JPH02300752A - ポジ型フォトレジスト組成物 - Google Patents
ポジ型フォトレジスト組成物Info
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体集積回路、磁気バブルメモリー素子、
プリント配線用銅張板等の製造を行うときの写真食刻法
のエツチング保護膜に適するレジスト組成物に関するも
のである。
プリント配線用銅張板等の製造を行うときの写真食刻法
のエツチング保護膜に適するレジスト組成物に関するも
のである。
半導体集積回路、磁気バブルメモリー素子、プリント配
線用銅張板の製造には、従来光を用いた写真食刻法(リ
トグラフィー)が用いられてきた。
線用銅張板の製造には、従来光を用いた写真食刻法(リ
トグラフィー)が用いられてきた。
さらに近年微細なパターンを得るため、電子線、イオン
ビーム、X線、が使われはじめ、また光も可視光から紫
外線、深紫外線と短波長のものが使われるようになって
きた。
ビーム、X線、が使われはじめ、また光も可視光から紫
外線、深紫外線と短波長のものが使われるようになって
きた。
リトグラフィーのエツチング保護膜として用いられるレ
ジストは、ネガ型とポジ型があるが、ポジ型フォトレジ
ストはネガ型に比して解像力が優れている。ポジ型のフ
ォトレジストは、光やエネルギー線、粒子線を照射する
ことにより、アルカリ性水溶液に不溶の状態から、可溶
の状態へと変化する感光剤と、フェノールまたはアルキ
ルフェノールとホルムアルデヒドから製造されるノボラ
ック樹脂を組合わせで用いられる。
ジストは、ネガ型とポジ型があるが、ポジ型フォトレジ
ストはネガ型に比して解像力が優れている。ポジ型のフ
ォトレジストは、光やエネルギー線、粒子線を照射する
ことにより、アルカリ性水溶液に不溶の状態から、可溶
の状態へと変化する感光剤と、フェノールまたはアルキ
ルフェノールとホルムアルデヒドから製造されるノボラ
ック樹脂を組合わせで用いられる。
近年リトグラフィーにより形成するパターンの微細化が
すすみレジストも高性能化が要求されてきた。このため
レジストの解像度をあげるため、ノボラック樹脂の原料
である、主にクレゾールの異性体比を変えたり、クレゾ
ール以外のアルキルフェノールを共縮合重合したりして
特性の改良がなされてきた(特開昭59−162542
.特開昭61−275748号公報等)。
すすみレジストも高性能化が要求されてきた。このため
レジストの解像度をあげるため、ノボラック樹脂の原料
である、主にクレゾールの異性体比を変えたり、クレゾ
ール以外のアルキルフェノールを共縮合重合したりして
特性の改良がなされてきた(特開昭59−162542
.特開昭61−275748号公報等)。
〔発明が解決しようとする課題]
とくに集積回路については高集積化に伴い形成するパタ
ーンの微細化がすすみ、1μm以下のパターンを正確に
描く必要がでてきたが、このような要求に対しては、従
来のようにノボラック樹脂原料のアルキルフェノールの
種類、異性体比を変えるだけでは、不充分であり、従来
よりも露光量の変化に対する現像速度の変化が大きい、
いわゆるγ値が大きくパターンのきれのよい樹脂が求め
られている。
ーンの微細化がすすみ、1μm以下のパターンを正確に
描く必要がでてきたが、このような要求に対しては、従
来のようにノボラック樹脂原料のアルキルフェノールの
種類、異性体比を変えるだけでは、不充分であり、従来
よりも露光量の変化に対する現像速度の変化が大きい、
いわゆるγ値が大きくパターンのきれのよい樹脂が求め
られている。
本発明は、前記課題を解決した次記:
A)下記一般式(I)で表わされる2価フェノール化合
物と下記一般式(n)で表わされるヒドロキシ芳香族ア
ルデヒドとを縮合して得られる多価フェノール化合物と
、 1’1Ll (式中、R1は炭素数1〜9のアルキル基またはハロゲ
ン原子を示し、pは0.1または2である。)(式中、
R2は、−0CH3基、炭素数1〜9のアルキル基、ハ
ロゲン原子、又はニトロ基を表わし、qはO又は1であ
る。) B)感光剤 とを含有してなるポジ型フォトレジスト組成物を提供す
るものである。
物と下記一般式(n)で表わされるヒドロキシ芳香族ア
ルデヒドとを縮合して得られる多価フェノール化合物と
、 1’1Ll (式中、R1は炭素数1〜9のアルキル基またはハロゲ
ン原子を示し、pは0.1または2である。)(式中、
R2は、−0CH3基、炭素数1〜9のアルキル基、ハ
ロゲン原子、又はニトロ基を表わし、qはO又は1であ
る。) B)感光剤 とを含有してなるポジ型フォトレジスト組成物を提供す
るものである。
本発明の多価フェノール化合物は、前記一般式(I)で
あられされる2価フェノール類と、前記一般式(II)
であられされるヒドロキシ芳香族アルデヒドとを酸性触
媒の存在下、該アルデヒド1モルに対し、2価フェノー
ルを0.8〜50モル、好ましくは1〜30モルの割合
で、50〜180°C1好ましくは80〜150°Cの
温度で1〜8時間反応させることにより得られる。
あられされる2価フェノール類と、前記一般式(II)
であられされるヒドロキシ芳香族アルデヒドとを酸性触
媒の存在下、該アルデヒド1モルに対し、2価フェノー
ルを0.8〜50モル、好ましくは1〜30モルの割合
で、50〜180°C1好ましくは80〜150°Cの
温度で1〜8時間反応させることにより得られる。
反応終了後触媒を情夫するか、水洗するか、アルカリで
中和した後、脱水、脱2価フェノール類を行うか、さら
に水不溶の溶剤を加えて水洗、脱溶剤を行う事によりA
成分の多価フェノールを得る。この際脱水、脱2価フェ
ノール類、脱溶剤等の蒸溜によるプロセスは、230°
C以下で行う事が望ましい。
中和した後、脱水、脱2価フェノール類を行うか、さら
に水不溶の溶剤を加えて水洗、脱溶剤を行う事によりA
成分の多価フェノールを得る。この際脱水、脱2価フェ
ノール類、脱溶剤等の蒸溜によるプロセスは、230°
C以下で行う事が望ましい。
使用する2価フェノール類としては、カテコール、レゾ
ルシン、ハイドロキノン、及び炭素数1〜9のアルキル
置換基を有する2価フェノール、例えば2−メチルレゾ
ルシノール、5−メチルレゾルシノール、4−ヘキシル
レゾルシノール、1.3−ジヒドロキシ−2,4−ジメ
チルベンゼン、■、3−ジヒドロキシー2,5−ジメチ
ルベンゼン、及びハロゲン置換2価フェノール、例えば
1,3−ジヒドロキシ−4−ブロモベンゼンなどがあげ
られる。
ルシン、ハイドロキノン、及び炭素数1〜9のアルキル
置換基を有する2価フェノール、例えば2−メチルレゾ
ルシノール、5−メチルレゾルシノール、4−ヘキシル
レゾルシノール、1.3−ジヒドロキシ−2,4−ジメ
チルベンゼン、■、3−ジヒドロキシー2,5−ジメチ
ルベンゼン、及びハロゲン置換2価フェノール、例えば
1,3−ジヒドロキシ−4−ブロモベンゼンなどがあげ
られる。
またヒドロキシ芳香族アルデヒドとしては、例えば、サ
リチルアルデヒド、4−ヒドロキシベンズアルデヒド、
バニリン、3−ヒドロキシベンズアルデヒド、2−ヒド
ロキシ−3−ニトロベンズアルデヒド、4−クロロ−2
−ヒドロキシベンズアルデヒド、4−ブロモ−3−ヒド
ロキシヘンズアルデヒド、3−ブロモ−4−ヒドロキシ
ヘンズアルデヒドなどがあげられる。
リチルアルデヒド、4−ヒドロキシベンズアルデヒド、
バニリン、3−ヒドロキシベンズアルデヒド、2−ヒド
ロキシ−3−ニトロベンズアルデヒド、4−クロロ−2
−ヒドロキシベンズアルデヒド、4−ブロモ−3−ヒド
ロキシヘンズアルデヒド、3−ブロモ−4−ヒドロキシ
ヘンズアルデヒドなどがあげられる。
上記2価フェノール類、もしくはヒドロキシ芳香族アル
デヒド類は単独、または2種以上併用して用いられる。
デヒド類は単独、または2種以上併用して用いられる。
また2価フェノール類に、1価フェノール類、1価のア
ルキルフェノール、1価のハロゲン価フェノール類を併
用してもよいが、このとき2価フェノールがフェノール
類全体のモル数を1.0として少くとも0.2以上ある
ことが望ましい。
ルキルフェノール、1価のハロゲン価フェノール類を併
用してもよいが、このとき2価フェノールがフェノール
類全体のモル数を1.0として少くとも0.2以上ある
ことが望ましい。
反応に使用する酸触媒は、硫酸、塩酸、硝酸、臭化水素
、過塩素酸などの鉱酸、もしくは、パラトルエンスルホ
ン酸、ベンゼンスルホン酸等のスルホン酸類、シュウ酸
、コハク酸、マロン酸、モノクロル酢酸、ジクロル酢酸
などのカルボン酸類が利用できる。
、過塩素酸などの鉱酸、もしくは、パラトルエンスルホ
ン酸、ベンゼンスルホン酸等のスルホン酸類、シュウ酸
、コハク酸、マロン酸、モノクロル酢酸、ジクロル酢酸
などのカルボン酸類が利用できる。
触媒の使用量は、反応条件により異るが、通常は2価フ
ェノール類100重量部に対し0.01〜20重量部、
好ましくは0.1〜10重量部用いられる。
ェノール類100重量部に対し0.01〜20重量部、
好ましくは0.1〜10重量部用いられる。
この縮合反応は特に溶媒は必要としないがベンゼン、ト
ルエン、キシレン、ブチルエーテル、グライム、テトラ
ヒドロフランアルコールのような溶媒を用いてもよい。
ルエン、キシレン、ブチルエーテル、グライム、テトラ
ヒドロフランアルコールのような溶媒を用いてもよい。
多価フェノールの分子量は、CPCクロマトグラムで求
めた数平均分子量で300〜5000程度のものを用い
るが、これに限定するものではない。
めた数平均分子量で300〜5000程度のものを用い
るが、これに限定するものではない。
上記多価フェノール化合物に添加されるB成分の感光剤
は、電子線、イオンビーム、X線、深紫外線、紫外線、
可視光線を照射することにより、レジスト組成物がアル
カリ性水溶液に不溶である状態へ変化する物質を全て含
む。例えばキノンジアジド化合物、アルキルスルホン化
合物などがあげられるが、光学露光にはキノンジアジド
化合物が望ましい。電子線、イオンビーム、X線、深紫
外線でもキノンジアジド化合物が使える。
は、電子線、イオンビーム、X線、深紫外線、紫外線、
可視光線を照射することにより、レジスト組成物がアル
カリ性水溶液に不溶である状態へ変化する物質を全て含
む。例えばキノンジアジド化合物、アルキルスルホン化
合物などがあげられるが、光学露光にはキノンジアジド
化合物が望ましい。電子線、イオンビーム、X線、深紫
外線でもキノンジアジド化合物が使える。
キノンジアジド化合物としては、ナフトキノンジアジド
基やベンゾキノンジアジド基を含む低分子および高分子
化合物、例えばナフトキノンジアジドスルホン酸クロリ
ドやベンゾキノンジアジドスルホン酸クロリドと水酸基
を有する低分子化合物や高分子化合物の縮合生成物があ
げられる。ここで、水酸基を有する低分子化合物の例と
してはヒドロキノン、レゾルシン、フロログルシン、2
.4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2,3.4− ト
リヒドロキシベンゾフェノン等があげられ、高分子化合
物の例としてはフェノール系樹脂、ポリヒドロキシスチ
レン等があげられる。
基やベンゾキノンジアジド基を含む低分子および高分子
化合物、例えばナフトキノンジアジドスルホン酸クロリ
ドやベンゾキノンジアジドスルホン酸クロリドと水酸基
を有する低分子化合物や高分子化合物の縮合生成物があ
げられる。ここで、水酸基を有する低分子化合物の例と
してはヒドロキノン、レゾルシン、フロログルシン、2
.4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2,3.4− ト
リヒドロキシベンゾフェノン等があげられ、高分子化合
物の例としてはフェノール系樹脂、ポリヒドロキシスチ
レン等があげられる。
本発明の多価フェノール化合物にナフトキノンジアジド
スルホン酸クロリドや、ベンゾキノンジアジドスルホン
酸クロリドを縮合したものを基材として用いてもよい。
スルホン酸クロリドや、ベンゾキノンジアジドスルホン
酸クロリドを縮合したものを基材として用いてもよい。
感光剤の添加量は、本発明の樹脂100グラムに対して
5ないし100グラムの範囲であることが望ましく、1
5ないし50グラムの範囲であることがさらに望ましい
。感光剤以外に、付加的な添加物として、少量の付加的
な樹脂(例えば有機膜との接着を向上させるためのもの
)、可塑剤、顔料、染料(光吸収剤)などが添加されて
いてもよい。
5ないし100グラムの範囲であることが望ましく、1
5ないし50グラムの範囲であることがさらに望ましい
。感光剤以外に、付加的な添加物として、少量の付加的
な樹脂(例えば有機膜との接着を向上させるためのもの
)、可塑剤、顔料、染料(光吸収剤)などが添加されて
いてもよい。
レジスト液の調製は、キノンジアジド化合物とノボラッ
ク樹脂を溶剤に混合溶解することによって行う。ここで
用いる溶剤は、適当な乾燥速度で溶剤が蒸発した後、均
一で平滑な塗膜を与えるものがよい。そのようなものと
しては、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソル
ブアセテート、エチルセロソルブ、メチルセロソルブ、
酢酸ブチル、メチルイソブチルケトン、キシレン等があ
げられる。
ク樹脂を溶剤に混合溶解することによって行う。ここで
用いる溶剤は、適当な乾燥速度で溶剤が蒸発した後、均
一で平滑な塗膜を与えるものがよい。そのようなものと
しては、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソル
ブアセテート、エチルセロソルブ、メチルセロソルブ、
酢酸ブチル、メチルイソブチルケトン、キシレン等があ
げられる。
塗布後、適当な条件で加熱乾燥した後本発明のレジスト
組成物を、電子線・イオンビーム・X線・深紫外線・紫
外線・可視光線等で露光し、現像することにより、所定
のレジストパターンを描くことができるが、本発明のレ
ジスト組成物の現像に適する現像液としては、水酸化ナ
トリウム、水酸化カリウム等の無機アルカリ水溶液、水
酸化テトラメチルアンモニウム、コリン等の有機アルカ
リを含む水溶液など、アルカリ性を示す水溶液をすべて
含む。アルカリ性物質の他に、界面活性剤等の付加的な
添加剤が加えられていてもよい。
組成物を、電子線・イオンビーム・X線・深紫外線・紫
外線・可視光線等で露光し、現像することにより、所定
のレジストパターンを描くことができるが、本発明のレ
ジスト組成物の現像に適する現像液としては、水酸化ナ
トリウム、水酸化カリウム等の無機アルカリ水溶液、水
酸化テトラメチルアンモニウム、コリン等の有機アルカ
リを含む水溶液など、アルカリ性を示す水溶液をすべて
含む。アルカリ性物質の他に、界面活性剤等の付加的な
添加剤が加えられていてもよい。
以下に実験例を示して、本発明をより具体的ζこ説明す
る。尚、例中、特に規定ない限り、割合は重量割合を示
す。
る。尚、例中、特に規定ない限り、割合は重量割合を示
す。
合成例1
還流冷却器、攪拌器、温度計および滴下濾戸を備えた反
応器内にレゾルシン1320g(I,2モル)とサリチ
ルアルデヒド976g(8モル)を加え内容物を攪拌し
ながら80°Cに加温する。滴下濾戸から濃塩酸26g
をゆっくりと滴下し、激しい発熱の無いようにコントロ
ールしながら100°Cまで昇温し、100 ’Cにて
3時間反応させた。
応器内にレゾルシン1320g(I,2モル)とサリチ
ルアルデヒド976g(8モル)を加え内容物を攪拌し
ながら80°Cに加温する。滴下濾戸から濃塩酸26g
をゆっくりと滴下し、激しい発熱の無いようにコントロ
ールしながら100°Cまで昇温し、100 ’Cにて
3時間反応させた。
次に前記反応器の還流冷却器を冷却分離器にかえて系内
を150°Cまで上昇し、さらに5mm11gの減圧下
で190°Cまで加熱して塩酸、水、未反応物を情夫し
、生成物1985gを得た。この樹脂の顕微鏡法による
軟化点は140°Cであった。
を150°Cまで上昇し、さらに5mm11gの減圧下
で190°Cまで加熱して塩酸、水、未反応物を情夫し
、生成物1985gを得た。この樹脂の顕微鏡法による
軟化点は140°Cであった。
合成例2
サリチルアルデヒドの代りにp−ヒドロキシベンズアル
デヒド976g(3モル)を用いる他は合成例1と同様
にして生成物199Qgを得た。
デヒド976g(3モル)を用いる他は合成例1と同様
にして生成物199Qgを得た。
この樹脂の顕微鏡法による軟化点は147°Cであった
。
。
合成例3
サリチルアルデヒドの代りにバニリン1216g(8モ
ル)を用いる他は合成例1と同様にして生成物2250
gを得た。この樹脂の顕微鏡法による軟化点は144°
Cであった。
ル)を用いる他は合成例1と同様にして生成物2250
gを得た。この樹脂の顕微鏡法による軟化点は144°
Cであった。
合成例4
レゾルシンの代りに5−メチルレゾルシノール1.48
8g(I2モル)を用いる他は合成例1と同様にして生
成物21.35 gを得た。この樹脂の顕微鏡法による
軟化点は146°Cであった。
8g(I2モル)を用いる他は合成例1と同様にして生
成物21.35 gを得た。この樹脂の顕微鏡法による
軟化点は146°Cであった。
合成例5
レゾルシン12モルの代りにレゾルシン660g(6モ
ル)とp−クレゾール648g(6モル)を用いる他は
合成例1と同様にして生成物1960 gを得た。この
樹脂の顕微鏡法による軟化点は147°Cであった。
ル)とp−クレゾール648g(6モル)を用いる他は
合成例1と同様にして生成物1960 gを得た。この
樹脂の顕微鏡法による軟化点は147°Cであった。
合成例6
レゾルシン12モルの代りにレゾルシン660g(6モ
ル) 、3.5−キシレノール732g(6モル)を用
いる他は合成例2と同様にして生成物2055gを得た
。この樹脂の顕微鏡法による軟化点は146°Cであっ
た。
ル) 、3.5−キシレノール732g(6モル)を用
いる他は合成例2と同様にして生成物2055gを得た
。この樹脂の顕微鏡法による軟化点は146°Cであっ
た。
実施例1〜6
合成例各1〜6で製造した多価フェノール化合物10g
に対し、ナフトキノン−(R2)−ジアジド−(2)−
5−スルホン酸クロリドと2.3.4−トリヒドロギシ
ベンゾフェノンの縮合反応物a、 5gを酢酸エチレン
グリコールモノエチルエーテルに溶解して、フォトレジ
スト溶液を調整した。樹脂濃度は下記塗布条件で1.2
μmとなるように調整した。
に対し、ナフトキノン−(R2)−ジアジド−(2)−
5−スルホン酸クロリドと2.3.4−トリヒドロギシ
ベンゾフェノンの縮合反応物a、 5gを酢酸エチレン
グリコールモノエチルエーテルに溶解して、フォトレジ
スト溶液を調整した。樹脂濃度は下記塗布条件で1.2
μmとなるように調整した。
レジスト溶液は0.2μmのフィルターで濾過し異物を
除いた後、シリコン基板上に、回転塗布器を用い400
Or、p、m、にてスビンニー+−した。このウェハ
ーを80℃のクリーンオーブンに入れ、30分間乾燥し
た。
除いた後、シリコン基板上に、回転塗布器を用い400
Or、p、m、にてスビンニー+−した。このウェハ
ーを80℃のクリーンオーブンに入れ、30分間乾燥し
た。
その後350Wの超高圧水銀灯を光源として、パターン
を描いたマスクを通して5秒間露光した。
を描いたマスクを通して5秒間露光した。
ついで現像液シラプレ−AZ(シラプレー社製)を用い
21゛Cにて60秒間現像した。現像後、各ステップの
現像速度と露光量をプロットし、γ値を求めた。結果を
表に示す。
21゛Cにて60秒間現像した。現像後、各ステップの
現像速度と露光量をプロットし、γ値を求めた。結果を
表に示す。
尚、γ値は次により定義される。
r = (ffiogRz −j2ogR+) / (
I!、ogEz−AogE+)ただし、Eは露光量、R
は露光部の現像速度で露光部の露光量がE、からR2に
変化したとき、現像速度はR,からR2に変化するもの
とする。γ値が大きい程露光量の変化に対する現像速度
の変化が大きく、パターンのきれがよくなる。
I!、ogEz−AogE+)ただし、Eは露光量、R
は露光部の現像速度で露光部の露光量がE、からR2に
変化したとき、現像速度はR,からR2に変化するもの
とする。γ値が大きい程露光量の変化に対する現像速度
の変化が大きく、パターンのきれがよくなる。
比較例1
メタクレゾール272.5 gとバラクレゾール272
、5 gを還流冷却器、攪拌器、温度計、滴下濾斗を備
えた反応器に加え、37%ホルムアルデヒド水溶液23
9g、修酸二水和物7.3gを水60mffに溶解した
ものを加えた。100°Cにて5時間反応を行った後、
系内の温度を上昇し、窒素気流下で蒸溜を行い、徐々に
200°Cまで加温した。さらに5m+++I1gまで
減圧し、揮発成分を情夫し、生成物375gを得た。こ
の樹脂の顕微鏡法による軟化点は115°Cであった。
、5 gを還流冷却器、攪拌器、温度計、滴下濾斗を備
えた反応器に加え、37%ホルムアルデヒド水溶液23
9g、修酸二水和物7.3gを水60mffに溶解した
ものを加えた。100°Cにて5時間反応を行った後、
系内の温度を上昇し、窒素気流下で蒸溜を行い、徐々に
200°Cまで加温した。さらに5m+++I1gまで
減圧し、揮発成分を情夫し、生成物375gを得た。こ
の樹脂の顕微鏡法による軟化点は115°Cであった。
得られた樹脂を用いる他は実施例1〜6と同様にしてフ
ォトレジストを製造し、シリコン基板上に塗布、乾燥後
、露光現像を行った。結果を表に示す。
ォトレジストを製造し、シリコン基板上に塗布、乾燥後
、露光現像を行った。結果を表に示す。
表
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 A)下記一般式(I)で表わされる2価フェノール化合
物と下記一般式(II)で表わされるヒドロキシ芳香族ア
ルデヒドとを縮合して得られる多価フェノール化合物と
、 ▲数式、化学式、表等があります▼(I) (式中、R^1は炭素数1〜9のアルキル基またはハロ
ゲン原子を示し、pは0、1または2である。)▲数式
、化学式、表等があります▼(II) (式中、R^2は、−OCH_3基、炭素数1〜9のア
ルキル基、ハロゲン原子、又はニトロ基を表わし、qは
0又は1である。) B)感光剤 とを含有してなるポジ型フォトレジスト組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1121730A JPH02300752A (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | ポジ型フォトレジスト組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1121730A JPH02300752A (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | ポジ型フォトレジスト組成物 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02300752A true JPH02300752A (ja) | 1990-12-12 |
Family
ID=14818463
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1121730A Pending JPH02300752A (ja) | 1989-05-16 | 1989-05-16 | ポジ型フォトレジスト組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02300752A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03150567A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-26 | Mitsubishi Kasei Corp | ポジ型フォトレジスト塗布組成物 |
US5384228A (en) * | 1992-04-14 | 1995-01-24 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Alkali-developable positive-working photosensitive resin composition |
JP2007304592A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Dongjin Semichem Co Ltd | フォトレジスト組成物 |
JP2007304593A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Dongjin Semichem Co Ltd | フォトレジスト組成物 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62173458A (ja) * | 1986-01-27 | 1987-07-30 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | ポジ型感放射線性樹脂組成物 |
JPH02275955A (ja) * | 1988-07-07 | 1990-11-09 | Sumitomo Chem Co Ltd | ポジ型感放射線性レジスト組成物 |
-
1989
- 1989-05-16 JP JP1121730A patent/JPH02300752A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62173458A (ja) * | 1986-01-27 | 1987-07-30 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | ポジ型感放射線性樹脂組成物 |
JPH02275955A (ja) * | 1988-07-07 | 1990-11-09 | Sumitomo Chem Co Ltd | ポジ型感放射線性レジスト組成物 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH03150567A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-26 | Mitsubishi Kasei Corp | ポジ型フォトレジスト塗布組成物 |
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JP2007304592A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Dongjin Semichem Co Ltd | フォトレジスト組成物 |
JP2007304593A (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-22 | Dongjin Semichem Co Ltd | フォトレジスト組成物 |
TWI402621B (zh) * | 2006-05-08 | 2013-07-21 | Dongjin Semichem Co Ltd | 光阻劑組成物 |
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