JPH0235615A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH0235615A JPH0235615A JP18619588A JP18619588A JPH0235615A JP H0235615 A JPH0235615 A JP H0235615A JP 18619588 A JP18619588 A JP 18619588A JP 18619588 A JP18619588 A JP 18619588A JP H0235615 A JPH0235615 A JP H0235615A
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- film
- magnetic film
- insulating film
- magnetic
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ディスク装置に用いられる薄膜磁気ヘッド
に関する。
に関する。
この種の薄膜磁気ヘッドは、磁気ディスク上の薄い空気
ベアリング層を滑空する滑空体くスライダ）のｆ＆尾に
形成され、磁気ディスクに情報の記録再生を行う、第２
図は従来のＲ膜磁気ヘッドの断面図を示したものである
。薄膜磁気ヘッドはスライダ１１の後尾に絶縁膜１２．
下部磁性膜１３．ギャップ絶縁膜１４．コイル導体１５
．コイル間絶縁膜１６゜上部磁性膜１７．保護膜１８等
を順次形成して成る。
ベアリング層を滑空する滑空体くスライダ）のｆ＆尾に
形成され、磁気ディスクに情報の記録再生を行う、第２
図は従来のＲ膜磁気ヘッドの断面図を示したものである
。薄膜磁気ヘッドはスライダ１１の後尾に絶縁膜１２．
下部磁性膜１３．ギャップ絶縁膜１４．コイル導体１５
．コイル間絶縁膜１６゜上部磁性膜１７．保護膜１８等
を順次形成して成る。
上述した従来の薄膜磁気ヘッドは、スライダの空気潤滑
面１９に上部磁性膜１３と下部磁性ＪＩ１１７が露出し
ているため、以下のような欠点がある。すなわち、上部
磁性膜１３及び下部磁性膜１７には通常パーマロイ（Ｎ
ｉＦｅ）が使われているが、塩素やイオウ等が存在する
環境下においては著しく腐食が促進される。したがって
、このような環境下にて使用する場合には腐食の進行と
ともに、薄ｆＩ！Ａ磁気ヘッドの情報の記録再生能力が
低下し、最悪の場合には記録再生不能となるため、著し
く信頼性の低いものとなっていた。また、磁気ディスク
装置においては、コンタクト・スタート・ストップ方式
（Ｃ，Ｓ、Ｓ、方式）が採用されているため、停止から
浮上あるいは浮上から停止への過渡期においては磁気デ
ィスク表百を滑動することになる。スライダはビッカー
ス硬度（ｌｌｖ） ２０００の非常に硬い材料Ａ Ｑ
２０３ Ｔ ｉ Ｃから成るが、絶縁膜１２．保護膜
１８はアルミナ（ＡＱ２０ｉ）をスパッタした場合、Ｈ
ｖで８００程度であり、下部磁性膜１３．上部磁性膜１
７はＮｉＦｅの場合それ以下の硬さである。
面１９に上部磁性膜１３と下部磁性ＪＩ１１７が露出し
ているため、以下のような欠点がある。すなわち、上部
磁性膜１３及び下部磁性膜１７には通常パーマロイ（Ｎ
ｉＦｅ）が使われているが、塩素やイオウ等が存在する
環境下においては著しく腐食が促進される。したがって
、このような環境下にて使用する場合には腐食の進行と
ともに、薄ｆＩ！Ａ磁気ヘッドの情報の記録再生能力が
低下し、最悪の場合には記録再生不能となるため、著し
く信頼性の低いものとなっていた。また、磁気ディスク
装置においては、コンタクト・スタート・ストップ方式
（Ｃ，Ｓ、Ｓ、方式）が採用されているため、停止から
浮上あるいは浮上から停止への過渡期においては磁気デ
ィスク表百を滑動することになる。スライダはビッカー
ス硬度（ｌｌｖ） ２０００の非常に硬い材料Ａ Ｑ
２０３ Ｔ ｉ Ｃから成るが、絶縁膜１２．保護膜
１８はアルミナ（ＡＱ２０ｉ）をスパッタした場合、Ｈ
ｖで８００程度であり、下部磁性膜１３．上部磁性膜１
７はＮｉＦｅの場合それ以下の硬さである。
したがって、Ｃ，Ｓ、 Ｓ、を繰り返す回数が増加する
に従い、下部磁性膜１３および上部磁性ｐｌＡ１７か徐
々に摩耗することになる。つまり、徐々に磁気ディスク
表面と下部磁性膜１３および上部磁性膜１７との間隔が
広がっていくため、薄膜磁気ヘッドの情報の記録再生能
力は低下するという問題がある。
に従い、下部磁性膜１３および上部磁性ｐｌＡ１７か徐
々に摩耗することになる。つまり、徐々に磁気ディスク
表面と下部磁性膜１３および上部磁性膜１７との間隔が
広がっていくため、薄膜磁気ヘッドの情報の記録再生能
力は低下するという問題がある。
本発明の目的は前記課題を解決した薄膜磁気ヘッドを提
供することにある。
供することにある。
訂記目的を達成するため、本発明はスライダに、下部磁
性膜、ギャップ絶縁膜、コイル導体、上部磁性膜、保護
膜等を積層形成して得られる薄［磁気ヘッドにおいて、
前記下部磁性膜、上部磁性膜の磁気ディスク対向面をビ
ッカース硬度６００以上の絶縁膜で保護したものである
。
性膜、ギャップ絶縁膜、コイル導体、上部磁性膜、保護
膜等を積層形成して得られる薄［磁気ヘッドにおいて、
前記下部磁性膜、上部磁性膜の磁気ディスク対向面をビ
ッカース硬度６００以上の絶縁膜で保護したものである
。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例の断面図である０本発明の薄
膜磁気ヘッドは、スライダ１の後尾に絶縁膜２、下部磁
性膜３．ギャップ絶縁膜４．コイル導体５．コイル間絶
縁膜６．上部磁性ｖ７．保護膜８等を順次積層形成して
なる。スライダ１の空気潤滑面１０に対して、絶縁膜２
．下部磁性膜３゜ギャップ絶縁膜４．上部磁性膜７．保
護ＪＩＧ！ ８から形成される面を微小量後退させ、上
記後退した面上に絶縁膜９を形成する。
膜磁気ヘッドは、スライダ１の後尾に絶縁膜２、下部磁
性膜３．ギャップ絶縁膜４．コイル導体５．コイル間絶
縁膜６．上部磁性ｖ７．保護膜８等を順次積層形成して
なる。スライダ１の空気潤滑面１０に対して、絶縁膜２
．下部磁性膜３゜ギャップ絶縁膜４．上部磁性膜７．保
護ＪＩＧ！ ８から形成される面を微小量後退させ、上
記後退した面上に絶縁膜９を形成する。
絶縁膜９の材質としては、絶縁ＷＡ２およびｃＡｆｉ膜
８と同一の材料か望ましく、かつビッカース硬度６００
以上とする必要がある。また絶縁膜９の膜厚は薄膜磁気
ヘッドの記録再生能力に非常に重要なパラメータて゛、
２００〜４００人とするのが望ましい。
８と同一の材料か望ましく、かつビッカース硬度６００
以上とする必要がある。また絶縁膜９の膜厚は薄膜磁気
ヘッドの記録再生能力に非常に重要なパラメータて゛、
２００〜４００人とするのが望ましい。
上記薄膜磁気ヘッドにおいては、下部磁性膜３および上
部磁性膜７が露出していないため、塩素やイオウが含ま
れる環境下においても、下部磁性膜３あるいは上部磁性
膜７が腐食されず長期にわたって安定した情報の記録再
生が可能な信頼性の高いものとなる。
部磁性膜７が露出していないため、塩素やイオウが含ま
れる環境下においても、下部磁性膜３あるいは上部磁性
膜７が腐食されず長期にわたって安定した情報の記録再
生が可能な信頼性の高いものとなる。
また、Ｃ，Ｓ、Ｓ、方式で使用する場合においても、下
部磁性膜３および上部磁性膜７が摩耗するということが
全くなくなったため、長期にわたって一定した情報の記
録再生能力を有する信頼性の高いものとなる。
部磁性膜３および上部磁性膜７が摩耗するということが
全くなくなったため、長期にわたって一定した情報の記
録再生能力を有する信頼性の高いものとなる。
以上説明したように本発明は、スライダに、下部磁性膜
、ギャップ絶縁膜、コイル導体、保護膜等を形成して得
られる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部磁性膜、上部
磁性膜の磁気ディスク対向面をビッカース硬度６００以
上の絶縁膜で保護することにより、塩素あるいはイオウ
の存在する環境下において、下部磁性膜および上部磁性
膜が腐食することもなく、Ｃ，Ｓ、 Ｓ、方式の繰り返
しにおいて、下部磁性膜および上部磁性膜が摩耗するこ
ともなく、長期にわたって常に安定した情報の記録再生
能力を有する薄膜磁気ヘッドを提供できるらのである。
、ギャップ絶縁膜、コイル導体、保護膜等を形成して得
られる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部磁性膜、上部
磁性膜の磁気ディスク対向面をビッカース硬度６００以
上の絶縁膜で保護することにより、塩素あるいはイオウ
の存在する環境下において、下部磁性膜および上部磁性
膜が腐食することもなく、Ｃ，Ｓ、 Ｓ、方式の繰り返
しにおいて、下部磁性膜および上部磁性膜が摩耗するこ
ともなく、長期にわたって常に安定した情報の記録再生
能力を有する薄膜磁気ヘッドを提供できるらのである。
第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドの断面図、第２図は従
来の薄膜磁気ヘッドの断面図である。 １．１１・・・スライダ ２．１２・・・絶縁膜３
．３・・・下部磁性膜 ４．４・・・ギャップ絶縁膜 ５．５・・・コイル導体 ６．６・・・コイル間絶縁膜 ７．７・・・上部磁性膜 ８，１８・・・保護膜９・
・・絶縁膜 １０．１９・・・空気潤滑面特
許出願人 日本電気株式会社 第 図 第 図
来の薄膜磁気ヘッドの断面図である。 １．１１・・・スライダ ２．１２・・・絶縁膜３
．３・・・下部磁性膜 ４．４・・・ギャップ絶縁膜 ５．５・・・コイル導体 ６．６・・・コイル間絶縁膜 ７．７・・・上部磁性膜 ８，１８・・・保護膜９・
・・絶縁膜 １０．１９・・・空気潤滑面特
許出願人 日本電気株式会社 第 図 第 図
Claims (1)
- （１）スライダに、下部磁性膜、ギャップ絶縁膜、コイ
ル導体、上部磁性膜、保護膜等を積層形成して得られる
薄膜磁気ヘッドにおいて、前記下部磁性膜、上部磁性膜
の磁気ディスク対向面をビッカース硬度６００以上の絶
縁膜で保護したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18619588A JPH0235615A (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18619588A JPH0235615A (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0235615A true JPH0235615A (ja) | 1990-02-06 |
Family
ID=16184048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18619588A Pending JPH0235615A (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0235615A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0528429A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-05 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5042833A (ja) * | 1973-08-20 | 1975-04-18 | ||
| JPS6342013A (ja) * | 1986-08-07 | 1988-02-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
-
1988
- 1988-07-26 JP JP18619588A patent/JPH0235615A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5042833A (ja) * | 1973-08-20 | 1975-04-18 | ||
| JPS6342013A (ja) * | 1986-08-07 | 1988-02-23 | Fuji Photo Film Co Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0528429A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-05 | Fujitsu Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
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