JPH022967A - ブロービング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体集積回路チップ内部の観測装置に関し、
特に磁気誘導作用を利用した非接触形の１０−ビング装
置に関する。

〔ｂ′６来の技術〕 従来、この種の非接触形ブロービング装置としては、走
査式電子顕微鏡による電子ビームテスト方式及び光電子
を利用するレーザ照射方式のものがある。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の非接触形ブロービング装置において、電
子ビームテスト方式は電子顕微鏡、を、またレーザ照射
方式はレーザ装置を有するため、極めて複雑、大形、高
価となる欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のプロ−ビング装置は少なくとも１回巻の巻線を
有する微小コイルと、このコイルからの（ｒ５　弓を増
幅する増幅器と、前記コイル及び被測定半導体集積回路
チップのいずれかを移動する機構とをｆ＋ｉｉｉえ、披
測定半導体集績回路チップを非接触で１０−ビングする
構成である。

〔実施例〕

次に３、本発明について図面を参照して説明する。

本発明の一実施例を示す第１図及び第２図を参照すると
、１は微小コイルであり、底辺を被測定半導体集積回路
チップ５の配線に平行に近接させる、この微小コイル１
は増幅器３に接続される。

増幅器３の出力はオシロスコープ４に入力され、微小コ
イル１とナツプ５の配線との間の磁気誘導作用により、
微小コイル１に誘起した信号が観測される。取１寸板２
は微小コイル１を保持する透明板である。１皮測定のチ
ップ５はｘ、ｙ、ｚ方向に移動及び回転可能なステージ
１１に搭載される。

ｍ微鏡１２は位置合わせに利用される。本体１３は微小
コイル１の取付板２及びステージ１１を搭載及び支持す
る。なお、微小コイル１は微小なものとするため、半導
体集積回路のパターン形成技（イ：ｉを利用して収１寸
板２の上に平面的に形成される。

なお、は小コイル１をステージ１１に載置して移動させ
ても同様に実施できる。

〔発明の効宋〕

以上説明したように本発明によれば、微小コイルを信号
検出に利用することにより、小形、安価で操作の容易な
非接触形の１０−ビング装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１しｊ及び第２図は本発明の一実施例を示す図である
。 １・・・微小コイル、２・・・取付板、３・・・増幅器
、４・・・オシロスコープ、５・・・半導体集積回路チ
ップ、１１・・・ステージ、１２・・・顕ｔＥ！ｌ鏡、
１３・・・本体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 少なくとも１回巻の巻線を有する微小コイルと、このコ
   イルからの信号を増幅する増幅器と、前記コイル及び被
   測定半導体集積回路チップのいずれかを移動する機構と
   を備え、被測定半導体集積回路チップを非接触でプロー
   ビングすることを特徴とするプロービング装置。