JPH0230129A - 薄板状ワークの接着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はシリコンウェハ等の薄板状ワークの接着装置に
関し、−層詳細には、ポリシングなどの表面精密加工を
するための前工程として、プレートにワークを接着する
際に用いる薄板状ワークの接着装置に関する。

（従来技術） シリコンウェハ等の薄板状のワークは、プレートに接着
し、この状態でポリシングなどの表面精密加工をする。

特に、プレートに対しワークを水平に接着させることが
、ワークの表面を高精度に仕上げるために必要である。

この場合、ワークをプレートに接着するための方法とし
て、ワークの裏面に接着剤を塗布し、このワークをプレ
ートに機械または作業者が押圧することにより行ってい
た。

（発明が解決しようとする課題） しかし、上記従来例に示すようにワークを単にプレート
に押圧するのみでは、ワークの裏面に接着剤を塗布する
際などに混入した接着剤中の気泡やゴミなどの不純物を
完全に排除することができず、また均一な厚さの接着剤
層とすることができなかった。このため、ワークをプレ
ートに水平に接着できず、ポリシングなどの精密な表面
加工が実現できなかった。

そこで、ワークをプレートに接着する際に、接着剤層内
に混入した気泡やゴミなどの不純物を容易に除去すると
ともに接着剤層の厚さを均一にして、プレートに対し水
平にワークを接着することができる薄板状ワークの接着
装置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は上記課題を解決するために次の構成をるｉｆｆ
えてなる。

すなわち、シリコンウェハ等の薄板状ワークを接着剤を
介してプレート上に接着すべく、ワークをプレートに押
圧するためのロッドと、該ロッドを偏心回転させるため
の偏心機構とを具備する。

上記偏心機構として、筒状の偏心部材の内側の孔を偏心
部材の中心に対し偏心して設け、この偏心部材の孔に、
下端でワークをプレートに押圧するロッドを貫通させ、
偏心部材を回転させるようにするのが好適である。

また、ロッド押圧面にワークを吸引保持するための吸引
孔を設け、プレート面とワーク接着面との間に所定の厚
さの接箔剤介在空ｕＯを確保するようにしても良い。

さらに、ロッドの偏心回転によるワークの移動範囲内の
中心にワークを移動すべく、ロッドを移動させる移動機
構を設けるようにしても良い。

（作用） 次に本発明の作用について述べる。

ポリシングするための薄板状のワークをプレートに接着
するに当たり、ワークに接着剤を塗布してプレートに載
置し、ロッドによりワークをプレートに押圧し、ロッド
を偏心回転させる。このにより、ワークの裏面に接着剤
を塗布する際などに混入する接着剤中の気泡やゴミなど
の不純物が外方向に排出され、プレートにワークを水平
に接着できる。

また、ロッドによりワークをプレートに押圧するに際に
、ロッド押圧面の吸引孔−によりワークを吸引保持する
。すると、プレート面とワーク接着面との間に所定の厚
さの接着剤介在空間が確保されるとともに、ロッドとワ
ークがずれることなく一体に偏心回転することができ、
確実にワークをプレートに対し水平に接着できる。

さらに、偏心回転した、ワークの移動範囲内の中央は接
着剤が周囲より均一のため、ロッドを移動機構により中
心に移動させることにより、ワークをプレートに対し水
平に接着できる。

（実施例） 以下本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて詳細に
説明する。

第１図は接着装置の全体機構を示す概略的な機構図であ
る。

１２はベースである。このベース１２上にヒータプレー
ト１４が載置され、ヒータプレート１４上に接着プレー
ト１６が載置されている。

ベース１２の上方に支持板１８が固定されている。この
支持板１８の上面に移動シリンダ２０が設けられ、この
移動シリンダ２０に移動台２２が連結している。この移
動台２２は案内レール（図示せず）に案内され移動自在
であり、移動台２２上に支持筒２４が起立している。

支持筒２４内に偏心部材３０が回転自在に設けられ、こ
の偏心部材３０に該偏心部材３０の中心に対し偏心して
孔３０ａが上下に開放して設けられている。この孔３０
ａには回転自在にロッド２６が嵌合している。また、第
２図の支持体２４の横断面図に示すように、ロッド２６
の軸線は偏心部材３０の軸線とＵだけずれている。なお
、支持筒２４と偏心部材３０、偏心部材３０とロッド２
６の各接触面間には潤滑剤が介在し、摺動可能である。

前記ロッド２６の上端は、ロッド２６を昇降するための
昇降用シリンダ２８に連結している。すなわち、ロッド
２６はベアリング２９を介して昇降用シリンダ２８に連
結し、ロッド２６は昇降用シリンダ２８とは別個に回転
自在である。

前記偏心部材３０と一体に軸線が一致するように歯車３
２が連結している。この歯車３２はモータ３４の駆動軸
の先端に設けられた歯車３６と咬み合っている。

前記ロッド２６の下端は支持板１８の開口１８ａを貫通
し、この下端にはヒータブロック３８が設けられ、さら
にヒータブロック３８の下面に抑圧板４０が設けられて
いる。この押圧板４０の下面に開口する吸引孔４２が多
数設けられている。

この吸引孔４２はブロックヒータ３８およびロッド２６
内の連通路３９（一部のみ図示）を介して負圧源（図示
せず）に接続されている。

上記閘成中、ロッド２６を偏心回転させる構成として、
移動台２２上の支持筒２４、偏心部材３０、モータ３４
および歯車３６．３２により偏心機端を構成している。

続いて、ワークの接着プレートへの接着方法を接着装置
の動作とともに説明する。

ｆａｔ　　ワーク１０の接着面に接着剤を塗布し、この
ワーク１０をヒータプレート１４に置かれた接着プレー
ト１６上の所定位置に載せる。

なお、あらかじめヒータプレー・ト１４は加熱されてい
る。

（ｂｌ　　続いて押圧板４０をワーク１０の直上に位置
させ、昇降用シリンダ２８によりロッド２６を降下して
ワーク１０を接着プレート１６に押圧する。すると、ワ
ーク１０は接着面に押し付けられ、接着剤は薄く延ばさ
れる（第４図参照）。

これと同時に、押圧板４０の小孔４２から吸引され、ワ
ーク１０が押圧板４０の下面に吸着支持される。このた
め、ロッド２６とワーク１０とが一体に動くことができ
る。また、ワーク゛１０の下面と接着プレート１６との
間には所定の接着剤介在空間ｍが形成されることとなり
、この接着剤介在空間ｍに接着剤層が形成された状態と
なる（第４図参照）。このようにすると接着剤介在空間
ｍをあらかじめ決められた一定の間隔にすることができ
る。

一方、あらかじめヒータブロック３８は加熱されている
。

なお、ロッド２６を所定位置に保持せずに、ワーク１０
にロッド２６の自重が加わえるようにしてもよく、この
場合にはロッド２６の偏心回転により接着剤介在空間ｍ
が徐々に狭められ所定の間隔となる。

［Ｃ）　　第３図はワーク１０の移動範囲を示している
が、この第３図で一点鎖線で示す円はワーク１０を始め
に載置した位置を示す、この円を基準円Ｂとする。

そして、移動シリンダ２０を駆動して、移動台２２をＱ
だけ移動させる。すると、ワーク１０がαだけ移動する
こととなる。このワーク１０の移動位置が実線であられ
されている。

（ｄｌ　　次に、モータ３４を駆動し、歯車３６および
歯車３２を介して偏心部材３０に回転力を伝達し、偏心
部材３０を回転させる。これに伴って、ワーク１０はロ
ッド２６と共に偏心回転する。

すなわち、偏心部材３０に対しロッド２６は偏心してい
るとともに、偏心部材３０とロッド２６との接触面は摺
動可能であるため（第２図参照）、ワーク１０は自転す
ることなくワーク１０の中心が円を描くように動く。こ
の動きは、あたかもワーク１０が円を描くように平行移
動していると表現することもできる。

そして、ワーク１０の移動範囲は、第３図に示すように
、二点鎖線の囚人であられされる。

ｔｅｌ　　偏心部材３０を所定回数回転させる。すると
、第３図の二点鎖線で示すワークの移動範囲内（円Ａ：
偏心部材３０を中心とし、ワーク１０の半径とＱとを加
えた長さを半径とする円）において、ヒータプレート１
４およびヒータブロック３８に接着剤が加熱されつつ、
敷き延ばされる。そして、ワーク１０の偏心回転により
、ワークに接着剤を塗布する際に混入した接着剤層中の
気泡やゴミは外方向に排除される。

なお、ワーク１０の偏心回転範囲を示す二点鎖線で囲ま
れる円への範囲から基準円Ｂ（−点鎖線で示す範囲）を
除いたリング状エリアｎは、接着剤の比較的薄い範囲で
ある。

（ｆｌ　　偏心部材３０を所定回数回転した後、モータ
３４の駆動を停止し、第３図の実線で示す位置にワーク
１０を停止させる。

（蜀　上記ｔｆ＋の状態で、移動シリンダ２０を駆動さ
せ、ワーク１０を基準円Ｂの位置に戻す（−点鎖線で示
す位置に戻す）、すると、二点鎖線で示すワーク１０の
偏心回転範囲の中でもリング状エリアｎを除いた接着剤
の比較的均一の範囲（第３図の一点鎖線で示す基準円Ｂ
の位置）にワーク１０を戻すこととなる。

なお、上記実施例で説明した（ａｌ〜（匂の動作のなか
で、（樽の動作は必ずしも必要でなく、この（川の動作
がなくても、従来に比べ充分に接着剤を均一にすること
ができる。すなわち、上記実施例の接着装置において、
移動シリンダ２０はなくても良い。また、プレート１６
上にワーク１０を載置して押圧した後、ワーク１０を移
動したが、移動せずにその場で偏心回転させるようにし
ても良い。

さらに、上記実施例では、ワーク１０を自転することな
く運動させたが、本発明の概念中にはワーク１０が自転
運動する場合も含むものとする。

また、抑圧板４０の小孔４２を必ずしも設けなくて良い
。この場合には、ロッド２６とワーク１０とが滑って一
体に運動しない可能性があるので、抑圧板４０の下面に
摩擦力の大きなシートを貼着するようにすればその心配
もない、該シートは耐熱性に優れているものとする。

以上本発明の好適な実施例を挙げて種々説明してきたが
、この発明は上記実施例に限定することなく、発明の精
神を逸脱しない範囲ないで多くの改変を施し得ることは
もちろｐである。

（発明の効果） 以上本発明について述べたように１本発明に係る薄板状
のワークの接着装置は、次に示すような顕著な効果を奏
する。

■ワークをプレートに接着する際に、ワークをロッドで
押圧し偏心回転させることにより、ワークに接着剤を塗
布する際などに混入した接着剤層中の気泡やゴミを容易
に除去することが可能となる。

■また、ワークの偏心回転により、接着剤層の厚さを均
一にすることができ、接着するプレートに対し水平にワ
ークを接着させる。ことが可能となる。このため、高請
度なポリシング仕上げなどが実現できる。

■ワークをロッド押圧面にワークを吸引保持することに
より、ロッドとワークが一体に偏心回転することができ
、均一な接着剤層とすることができる６ また、ロッドが降下しないように保持することにより、
プレート面とワーク接着面との間に所定厚さの接着剤介
在空間が確保されることとなり、−層均一な接着剤層と
することができ、接着するプレートに対しワークを水平
に接着することができる。

■ワークを偏心回転させた後に、ワークの偏心回転範囲
の中央に移動させることにより、−層均一な接着剤層と
なり、接着するプレートに対しワークを水平に接着する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は接着装置の概略的側面図、第２図は部分横断面
図、第３図はワークの動きを説明するためのワークの移
動範囲を示す概略的説明図、第４図は接着プレートにワ
ークを載置した状態を示す説明図である。 １０・・・ワーク、１２・・・ベース、１４・・・ヒー
タプレート、 １６・・・接着プレート。 １８・・・固定板、 ２０・・・移動シリンダ、２６・・・ロッド、２８・・
・昇降用シリンダ、 ３０・・・偏心部材。 ３２．３６・・・歯車、 ３４　・ ３８　・ ４０　・ ・・モータ。 ・ヒータブロック、 ・・抑圧板。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、シリコンウェハ等の薄板状のワークを接着剤を介し
   てプレート上に接着すべく、ワークをプレートに押圧す
   るためのロッドと、該ロッドを偏心回転させるための偏
   心機構とを具備する薄板状ワークの接着装置。 ２、筒状の偏心部材の内側の孔を偏心部材の中心に対し
   偏心して設け、 該偏心部材の孔に、下端でシリコンウェハ 等の薄板状のワークを接着剤を介してプレートに押圧す
   るロッドを嵌合し、 前記偏心部材を該偏心部材の軸線を中心と して回転させる回転機構を設けたことを特徴とする薄板
   状ワークの接着装置。 ３、プレート面とワーク接着面との間に所定の厚さの接
   着剤介在空間を確保すべく、ロッド押圧面にワークを吸
   引保持するための吸引孔を設けたことを特徴とする請求
   項１または２記載の薄板状ワークの接着装置。 ４、ロッドを用いプレートに接着剤を介してワークを押
   圧し、ロッドを偏心回転させた後に、ワークの移動範囲
   内の中心にワークを移動すべく、ロッドを移動させる移
   動機構を設けたことを特徴とする請求項１、２または３
   記載の薄板状ワークの接着装置。