JPH0235103Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は密閉容器における開閉装置の技術分野
で利用され、特に、真空装置用バルブに関するも
のである。

（従来の技術） 一般に、ワークのガス処理などを行なう真空装
置は、ワークを収容する真空槽とその内部を負圧
状態に保つための真空ポンプとを有し、この両者
を接続する吸引管路の中間部には通常、吸引管路
を連通させたり、遮断したりする中間バルブが設
けられている。このような真空装置においては、
真空槽に対してワークの搬入および搬出を行なう
たびごとに、周辺の大気が浮遊している粉塵を伴
つて搬入口から槽内に流入するので、これを取り
除くためにコールドトラツプなどの収塵手段が設
けられており、真空槽から真空ポンプに向つて流
れる粉塵は、この収塵手段で捕集される。

（考案が解決しようとする問題点） ところが、上述の収塵手段は規格製品を適用し
て吸引管路に取り付けられるので、フランジ結合
部が増加して外観を損なうとともに真空洩れの個
所が多くなり、しかも管路の重量も増加するとい
う不具合がある。

本考案はかかる従来の上記問題点にかんがみ、
収塵手段を中間バルブの弁箱本体に内装した構造
とすることにより、気密性の向上と外観の美化と
を図つた真空装置用バルブを提供するにある。

（問題点を解決するための手段） 本考案の上記問題点を解決するための手段は、
ワークを収容する真空槽と、該真空槽の内部を負
圧状態に保つための真空ポンプとを接続する吸引
管路の中間部に介在せしめるものであつて、弁箱
の流入側開口部から流出側開口部に至る流路の中
間部に弁座が設けられ、該弁座を開閉する弁体に
前記弁箱の蓋板に固設した進退手段が連結され、
前記弁座と流出側開口部との間には、弁箱の側部
に挿通孔を開口せしめた収塵手段収納室が形成さ
れ、該収塵手段収納室にコールドトラツプ等の収
塵手段が前記挿通孔を経て着脱可能に内装されて
なることを特徴とするものである。

（作用） 上記の手段による作用は、弁箱内部を真空ポン
プに向つて流動する排出流体は、収塵手段に接触
することにより、浮遊している粉塵が捕集され、
該収塵手段は挿通孔を経て出し入れされるので、
収塵手段を吸引管路に取り付けるためのフランジ
部が減少する。

（実施例） 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明す
る。なお、この説明における方向は、第１図にお
いて左方を流入側、下方を流出側と呼ぶ。

第１図および第２図は真空装置（図示省略）に
適用されるバルブ１を示しており、該真空装置は
ワークを収容する真空槽（図示省略）と、該真空
槽の内部を負圧状態に保つための真空ポンプ（図
示省略）と、該両者間を接続する流入側管路２ａ
および流出側管路２ｂからなる吸引管路２とを具
備してなり、流入側管路２ａと流出側管路２ｂの
間に前記バルブ１を介在せしめている。

バルブ１は弁箱３の流入側開口部３ａから流出
側開口部３ｂに至る流路の中間部に弁座４が設け
られ、該弁座を開閉する弁体５に、前記弁箱３の
蓋板６に固設したシリンダ装置等の進退手段７の
ピストンロツド７ａが連結され、前記弁座４と流
出側開口部３ｂとの間には、弁箱３の側部に挿通
孔８ａを開口せしめた収塵手段収納室８が形成さ
れ、該収塵手段収納室にコールドトラツプ等の収
塵手段９が前記挿通孔を経て着脱可能に内装され
てなる。

前記収塵手段９は互いに平行せしめた対なるヘ
ツダ１０，１０の各両端部に、それぞれ連通管１
１，１１を接続して互いに連通されており、該両
ヘツド間のヘツダ１０に沿つた等間隔位置には、
断面く字状のそらせ板１２，１２……が両ヘツダ
１０，１０と直交する方向に配置され、該各そら
せ板の両端部と前記両ヘツダ１０，１０とは、目
板１３，１３……により連結固定されている。さ
らに、両ヘツダ１０，１０は先端（内端）部にロ
ーラ１４，１４が枢着され、後端（外端）部が前
記挿通孔８ａの盲フランジ１５に固定され、該盲
フランジはボルト１５ａにより前記挿通孔８ａの
取付座８ｂに固定されている。一方、流出側開口
部３ｂを形成する弁箱３の流出側フランジ３ｃの
内側には、ガイドレール１６，１６が支持金具１
７，１７を介して固設され、該両ガイドレール上
に前記ローラ１４，１４が転動可能に乗架され
る。また、前記ヘツダ１０，１０には冷却液入口
管１８および冷却液出口管１９の各一端部が接続
され、かつその他端部は冷却液供給装置（図示省
略）に接続されており、冷却液はたとえば液体窒
素が適用される。２０はノズルで、前記流入側開
口部３ａの外方に突設され、その先端部に流入側
フランジ２０ａが固着される。

次に、本実施例の作用について説明する。

予め真空ポンプ（図示省略）を駆動して流出側
管路２ｂを負圧状態にしておく一方、収塵手段９
の各ヘツダ１０，１０に液体窒素などの冷却液を
注入してそらせ板１２を低温度に保持した状態
で、進退手段７を上昇駆動させて弁体５を開く。
このとき、真空槽（図示省略）から流入側管路２
ａを経て弁箱３の内部に流入する廃棄ガス等の排
出流体は、収塵手段収納室８でそらせ板１２，１
２……に接触して冷却され、この排出流体内に浮
遊している粉塵は、水滴となつた排出流体の飽和
水分とともにそらせ板１２に付着して捕集され
る。

前記収塵手段９は、盲フランジ１５を開放して
挿通孔８ａから弁箱３の外方に取り出すことによ
り、点検、清掃等の保守管理が行なわれ、その後
は、収塵手段９のローラ１４，１４をガイドレー
ル１６，１６上で転動させることによつて円滑に
収納される。

（考案の効果） 本考案は上記の構成により、コールドトラツプ
等の収塵手段が弁箱の下部に収容されて吸引管路
における大径のフランジ結合部が減少するから、
外観が美しくなつて真空洩れの個所が少なくなる
ばかりでなく、重量が軽くなり、かつ製作コスト
が低減できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施態様を例示し、第１図は真
空装置用バルブの中央縦断面図、第２図は第１図
の−線で切断して示す断面図である。 １……バルブ、２……吸引管路、３……弁箱、
３ａ……流入側開口部、３ｂ……流出側開口部、
４……弁座、５……弁体、６……蓋板、７……進
退手段、８……収塵手段収納室、８ａ……挿通
孔、９……収塵手段。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ワークを収容する真空槽と、該真空槽の内部を
   負圧状態に保つための真空ポンプとを接続する吸
   引管路の中間部に介在せしめるものであつて、弁
   箱の流入側開口部から流出側開口部に至る流路の
   中間部に弁座が設けられ、該弁座を開閉する弁体
   に前記弁箱の蓋板に固設した進退手段が連結さ
   れ、前記弁座と流出側開口部との間には、弁箱の
   側部に挿通孔を開口せしめた収塵手段収納室が形
   成され、該収塵手段収納室にコールドトラツプ等
   の収塵手段が前記挿通孔を経て着脱可能に内装さ
   れてなることを特徴とする真空装置用バルブ。