JPH02295006A - 導体ペースト及びセラミックス基板 - Google Patents
導体ペースト及びセラミックス基板Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はセラミックス基板用の導体ペースト等に関する
。
。
[従来の技術]
従来実用化されているセラミックス基板用金導体ペース
トは予め焼成されたアルミナ等の基板を対象としている
ため、グリーンシ一ト上に印刷し、同時に焼成すると導
体にクラツク,剥離を発生したり、はなはだしい場合に
はセラミックス基板に変形,反りなどが発生するという
欠点がある。
トは予め焼成されたアルミナ等の基板を対象としている
ため、グリーンシ一ト上に印刷し、同時に焼成すると導
体にクラツク,剥離を発生したり、はなはだしい場合に
はセラミックス基板に変形,反りなどが発生するという
欠点がある。
更には、導体のセラミックス基板への接着性が低下する
という欠点を有している。
という欠点を有している。
[発明の解決しようとする課題]
本発明の目的は、従来技術が有していた前述の欠点を解
消しようとするものであり、従来知られていなかった導
体ペースト等を新規に提供することを目的とするもので
ある。
消しようとするものであり、従来知られていなかった導
体ペースト等を新規に提供することを目的とするもので
ある。
[課題を解決するための手段]
本発明は、前述の課題を解決すべくなされたものであり
、無機成分が重量%表示で実質的に金粉末
88〜99.95鉛化合物粉末 0.05〜
5 ガラスフリット粉末 0〜lO からなることを特徴とするセラミックス基板用導体ペー
ストを提供するものである。
、無機成分が重量%表示で実質的に金粉末
88〜99.95鉛化合物粉末 0.05〜
5 ガラスフリット粉末 0〜lO からなることを特徴とするセラミックス基板用導体ペー
ストを提供するものである。
本発明は、金導体ペーストに鉛化合物粉末を添加するこ
とによってセラミックス基板との接着性等を改善しよう
とするものである。以下本発明を詳細に説明する。尚%
は特に記載しない限り重量%とする。
とによってセラミックス基板との接着性等を改善しよう
とするものである。以下本発明を詳細に説明する。尚%
は特に記載しない限り重量%とする。
本発明にかかる導体ペース1・の無機成分を以下に述べ
る。
る。
金粉末 88〜99. 95%鉛化合物
粉末 0.05〜5 %ガラスフリット
0〜10 %鉛化合物粉末は、PbTiO3,
Pb(Ti,Zr)03PbNb206,PbTa20
6,PbZrO3 から選ばれた少なくとも1種であ
ることが好ましい。かかる成分について以下説明する。
粉末 0.05〜5 %ガラスフリット
0〜10 %鉛化合物粉末は、PbTiO3,
Pb(Ti,Zr)03PbNb206,PbTa20
6,PbZrO3 から選ばれた少なくとも1種であ
ることが好ましい。かかる成分について以下説明する。
本発明にかかる金粉末は導体を構成する成分であり、必
須の成分であって、本発明の導体ペースト中の金粉末の
割合が88%より少ないとシート抵抗値が増大するため
好ましくなく、そして、金粉末の割合が99.95%よ
り多いと、相対的に鉛化合物粉末やガラスフリットの添
加量が少なくなり、以下に述べる欠点が生じるので好ま
しくない。
須の成分であって、本発明の導体ペースト中の金粉末の
割合が88%より少ないとシート抵抗値が増大するため
好ましくなく、そして、金粉末の割合が99.95%よ
り多いと、相対的に鉛化合物粉末やガラスフリットの添
加量が少なくなり、以下に述べる欠点が生じるので好ま
しくない。
本発明にかかる鉛化合物粉末は、005〜5%添加され
ることにより、導体のセラミックス基板への接着強度を
向上させ、かつ、導体のクラック,剥離等の欠陥を防止
する効果を有する。
ることにより、導体のセラミックス基板への接着強度を
向上させ、かつ、導体のクラック,剥離等の欠陥を防止
する効果を有する。
上記鉛化合物粉末の添加量が、005%未満ではその効
果は少なく、5%より多いと、導体にクラック,剥離が
発生したり、半田濡れ性が低下するので好ましくない。
果は少なく、5%より多いと、導体にクラック,剥離が
発生したり、半田濡れ性が低下するので好ましくない。
望ましい範囲は、0.3〜2%である。特に望ましくは
、05〜1%である。
、05〜1%である。
ガラスフリッ1・は、必須の成分ではないが、導体の基
板への接着力を向上させる作用があるため、0〜10%
添加することができる。
板への接着力を向上させる作用があるため、0〜10%
添加することができる。
lO%より多いと、導体のシート抵抗が大きくなると共
に半田濡れ性が低下するので好ましくない。
に半田濡れ性が低下するので好ましくない。
本発明にかかる鉛化合物粉末は、導体とセラミックス基
板との接着力を向上させる効果を有?、鉛と他の金属と
の酸化化合物粉末であれば特には限定されないが、Pb
TiO3,Pb(Ti,Zr)03PbNb206,P
bTa20a ,PbZr03の内から選ばれた少なく
とも1種であることが接着性がよいので好ましい。
板との接着力を向上させる効果を有?、鉛と他の金属と
の酸化化合物粉末であれば特には限定されないが、Pb
TiO3,Pb(Ti,Zr)03PbNb206,P
bTa20a ,PbZr03の内から選ばれた少なく
とも1種であることが接着性がよいので好ましい。
本発明において多層のセラミックス基板は例えば次のよ
うにして製造される。アルミナ( Al■03)粉末,
ガラスフリット等のセラミックスの原料粉にブヂラール
樹脂,アクリル樹脂等の有機バインダー、フクル酸ジブ
チル,フタル酸ジオクチル,フタル酸ブチルーベンジル
等の可塑剤、トルエン,アルコール等の溶剤を添加し混
練してスラリーを作製する。そして、該スラリーをシー
ト状に成形し、いわゆるグリーンシ一トが作成される。
うにして製造される。アルミナ( Al■03)粉末,
ガラスフリット等のセラミックスの原料粉にブヂラール
樹脂,アクリル樹脂等の有機バインダー、フクル酸ジブ
チル,フタル酸ジオクチル,フタル酸ブチルーベンジル
等の可塑剤、トルエン,アルコール等の溶剤を添加し混
練してスラリーを作製する。そして、該スラリーをシー
ト状に成形し、いわゆるグリーンシ一トが作成される。
該グリーンシ一トにヴイアホール用等の穴を開け、表面
に本発明の導体ペーストを所定の回路に印刷する。
に本発明の導体ペーストを所定の回路に印刷する。
ヴイアホールには本発明の導体ペーストが満たされる。
次にこれらの印刷されたグリーンシ一トを所定の枚数重
ね合わせ、熱圧着により積層化し、1000℃以下の温
度にて焼成して多層のセラミックス基板となる。このよ
うにして製造された多層のセラミックス基板は回路が絶
縁基板を介して多層に積層されたものとなる。
ね合わせ、熱圧着により積層化し、1000℃以下の温
度にて焼成して多層のセラミックス基板となる。このよ
うにして製造された多層のセラミックス基板は回路が絶
縁基板を介して多層に積層されたものとなる。
本発明の導体ペーストは、単層のセラミックス基板の表
面にも使用できる。
面にも使用できる。
例えば、単層のグリーンシ一トの表面に印刷等の方法に
よって形成され、当該グリーンシ一トと同時に焼成でき
る。また焼成後の固化したアルミナやガラスセラミック
ス等の基板」二に印刷等の方法によって本発明の導体ペ
ーストを形成した後、焼成してもよい。
よって形成され、当該グリーンシ一トと同時に焼成でき
る。また焼成後の固化したアルミナやガラスセラミック
ス等の基板」二に印刷等の方法によって本発明の導体ペ
ーストを形成した後、焼成してもよい。
尚本発明の導体ペーストの無機成分の総量に対して、ガ
ラスフリットのガラス溶解時に清澄剤,溶融促進剤とし
て硝酸塩,亜ヒ酸,酸化アンヂモン,硫酸塩,フッ化物
,塩化物等を0〜5%添加してもよ《、また着色剤とし
て耐熱性無機顔料,金属酸化物等を0〜5%添加しても
よい。
ラスフリットのガラス溶解時に清澄剤,溶融促進剤とし
て硝酸塩,亜ヒ酸,酸化アンヂモン,硫酸塩,フッ化物
,塩化物等を0〜5%添加してもよ《、また着色剤とし
て耐熱性無機顔料,金属酸化物等を0〜5%添加しても
よい。
?作用]
本発明にかかる鉛化合物粉末の作用機構は必ずしも明確
ではないが、本発明にかかる鉛化合物が、焼成時にセラ
ミックス基板中に拡散し、本発明の導体ペーストを焼成
してなる導体と該セラミックス基板との界面に強固な反
応中間物を生成するため、該導体とセラミックス基板と
の接着強度が向上ずる効果を生ずるものと考えられる。
ではないが、本発明にかかる鉛化合物が、焼成時にセラ
ミックス基板中に拡散し、本発明の導体ペーストを焼成
してなる導体と該セラミックス基板との界面に強固な反
応中間物を生成するため、該導体とセラミックス基板と
の接着強度が向上ずる効果を生ずるものと考えられる。
[実施例]
i).グリーンシ一ト
アルミナ粉末60%とA120s−PbO−SxO■−
B20.9−CaO系ガラスフリット40%の混合物に
有機バインダー,可塑剤,溶剤等を添加し混練してスラ
リーを作成した。
B20.9−CaO系ガラスフリット40%の混合物に
有機バインダー,可塑剤,溶剤等を添加し混練してスラ
リーを作成した。
次いでこのスラリーをシートに成形し、乾燥することに
よりグリーンシー1・を作成した。
よりグリーンシー1・を作成した。
11).導体ペースト
金粉末,鉛化合物粉末,ガラスフリット( A120
3−PbO−Si02−B203−CaO系)を[表−
1コ?示した割合で調合した。これに印刷性を{−1与
するためにエチルセルロース樹脂,ブヂルカルビ}・−
ルからなる有機ビヒクルを添加し、アルミナ磁製乳鉢中
で1時間混合した後、三本ロールにて、分散し、導体ペ
ーストを作製した。
3−PbO−Si02−B203−CaO系)を[表−
1コ?示した割合で調合した。これに印刷性を{−1与
するためにエチルセルロース樹脂,ブヂルカルビ}・−
ルからなる有機ビヒクルを添加し、アルミナ磁製乳鉢中
で1時間混合した後、三本ロールにて、分散し、導体ペ
ーストを作製した。
鉛化合物粉末は予めPbO ,TiO■.ZrO2Nb
20s ,Ta205を用いて、目的とする化学量論組
成になるように調合し、アルミナ磁製乳鉢中で30分間
混合し、1 ton/cm2の圧力で成形した後、1
200℃で1時間空気中で焼成した後、再びアルミナ磁
製乳鉢中で粉砕して使用した。
20s ,Ta205を用いて、目的とする化学量論組
成になるように調合し、アルミナ磁製乳鉢中で30分間
混合し、1 ton/cm2の圧力で成形した後、1
200℃で1時間空気中で焼成した後、再びアルミナ磁
製乳鉢中で粉砕して使用した。
iii).試料の作製
上記グリーンシ一ト上に[表−1]に示した組成の導体
ペーストをスクリーン印刷し、20μm厚みのペースト
層を形成した。
ペーストをスクリーン印刷し、20μm厚みのペースト
層を形成した。
次いでこれを乾燥後、空気雰囲気中で100’C/hr
の速度で昇温し、900℃で20分間焼成しセラミック
ス基板上に導体層を形成した。
の速度で昇温し、900℃で20分間焼成しセラミック
ス基板上に導体層を形成した。
このセラミックス基板について、導体の半田濡れ性,導
体のセラミックス基板への接着強度を示すビール強度,
導体のシート抵抗,導体の剥離,クラック,変形の有無
について評価しU表−1]の下段に示した。
体のセラミックス基板への接着強度を示すビール強度,
導体のシート抵抗,導体の剥離,クラック,変形の有無
について評価しU表−1]の下段に示した。
[表−]]より明らかな如く、本発明の導体ペーストは
、半田濡れ性,ビール強度に優れ、シート抵抗も低く、
導体のクラック,剥離,変形等の欠陥のない優れた導体
ペーストである。
、半田濡れ性,ビール強度に優れ、シート抵抗も低く、
導体のクラック,剥離,変形等の欠陥のない優れた導体
ペーストである。
なお、各特性の評価方法は次の通りである。
[特性評価法]
i). 剥離,クラック,変形等の欠陥目視による外
観検査 ii) . 半田濡れ性 Sn 70%,Pb 18%,In 12%半田.21
0±5℃,5秒間ディップ後、半田の濡れた面積割合を
評価した。
観検査 ii) . 半田濡れ性 Sn 70%,Pb 18%,In 12%半田.21
0±5℃,5秒間ディップ後、半田の濡れた面積割合を
評価した。
iii) . ビール強度試験
0.8Φすずメッキ軟銅線を金導体に半田付し、その銅
線を垂直折り曲げ後、 引っ張り試験により評価した。
線を垂直折り曲げ後、 引っ張り試験により評価した。
iv) .
■).
高温放置後、ビール強度試験
0,8Φすずメッキ銅線を導体に半田付後、150℃,
1000時間放置後、引っ張り試験により評価した。
1000時間放置後、引っ張り試験により評価した。
シート抵抗
Y. H. P製デジタルマルチメーターにより測定評
価した。
価した。
1の続き]
[発明の効果]
本発明の導体ペーストは、グリーンシ一ト上に印刷等の
方法で成形して、同時に焼成し、又は焼成後の固化した
セラミックス基板上に印刷等の方法で形成した後焼成し
た場合、剥離,クラック,変形等の欠陥のない導体を形
成出来るだけでなく、導体とセラミックス基板との接着
力が向上し、さらには、高温放置後においても接着力が
低下しにくいという信頼性に優れた効果を有し、セラミ
ックス基板用導体ペーストとして機能を発揮し、その工
業的価値は多大である。
方法で成形して、同時に焼成し、又は焼成後の固化した
セラミックス基板上に印刷等の方法で形成した後焼成し
た場合、剥離,クラック,変形等の欠陥のない導体を形
成出来るだけでなく、導体とセラミックス基板との接着
力が向上し、さらには、高温放置後においても接着力が
低下しにくいという信頼性に優れた効果を有し、セラミ
ックス基板用導体ペーストとして機能を発揮し、その工
業的価値は多大である。
Claims (2)
- (1)無機成分が重量%表示で実質的に 金粉末88〜99.95 鉛化合物粉末0.05〜5 ガラスフリット粉末0〜10 からなることを特徴とするセラミックス基板用導体ペー
スト。 - (2)第1項記載の導体ペーストを使用して焼成された
セラミックス基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11406489A JP2893711B2 (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 導体ペースト及びセラミックス基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11406489A JP2893711B2 (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 導体ペースト及びセラミックス基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02295006A true JPH02295006A (ja) | 1990-12-05 |
JP2893711B2 JP2893711B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=14628130
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11406489A Expired - Fee Related JP2893711B2 (ja) | 1989-05-09 | 1989-05-09 | 導体ペースト及びセラミックス基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2893711B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113506648A (zh) * | 2021-09-10 | 2021-10-15 | 西安宏星电子浆料科技股份有限公司 | 一种Ca-B-Si体系LTCC用内层金导体浆料 |
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1989
- 1989-05-09 JP JP11406489A patent/JP2893711B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN113506648A (zh) * | 2021-09-10 | 2021-10-15 | 西安宏星电子浆料科技股份有限公司 | 一种Ca-B-Si体系LTCC用内层金导体浆料 |
CN113506648B (zh) * | 2021-09-10 | 2021-12-21 | 西安宏星电子浆料科技股份有限公司 | 一种Ca-B-Si体系LTCC用内层金导体浆料 |
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JP2893711B2 (ja) | 1999-05-24 |
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