JPH0237963B2 - - Google Patents
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- JPH0237963B2 JPH0237963B2 JP57174173A JP17417382A JPH0237963B2 JP H0237963 B2 JPH0237963 B2 JP H0237963B2 JP 57174173 A JP57174173 A JP 57174173A JP 17417382 A JP17417382 A JP 17417382A JP H0237963 B2 JPH0237963 B2 JP H0237963B2
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- scale
- illumination device
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- light
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は計測装置に用いられる光電式エンコー
ダに関する。
ダに関する。
測長、測角に用いられる光電式エンコーダとし
て、リニアエンコーダ、ロータリーエンコーダが
知られている。これらは、一般に、被測定物とし
ての移動体又は回転体に取りつけられて一体的に
動く主スケールとこの主スケールに対向して所定
位置に固定されるインデツクススケールと、主ス
ケール及びインデツクススケールを共にはさんで
対向する光源と光電変換装置とを有している。そ
して、各スケールには光の透過部と遮光部とが等
間隔で交互に格子状に形成されており、両スケー
ルの相対的移動による透過光の光量変化から主ス
ケールの移動量すなわち、被測定物の変位量が検
出される。
て、リニアエンコーダ、ロータリーエンコーダが
知られている。これらは、一般に、被測定物とし
ての移動体又は回転体に取りつけられて一体的に
動く主スケールとこの主スケールに対向して所定
位置に固定されるインデツクススケールと、主ス
ケール及びインデツクススケールを共にはさんで
対向する光源と光電変換装置とを有している。そ
して、各スケールには光の透過部と遮光部とが等
間隔で交互に格子状に形成されており、両スケー
ルの相対的移動による透過光の光量変化から主ス
ケールの移動量すなわち、被測定物の変位量が検
出される。
このような従来の光電式エンコーダでは、各ス
ケール上に交互に存在する光透過部と遮光部とが
不可欠であり、このために両スケールへ供給され
る光源からの光束の半分は主スケールにより常に
遮光され有効に利用されていない。しかも主スケ
ールで遮光される光は少なからず反射するため迷
光となつて測定に悪影響を及ぼし易かつた。ま
た、従来のこの種のスケールはガラス基板上にフ
オトリゾグラフイ技術によつてクロム等の薄膜を
形成することによつて製作されているため、製造
工程が複雑で結果的に高価な装置とならざるを得
なかつた。
ケール上に交互に存在する光透過部と遮光部とが
不可欠であり、このために両スケールへ供給され
る光源からの光束の半分は主スケールにより常に
遮光され有効に利用されていない。しかも主スケ
ールで遮光される光は少なからず反射するため迷
光となつて測定に悪影響を及ぼし易かつた。ま
た、従来のこの種のスケールはガラス基板上にフ
オトリゾグラフイ技術によつてクロム等の薄膜を
形成することによつて製作されているため、製造
工程が複雑で結果的に高価な装置とならざるを得
なかつた。
本発明の目的は上述のごとき欠点を解決すべ
く、光量損失が少なく、反射による迷光も少なく
しかも簡単に製造し得る高密度な測定が可能な光
電式エンコーダを提供することにある。
く、光量損失が少なく、反射による迷光も少なく
しかも簡単に製造し得る高密度な測定が可能な光
電式エンコーダを提供することにある。
本発明は、主スケールとこれに対向して設けら
れたインデツクススケールとが測定方向に相対的
に移動可能に設けられ、該主スケールに対して前
記インデツクススケールと反対側から該両スケー
ルへ平行光束を供給する照明装置及び該両スケー
ルを透過する光束を受光する光電変換装置を有す
る光電式エンコーダにおいて、 前記主スケールは、前記照明装置側に平面を有
し、前記インデツクススケール側に該平面に対し
等角度で斜交する第１及び第２の斜面で形成され
た前記測定方向に垂直なＶ型溝を前記測定方向に
そつて等間隔に複数有する光透過部材で構成さ
れ、 前記第１の斜面は、前記主スケールの照明装置
側の平面とによつてプリズムを形成して前記照明
装置からの平行光を第１方向へ斜めの平行光とし
て屈折させ、 第２の斜面は、前記主スケールの照明装置側の
平面とによつてプリズムを形成して前記照明装置
からの平行光を第２方向へ斜めの平行光として屈
折させて、 前記主スケールから離れた所定の位置にて、相
接して稜線を形成する前記第１の斜面と前記第２
の斜面とによつて前記第１方向と前記第２方向に
屈折する斜めの平行光束が重畳的に交わることに
より明暗格子状の光を形成するように構成され、 前記インデツクススケールは、前記複数のＶ型
溝により前記第１の方向と前記第２の方向とに屈
折された斜めの平行光束がそれぞれ重畳的に交わ
る位置近傍に設けられるとともに、 前記照明装置から供給される平行光束が、前記
Ｖ型溝を構成している前記各斜面に入射する角度
をそれぞれθとし、前記Ｖ型溝のピツチをＰ、前
記主スケールの屈折率をｎ、相接する前記Ｖ型溝
間に形成される稜線と前記インデツクススケール
との距離をＤとするとき、 Ｄ＝Ｐ／４〔１／tan｛sin-1（ｎ sinθ）−θ｝−tan
θ〕 をほゞ満足するように構成したものである。
れたインデツクススケールとが測定方向に相対的
に移動可能に設けられ、該主スケールに対して前
記インデツクススケールと反対側から該両スケー
ルへ平行光束を供給する照明装置及び該両スケー
ルを透過する光束を受光する光電変換装置を有す
る光電式エンコーダにおいて、 前記主スケールは、前記照明装置側に平面を有
し、前記インデツクススケール側に該平面に対し
等角度で斜交する第１及び第２の斜面で形成され
た前記測定方向に垂直なＶ型溝を前記測定方向に
そつて等間隔に複数有する光透過部材で構成さ
れ、 前記第１の斜面は、前記主スケールの照明装置
側の平面とによつてプリズムを形成して前記照明
装置からの平行光を第１方向へ斜めの平行光とし
て屈折させ、 第２の斜面は、前記主スケールの照明装置側の
平面とによつてプリズムを形成して前記照明装置
からの平行光を第２方向へ斜めの平行光として屈
折させて、 前記主スケールから離れた所定の位置にて、相
接して稜線を形成する前記第１の斜面と前記第２
の斜面とによつて前記第１方向と前記第２方向に
屈折する斜めの平行光束が重畳的に交わることに
より明暗格子状の光を形成するように構成され、 前記インデツクススケールは、前記複数のＶ型
溝により前記第１の方向と前記第２の方向とに屈
折された斜めの平行光束がそれぞれ重畳的に交わ
る位置近傍に設けられるとともに、 前記照明装置から供給される平行光束が、前記
Ｖ型溝を構成している前記各斜面に入射する角度
をそれぞれθとし、前記Ｖ型溝のピツチをＰ、前
記主スケールの屈折率をｎ、相接する前記Ｖ型溝
間に形成される稜線と前記インデツクススケール
との距離をＤとするとき、 Ｄ＝Ｐ／４〔１／tan｛sin-1（ｎ sinθ）−θ｝−tan
θ〕 をほゞ満足するように構成したものである。
以下本発明を図面に基づいて説明する。第１図
は本発明による光電式エンコーダの概略構成図で
ある。主スケール１はその長手方向すなわち矢印
２で示す測定方向に移動可能であり、図示なき被
測定物体に取り付けられるものである。主スケー
ル１に対向してインデツクススケール３が設けら
れ、光源４からの光束はコリメータレンズ５によ
り平行光束となつて主スケール１に達する。主ス
ケール１及びインデツクススケール３を透過する
光束は、受光素子６ａ，６ｂに達し、出力信号を
生ずる。
は本発明による光電式エンコーダの概略構成図で
ある。主スケール１はその長手方向すなわち矢印
２で示す測定方向に移動可能であり、図示なき被
測定物体に取り付けられるものである。主スケー
ル１に対向してインデツクススケール３が設けら
れ、光源４からの光束はコリメータレンズ５によ
り平行光束となつて主スケール１に達する。主ス
ケール１及びインデツクススケール３を透過する
光束は、受光素子６ａ，６ｂに達し、出力信号を
生ずる。
主スケール１は第２図Ａの部分拡大斜視図に示
すごとく、長手方向２、すなわち測定方向に対し
て垂直方向に等間隔のＶ型溝を有している。すな
わち、第２図Ｂの部分断面図に示すごとく、Ｖ型
溝を形成する第１の斜面１ａ、第２の斜面１ｂは
それぞれ所定の角度θだけ傾斜して斜交してお
り、このＶ型溝はピツチＰの等しい間隔で形成さ
れている。主スケール１はガラス又はプラスチツ
クス等の透明材料からなり、Ｖ型溝を形成する各
斜面１ａ，１ｂは主スケール１の反対側の面１ｃ
とによりそれぞれ実質的に頂角θのプリズムを構
成している。従つて、この主スケール１に平行光
束を第３図のごとく垂直に入射させると、射出す
る平行光束は各Ｖ型溝を構成している第１の斜面
により第１方向へ、第２の斜面により第２方向へ
と互いに反対方向へ等しい角度だけ屈折される。
その結果隣接するＶ型溝との間に形成された稜線
上で、各稜線を境界として相接する第１の斜面１
ａと第２の斜面１ｂとにてそれぞれ屈折された斜
めの平行光束が重畳的に交わる。全てのＶ型溝が
等しい傾角の斜面で構成されているため各平行光
束が交わる位置は、主スケールの稜線から全て等
しい距離Ｄにあり、しかも等間隔である。すなわ
ち、主スケール１から距離Ｄの平面上でのこれら
の射出光束の断面の様子は第４図の平面図に示す
ごとく、幅Ｐ／２の光束存在部（明部）１１ａ，
１１ｂ，１１ｃ、…が幅Ｐ／２の光束不存在部
（暗部）を介して一定の間隔Ｐで並び、この平面
上で従来の主スケールに相当する明暗格子が形成
されている。従つて、この平面上にインデツクス
スケールを配置すれば実質的に従来の光電式エン
コーダと同様に機能させることができる。
すごとく、長手方向２、すなわち測定方向に対し
て垂直方向に等間隔のＶ型溝を有している。すな
わち、第２図Ｂの部分断面図に示すごとく、Ｖ型
溝を形成する第１の斜面１ａ、第２の斜面１ｂは
それぞれ所定の角度θだけ傾斜して斜交してお
り、このＶ型溝はピツチＰの等しい間隔で形成さ
れている。主スケール１はガラス又はプラスチツ
クス等の透明材料からなり、Ｖ型溝を形成する各
斜面１ａ，１ｂは主スケール１の反対側の面１ｃ
とによりそれぞれ実質的に頂角θのプリズムを構
成している。従つて、この主スケール１に平行光
束を第３図のごとく垂直に入射させると、射出す
る平行光束は各Ｖ型溝を構成している第１の斜面
により第１方向へ、第２の斜面により第２方向へ
と互いに反対方向へ等しい角度だけ屈折される。
その結果隣接するＶ型溝との間に形成された稜線
上で、各稜線を境界として相接する第１の斜面１
ａと第２の斜面１ｂとにてそれぞれ屈折された斜
めの平行光束が重畳的に交わる。全てのＶ型溝が
等しい傾角の斜面で構成されているため各平行光
束が交わる位置は、主スケールの稜線から全て等
しい距離Ｄにあり、しかも等間隔である。すなわ
ち、主スケール１から距離Ｄの平面上でのこれら
の射出光束の断面の様子は第４図の平面図に示す
ごとく、幅Ｐ／２の光束存在部（明部）１１ａ，
１１ｂ，１１ｃ、…が幅Ｐ／２の光束不存在部
（暗部）を介して一定の間隔Ｐで並び、この平面
上で従来の主スケールに相当する明暗格子が形成
されている。従つて、この平面上にインデツクス
スケールを配置すれば実質的に従来の光電式エン
コーダと同様に機能させることができる。
主スケール１とインデツクススケール３との間
隔Ｄは、主スケール１に形成されるＶ型溝の形状
とピツチＰ及び主スケールを構成する透明部材の
屈折率ｎによつて定められる。第５図に示すごと
く、Ｖ型溝を形成する第１の斜面１ａと第２の斜
面１ｂの傾斜角をθとすれば、主スケール１に対
して垂直に入射する平行光束は各斜面に対して角
度θで入射することになる。そして各斜面で屈折
された後角度θ′でこの面を射出するとすれば、周
知の関係式 ｎ sinθ＝sinθ′ が成立する。また、第５図に示したごとく、各斜
面１ａ，１ｂの中心を通る光線１０a′，１０b′の
交点ＡとＶ型溝の稜線Ｂとの距離が主スケール１
とインデツクススケール３との間隔Ｄであり、 Ｄ＝Ｐ／４｛１／tan（θ′−θ）−tanθ｝ が成り立つ。従つて、主スケール１とインデツク
ススケール３との間隔Ｄは主スケール１の構成要
素であるｎ、Ｐ、θにより、 Ｄ＝Ｐ／４〔１／tan｛sin-1（ｎ sinθ）−θ｝−tan
θ〕 と与えられる。
隔Ｄは、主スケール１に形成されるＶ型溝の形状
とピツチＰ及び主スケールを構成する透明部材の
屈折率ｎによつて定められる。第５図に示すごと
く、Ｖ型溝を形成する第１の斜面１ａと第２の斜
面１ｂの傾斜角をθとすれば、主スケール１に対
して垂直に入射する平行光束は各斜面に対して角
度θで入射することになる。そして各斜面で屈折
された後角度θ′でこの面を射出するとすれば、周
知の関係式 ｎ sinθ＝sinθ′ が成立する。また、第５図に示したごとく、各斜
面１ａ，１ｂの中心を通る光線１０a′，１０b′の
交点ＡとＶ型溝の稜線Ｂとの距離が主スケール１
とインデツクススケール３との間隔Ｄであり、 Ｄ＝Ｐ／４｛１／tan（θ′−θ）−tanθ｝ が成り立つ。従つて、主スケール１とインデツク
ススケール３との間隔Ｄは主スケール１の構成要
素であるｎ、Ｐ、θにより、 Ｄ＝Ｐ／４〔１／tan｛sin-1（ｎ sinθ）−θ｝−tan
θ〕 と与えられる。
上記の説明では、Ｖ型溝を形成する斜面は全て
等しい傾角を有するものとしたが、このような形
状が最も望ましい。隣接する斜面の傾角が異なり
Ｖ型溝の形状が非対称である場合には、第４図に
示したごときインデツクススケール３を配置する
平面上での光量分布は望ましいものではなくな
る。すなわち、光束存在部と不存在部との位置関
係は第４図のごとき状態にはなるが、光束存在部
内での光量分布が不均一となつてしまい、実質的
な明暗格子を形成することは難しいからである。
等しい傾角を有するものとしたが、このような形
状が最も望ましい。隣接する斜面の傾角が異なり
Ｖ型溝の形状が非対称である場合には、第４図に
示したごときインデツクススケール３を配置する
平面上での光量分布は望ましいものではなくな
る。すなわち、光束存在部と不存在部との位置関
係は第４図のごとき状態にはなるが、光束存在部
内での光量分布が不均一となつてしまい、実質的
な明暗格子を形成することは難しいからである。
インデツクススケール３としては、従来と同様
に例えば第６図の平面図に示すごとく、幅Ｐ／２
の透明部３１ａ，３２ａ，３３ａが幅Ｐ／２の遮
光部をはさんでピツチＰで形成された第１インデ
ツクスと、この下に隣接する同じく幅Ｐ／２の透
明部３１ｂ，３２ｂ，３３ｂが幅Ｐ／２の遮光部
をはさんでピツチＰで形成された第２インデツク
スとを有し、第１と第２のインデツクスがＰ／４
だけずれたものを用いることが望ましい。図では
簡単のために第１と第２インデツクスと３ピツチ
として示したが、この数が多いほど測定誤差を小
さくできることはいうまでもない。
に例えば第６図の平面図に示すごとく、幅Ｐ／２
の透明部３１ａ，３２ａ，３３ａが幅Ｐ／２の遮
光部をはさんでピツチＰで形成された第１インデ
ツクスと、この下に隣接する同じく幅Ｐ／２の透
明部３１ｂ，３２ｂ，３３ｂが幅Ｐ／２の遮光部
をはさんでピツチＰで形成された第２インデツク
スとを有し、第１と第２のインデツクスがＰ／４
だけずれたものを用いることが望ましい。図では
簡単のために第１と第２インデツクスと３ピツチ
として示したが、この数が多いほど測定誤差を小
さくできることはいうまでもない。
第７図は主スケール１とインデツクススケール
３及び受光素子６ａとの関係を示す概略断面図で
ある。主スケール１へ入射する平行光束１０は前
述のごとく主スケール１で分割かつ屈折され距離
Ｄの平面上で重畳的に交わり、凹凸の矩形状の光
強度分布を持つ実質的な明暗格子を形成し、イン
デツクススケール３の透明部に達する光線のみが
受光素子６ａに達し、光電変換される。主スケー
ル１が図中の矢印で示す測定方向２でインデツク
ススケール３及び平行光束１０に対して移動する
と、主スケール１を射出する光束も主スケール１
と一体的に移動し、インデツクススケール３を通
過して受光素子６ａに達する光量が変化する。そ
して、この光量変化が受光素子６ａの出力信号の
変化となり、この変化を検出することにより主ス
ケール１の移動量すなわち被測定物体の変位量が
求められる。つまり、この出力信号は連続した略
三角波形の信号となり、この出力信号の変化を検
出することにより、被測定物体の変位量が求めら
れる。しかも、この出力信号を細分化して、測定
誤差の減少を図るとともに高精密測定を達成する
ことが可能となり極めて有利である。
３及び受光素子６ａとの関係を示す概略断面図で
ある。主スケール１へ入射する平行光束１０は前
述のごとく主スケール１で分割かつ屈折され距離
Ｄの平面上で重畳的に交わり、凹凸の矩形状の光
強度分布を持つ実質的な明暗格子を形成し、イン
デツクススケール３の透明部に達する光線のみが
受光素子６ａに達し、光電変換される。主スケー
ル１が図中の矢印で示す測定方向２でインデツク
ススケール３及び平行光束１０に対して移動する
と、主スケール１を射出する光束も主スケール１
と一体的に移動し、インデツクススケール３を通
過して受光素子６ａに達する光量が変化する。そ
して、この光量変化が受光素子６ａの出力信号の
変化となり、この変化を検出することにより主ス
ケール１の移動量すなわち被測定物体の変位量が
求められる。つまり、この出力信号は連続した略
三角波形の信号となり、この出力信号の変化を検
出することにより、被測定物体の変位量が求めら
れる。しかも、この出力信号を細分化して、測定
誤差の減少を図るとともに高精密測定を達成する
ことが可能となり極めて有利である。
受光装置としてはインデツクススケール３の第
１、第２インデツクスに対応して第１と第２の受
光素子６ａ，６ｂを配置することが望ましく、こ
れにより、主スケール１の変位方向を判別できる
とともに主スケール１のピツチよりも微小な変位
を検出することができることはいうまでもない。
また、信号処理系としては第１図に示したごと
く、プリアンプ２１、波形整形回路２２、方向弁
別回路２３を設け、数値表示装置２４により所望
の表示形式により測定値を表示することができ
る。
１、第２インデツクスに対応して第１と第２の受
光素子６ａ，６ｂを配置することが望ましく、こ
れにより、主スケール１の変位方向を判別できる
とともに主スケール１のピツチよりも微小な変位
を検出することができることはいうまでもない。
また、信号処理系としては第１図に示したごと
く、プリアンプ２１、波形整形回路２２、方向弁
別回路２３を設け、数値表示装置２４により所望
の表示形式により測定値を表示することができ
る。
信号処理系は従来の光電式エンコーダと同一の
ものをそのまま用いることができ、例えば本願と
同一出願人による出願（特開昭57−29911号公報）
に開示された装置を組合せることによつてより優
れたエンコーダを達成することができる。
ものをそのまま用いることができ、例えば本願と
同一出願人による出願（特開昭57−29911号公報）
に開示された装置を組合せることによつてより優
れたエンコーダを達成することができる。
以上のごとく、本発明によれば、主スケールに
入射する光束は全て透過し、従来の主スケールの
ように光束の半分を遮光することがないので供給
する光束を有効に利用することができ、また迷光
による悪影響も少なくなりSN比の良い信号を得
ることができる。さらに、信号を細分化してより
高精密な測定を行なうことが可能である。しか
も、主スケールの製造にあたつては主スケールを
プラスチツクスで構成することとすれば、従来の
ようにフオトリゾグラフイ技術の複雑な工程を要
せず、プラスチツクの成型技術により簡単かつ安
価に大量生産することが可能となり、本発明は極
めて有効である。
入射する光束は全て透過し、従来の主スケールの
ように光束の半分を遮光することがないので供給
する光束を有効に利用することができ、また迷光
による悪影響も少なくなりSN比の良い信号を得
ることができる。さらに、信号を細分化してより
高精密な測定を行なうことが可能である。しか
も、主スケールの製造にあたつては主スケールを
プラスチツクスで構成することとすれば、従来の
ようにフオトリゾグラフイ技術の複雑な工程を要
せず、プラスチツクの成型技術により簡単かつ安
価に大量生産することが可能となり、本発明は極
めて有効である。
第１図は本発明による光電式エンコーダの概略
構成図、第２図Ａ及びＢは本発明における主スケ
ールの部分拡大斜視図及び部分断面図、第３図及
び第４図は主スケールを透過する光束の説明図、
第５図は主スケールの構造の説明図、第６図はイ
ンデツクススケールの平面図、第７図は主スケー
ルとインデツクススケールとの作用の説明図であ
る。 （主要部分の符号の説明）、１……スケール、
３……インデツクススケール、４……光源、５…
…コリメータレンズ、６ａ，６ｂ……受光素子。
構成図、第２図Ａ及びＢは本発明における主スケ
ールの部分拡大斜視図及び部分断面図、第３図及
び第４図は主スケールを透過する光束の説明図、
第５図は主スケールの構造の説明図、第６図はイ
ンデツクススケールの平面図、第７図は主スケー
ルとインデツクススケールとの作用の説明図であ
る。 （主要部分の符号の説明）、１……スケール、
３……インデツクススケール、４……光源、５…
…コリメータレンズ、６ａ，６ｂ……受光素子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 主スケールとこれに対向して設けられたイン
デツクススケールとが測定方向に相対的に移動可
能に設けられ、該主スケールに対して前記インデ
ツクススケールと反対側から該両スケールへ平行
光束を供給する照明装置及び該両スケールを透過
する光束を受光する光電変換装置を有する光電式
エンコーダにおいて、 前記主スケールは、前記照明装置側に平面を有
し、前記インデツクススケール側に該平面に対し
等角度で斜交する第１及び第２の斜面で形成され
た前記測定方向に垂直なＶ字溝を前記測定方向に
そつて等間隔に複数有する光透過部材で構成さ
れ、 前記第１の斜面は、前記主スケールの照明装置
側の平面とによつてプリズムを形成して前記照明
装置からの平行光を第１方向へ斜めの平行光とし
て屈折させ、 第２の斜面は、前記主スケールの照明装置側の
平面とによつてプリズムを形成して前記照明装置
からの平行光を第２方向へ斜めの平行光として屈
折させて、 前記主スケールから離れた所定の位置にて、相
接して稜線を形成する前記第１の斜面と前記第２
の斜面とによつて前記第１方向と前記第２方向に
屈折する斜めの平行光束が重畳的に交わることに
より明暗格子状の光を形成するように構成され、 前記インデツクススケールは、前記複数のＶ型
溝により前記第１の方向と前記第２の方向とに屈
折された斜めの平行光束がそれぞれ重畳的に交わ
る位置近傍に設けられるとともに、 前記照明装置から供給される平行光束が、前記
Ｖ型溝を構成している前記各斜面に入射する角度
をそれぞれθとし、前記Ｖ型溝のピツチをＰ、前
記主スケールの屈折率をｎ、相接する前記Ｖ型溝
間に形成される稜線と前記インデツクススケール
との距離をＤとするとき、 Ｄ＝Ｐ／４〔１／tan｛sin-1（ｎ sinθ）−θ｝−tan
θ〕 をほゞ満足するように設けられることを特徴とす
る光電式エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17417382A JPS5963517A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 光電式エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17417382A JPS5963517A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 光電式エンコ−ダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5963517A JPS5963517A (ja) | 1984-04-11 |
| JPH0237963B2 true JPH0237963B2 (ja) | 1990-08-28 |
Family
ID=15973976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17417382A Granted JPS5963517A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 光電式エンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5963517A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010532466A (ja) * | 2007-06-19 | 2010-10-07 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | ウェブの位置を表示するためのシステム及び方法 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5124548A (en) * | 1990-05-03 | 1992-06-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Encoder for detecting relative displacement having first and second scales and a light receiving device |
| JPH10239108A (ja) * | 1997-02-21 | 1998-09-11 | Fanuc Ltd | 光学式エンコーダ |
| JPH1114404A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Fanuc Ltd | 光学式ロータリエンコーダ |
| JPH11201779A (ja) * | 1998-01-07 | 1999-07-30 | Fanuc Ltd | 光学式エンコーダ |
| CA2236772C (en) * | 1998-06-02 | 2003-07-29 | Ching Shun Wang | Focusing-type calculating means |
| AU6010600A (en) * | 1999-11-08 | 2001-06-06 | Ballado Investments, Inc. | Device for the optical detection and measurement of linear movements |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS494551A (ja) * | 1972-03-15 | 1974-01-16 | ||
| JPS5174659A (ja) * | 1974-12-24 | 1976-06-28 | Nippon Electric Co |
-
1982
- 1982-10-04 JP JP17417382A patent/JPS5963517A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS494551A (ja) * | 1972-03-15 | 1974-01-16 | ||
| JPS5174659A (ja) * | 1974-12-24 | 1976-06-28 | Nippon Electric Co |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010532466A (ja) * | 2007-06-19 | 2010-10-07 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | ウェブの位置を表示するためのシステム及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5963517A (ja) | 1984-04-11 |
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