JPH02300616A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
- Publication number
- JPH02300616A JPH02300616A JP12115989A JP12115989A JPH02300616A JP H02300616 A JPH02300616 A JP H02300616A JP 12115989 A JP12115989 A JP 12115989A JP 12115989 A JP12115989 A JP 12115989A JP H02300616 A JPH02300616 A JP H02300616A
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- Japan
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- light
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- Pending
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野 □
本発明は測定装置、とりわけ撮像手段の構造に関する。
従来の技術
プレス成形したパネルのような測定対象の形状を三角測
量の原理で測定する場合において、産業用ロボットのア
□−ムに計測ユニ・ソトを取り付け、産業用ロボットの
アームを駆動することにより計測ユニットを測定対象に
相対的に移動しながら、計測ユニットから測定対象の測
定面にレーザ光のような単一波長光で形成したスリブ１
〜光を照射。
量の原理で測定する場合において、産業用ロボットのア
□−ムに計測ユニ・ソトを取り付け、産業用ロボットの
アームを駆動することにより計測ユニットを測定対象に
相対的に移動しながら、計測ユニットから測定対象の測
定面にレーザ光のような単一波長光で形成したスリブ１
〜光を照射。
投影し、この投影像を計測ユニットの撮像手段で捕らえ
て測定対象の立体的な全体形状を計測する所謂光切断法
による測定装置が知られている（特開昭６２−２９９７
０８号公報参照）。
て測定対象の立体的な全体形状を計測する所謂光切断法
による測定装置が知られている（特開昭６２−２９９７
０８号公報参照）。
発明が解決しようとする課題
撮像手段においては、一般的には第４図に示すように、
凸レンズで構成した結像レンズ６とＣＣＤやＰＳＤのよ
うな光電変換素子で構成した結像面２０とを備えた所謂
撮像カメラになっており、周囲からの外乱光を除去する
目的から結像レンズ６の測定対象側手前に干渉フィルタ
３０を使用することがある。しかし干渉フィルタ３０は
入射角がフィルタ面の垂線゛から約ｉ°ずれると、透過
光量が５０％減衰するというように、非常に鋭い周波数
特性をもっている（第３図参照）。このため、測定対象
」−のスリット光■７による投影像からの入射角がずれ
ると、干渉フィルタ３０の透属光量が減衰し、結像面２
０での受光量不足を生じるので、測定対象に対する撮像
手段４の角度管理が面倒である。
凸レンズで構成した結像レンズ６とＣＣＤやＰＳＤのよ
うな光電変換素子で構成した結像面２０とを備えた所謂
撮像カメラになっており、周囲からの外乱光を除去する
目的から結像レンズ６の測定対象側手前に干渉フィルタ
３０を使用することがある。しかし干渉フィルタ３０は
入射角がフィルタ面の垂線゛から約ｉ°ずれると、透過
光量が５０％減衰するというように、非常に鋭い周波数
特性をもっている（第３図参照）。このため、測定対象
」−のスリット光■７による投影像からの入射角がずれ
ると、干渉フィルタ３０の透属光量が減衰し、結像面２
０での受光量不足を生じるので、測定対象に対する撮像
手段４の角度管理が面倒である。
課題を解決するための手段
単一波長光を利用する光切断法により測定対象の形状を
測定する測定装置において、撮像手段の結像レンズ群を
レトロフォーカスに構成する一方、撮像手段の結像面と
結像レンズ群との間に干渉フィルタを配置しである。
測定する測定装置において、撮像手段の結像レンズ群を
レトロフォーカスに構成する一方、撮像手段の結像面と
結像レンズ群との間に干渉フィルタを配置しである。
作用
測定対象」二のスリット光による投影像からの入射角が
ずれても、結像レンズ群のレトロフォーカシングにより
略平行光となり、干渉フィルタが結像レンズ群に入射し
た単一波長光の全部を透過する。
ずれても、結像レンズ群のレトロフォーカシングにより
略平行光となり、干渉フィルタが結像レンズ群に入射し
た単一波長光の全部を透過する。
実施例
第１〜３図に示すように、■は測定対象であって、例え
ば所要の形状にプレス成形されたパネルである。２は計
測ユニットであって、照射手段３と撮像手段４とを備え
ている。照射手段３は光源として単一波長光を発射する
図外のレーザ光源からの光をスリット光りに形成し、こ
のスリット光りを測定対象ｌの測定面に照射、投影する
構造になっている。撮像手段４は測定対象Ｉの測定面に
スリット光りにより描かれた投影像を撮像して電気量に
変換して出力する構造になっている。また計測ユニット
２は産業用ロボットのアーム５が駆動することにより、
測定対象ｌと一定の離間距離を保ちながらスリット光り
の長手方向と直交する方向に移動して、測定対象Ｉの全
体形状を測定するようになっている。
ば所要の形状にプレス成形されたパネルである。２は計
測ユニットであって、照射手段３と撮像手段４とを備え
ている。照射手段３は光源として単一波長光を発射する
図外のレーザ光源からの光をスリット光りに形成し、こ
のスリット光りを測定対象ｌの測定面に照射、投影する
構造になっている。撮像手段４は測定対象Ｉの測定面に
スリット光りにより描かれた投影像を撮像して電気量に
変換して出力する構造になっている。また計測ユニット
２は産業用ロボットのアーム５が駆動することにより、
測定対象ｌと一定の離間距離を保ちながらスリット光り
の長手方向と直交する方向に移動して、測定対象Ｉの全
体形状を測定するようになっている。
ここで撮像手段４は結像レンズ群１０と結像面２０と干
渉フィルタ３０とを備えている。
渉フィルタ３０とを備えている。
結像レンズ群１０はし）・ロフォーカスに構成されてい
る。具体的には結像面２０側に配置されたシリンドリカ
ル凹レンズＩＩと反語像面２０側に配置されたシリンド
リカル凸レンズ１２とで構成されている。結像レンズ群
ＩＯはそのレンズ軸り、が結像面２０に垂直となるよう
に配置されている。
る。具体的には結像面２０側に配置されたシリンドリカ
ル凹レンズＩＩと反語像面２０側に配置されたシリンド
リカル凸レンズ１２とで構成されている。結像レンズ群
ＩＯはそのレンズ軸り、が結像面２０に垂直となるよう
に配置されている。
結像面２０はＣＣＤやＰＳＤ等のような光電変換素子で
構成されている。
構成されている。
干渉フィルタ３０はレーザ光源から発射した単一波長光
に相当する所定の周波数の光のみを透過するものであっ
て、結像面２０の結像レンズ群ｌＯ側手前に配置しであ
る。具体的には結像面２０とシリンドリカル凹レンズ■
１との間で両方から遊離しかつ結像面２０に近い位置に
配置されている。
に相当する所定の周波数の光のみを透過するものであっ
て、結像面２０の結像レンズ群ｌＯ側手前に配置しであ
る。具体的には結像面２０とシリンドリカル凹レンズ■
１との間で両方から遊離しかつ結像面２０に近い位置に
配置されている。
・ 以上の実施例構造によれば、照射手段３から発射す
る単一波長光で形成したスリット光りの長手方向を産業
用ロボットのＹ軸方向と平行にセットし、スリット光り
が産業用ロボットのＸ軸方向と平行に移動するように、
産業用ロボットのアーム５を駆動しながら、スリット光
Ｉ２を測定対象ｌに照射、投影し、この投影像を撮像手
段４で捕らえて測定対象１の全体形状を測定する。
る単一波長光で形成したスリット光りの長手方向を産業
用ロボットのＹ軸方向と平行にセットし、スリット光り
が産業用ロボットのＸ軸方向と平行に移動するように、
産業用ロボットのアーム５を駆動しながら、スリット光
Ｉ２を測定対象ｌに照射、投影し、この投影像を撮像手
段４で捕らえて測定対象１の全体形状を測定する。
ここで第１図に実線で示すように、干渉フィルタ３０を
フィルタ面の垂線が結像レンズ群■０のレンズ軸Ｑ、と
同軸に設定した状態においては、測定対象１からの反射
光がシリンドリカル凸しンズ１２で収束作用を受けた後
ンリンドυカル凹レンズＩＩで発散作用を受けかつシリ
ンドリカル凸レンズ１１を透過した光は、レンズ軸ρ、
と略平行なる平行光となり、干渉フィルタ３０を通って
結像面２０に到達し、結像面２０に像Ｓが捕らえられる
。また結像レンズ群１０がシリンドリカル凸レンズＩ２
とシリンドリカル凹レンズ１１とでレトロフォーカスに
構成されているので、シリンドリカル凸レンズ１２に入
射してシリンドリカル凹レンズＩＩを透過した光がレン
ズ軸Ｑ１と略平行なる平行光になる。よってシリンドリ
カル凸レンズ１２に入射した光は干渉フィルタ３０のフ
ィルタ面に略垂直に入射する入射角Ｏ°の状態であるの
で、干渉フィルタ３０の周波数特性に適合する周波数を
有する単一反射光は全て干渉フィルタ３０を透過して、
結像面２０に到達するので、撮像手段４の測定対象ｌに
対する角度がずれても、干渉フィルタ３０での透過光量
が減衰することがなく、結像面２０での受光景を十分に
確保できる。
フィルタ面の垂線が結像レンズ群■０のレンズ軸Ｑ、と
同軸に設定した状態においては、測定対象１からの反射
光がシリンドリカル凸しンズ１２で収束作用を受けた後
ンリンドυカル凹レンズＩＩで発散作用を受けかつシリ
ンドリカル凸レンズ１１を透過した光は、レンズ軸ρ、
と略平行なる平行光となり、干渉フィルタ３０を通って
結像面２０に到達し、結像面２０に像Ｓが捕らえられる
。また結像レンズ群１０がシリンドリカル凸レンズＩ２
とシリンドリカル凹レンズ１１とでレトロフォーカスに
構成されているので、シリンドリカル凸レンズ１２に入
射してシリンドリカル凹レンズＩＩを透過した光がレン
ズ軸Ｑ１と略平行なる平行光になる。よってシリンドリ
カル凸レンズ１２に入射した光は干渉フィルタ３０のフ
ィルタ面に略垂直に入射する入射角Ｏ°の状態であるの
で、干渉フィルタ３０の周波数特性に適合する周波数を
有する単一反射光は全て干渉フィルタ３０を透過して、
結像面２０に到達するので、撮像手段４の測定対象ｌに
対する角度がずれても、干渉フィルタ３０での透過光量
が減衰することがなく、結像面２０での受光景を十分に
確保できる。
また結像レンズ群１０に入射しかつスリット光Ｌとは異
なる周波数光である外乱光は干渉フィルタ３０で遮られ
、結像面２０に到達することはない。
なる周波数光である外乱光は干渉フィルタ３０で遮られ
、結像面２０に到達することはない。
この結果、結像面２０には鮮明な像Ｓが捕らえられる。
なお本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
例えば第１図に仮想線で示すようにフィルタ面の垂線が
レンズ軸ａ、と角度θを持つように可動式に構成し、レ
トロフォーカスに構成した結像レンズ群ＩＯを経た平行
光が干渉フィルタ３０に入射角θ（１−記角度θと同じ
）を持って入射するようにすることもできる。つまり干
渉フィルタ３０は、第３図に示すように例えば入射角０
°でλ−６６８ｎｍの単一波長光を透過する干渉フィル
タを可動して」二記角度θを一２０°に設定すると、λ
−６５６ｎｍの単一波長光を透過するという周波数特性
を持つようになる。従って、レーザ光源から発射するレ
ーザ光の波長が干渉フィルタ３０に設定されている周波
数と僅かに違っている場合でも、干渉フィルタ３０を第
１図に仮想線で示すように可動することにより、透過率
が最高となるように調整することもできる。
例えば第１図に仮想線で示すようにフィルタ面の垂線が
レンズ軸ａ、と角度θを持つように可動式に構成し、レ
トロフォーカスに構成した結像レンズ群ＩＯを経た平行
光が干渉フィルタ３０に入射角θ（１−記角度θと同じ
）を持って入射するようにすることもできる。つまり干
渉フィルタ３０は、第３図に示すように例えば入射角０
°でλ−６６８ｎｍの単一波長光を透過する干渉フィル
タを可動して」二記角度θを一２０°に設定すると、λ
−６５６ｎｍの単一波長光を透過するという周波数特性
を持つようになる。従って、レーザ光源から発射するレ
ーザ光の波長が干渉フィルタ３０に設定されている周波
数と僅かに違っている場合でも、干渉フィルタ３０を第
１図に仮想線で示すように可動することにより、透過率
が最高となるように調整することもできる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、測定対象−」−のスリッ
ト光による投影像からの入射角がずれた場合でも、干渉
フィルタが結像レンズ群に入射した弔−波長光の全部を
透過して結像面に到達させることができるので、結像面
に鮮明な像を結像でき、もって測定対象に対する撮像手
段の角度管理が容易になる。
ト光による投影像からの入射角がずれた場合でも、干渉
フィルタが結像レンズ群に入射した弔−波長光の全部を
透過して結像面に到達させることができるので、結像面
に鮮明な像を結像でき、もって測定対象に対する撮像手
段の角度管理が容易になる。
第１図は本発明の一実施例の要部を示す概略構成図、第
２図は同実施例の全体を示す構成図、第３図は干渉フィ
ルタの入射角に対する減衰率を示す特性図、第４図は従
来の概略構成図である。 Ｉ・・・測定対象、３・・照射手段、４・・撮像手段、
１０・・結像レンズ群、３０・・・干渉フィルタ、Ｑ。 ・・・レンズ軸。 入＝ ６５６ｎｍ 入 身−ｊ 灼 ６８ｎｍ
２図は同実施例の全体を示す構成図、第３図は干渉フィ
ルタの入射角に対する減衰率を示す特性図、第４図は従
来の概略構成図である。 Ｉ・・・測定対象、３・・照射手段、４・・撮像手段、
１０・・結像レンズ群、３０・・・干渉フィルタ、Ｑ。 ・・・レンズ軸。 入＝ ６５６ｎｍ 入 身−ｊ 灼 ６８ｎｍ
Claims (1)
- （１）単一波長光を利用する光切断法により測定対象の
形状を測定する測定装置において、撮像手段の結像レン
ズ群をレトロフォーカスに構成する一方、撮像手段の結
像面と結像レンズ群との間に干渉フィルタを配置したこ
とを特徴とする測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12115989A JPH02300616A (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12115989A JPH02300616A (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02300616A true JPH02300616A (ja) | 1990-12-12 |
Family
ID=14804310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12115989A Pending JPH02300616A (ja) | 1989-05-15 | 1989-05-15 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02300616A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08244954A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-24 | Kajima Corp | ベルトコンベア上のズリ出し量計測装置 |
| JP2007012970A (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-18 | Mejiro Precision:Kk | レジストパターンの断面形状を制御することができる露光装置及び露光方法 |
| JP2009526993A (ja) * | 2006-02-15 | 2009-07-23 | リ−コール インコーポレーティッド | 分子撮像のための蛍光フィルタリングシステムおよび方法 |
| US9541750B2 (en) | 2014-06-23 | 2017-01-10 | Li-Cor, Inc. | Telecentric, wide-field fluorescence scanning systems and methods |
-
1989
- 1989-05-15 JP JP12115989A patent/JPH02300616A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08244954A (ja) * | 1995-03-08 | 1996-09-24 | Kajima Corp | ベルトコンベア上のズリ出し量計測装置 |
| JP2007012970A (ja) * | 2005-07-01 | 2007-01-18 | Mejiro Precision:Kk | レジストパターンの断面形状を制御することができる露光装置及び露光方法 |
| JP2009526993A (ja) * | 2006-02-15 | 2009-07-23 | リ−コール インコーポレーティッド | 分子撮像のための蛍光フィルタリングシステムおよび方法 |
| US9541750B2 (en) | 2014-06-23 | 2017-01-10 | Li-Cor, Inc. | Telecentric, wide-field fluorescence scanning systems and methods |
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