JPH02298900A

JPH02298900A - 隔壁の駆動装置

Info

Publication number: JPH02298900A
Application number: JP1120945A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Horiuchi; 敏行堀内; Kimikichi Deguchi; 出口　公吉
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1989-05-15
Filing date: 1989-05-15
Publication date: 1990-12-11
Anticipated expiration: 2013-05-25
Also published as: JP2756536B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、Ｘ線により大面積領域を均一に露光する装置
における隔壁の駆動装置に関するものである。

（従来の技術）従来、Ｘ線を用いて微細パタンを転写するための露光を
行ったり、あるいは試料へのＸ線照射を行うに際しては
、Ｘ線の大気中での減衰が著しいため、真空中やＨｅ中
で露光を行うか、露光対象のすぐそばまで真空で持って
きて、隔壁を置いてその直後に被露光対象物を置く方法
が用いられる。

また、前者の場合でも、高真空域と低真空域の隔壁や真
空とＨｅ雰囲気部分との境界等の隔壁として、露光に用
いる波長帯の光を透過する薄膜の隔壁を設けるのが一般
的である。

（発明が解決しようとする課題）これらの隔壁は圧力的に両側をシールする必要があり、
Ｂｅ等の低原子量金属膜やポリエステル。

マイラ、ポリプロピレン等の有機膜等が使われている。

長波光をカットするフィルタを兼ねてこれらの隔壁が用
いられることもあるが、厚い程、Ｘ線の隔壁透過率が低
下するため、一般的には両側の圧力差に耐え得る範囲で
できるだけ薄い隔壁を用いることが必要となる。

隔壁材料とする薄膜は均一な薄膜とすることが難しく、
厚さむらができる。また、付着物や混入した不純物があ
る部分は、膜のＸ線透過率が局所的に著しく変化する。

このため、これらの真空隔壁を通して露光を行うと、真
空隔壁の厚さむらや付着物、不純物によるＸｖＡ透過率
の局所変化が露光むらとして現れる。

とくに、微細なＸ線遮光体バタンを有するＸ線マスクを
、感光性レジストを塗布したウェハに近接間隙で重ねて
露光を行い、該微細バタンを転写するＸ線リソグラフィ
においては、かかるむらがあると、バタンの線幅が局部
的に変化したり、バタンに欠けがでたり、時にはレジス
トが局部的に残ったり、あるいはとれたりしてしまう。

このため、多くの隔壁をテストしてみるなどして、むら
の少ないものを選んで用いていた。

本発明は、上記の欠点を改善するために提案されたもの
で、隔壁を透過するＸ線強度のむらを低減し、均一なＸ
Ｍ照射を可能にすることを目的とする。

（課題を解決するための手段）上記の目的を達成するため、本発明は隔壁を取り付けた
枠に可撓体を取り付け、前記隔壁を取り付けた枠および
可撓体の外側を一つの密封容器内に収め、前記隔壁を取
り付けた枠および可撓体の外側と密封容器の内側とで囲
まれた密封空間を真空排気するか、隔壁のいずれかの側
の雰囲気と同等にせしめ、前記隔壁を取り付けた枠を前
記可撓体の変形範囲内で動かす手段を設けたことを特徴
とする隔壁の駆動装置を発明の要旨とするものである。

換言すれば、隔壁を透過するＸ線強度のむらを低減する
ため、本発明では隔壁を取り付けた枠の両側に可撓体を
取り付け、隔壁を動かすことを特徴とする。その際、可
撓体は繰り返し変形を受け、疲労破損する危惧がある。

そこで、該可撓体の外側全体を密封容器で覆い、その中
を真空排気するようになすか、隔壁のいずれかの側の雰
囲気と同等にせしめたことが本発明のもう一つの特徴で
ある。

（作用）隔壁を動かすことによって、隔壁に厚さむらがあったり
、不純物の混入や付着があっても、隔壁におけるＸ線透
過率の場合による相違が平均化されるため、均一なＸ線
照射が可能となる。また、隔壁を動かすことによって可
撓体が疲労破損し、管内に大気リークが生ずるのを未然
に防ぐことができる。

（実施例）次に本発明の実施例について説明する。なお、実施例は
一つの例示であって、本発明の精神を逸脱しない範囲で
、種々の変更あるいは改良を行いうることは言うまでも
ない。

第１図は本発明の隔壁駆動装置を示す。

隔壁１を接着、ろう付け、０リングシール、ガスケット
シール等によりＸ線が通る開口を有した枠２に取り付け
る０図は接着した場合の図を示した。隔壁１．枠２およ
びその間の上記取付部は、隔壁１の両側の圧力差に耐え
、かつ、ガス放出等によって隔壁ｌの両側の雰囲気劣化
を招かないものとする。

枠２の両側に可撓体としてベローズ３．４を取付け、前
後のＸ線通過経路５．６に接続する。枠２の両側および
ベローズ３．４の両側は超高真空シールフランジ７．８
，９．１０としてガスケット１１、１２．１３．１４で
シールする。場合によっては０リングシールでも良（、
枠２とベローズ３．４を溶接しても良い。

次に、隔壁］を取り付けた枠２および両側のベローズ３
，４の外側全体を密封容器１５で覆う。枠２とベローズ
３，４のの重量をローラ１６を介してカム１７に受ける
。カム軸１８を回転させると、ベローズ３．４が弾性変
形範囲内でたわむので、隔壁１を取り付けた枠２はカム
１７の形状に合わせて上下に動く、カム１７の回転を速
くした時などで、枠２とベローズ３，４がカム１７の動
きに追従しない時は、枠２をばねによってカム１７に押
し付けても良い。

カム１７は密封容器１５内にあるため、磁性流体フィー
ドスルー（図示してない）を介してカム軸１８を該密封
容１１５外に取り出し、大気中駆動のモータで駆動する
。この場合、磁気流体フィードスルーの代わりに０リン
グシールを用いてカム軸１８を大気中に取り出しても良
い。

また、ベローズ３，４の外側の密閉空間１９は、極端に
真空度が悪くなければ、ベローズの万一のリークに対応
し得る。したがって、カム軸１８の駆動機構は大気中に
出さずに、この密閉空間１９においても良い、なお２０
．２１は、密封容器１５をＸ線通過経路と接続するため
のＯリング、２２は密封容器１５内を真空排気するか、
隔壁のいずれかの側の雰囲気と同等にせしめるための配
管口である。

隔壁の駆動はカムに限らず色々な機構によって可能であ
る。

第２図は本発明の他の実施例を示す。

隔壁１を付けた枠２の両側にベローズ３，４を設け、全
体を密封容器１５に入れた構造は第１図と同じである。

また符号５，６．７．８，９．１０は第１図のものと同
じものを示す、枠２の駆動に際して枠２にナツト２３を
取り付け、ナツト２３にネジ軸２４をかみあわせ、磁性
流体フィード２５を介して密封容器１５の外でモータ２
Ｇの軸２７に連結する。２８゜２９は軸継手、３０．３
１は磁性流体フィードの軸、３２は磁性流体フィードス
ルーのフランジ、３３は軸受、３４は軸受押え、３５は
密封容器１５に取り付けたハウジング、３６はハウジン
グの蓋である。また３７．３８゜３９はＯリングである
。

モータ２６を正方向、負方向交互に回転させれば、ネジ
軸２４が回転して、ナツト２３が動きネジ軸２４の回転
方向が変わるごとに隔壁工は往復運動を繰り返す、ネジ
およびナツトとしてボールネジ、ポールナツトを用いれ
ば動きはスムーズになる。第２図の場合も、モータ２６
を密封容器１５の中に入れても差し支えない。

第３図は本発明の他の実施例を示す。

基本的な構成は第１図および第２図の場合と同じである
。

枠２を動かすため、枠２に強磁性体４０を取り付け、電
磁石４１を近接させておく、電流導入端子４２を通して
電磁石４１に交番電流を加え、吸引１反発を繰り返して
行わせる。これにより枠２に取り付けた隔壁ｌが周期的
に往復運動をする。４３は電流導入端子の取り付はフラ
ンジ、４４はコネクタ、４５はケーブルである。

以上は、駆動方法の代表例であり、隔壁の動かし方は、
この他クランクを使ったり、ラックピニオンの組合せを
使ったり、どんな方法でも良いことは明らかである。

第４図は本発明の他の実施例を示す。

隔壁４６を枠４７に貼り付け、片側にベローズ４８を付
ける。枠４７およびベローズ４８の外側を密封容器４９
で覆う、枠４７とベローズのフランジ５０、密封容器と
ベローズのフランジ５１の間はＯリング５２．５３でシ
ールする。勿論ガスケットでシールしても良い、隔離４
６を動かすため、密封容器４９と枠４７の間も可撓性の
部品、たとえばダイヤフラム５４で接続する。

隔壁４６を取り付けた枠４７はローラ５５を介してカム
５Ｇで上下方間に揺動させる。５７はローラ軸、５８は
カム軸、５９はこれらの隔壁駆動機構の基台である。カ
ム軸５８は磁性流体フィード６０を介して密封容器４９
の外に導き、モータ６１により駆動する。６２゜６３は
軸継手、６４．６５は磁性流体フィールドスルーの軸、
６６は磁性流体フィールドスルーのフランジ、６７はＯ
リングである。ベローズ端は、Ｘ線通過経路の管６８に
接続する。６９はＯリングである。

また、ベローズ４８の外側と密封容器４９およびダイヤ
フラム５４の内側で囲まれる空間は配管ロア０から真空
排気するか、ベローズ内と同等の雰囲気、例えば減圧Ｈ
ａ雰囲気等とする。

なお、モータ６１は、密封容器４９の中におさめる構造
をとっても良い、また、隔壁の揺動には、上記のように
カムを用いる機構のほか、第２図や第３図に示した機構
、その他、任意の機構が適用できることは、隔壁４６を
取り付けた枠の両側にベローズを取り付けた場合と同様
である。

ところで、第１図〜第４図では説明をわかりやすくする
ため、隔壁１．４．６を枠２．４．７に取り付け、枠２
，４．７とベローズのフランジ８゜９．５０を接続する
構造としたが、これらを一体とするか、ベローズのフラ
ンジ８，９．５０に隔壁を取り付けても良いことは言う
までもない、また、ダイヤフラム５４に直接隔壁４６を
取り付けても良いことも明らかである。

なお、第１図〜第４図では、可撓体に一方向のみの往復
直線運動を与えたが、２方向以上の合成運動を与えれば
、より良（むらを低減できることは言うまでもない、運
動が直線運動でなく、回転運動や、傾斜運動等であって
も良いことも明らかである。

上記に示したような色々な方法で、ベローズ等の可撓体
を変形させて枠を動かすと可撓体が疲労するため、長期
間使うと可撓体自身や可撓体とフランジとの接続部に亀
裂が入り、リークが起きてしまう、可撓体が外側を大気
に囲まれていると、リークが起きたときに可撓体内で真
空の急激な劣化や雰囲気の急変が起こり、好ましくない
事態を生じる。

本発明では可撓体の外側を真空排気するかもしくは、隔
壁内の雰囲気と同等にする０例えば、隔壁の両側が真空
度の異なる真空の場合や、隔壁の片側が減圧または大気
圧のＨｅｘまたは大気で、片側が真空の場合は、可撓体
外側の密閉空間を真空排気し、隔壁の両側が圧力の異な
るＨｅの場合は、可撓体外側の密閉空間を低圧側のＨｅ
雰囲気とするか真空排気する。このようにするとたとえ
、可撓体が破れてリークしても重大な事態を招かずに済
む、密封容器内の真空度および雰囲気をどうするかは隔
壁両側の条件に応じて任意に決めれば良い、隔壁の両側
および可撓体外側の密封容器内の真空度を監視していれ
ば、可撓体でのリークの有無と隔壁でのリークの有無を
判断できる。

（発明の効果）以上説明したように、本発明によれば、隔壁を取り付け
た枠に可撓体を取り付け、前記隔壁を取り付けた枠およ
び可撓体の外側を一つの密封容器内に収め、前記隔壁を
取り付けた枠および可撓体の外側と密封容器の内側とで
囲まれた密封空間を真空排気するか、隔壁のいずれかの
側の雰囲気と同等にせしめ、前記隔壁を取り付けた枠を
前記可撓体の変形範囲内で動かす手段を設けたことによ
り、隔壁をリークを懸念することなく安全に動かすこと
ができる。隔壁の厚さむらや不純物の混入。

付着による露光むらを低減することが可能であり、微細
パターンを精度良く均一に再現性良く作る必要があるＸ
線リソグラフィ用の露光に利用すればとくに有効である
。

また、レジスト感度測定のための露光、半導体素子やＸ
線マスクのＸ線照射損傷検討のためのＸ線照射等に対し
ても有効である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の隔壁の駆動装置の実施例、第２図、第
３図及び第４図は本発明の他の実施例を示す。１・・・・・・・・隔壁２・・・・・・・・枠３．４・・・・・・ベローズ５．６・・・・・・Ｘ線通過経路７．８．９．１０・・フランジ１１、１２．１３．１４・・ガスケット１５・・・・・
・・・密封容器１Ｇ・・・・・・・・ローラ１７・・・・・・・・カム１８・・・・・・・・カム軸１９・・・・・・・・密閉空間２０、２１・・・・・・０リング２２・・・・・・・・配管口２３・・・・・・・・ナツト２４・・・・・・・・ネジ軸２５・・・・・・・・磁性流体フィードスルー２６・・
・・・・・・モータ２７・・・・・・・・モータ軸２８、２９・・・・・・軸継手３０、３１・・・・・・磁性流体フィードスルー軸３２
・・・・・・・・磁性流体フィードスルーフランジ３３・・・・・・・・軸受け３４・・・・・・・・軸受は押え３５・・・・・・・・ハウジング３６・・・・・・・・ハウジングの蓋３７、３８．３９・・・・０リング４０・・・・・・・・強磁性体４１・・・・・・・・電磁石４２・・・・・・・・電流導入端子４３・・・・・・・・電流導入端子フランジ４４・・・
・・・・・コネクタ４５・・・・・・・・ケーブル４６・・・・・・・・隔壁４７・・・・・・・・枠４８・・・・・・・・ベローズ４９・・・・・・・・密封容器５０、５１・・・・・・ベローズフランジ５２、５３・
・・・・・０リング５４・・・・・・・・ダイヤフラム５５・・・・・・・・ローラ５６・・・・・・・・カム５７・・・・・・・・ローラ軸５８・・・・・・・・カム軸５９・・・・・・・・基台６０・・・・・・・・磁性流体フィードスルー６１・・
・・・・・・モータ６２、６３・・・・・・軸継手６４、６５・・・・・・磁性流体フィードスルー軸６６
・・・・・・・・磁性流体フィードスルーフランジ６７・・・・・・・・０リング６８・・・・・・・・Ｘ線通過経路の管６９・・・・・
・・・０リング７０・・・・・・・・配管口第１図１−隔壁第２図第３図第４図

Claims

【特許請求の範囲】

　隔壁を取り付けた枠に可撓体を取り付け、前記隔壁を
取り付けた枠および可撓体の外側を一つの密封容器内に
収め、前記隔壁を取り付けた枠および可撓体の外側と密
封容器の内側とで囲まれた密封空間を真空排気するか、
隔壁のいずれかの側の雰囲気と同等にせしめ、前記隔壁
を取り付けた枠を前記可撓体の変形範囲内で動かす手段
を設けたことを特徴とする隔壁の駆動装置。