JPH0237548A - 光磁気ディスク - Google Patents
光磁気ディスクInfo
- Publication number
- JPH0237548A JPH0237548A JP63188806A JP18880688A JPH0237548A JP H0237548 A JPH0237548 A JP H0237548A JP 63188806 A JP63188806 A JP 63188806A JP 18880688 A JP18880688 A JP 18880688A JP H0237548 A JPH0237548 A JP H0237548A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magneto
- optical disk
- substrate
- dielectric film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- -1 aluminum germanium Chemical compound 0.000 claims description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 9
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 5
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 abstract description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 abstract description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 abstract 2
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001325 element alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 2
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005374 Kerr effect Effects 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012939 laminating adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10584—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the form, e.g. comprising mechanical protection elements
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
- G11B11/10589—Details
- G11B11/10593—Details for improving read-out properties, e.g. polarisation of light
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10S428/90—Magnetic feature
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は例えばレーザ等の光により情報の記録・再生
・消去を行う光磁気ディスクに関するものである。
・消去を行う光磁気ディスクに関するものである。
近年の情報化社会の進展は目覚ましく、それだ伴い大容
量の記録媒体および記録再生方式の必要性が急速に高ま
っており、既にレーザービデオディスク、ディジタルオ
ーディオディスク、文書画像ファイル用ライトワンスデ
ィスクなどが天川化されている。しかし、実用化された
記録媒体は書き換えができない欠点があり、書き侯え可
能な記録媒体および記録再生方式が望まれている。そし
て書き換え可能な記録再生方式の一つとして光磁気記録
再生方式が提案され、一部サンプル出荷も始まっている
。
量の記録媒体および記録再生方式の必要性が急速に高ま
っており、既にレーザービデオディスク、ディジタルオ
ーディオディスク、文書画像ファイル用ライトワンスデ
ィスクなどが天川化されている。しかし、実用化された
記録媒体は書き換えができない欠点があり、書き侯え可
能な記録媒体および記録再生方式が望まれている。そし
て書き換え可能な記録再生方式の一つとして光磁気記録
再生方式が提案され、一部サンプル出荷も始まっている
。
この光磁気記録再生方式に使用される光磁気ディスクは
基本的にはプラスチック基板やガラス基板の上に非晶質
垂直磁化嘆を形成したものであり、磁性材料としては例
えばＧｄＴｂＦｅ、 ＴｂＦｅｃｏ。
基本的にはプラスチック基板やガラス基板の上に非晶質
垂直磁化嘆を形成したものであり、磁性材料としては例
えばＧｄＴｂＦｅ、 ＴｂＦｅｃｏ。
ＤｙＦｅＣｏ、 Ｇ［）ｙＦｅなどの清七類−遷移金属
多元素合金が使用されている。
多元素合金が使用されている。
しかしながら、光磁気ディスクからの反射光を利用して
情報の再生を行う所謂カー効果再生方式においてはカー
回転角が小さいため搬送波対雑音比（Ｃ／Ｎ ）ｋ高め
ることが困難であった。
情報の再生を行う所謂カー効果再生方式においてはカー
回転角が小さいため搬送波対雑音比（Ｃ／Ｎ ）ｋ高め
ることが困難であった。
その為従来では磁性材料の上にＳｉＯやＳｉｎ、の誘電
体膜を形成してカー回転角を高める工夫がなされていた
。しかしながら、希土類−遷移金属多元素合金膜は比較
的、腐食しやすく、特性が劣化しやすい材料であるため
、カー回転角を高る効果とともに、腐食に対する優れた
誘電体膜が必要であり、上記ＳｉＯや５１０１嗅では腐
食の実質的な防ｉＫはなりえないという欠点があった。
体膜を形成してカー回転角を高める工夫がなされていた
。しかしながら、希土類−遷移金属多元素合金膜は比較
的、腐食しやすく、特性が劣化しやすい材料であるため
、カー回転角を高る効果とともに、腐食に対する優れた
誘電体膜が必要であり、上記ＳｉＯや５１０１嗅では腐
食の実質的な防ｉＫはなりえないという欠点があった。
この欠点を抜書するものとして、誘電体膜としてＳｉ、
Ｎ、やＡ／！Ｎなどの提案がなされている。前者の例
として、特公昭６２−２７４５８号公報に窒化シリコン
暎を用いて、カー回転角を増大せしめ、しかも充分に実
用に適することが示されている。
Ｎ、やＡ／！Ｎなどの提案がなされている。前者の例
として、特公昭６２−２７４５８号公報に窒化シリコン
暎を用いて、カー回転角を増大せしめ、しかも充分に実
用に適することが示されている。
上記窒化シリコン１１、スパッタリング法により設けた
ところ、カー回転角を十分増大させるだめの屈折率を有
する嘆は膜中の内部応力が大きいため、ディスク作吠後
膜がはく離する場合が多く、信頼性に欠けるという欠点
があった。
ところ、カー回転角を十分増大させるだめの屈折率を有
する嘆は膜中の内部応力が大きいため、ディスク作吠後
膜がはく離する場合が多く、信頼性に欠けるという欠点
があった。
さらに、内部応力が大きいために、スパッタリング装置
内の壁に付着した窒化シリコン暎がはく離するために、
装置内のダストが多くなり、ディスクの欠陥密度が多く
なるという１董があった。
内の壁に付着した窒化シリコン暎がはく離するために、
装置内のダストが多くなり、ディスクの欠陥密度が多く
なるという１董があった。
この祐明は上記のような課題を解消するためになされた
もので、カー回転角を増大せしめ、しかも十分な耐食性
、信・磁性を有しかったとえスパッタ方法を用いても、
製造中のダストが少ないので、欠陥密度が少なく高性能
であるという付帯的特性？有する光磁気ディスクを得る
ことを目的とする。
もので、カー回転角を増大せしめ、しかも十分な耐食性
、信・磁性を有しかったとえスパッタ方法を用いても、
製造中のダストが少ないので、欠陥密度が少なく高性能
であるという付帯的特性？有する光磁気ディスクを得る
ことを目的とする。
この発明の光磁気ディスクは基板、この基板に設けられ
た窒化アルミニウムゲルマニウムから成る誘電体膜およ
びこの誘電体膜に設けられた磁性膜を備えたものである
。
た窒化アルミニウムゲルマニウムから成る誘電体膜およ
びこの誘電体膜に設けられた磁性膜を備えたものである
。
この発明において、窒化アルミニウムゲルマニウムから
成る誘電体膜を用いることにより、従来と同程度の屈折
率で、しかも内部応力が小で、はく離が防止されるので
、上記目的を達成することができる。
成る誘電体膜を用いることにより、従来と同程度の屈折
率で、しかも内部応力が小で、はく離が防止されるので
、上記目的を達成することができる。
図面はこの発明の一実施−１の光磁気ディスクのｌ！ｉ
ｌＴ面図であり、ＩＩ＋は例えばガラスおよびプラスチ
ック等の基板、（２１は窒化アルミニウムゲルマニウム
から収る誘電体膜、（３）は例えばＴｂＦｅ０゜非晶質
合企哨から成る・６性膜、１４１は貼合せ接着剤、＋５
１は貼合せ用基板である。
ｌＴ面図であり、ＩＩ＋は例えばガラスおよびプラスチ
ック等の基板、（２１は窒化アルミニウムゲルマニウム
から収る誘電体膜、（３）は例えばＴｂＦｅ０゜非晶質
合企哨から成る・６性膜、１４１は貼合せ接着剤、＋５
１は貼合せ用基板である。
なお、上記窒化アルミニウムゲルマニウムから成る誘電
体膜１２１は、例えばアルミニウムとゲルマニウムの合
金ターゲットを不活性ガスと窒素ガスの混合雰囲気中で
反応性スパッタリングすることにより形成したり、又、
例えばアルミニウムターゲットとゲルマニウムターゲッ
トの２つのターゲラトラ、不活性ガスと窒素ガスの混合
雰囲気中で反応スパッタリングすることにより形成する
ことができる。
体膜１２１は、例えばアルミニウムとゲルマニウムの合
金ターゲットを不活性ガスと窒素ガスの混合雰囲気中で
反応性スパッタリングすることにより形成したり、又、
例えばアルミニウムターゲットとゲルマニウムターゲッ
トの２つのターゲラトラ、不活性ガスと窒素ガスの混合
雰囲気中で反応スパッタリングすることにより形成する
ことができる。
以下、この発明を実施−１により具体的に説明する。
実施例１
真空桶を約１Ｏ−７ＴＯｒｒに排気した後、ＡｒとＮ２
との混合ガスを導入して約２ Ｘ １０ ＴＯｒｒに
する。
との混合ガスを導入して約２ Ｘ １０ ＴＯｒｒに
する。
アルミニウム合金ターゲット（Ｇθ５０ａｔ％）を使用
シて、ＤＣスパッタリングを行い、ポリカーボネート製
の基板（１１の上て嘆厚約６５ＯＡの窒化アルミニウム
ゲルマニウムｒＡｚｏｅＮ）から成る誘電体膜１２１を
形成させた。得られたＡＡ’ＧｅＮ膜は波長８３０ｎｍ
で屈折率約２．５の物性を有する。
シて、ＤＣスパッタリングを行い、ポリカーボネート製
の基板（１１の上て嘆厚約６５ＯＡの窒化アルミニウム
ゲルマニウムｒＡｚｏｅＮ）から成る誘電体膜１２１を
形成させた。得られたＡＡ’ＧｅＮ膜は波長８３０ｎｍ
で屈折率約２．５の物性を有する。
また内部応力けｌ Ｘ Ｉ Ｏｄｙｎ／ｃｆｆｌであっ
た。なお収模速度は投入パワー３００Ｗで約５０ Ａ７
４ｔｎであった。
た。なお収模速度は投入パワー３００Ｗで約５０ Ａ７
４ｔｎであった。
ライで常法にしたがいスパッタリングにより磁性１ｊ
！３１ ＴｂＦｅＣ！ｏを約１０００ Ａの厚さに形成
させた。史にその上に同様に嘆厚約１００ＯＡのＡＪＧ
ｅ Ｎ模（２１を形成させた。
！３１ ＴｂＦｅＣ！ｏを約１０００ Ａの厚さに形成
させた。史にその上に同様に嘆厚約１００ＯＡのＡＪＧ
ｅ Ｎ模（２１を形成させた。
ｔ＆後に接着剤（４１ヲ用いて貼合せ用のポリカーボネ
ート基板−６）を張り合わせ、この発明の一実施例の光
磁気ディスクｔｆｆ造した。
ート基板−６）を張り合わせ、この発明の一実施例の光
磁気ディスクｔｆｆ造した。
得られた光磁気ディスクの磁気光学特性は、基板側から
波長８３ｏｎｍの尤を照射したとき、反射率Ｒ＝１５％
、カー回転角θに＝ ＩＪ ｄθノであった。
波長８３ｏｎｍの尤を照射したとき、反射率Ｒ＝１５％
、カー回転角θに＝ ＩＪ ｄθノであった。
また上記この発明の一実施例の光磁気ディスクの記録再
生特性は基板側から波長８３０ ｎｍのレーザを投数し
た光ヘツｌ−′ヲ用いて測定した。
生特性は基板側から波長８３０ ｎｍのレーザを投数し
た光ヘツｌ−′ヲ用いて測定した。
記録同波数Ｉ Ｍ Ｈ２１回転数１８０ Ｏｒｐｍの時
に、搬送波対雑音比（Ｃ／Ｎと略す）は６２ｄＢであり
ビットエラーレート（ＢＫＲと略す）は１．０Ｘ１０−
’であった。
に、搬送波対雑音比（Ｃ／Ｎと略す）は６２ｄＢであり
ビットエラーレート（ＢＫＲと略す）は１．０Ｘ１０−
’であった。
また、上記この発明の一実施例の光磁気ディスクについ
て、温度６０℃、湿度９０チの雰囲気中で約ａＯＯ時間
保持した後、検査したが嗅のはく離等、異常は認められ
なかった。
て、温度６０℃、湿度９０チの雰囲気中で約ａＯＯ時間
保持した後、検査したが嗅のはく離等、異常は認められ
なかった。
天職Ｆ！ＡＪ２
ターゲットとしてアルミニウムターゲットとゲルマニウ
ムターゲット’２使用して％ ２元スパッタリングを行
う他ｒ／′ｉ矢粍例１と同様にしてこの発明の池の実施
例の光磁気ディスクを製造した。得られた光磁気ディス
クの記録再生特性はＣ／Ｎ ６１．５ ｄＢ でありＢ
ＥＲは１．２Ｘ１０ であった。
ムターゲット’２使用して％ ２元スパッタリングを行
う他ｒ／′ｉ矢粍例１と同様にしてこの発明の池の実施
例の光磁気ディスクを製造した。得られた光磁気ディス
クの記録再生特性はＣ／Ｎ ６１．５ ｄＢ でありＢ
ＥＲは１．２Ｘ１０ であった。
父、仄ＴＭ１４１１と同様の検量全上記この発明の池の
来旌医の光磁気ディスクについて行なったところ、実施
−１１と同様の結果を得た。
来旌医の光磁気ディスクについて行なったところ、実施
−１１と同様の結果を得た。
比較例
ターゲットとしてＡ／メタ−ットヲ丈用するほかは実施
例１と同様にして光磁気ディスクを製造した。得られた
Ａ／ Ｎ膜は屈折率１．９であり、反射率Ｒ−３０チカ
ー回転角θに＝０．６ａｅＰ記録再生特性はＣ／Ｎは５
５ｄＢであった。
例１と同様にして光磁気ディスクを製造した。得られた
Ａ／ Ｎ膜は屈折率１．９であり、反射率Ｒ−３０チカ
ー回転角θに＝０．６ａｅＰ記録再生特性はＣ／Ｎは５
５ｄＢであった。
以上のことからこの発明の実施例の光磁気ディスクは屈
折率が大きくなっていることによりカー回転角が増大し
ており、Ｃ／Ｎとしても高性能になっていることがわか
る。
折率が大きくなっていることによりカー回転角が増大し
ており、Ｃ／Ｎとしても高性能になっていることがわか
る。
また、上記実！Ｍ、例では基板、ＡｌＧｅ Ｎ膜、記録
磁性膜、ＡＡ’Ｇｅ Ｎ膜を順ＶＣ積層した場合につい
て説明したが、例えば基板、 ＡＩ！Ｇｅ Ｎ膜、記録
磁性膜、反射膜の構成、および基板、ＡｉθＮ膜、記録
磁性膜、ＡＪＧｅ Ｎ膜、反射膜の構成等ＡＩＧθＮ膜
がカー回転角を増大させる様に設ければ良い。
磁性膜、ＡＡ’Ｇｅ Ｎ膜を順ＶＣ積層した場合につい
て説明したが、例えば基板、 ＡＩ！Ｇｅ Ｎ膜、記録
磁性膜、反射膜の構成、および基板、ＡｉθＮ膜、記録
磁性膜、ＡＪＧｅ Ｎ膜、反射膜の構成等ＡＩＧθＮ膜
がカー回転角を増大させる様に設ければ良い。
以上説明したとおり、この発明は基板、この基板に設け
られた窒化アルミニウムゲルマニウムから収る誘電体膜
およびこの誘電体膜に設けられた憬性幌を備えたものｒ
用いることにより、。
られた窒化アルミニウムゲルマニウムから収る誘電体膜
およびこの誘電体膜に設けられた憬性幌を備えたものｒ
用いることにより、。
カー回転角を増大させ、しかも十分な耐食性、停頓性を
有する光磁気ディスクを得ることができ、例えスパッタ
リング方法を用いても裂遣中のダスト等が少ないので、
欠陥密度が少なく高性能外光磁気ディスクが得られると
いう付帯的効果もある。
有する光磁気ディスクを得ることができ、例えスパッタ
リング方法を用いても裂遣中のダスト等が少ないので、
欠陥密度が少なく高性能外光磁気ディスクが得られると
いう付帯的効果もある。
図面はこの発明の一実施例の光磁気ディスクの断面図で
ある。 図において、（ｌ；は基板、＋２１Ｈ窒化アルミニウム
ゲルマニウムから収る誘電体膜、＋３１は磁性膜４１は
貼合せ接着剤、−５１は貼合せ用基板である。
ある。 図において、（ｌ；は基板、＋２１Ｈ窒化アルミニウム
ゲルマニウムから収る誘電体膜、＋３１は磁性膜４１は
貼合せ接着剤、−５１は貼合せ用基板である。
Claims (1)
- 基板、この基板に設けられた窒化アルミニウムゲルマニ
ウムから成る誘電体膜およびこの誘電体膜に設けられた
磁性膜を備えた光磁気ディスク。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63188806A JPH0237548A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光磁気ディスク |
| NL8901104A NL8901104A (nl) | 1988-07-27 | 1989-05-02 | Magneet-optische schijf. |
| US07/905,237 US5283133A (en) | 1988-07-27 | 1992-06-29 | Magneto-optical disk |
| US08/149,531 US5603814A (en) | 1988-07-27 | 1993-11-09 | Magneto-optical disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63188806A JPH0237548A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光磁気ディスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0237548A true JPH0237548A (ja) | 1990-02-07 |
Family
ID=16230130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63188806A Pending JPH0237548A (ja) | 1988-07-27 | 1988-07-27 | 光磁気ディスク |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5603814A (ja) |
| JP (1) | JPH0237548A (ja) |
| NL (1) | NL8901104A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6268034B1 (en) | 1998-08-05 | 2001-07-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium and method for producing the same, method for recording and reproducing information thereon and recording/reproducing apparatus |
| US6343062B1 (en) | 1997-09-26 | 2002-01-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Optical disk device and optical disk for recording and reproducing high-density signals |
| US6388984B2 (en) | 1997-08-28 | 2002-05-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium and its recording and reproducing method |
| US6503690B1 (en) | 1997-08-12 | 2003-01-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium, method for producing the same, and method for recording and reproducing optical information |
| US6821707B2 (en) * | 1996-03-11 | 2004-11-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium, producing method thereof and method of recording/erasing/reproducing information |
| JP2017045749A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 株式会社村田製作所 | 窒化アルミニウム圧電薄膜及びその製造方法、並びに圧電材及び圧電部品及び窒化アルミニウム圧電薄膜の製造方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10134437A (ja) * | 1996-10-31 | 1998-05-22 | Sony Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| US5985105A (en) * | 1997-12-04 | 1999-11-16 | Seagate Technology, Inc. | Method of sputtering protective overcoats with improved corrosion resistance |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5283133A (en) * | 1988-07-27 | 1994-02-01 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Magneto-optical disk |
| US5055353A (en) * | 1989-05-16 | 1991-10-08 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Magneto-optical recording medium |
-
1988
- 1988-07-27 JP JP63188806A patent/JPH0237548A/ja active Pending
-
1989
- 1989-05-02 NL NL8901104A patent/NL8901104A/nl not_active Application Discontinuation
-
1993
- 1993-11-09 US US08/149,531 patent/US5603814A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6821707B2 (en) * | 1996-03-11 | 2004-11-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium, producing method thereof and method of recording/erasing/reproducing information |
| US7037413B1 (en) | 1996-03-11 | 2006-05-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium, producing method thereof and method of recording/erasing/reproducing information |
| US6503690B1 (en) | 1997-08-12 | 2003-01-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium, method for producing the same, and method for recording and reproducing optical information |
| US6388984B2 (en) | 1997-08-28 | 2002-05-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium and its recording and reproducing method |
| US6343062B1 (en) | 1997-09-26 | 2002-01-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Optical disk device and optical disk for recording and reproducing high-density signals |
| US6268034B1 (en) | 1998-08-05 | 2001-07-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium and method for producing the same, method for recording and reproducing information thereon and recording/reproducing apparatus |
| JP2017045749A (ja) * | 2015-08-24 | 2017-03-02 | 株式会社村田製作所 | 窒化アルミニウム圧電薄膜及びその製造方法、並びに圧電材及び圧電部品及び窒化アルミニウム圧電薄膜の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| NL8901104A (nl) | 1990-02-16 |
| US5603814A (en) | 1997-02-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0237548A (ja) | 光磁気ディスク | |
| JP3178025B2 (ja) | 光磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| US5283133A (en) | Magneto-optical disk | |
| JP2593206B2 (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH02265052A (ja) | 光記録媒体の製造方法 | |
| JPH01173455A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2527762B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH03156753A (ja) | 光記録媒体 | |
| JP2829335B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2801729B2 (ja) | 光記録媒体用保護膜とそれを用いた光記録媒体 | |
| JPH03122845A (ja) | 光記録媒体 | |
| JP2740814B2 (ja) | 光磁記録媒体 | |
| JP3148017B2 (ja) | 光磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPS62121943A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS63166046A (ja) | 光デイスク | |
| JP2528088B2 (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法及び光磁気記録媒体 | |
| JPH0594647A (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS62279536A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH0644624A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH03142728A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH0518187B2 (ja) | ||
| JPS63291234A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0283836A (ja) | 光記録媒体の製造方法 | |
| JPH04337543A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH04313835A (ja) | 光磁気記録媒体の製造方法 |