に製造し得る高密度な測定が可能な光
電式エンコーダを提供することにある。
く、光量損失が少なく、反射による迷光も少なく
しかも簡単に製造し得る高密度な測定が可能な光
電式エンコーダを提供することにある。
本発明は、主スケールとこれに対向して設けら
れたインデツクススケールとが測定方向に相対的
に移動可能に設けられ、該主スケールに対して前
記インデツクススケールと反対側から該両スケー
ルへ平行光束を供給する照明装置及び該両スケー
ルを透過する光束を受光する光電変換装置を有す
る光電式エンコーダにおいて、 前記主スケールは、前記照明装置側に平面を有
し、前記インデツクススケール側に該平面に対し
等角度で斜交する第1及び第2の斜面で形成され
た前記測定方向に垂直なV型溝を前記測定方向に
そつて等間隔に複数有する光透過部材で構成さ
れ、 前記第1の斜面は、前記主スケールの照明装置
側の平面とによつてプリズムを形成して前記照明
装置からの平行光を第1方向へ斜めの平行光とし
て屈折させ、 第2の斜面は、前記主スケールの照明装置側の
平面とによつてプリズムを形成して前記照明装置
からの平行光を第2方向へ斜めの平行光として屈
折させて、 前記主スケールから離れた所定の位置にて、相
接して稜線を形成する前記第1の斜面と前記第2
の斜面とによつて前記第1方向と前記第2方向に
屈折する斜めの平行光束が重畳的に交わることに
より明暗格子状の光を形成するように構成され、 前記インデツクススケールは、前記複数のV型
溝により前記第1の方向と前記第2の方向とに屈
折された斜めの平行光束がそれぞれ重畳的に交わ
る位置近傍に設けられるとともに、 前記照明装置から供給される平行光束が、前記
V型溝を構成している前記各斜面に入射する角度
をそれぞれθとし、前記V型溝のピツチをP、前
記主スケールの屈折率をn、相接する前記V型溝
間に形成される稜線と前記インデツクススケール
との距離をDとするとき、 D=P/4〔1/tan{sin-1(n sinθ)−θ}−tan
θ〕 をほゞ満足するように構成したものである。
れたインデツクススケールとが測定方向に相対的
に移動可能に設けられ、該主スケールに対して前
記インデツクススケールと反対側から該両スケー
ルへ平行光束を供給する照明装置及び該両スケー
ルを透過する光束を受光する光電変換装置を有す
る光電式エンコーダにおいて、 前記主スケールは、前記照明装置側に平面を有
し、前記インデツクススケール側に該平面に対し
等角度で斜交する第1及び第2の斜面で形成され
た前記測定方向に垂直なV型溝を前記測定方向に
そつて等間隔に複数有する光透過部材で構成さ
れ、 前記第1の斜面は、前記主スケールの照明装置
側の平面とによつてプリズムを形成して前記照明
装置からの平行光を第1方向へ斜めの平行光とし
て屈折させ、 第2の斜面は、前記主スケールの照明装置側の
平面とによつてプリズムを形成して前記照明装置
からの平行光を第2方向へ斜めの平行光として屈
折させて、 前記主スケールから離れた所定の位置にて、相
接して稜線を形成する前記第1の斜面と前記第2
の斜面とによつて前記第1方向と前記第2方向に
屈折する斜めの平行光束が重畳的に交わることに
より明暗格子状の光を形成するように構成され、 前記インデツクススケールは、前記複数のV型
溝により前記第1の方向と前記第2の方向とに屈
折された斜めの平行光束がそれぞれ重畳的に交わ
る位置近傍に設けられるとともに、 前記照明装置から供給される平行光束が、前記
V型溝を構成している前記各斜面に入射する角度
をそれぞれθとし、前記V型溝のピツチをP、前
記主スケールの屈折率をn、相接する前記V型溝
間に形成される稜線と前記インデツクススケール
との距離をDとするとき、 D=P/4〔1/tan{sin-1(n sinθ)−θ}−tan
θ〕 をほゞ満足するように構成したものである。
以下本発明を図面に基づいて説明する。第1図
は本発明による光電式エンコーダの概略構成図で
ある。主スケール1はその長手方向すなわち矢印
2で示す測定方向に移動可能であり、図示なき被
測定物体に取り付けられるものである。主スケー
ル1に対向してインデツクススケール3が設けら
れ、光源4からの光束はコリメータレンズ5によ
り平行光束となつて主スケール1に達する。主ス
ケール1及びインデツクススケール3を透過する
光束は、受光素子6a,6bに達し、出力信号を
生ずる。
は本発明による光電式エンコーダの概略構成図で
ある。主スケール1はその長手方向すなわち矢印
2で示す測定方向に移動可能であり、図示なき被
測定物体に取り付けられるものである。主スケー
ル1に対向してインデツクススケール3が設けら
れ、光源4からの光束はコリメータレンズ5によ
り平行光束となつて主スケール1に達する。主ス
ケール1及びインデツクススケール3を透過する
光束は、受光素子6a,6bに達し、出力信号を
生ずる。
主スケール1は第2図Aの部分拡大斜視図に示
すごとく、長手方向2、すなわち測定方向に対し
て垂直方向に等間隔のV型溝を有している。すな
わち、第2図Bの部分断面図に示すごとく、V型
溝を形成する第1の斜面1a、第2の斜面1bは
それぞれ所定の角度θだけ傾斜して斜交してお
り、このV型溝はピツチPの等しい間隔で形成さ
れている。主スケール1はガラス又はプラスチツ
クス等の透明材料からなり、V型溝を形成する各
斜面1a,1bは主スケール1の反対側の面1c
とによりそれぞれ実質的に頂角θのプリズムを構
成している。従つて、この主スケール1に平行光
束を第3図のごとく垂直に入射させると、射出す
る平行光束は各V型溝を構成している第1の斜面
により第1方向へ、第2の斜面により第2方向へ
と互いに反対方向へ等しい角度だけ屈折される。
その結果隣接するV型溝との間に形成された稜線
上で、各稜線を境界として相接する第1の斜面1
aと第2の斜面1bとにてそれぞれ屈折された斜
めの平行光束が重畳的に交わる。全てのV型溝が
等しい傾角の斜面で構成されているため各平行光
束が交わる位置は、主スケールの稜線から全て等
しい距離Dにあり、しかも等間隔である。すなわ
ち、主スケール1から距離Dの平面上でのこれら
の射出光束の断面の様子は第4図の平面図に示す
ごとく、幅P/2の光束存在部(明部)11a,
11b,11c、…が幅P/2の光束不存在部
(暗部)を介して一定の間隔Pで並び、この平面
上で従来の主スケールに相当する明暗格子が形成
されている。従つて、この平面上にインデツクス
スケールを配置すれば実質的に従来の光電式エン
コーダと同様に機能させることができる。
すごとく、長手方向2、すなわち測定方向に対し
て垂直方向に等間隔のV型溝を有している。すな
わち、第2図Bの部分断面図に示すごとく、V型
溝を形成する第1の斜面1a、第2の斜面1bは
それぞれ所定の角度θだけ傾斜して斜交してお
り、このV型溝はピツチPの等しい間隔で形成さ
れている。主スケール1はガラス又はプラスチツ
クス等の透明材料からなり、V型溝を形成する各
斜面1a,1bは主スケール1の反対側の面1c
とによりそれぞれ実質的に頂角θのプリズムを構
成している。従つて、この主スケール1に平行光
束を第3図のごとく垂直に入射させると、射出す
る平行光束は各V型溝を構成している第1の斜面
により第1方向へ、第2の斜面により第2方向へ
と互いに反対方向へ等しい角度だけ屈折される。
その結果隣接するV型溝との間に形成された稜線
上で、各稜線を境界として相接する第1の斜面1
aと第2の斜面1bとにてそれぞれ屈折された斜
めの平行光束が重畳的に交わる。全てのV型溝が
等しい傾角の斜面で構成されているため各平行光
束が交わる位置は、主スケールの稜線から全て等
しい距離Dにあり、しかも等間隔である。すなわ
ち、主スケール1から距離Dの平面上でのこれら
の射出光束の断面の様子は第4図の平面図に示す
ごとく、幅P/2の光束存在部(明部)11a,
11b,11c、…が幅P/2の光束不存在部
(暗部)を介して一定の間隔Pで並び、この平面
上で従来の主スケールに相当する明暗格子が形成
されている。従つて、この平面上にインデツクス
スケールを配置すれば実質的に従来の光電式エン
コーダと同様に機能させることができる。
主スケール1とインデツクススケール3との間
隔Dは、主スケール1に形成されるV型溝の形状
とピツチP及び主スケールを構成する透明部材の
屈折率nによつて定められる。第5図に示すごと
く、V型溝を形成する第1の斜面1aと第2の斜
面1bの傾斜角をθとすれば、主スケール1に対
して垂直に入射する平行光束は各斜面に対して角
度θで入射することになる。そして各斜面で屈折
された後角度θ′でこの面を射出するとすれば、周
知の関係式 n sinθ=sinθ′ が成立する。また、第5図に示したごとく、各斜
面1a,1bの中心を通る光線10a′,10b′の
交点AとV型溝の稜線Bとの距離が主スケール1
とインデツクススケール3との間隔Dであり、 D=P/4{1/tan(θ′−θ)−tanθ} が成り立つ。従つて、主スケール1とインデツク
ススケール3との間隔Dは主スケール1の構成要
素であるn、P、θにより、 D=P/4〔1/tan{sin-1(n sinθ)−θ}−tan
θ〕 と与えられる。
隔Dは、主スケール1に形成されるV型溝の形状
とピツチP及び主スケールを構成する透明部材の
屈折率nによつて定められる。第5図に示すごと
く、V型溝を形成する第1の斜面1aと第2の斜
面1bの傾斜角をθとすれば、主スケール1に対
して垂直に入射する平行光束は各斜面に対して角
度θで入射することになる。そして各斜面で屈折
された後角度θ′でこの面を射出するとすれば、周
知の関係式 n sinθ=sinθ′ が成立する。また、第5図に示したごとく、各斜
面1a,1bの中心を通る光線10a′,10b′の
交点AとV型溝の稜線Bとの距離が主スケール1
とインデツクススケール3との間隔Dであり、 D=P/4{1/tan(θ′−θ)−tanθ} が成り立つ。従つて、主スケール1とインデツク
ススケール3との間隔Dは主スケール1の構成要
素であるn、P、θにより、 D=P/4〔1/tan{sin-1(n sinθ)−θ}−tan
θ〕 と与えられる。
上記の説明では、V型溝を形成する斜面は全て
等しい傾角を有するものとしたが、このような形
状が最も望ましい。隣接する斜面の傾角が異なり
V型溝の形状が非対称である場合には、第4図に
示したごときインデツクススケール3を配置する
平面上での光量分布は望ましいものではなくな
る。すなわち、光束存在部と不存在部との位置関
係は第4図のごとき状態にはなるが、光束存在部
内での光量分布が不均一となつてしまい、実質的
な明暗格子を形成することは難しいからである。
等しい傾角を有するものとしたが、このような形
状が最も望ましい。隣接する斜面の傾角が異なり
V型溝の形状が非対称である場合には、第4図に
示したごときインデツクススケール3を配置する
平面上での光量分布は望ましいものではなくな
る。すなわち、光束存在部と不存在部との位置関
係は第4図のごとき状態にはなるが、光束存在部
内での光量分布が不均一となつてしまい、実質的
な明暗格子を形成することは難しいからである。
インデツクススケール3としては、従来と同様
に例えば第6図の平面図に示すごとく、幅P/2
の透明部31a,32a,33aが幅P/2の遮
光部をはさんでピツチPで形成された第1インデ
ツクスと、この下に隣接する同じく幅P/2の透
明部31b,32b,33bが幅P/2の遮光部
をはさんでピツチPで形成された第2インデツク
スとを有し、第1と第2のインデツクスがP/4
だけずれたものを用いることが望ましい。図では
簡単のために第1と第2インデツクスと3ピツチ
として示したが、この数が多いほど測定誤差を小
さくできることはいうまでもない。
に例えば第6図の平面図に示すごとく、幅P/2
の透明部31a,32a,33aが幅P/2の遮
光部をはさんでピツチPで形成された第1インデ
ツクスと、この下に隣接する同じく幅P/2の透
明部31b,32b,33bが幅P/2の遮光部
をはさんでピツチPで形成された第2インデツク
スとを有し、第1と第2のインデツクスがP/4
だけずれたものを用いることが望ましい。図では
簡単のために第1と第2インデツクスと3ピツチ
として示したが、この数が多いほど測定誤差を小
さくできることはいうまでもない。
第7図は主スケール1とインデツクススケール
3及び受光素子6aとの関係を示す概略断面図で
ある。主スケール1へ入射する平行光束10は前
述のごとく主スケール1で分割かつ屈折され距離
Dの平面上で重畳的に交わり、凹凸の矩形状の光
強度分布を持つ実質的な明暗格子を形成し、イン
デツクススケール3の透明部に達する光線のみが
受光素子6aに達し、光電変換される。主スケー
ル1が図中の矢印で示す測定方向2でインデツク
ススケール3及び平行光束10に対して移動する
と、主スケール1を射出する光束も主スケール1
と一体的に移動し、インデツクススケール3を通
過して受光素子6aに達する光量が変化する。そ
して、この光量変化が受光素子6aの出力信号の
変化となり、この変化を検出することにより主ス
ケール1の移動量すなわち被測定物体の変位量が
求められる。つまり、この出力信号は連続した略
三角波形の信号となり、この出力信号の変化を検
出することにより、被測定物体の変位量が求めら
れる。しかも、この出力信号を細分化して、測定
誤差の減少を図るとともに高精密測定を達成する
ことが可能となり極めて有利である。
3及び受光素子6aとの関係を示す概略断面図で
ある。主スケール1へ入射する平行光束10は前
述のごとく主スケール1で分割かつ屈折され距離
Dの平面上で重畳的に交わり、凹凸の矩形状の光
強度分布を持つ実質的な明暗格子を形成し、イン
デツクススケール3の透明部に達する光線のみが
受光素子6aに達し、光電変換される。主スケー
ル1が図中の矢印で示す測定方向2でインデツク
ススケール3及び平行光束10に対して移動する
と、主スケール1を射出する光束も主スケール1
と一体的に移動し、インデツクススケール3を通
過して受光素子6aに達する光量が変化する。そ
して、この光量変化が受光素子6aの出力信号の
変化となり、この変化を検出することにより主ス
ケール1の移動量すなわち被測定物体の変位量が
求められる。つまり、この出力信号は連続した略
三角波形の信号となり、この出力信号の変化を検
出することにより、被測定物体の変位量が求めら
れる。しかも、この出力信号を細分化して、測定
誤差の減少を図るとともに高精密測定を達成する
ことが可能となり極めて有利である。
受光装置としてはインデツクススケール3の第
1、第2インデツクスに対応して第1と第2の受
光素子6a,6bを配置することが望ましく、こ
れにより、主スケール1の変位方向を判別できる
とともに主スケール1のピツチよりも微小な変位
を検出することができることはいうまでもない。
また、信号処理系としては第1図に示したごと
く、プリアンプ21、波形整形回路22、方向弁
別回路23を設け、数値表示装置24により所望
の表示形式により測定値を表示することができ
る。
1、第2インデツクスに対応して第1と第2の受
光素子6a,6bを配置することが望ましく、こ
れにより、主スケール1の変位方向を判別できる
とともに主スケール1のピツチよりも微小な変位
を検出することができることはいうまでもない。
また、信号処理系としては第1図に示したごと
く、プリアンプ21、波形整形回路22、方向弁
別回路23を設け、数値表示装置24により所望
の表示形式により測定値を表示することができ
る。
信号処理系は従来の光電式エンコーダと同一の
ものをそのまま用いることができ、例えば本願と
同一出願人による出願(特開昭57−29911号公報)
に開示された装置を組合せることによつてより優
れたエンコーダを達成することができる。
ものをそのまま用いることができ、例えば本願と
同一出願人による出願(特開昭57−29911号公報)
に開示された装置を組合せることによつてより優
れたエンコーダを達成することができる。
以上のごとく、本発明によれば、主スケールに
入射する光束は全て透過し、従来の主スケールの
ように光束の半分を遮光することがないので供給
する光束を有効に利用することができ、また迷光
による悪影響も少なくなりSN比の良い信号を得
ることができる。さらに、信号を細分化してより
高精密な測定を行なうことが可能である。しか
も、主スケールの製造にあたつては主スケールを
プラスチツクスで構成することとすれば、従来の
ようにフオトリゾグラフイ技術の複雑な工程を要
せず、プラスチツクの成型技術により簡単かつ安
価に大量生産することが可能となり、本発明は極
めて有効である。
入射する光束は全て透過し、従来の主スケールの
ように光束の半分を遮光することがないので供給
する光束を有効に利用することができ、また迷光
による悪影響も少なくなりSN比の良い信号を得
ることができる。さらに、信号を細分化してより
高精密な測定を行なうことが可能である。しか
も、主スケールの製造にあたつては主スケールを
プラスチツクスで構成することとすれば、従来の
ようにフオトリゾグラフイ技術の複雑な工程を要
せず、プラスチツクの成型技術により簡単かつ安
価に大量生産することが可能となり、本発明は極
めて有効である。
第1図は本発明による光電式エンコーダの概略
構成図、第2図A及びBは本発明における主スケ
ールの部分拡大斜視図及び部分断面図、第3図及
び第4図は主スケールを透過する光束の説明図、
第5図は主スケールの構造の説明図、第6図はイ
ンデツクススケールの平面図、第7図は主スケー
ルとインデツクススケールとの作用の説明図であ
る。 (主要部分の符号の説明)、1……スケール、
3……インデツクススケール、4……光源、5…
…コリメータレンズ、6a,6b……受光素子。
構成図、第2図A及びBは本発明における主スケ
ールの部分拡大斜視図及び部分断面図、第3図及
び第4図は主スケールを透過する光束の説明図、
第5図は主スケールの構造の説明図、第6図はイ
ンデツクススケールの平面図、第7図は主スケー
ルとインデツクススケールとの作用の説明図であ
る。 (主要部分の符号の説明)、1……スケール、
3……インデツクススケール、4……光源、5…
…コリメータレンズ、6a,6b……受光素子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 主スケールとこれに対向して設けられたイン
デツクススケールとが測定方向に相対的に移動可
能に設けられ、該主スケールに対して前記インデ
ツクススケールと反対側から該両スケールへ平行
光束を供給する照明装置及び該両スケールを透過
する光束を受光する光電変換装置を有する光電式
エンコーダにおいて、 前記主スケールは、前記照明装置側に平面を有
し、前記インデツクススケール側に該平面に対し
等角度で斜交する第1及び第2の斜面で形成され
た前記測定方向に垂直なV字溝を前記測定方向に
そつて等間隔に複数有する光透過部材で構成さ
れ、 前記第1の斜面は、前記主スケールの照明装置
側の平面とによつてプリズムを形成して前記照明
装置からの平行光を第1方向へ斜めの平行光とし
て屈折させ、 第2の斜面は、前記主スケールの照明装置側の
平面とによつてプリズムを形成して前記照明装置
からの平行光を第2方向へ斜めの平行光として屈
折させて、 前記主スケールから離れた所定の位置にて、相
接して稜線を形成する前記第1の斜面と前記第2
の斜面とによつて前記第1方向と前記第2方向に
屈折する斜めの平行光束が重畳的に交わることに
より明暗格子状の光を形成するように構成され、 前記インデツクススケールは、前記複数のV型
溝により前記第1の方向と前記第2の方向とに屈
折された斜めの平行光束がそれぞれ重畳的に交わ
る位置近傍に設けられるとともに、 前記照明装置から供給される平行光束が、前記
V型溝を構成している前記各斜面に入射する角度
をそれぞれθとし、前記V型溝のピツチをP、前
記主スケールの屈折率をn、相接する前記V型溝
間に形成される稜線と前記インデツクススケール
との距離をDとするとき、 D=P/4〔1/tan{sin-1(n sinθ)−θ}−tan
θ〕 をほゞ満足するように設けられることを特徴とす
る光電式エンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17417382A JPS5963517A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 光電式エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17417382A JPS5963517A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 光電式エンコ−ダ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5963517A JPS5963517A (ja) | 1984-04-11 |
JPH0237963B2 true JPH0237963B2 (ja) | 1990-08-28 |
Family
ID=15973976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17417382A Granted JPS5963517A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 光電式エンコ−ダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5963517A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010532466A (ja) * | 2007-06-19 | 2010-10-07 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | ウェブの位置を表示するためのシステム及び方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5124548A (en) * | 1990-05-03 | 1992-06-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Encoder for detecting relative displacement having first and second scales and a light receiving device |
JPH10239108A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-09-11 | Fanuc Ltd | 光学式エンコーダ |
JPH1114404A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Fanuc Ltd | 光学式ロータリエンコーダ |
JPH11201779A (ja) * | 1998-01-07 | 1999-07-30 | Fanuc Ltd | 光学式エンコーダ |
CA2236772C (en) * | 1998-06-02 | 2003-07-29 | Ching Shun Wang | Focusing-type calculating means |
AU6010600A (en) * | 1999-11-08 | 2001-06-06 | Ballado Investments, Inc. | Device for the optical detection and measurement of linear movements |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS494551A (ja) * | 1972-03-15 | 1974-01-16 | ||
JPS5174659A (ja) * | 1974-12-24 | 1976-06-28 | Nippon Electric Co |
-
1982
- 1982-10-04 JP JP17417382A patent/JPS5963517A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS494551A (ja) * | 1972-03-15 | 1974-01-16 | ||
JPS5174659A (ja) * | 1974-12-24 | 1976-06-28 | Nippon Electric Co |
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JP2010532466A (ja) * | 2007-06-19 | 2010-10-07 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | ウェブの位置を表示するためのシステム及び方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5963517A (ja) | 1984-04-11 |
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