JPH02293602A - プローブヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野１ 本発明は、例えば座標位置決め機械のヘッドに装着され
るプローブの方向を定めるために用いられるプローブヘ
ッドに関するものである．【背景技術ｌ 一般に、公知のプローブヘッドは２つのロータを具えて
おり、その２つのロータはそれぞれ互いに直交する軸に
対して回転する． 一方のロータは、例えば座標測定機械や工作機械のよう
な座標位置決め機械のヘッドに、プローブヘッドを取り
付けるための支持部材に対して回動可能に装着されてい
る． そして，このロータには、その回転軸と直交する軸を中
心として回動可能な他方のロータが装着されており、こ
の他方のロータがプローブを動かしてワークビースを探
知させる． 従って、プローブヘッドはワークビースに対してプロー
ブの方向を所望の方向にするために用いられ、これによ
って複雑な形のワークピースの測定も容易となる。 【発明が解決しようとする課題１ しかしながら、座標位置決め機械にプローブヘッドを用
いる場合には、プローブがプローブヘッドを介して機械
のヘッドに装着されるために、プローブを機械のヘッド
に直接装着する場合に比して機械の操作範囲の縮小が避
けられない．［課題を解決するための手段】 本発明の一つ形態では、少なくともプローブとプローブ
ヘッドとのジ目イントをプローブヘッド内に引込めたこ
とである．そして好適な実施例では，プローブ自体の少
なくとも一部もまた引っ込んでいる． したがって本発明の第１の形態は、座標位置決め機械の
ヘッドに対してプローブの方向を定めるためのプローブ
ヘッドであって、前記機械のヘッドに前記プローブヘッ
ドを接続するための支持部と、該支持部に装着され、第
１の軸を中心にして前記支持部に対して回動可能な第１
のロータと、該第１のロータに装着され、前記第１のロ
ータと共に前記第１の軸を中心にして回動し、前記第１
の軸に対してほぼ直交する第２の軸を中心にして前記第
１のロータに対して回動可能な第２のロータとを具え，
前記第２のロータは、前記プローブを装着するためのコ
ネクタを有しており、前記プローブは軸を有していて、
前記第１および前記第２のロータの相対的な方向が、前
記プローブの軸と前記第１の軸とを平行とするものであ
るときに、前記コネクタと前記支持部との間の距離が、
前記第２の軸と前記支持部との間の距離より小となるよ
うにした． 好適には、プローブの少なくとも一部分もまたプローブ
ヘッドの内に引っ込むようにする．本発明の第２の形態
では，座標位置決め機械のヘッドに対してプローブの方
向を定めるためのプローブヘッドであって、前記機械の
ヘッドに前記プローブヘッドを接続するための支持部と
、該支持部に装着され，第１の軸を中心にして前記支持
部に対して回動可能な第１のロータと、該第１のロータ
に装着され、前記第１のロータと共に前記第１の軸を中
心にして回動し，前記第１の軸に対して平行ではない第
２の軸を中心にして前記第１のロータに対して回動可能
な第２のロータとを具え、前記第２のロータには、プロ
ーブを装着するコネクタを、前記プローブを収納するた
めの前記プローブヘッドのボアの中に引込ませて設けた
．好適には，１つのあるいは各々のロータが、多くの休
止位置の間を回動し，そこに着座するように装着される
． 本発明の第３の形態では、座標位置決め機械のヘッドに
対してプローブの方向を定めるためのプローブヘッドで
あって、前記機械のヘッドに前記プローブヘッドを持続
するための支持部と、該支持部に装着され、第１の軸を
中心にして前記支持部に対して可動可能な第１のロータ
と、前記プローブを装看するために前記第１のロータに
設けられたコネクタとを具え、前記第１のロータは、繰
り返して設けられる多数の休止位置間で回動可能に、か
つ前記休止位置に着座可能になるよう前記支持部に装看
され、前記第１のロータを前記休止位置に軸方向に係合
させ、または前記第１のロータの前記休止位置における
軸方向の係合を解除することにより、前記第１のロータ
と前記支持部との相対的回動を可能にする手段と、前記
第１のロータと前記支持部とが係合していないとき、前
記支持部に対する前記第１のロータの位置を定める手段
とを具えた． 好適には、この複数の休止位置は、前記第１のロータま
たは前記支持部のいずれか一方に設けられ、ほぼ円の同
上に配置されて互いに収束する少くとも６対の表面と、
他方の前記第１のロータまたは前記支持部に，それぞれ
が前記互いに収束する表面に着座する位置に配置された
３つの着座部であって、前記第１のロータと前記支持部
との動的位置（ｋｉｎｅａａｔｉｃ　ｌｏｃａｔｉｏｎ
）が得られるようにする３つの着座部とによって提供す
ることができる。 また、好適には、前記位置を定める手段は、前記他方の
前記第１のロータまたは前記支持部に、前記互いに収束
する表面の他の対に着座するように設けられた３つの位
置決め部材と、該位置決め部材を軸方向に変位させて前
記互いに収束する表面の前記他の対に看座させる手段と
を有し、前記第１のロータと前記支持部との相対的な回
動の結果として前記収束する表面ごとに前記位置決め部
が軸方向に移動できるようにすることができる． 好適には、この受け具（コネクタ）が第２のロータを介
して前記第１のロータに装着されてあり、前記第２のロ
ータは、前記第１の軸に対して平行ではない第２の軸を
中心にして前記第１のロータに対して可動可能なように
前記第１のロータに装着されていればよい． さらに、このようなプローブヘッドに、例えば第１のロ
ータと支持部との相対的な位置を決定して、それをプロ
ーブヘッド上に表示する手段を設けてもよい． ［実施例１ 以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
． 第１図〜第４図を参照するに、プローブヘッドは円筒上
の支持部材１２と、ドーム状のロータｌ４とを備λてお
り、このドーム状のロータｌ４は支持部材ｌ２に対して
回動可能に装着されている。 このプローブヘッドは、この支持部材ｌ２を介して座標
測定機械の軸（ｑｕＨ１）に装着することができる． このロータｌ４は、中空シャフトｌ８の軸ｌ６を中心と
して回動するように支持部材１２に対して装着されてお
り、この中空シャフトｌ８は、支持部材ｌ２の底面部の
環状の縁２２によって限界される穴２０を貫通して支持
部材ｌ２内の空洞２４に達する。第３図示の環状に配置
されているボール２６は、支持部材ｌ２の底面部にある
穴２０と同心の環状溝部２８に装着されている。このボ
ール２Ｂは、円の円周に沿って７．５度おきに装着され
ている。 第４図の平面図にも示したように、径方向に延在した円
柱形状のローラ３０からなる３つの着座部材は、ロータ
１４の上部平坦面３２に、軸ｌ６に対して等位置となる
ように装着されている。これによって、後述するヘッド
１０をロックする機構によって支持部材ｌ２とロータｌ
４とが互いに圧接させられるときには、ローラ３０の各
々は、隣接したボール２６の表面が互いに収束すること
によって形成される谷部に着座する． ロータ１４は支持部材１２にこのように係合することに
よって動的に（ｋｉｎｅｍａｔｉｃａｌｌｙ）支持され
る。 環状に配置されたボール２６は、４８個のこのような移
動位置（ｋｉｎｅｍａｔｉｃ　ｌｏｃａｔｉｏｎｓ）を
提供するので、支持部材ｌ２に対してロータｌ４は離散
的に繰返される４８の方向をとることができる。支持部
材１２とロータｌ４とが互いに係合していないときにお
ける支持部材ｌ２に対するロータｌ４の回動は、穴２０
内にあるシャフトｌ８によって可能になる．シャフト１
８と穴２０との直径は、ロータｌ４が動的位置の間を動
くときに、穴２０がそのガイドとして機能するにたる値
に選ばれている。しかしながらこの値は、ロータｌ４と
支持部材ｌ２との相対的位置を動的着座機構が支配でき
る程度に大であるべきである． ピストン３４の形態の３つの位置決め部材がロータｌ４
の本体に設けられ、ローラ３０の間に配置されている．
この（ストン３４はボア３６内にあって、ばね３８によ
って支持部材ｌ２に対して付勢されている．このピスト
ン３４のばね３８の側とは反対側の端邪には角ばった面
４０が刻設されており、この面４０が隣り合ったボール
２６の互いに収束する表面に係合する．このばね３８と
ピストン３４とは、ロータｌ４を支持部材ｌ２から離隔
させるように機能する．さらに、このヘッドが固定され
ていないとき、即ちローラ３０がボール２６と係合して
いないときにおいては、このようにピストン３４は，互
いに隣接するボール２６の互いに収束する表面に係合す
ることによって、支持部材ｌ２に対してロータｌ４が好
ましくない回転をすることを阻止する． このピストン３４はその軸方向にわずかに移動するので
、ロータｌ４の支持部材ｌ２に対する回動け、この環状
に配置されたボール２６に添ってピストン３４をラチェ
ット動作させることによって行われる． このようなボール２６との連続的な係合によって、ピス
トン３４はさらにもう一つの機能を発揮する． すなわち、このピストン３４があることによって、支持
部材１２に対するロータｌ４の回動終了時においては、
ローラ３０は隣接するボール２６の２つの互いに収束す
る表面の間にではなく、つねにその隣接するボール２６
の互いに収束する表面にぴったり合う場所に位置するこ
とになる．このローラ３Ｇが近接する単一のボール２６
の部分に位置する場合に、軸ｌ６に沿って支持部材ｌ２
とロータｌ４とを圧接させてヘッドを固定しようとすれ
ば、隣接するボール２６の互いに収束する表面の位置に
ローラ３０が位置するときとは対照的に、ヘッドに損傷
を与えることになる．この位置決め手段は、このピスト
ンを設けることによってそのような損傷を未然に防ぐこ
とができる． ドーム状のロータｌ４は中央の空洞４４を形成する２つ
の半体４２を有している．この空洞４４には、シャフト
ｌ８の軸ｌ６と直交する軸４８を中心として回動可能な
円柱状のスイベル４６が設けられており、これがもう一
つのロータとして機能する．スイベル４６は、その本体
内の直径方向に延在するボア５２にプローブ５０を収納
する． 本例においてはこのボアを円柱状としたが、プローブを
収納するのに適切であるいかなる断面形状を有していて
もよい。このプローブ５０はコネクタ５４を介してスイ
ベル４６と接続される．第２図から明らかなように、こ
のプローブ５０が下を向いているとき、即ちその軸５ｌ
が軸ｌ６と平行になっているときには、このコネクタは
スイベル４６の軸４８よりも引っ込んだ所に位置してい
る． 本実施例のコネクタ５４は、スイベル４６の動的支持部
にプローブ５０を着脱自在に装看する機構を構成してお
り、このようにすることによって、プローブを交換する
場合にそのプローブを新たに位置決め（ｒｅ−ｄａｔｕ
ｍ）する必要を無《することができる．プローブ５０の
ハウジングには、回転可能な受けＪ（ｒｅｔａｔａｂｌ
ｅ　ｃａｔｃｈ）　５６が設けられており、これを用い
てプローブ５０とスビゴットとを係合させたり、その係
合を解除したりすることによって、コネクタ５４に対す
るプローブの着脱が可能になる． このコネクタ５４と受け具とはそれ自身周知であり、ま
た例えば国際公開１０　８５／０２１３ｇによっても開
示されている．このコネクタ５４はプローブヘッドの中
の奥まった所すなわちボア５２内に設けられているので
、このジョイント上にプローブをロックするためには、
ボアの外から動作できるようにされていなければならず
、これはスイベル４６の開口部５８から適切な工具を差
し込むことによって行われる． このコネクタ５４の別の形態としては、ねじが刻設され
たボアの形態であってもよい． コネクタ５４がこのように引込んだ部位に位置している
ので、ボア５２がプローブをコネクタ５４上に正確に導
くガイド部材として作用することにより、プローブとソ
ケットとを整列させる困難さを改善できる。 このスイベル４６は、軸４８を中心として回動可能であ
り、かつ，その回動動作において離散的に設けられた数
多くの動的位置をとることができるように空洞４４内に
設けられている。これを容易にするために、支持部材ｌ
２にロータ１４を装着するときと同様に、空洞４４に面
した内壁６２上の環状溝部６４に環状に配置されたボー
ル６０が設けられている．そして、スイベル４６の外側
には３つの円柱状ローラ６６が装着されている。ローラ
６６の各々は、隣接するボール６０の表面が互いに収束
することによって形成される谷部に着座する。 内壁６２の開口部７０に着座しているシャフト６８は、
スイベル４６が動的位置間を移動するときのスイベル４
６のロークｌ４に対する運動をガイドする。ボア７４内
にある３つのピストン７２は、ばね７６によって付勢さ
れ、隣接したボール６０の互いに収束する表面に係合さ
せられている．このピストン７２は、上述したピストン
３４と同様な機能をする．直角ブラケット７８によって
、スイベル４６はピストン７２の動作に抗してロータ１
４の内壁６４に動的に係合させられている。また、この
ブラケット７８は、空洞４４の反体側の内壁８２に装着
されているベアリング８０に対して回動（ｐｉｖｏｔｉ
ｎｇ）できるようになっている。この直角ブラケット７
８はスイペル４６に沿って延在しており、内壁８２に板
ばね８４によって取付けられている． 動的に係合していないときにも，板ばね８４によって、
開口部７０とブラケット７８との整列状態が保持され、
これによってスイペル４６と開口部７０との整列状態も
保持される．しかし、ブラケット７８がベアリング８０
に関して回動動作することによってスイベル４６とブラ
ケット７８とが相対的に移動することは許されている． このブラケット上に設けられたスラストベアリング８６
は、スイベル４６上のバッド８８と係合しており、ブラ
ケット７８が回動をすれば、パッド８８と係合したスラ
ストベアリング８６によってスイベル４６はロータｌ４
と動的係合をする． ベアリング８０を中心としたブラケット７８の回動は、
ブラケット７８に回動自在に設けられた連結棒９０が引
っ込むことによってなされるものであり、この連結棒９
０は、シャフトｌ８の内部のほぼ同軸となるような位置
に延在して空洞２４に達している．この連結棒９０の自
由端にはベアリングボール９２が設けられている。空洞
２４内には回動機ＩＩＩ９４が設けられ、垂直に延在す
る主柱９６を具備し、その主柱９６の先端部には交差棒
が回動可能に装着されている。この交差棒９８の自由端
には、その回動範囲を定めるための円柱状ベアリング１
００が設けられている．連結棒９０は、交差棒９８に設
けられた穴を貫通しており、ベアリングボール９２によ
って連結棒９０と交差棒９８とが係合している． 板ばね１０２は、その一端がクロス棒９８に、他端は支
持部材１２に接合されている．従って、交差棒９８は限
られた範囲内において動《ことができるが、シアフトｌ
８に対してあらかじめ定められた所望の整列状態は保た
れている。カム１０４は、支持部材１２の壁を貫通して
延在するシャフト１０６に装着されており、ホイール１
０８によって回動可能となっている． このカム１０４は円柱状ベアリング１００に係合してお
り、ホイール１０８を手動で回わすことによって交差棒
９８をその回動輪を中心にして回動させることができる
． 以上説明したように、ロータｌ４とスイベル４６とを支
持部材ｌ２に対して、および互いに対して動かすために
は、交差棒９８が穴２０の方向に動けるようにカム１０
４を回動させればよい．交差棒９８のこのような回動に
対応して、連結棒９０は下方に動くことになる． 以上の動作によって、ピボット（ベアリング）８０を中
心としてブラケット７８は反時計回りに動《ことができ
、従ってスイベル４６とロータｌ４とを動的に係合させ
ていたスイベル４６の軸方向の力は除去されることにな
る．ピストン７２形態の変位手段（ｂｉａｓｉｎｇｍｅ
ａｎｓ）は、スイベル４６をロータｌ４との動的係合か
ら解除させて、スイベル４６とロータ１４との相対的位
置関係の調整を可能にする。この連結棒９０の下降動作
は、ピストン３４による力と重力とが組み合わさること
によって、支持部材ｌ２とロータｌ４との係合をも解除
し、これによってこれらの２つの部品の相対的位置の調
整が可能となる。 この支持部材ｌ２、ロータｌ４およびスイペル４６を新
たな所望位置へ相対的に移動させる調整の終了時におい
て、交差棒９８が穴２０から離れる方向に回動するよう
カム１０４を回動させれば、スイベル４６とロータ１４
、右よびロータ１４と支持部材ｌ２を再び係合させるこ
とができる．このようにして、支持部材ｌ２、ロータｌ
４およびスイベル４６は、再度動的に係合する． 本発明の他の形態としては、スイベル４６はロータｌ４
に対して連続的に回動可能に装着されていてもよい． スイベル４６をロータｌ４の外側に設けることもでき、
所望であれば、コネクタをプローブヘッドの内側ではな
くスイベルの外側に設けることもできる． しかし、このコネクタは、プローブの軸５ｌが軸ｌ６と
平行になったときに、コネクタが軸４８よりもむしろ支
持部材に近《なるような位置に設けるべきである． スイベル４６とロータｌ４との相対的な位置を確かめる
ために、スイベル４６とロータｌ４とのそれぞれの外側
には擦り機構（ｗｉｐｅｒ　ｍｅｃｈａｎｉｓ園》が設
けられている．擦り機構の一部は第３図の平面図に示さ
れてあり、径方向に延在して環状に配置された電気的接
点１１Ｇと環状の共通接点１１２とを具備し、これらは
すべてプリント回路基板１１４上に設けられている．こ
のプリント回路基板１１４は、環状溝部２８および６４
と同心に、支持部材１２およびロータｌ４上にそれぞれ
設けられている．第１図〜第４図には描かれていないが
、第５図に示したコンタクトアーム１１Ｂは、それぞれ
のプリント回路基板１１４に接触する状態となるように
して、支持部材の上面３２とスイベル４６の外側部分と
にそれぞれ設けられている．そしてそれら上面３２およ
び外側部分がプリント回路基板１１４゜に対して回動す
る． コンタクトアームｌｌ６は３個の電気的接点１１８〜１
２２を有している．電気的接点１１ｇ　、１２０は、プ
リント回路基板１１４上の径方向に延在する電気接点１
１Ｇと電気的に接触するような位置に配設されており、
電気的接点１２２は基板上の共通接点１１２と接触する
ように配設されている．接点１１８　，１２０の各々に
は，図示しない電源から正の電圧が供給され、また、コ
ンタクトアーム１１６は図示しない歩道計数機構に接続
されており、接点１１ｇや１２Ｇが共通接点ｊ２２と接
続してコンタクトアーム１１．６からパルスが出力され
る度に、その計数値を歩進する．この計数機構には、例
えばスイベル４６とロータｌ４の相対的位置を示す表示
器を設けてもよい． 接点１１ｇと接点１２Ｇとは互いに少しずれて配置され
ている．これにより、それぞれはロータｌ４やスイベル
４６の異った日勤位置において、放射状接点１１Ｇと共
通接点１２２とを含む回路を閉成する．ロータｌ４やス
イベル４６が回転しているときに、接点ｔｔｇと接点１
２０のどちらが先に放射状接点１１０と接触したのかを
検出することによって、ロータｌ４やスイベル４６の運
動の位置と方向とを共に示すことが可能となる．プリン
ト基板１１４は、ロータｌ４やスイベル４６が動的に支
持されているときには，電気的接点ｌｌ８と接点１２０
とが径方向に延在する接点１１Ｇと接触しないように構
成されるべきであり、このように構成すれば電源寿命を
延ばすことができる． このような擦り機構の２つの出力をマイクロプロセッサ
に入力し、歩道計数値を処理をして位置や相対的方向の
情報なＬＣＤ　　（液晶表示器》に表示するようにすれ
ば、操作者は即座にプローブの方向を決めることができ
る． この擦り機構の代わりにピストン３４やピストン７２を
加算手段として用いることもできる．このような変形例
においては、ピストンがボール２６やボール６０の上を
通りつつピストンが下降する毎に、そのピストンが電気
回路を閉じて電気的なパルスが出力されるようにすれば
よい．方向に関する情報を得るためには，ピストンのう
ちの１つを、他の２つの位置に比して隣接するボールの
互いに収束する表面から少しずれた位置に設ければよい
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るプローブヘッドの全体構成を示す
斜視図、 第２図は、第１図における■一■断面を示す断面図、 第３図は、第２図における■一■断面を示す断面図、 第４図は、第２図におけるＩＶ−ＩＶ断面を示す断面図
、 第５図は、第１図〜第４図に示したプローブヘッドの一
部分の平面図である． １２・・・支持部材、 ｌ４・・・ロータ， １６．４ｇ、５ｌ・・・軸、 ２６、６０・・・ボール、 ２８、６４・・・環状溝、 ３０、６６・・・ローラ、 ３４・・・ピストン、 ３６・・・ボア、 ３８・・・ばね、 ４６・・・スイベル、 ５０・・・プローブ、 ５４・・・コネクタ、 ５６・・・回転可能な受け具、 ５８・・・開口部、 ６８，１０６・・・シャフト、 ７０・・・穴、 ７８・・・ブラケット、 ｇｏ，　ｉｏｏ・・・ベアリング、 ８４．　１０２・・・板ばね、 ８６・・・スラストベアリング、 ８８・・・パッド、 ９０・・・連結棒、 ９２・・・ベアリングボール， ９６・・・主柱、 ９８・・・交差棒、 １０４・・・カム、 １０８・・・ホイール、 １１０，１１２、１１８、１２０、１２２・・・接点、
１１６・・・コンタクトアーム．

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）座標位置決め機械のヘッドに対してプローブの方向
   を定めるためのプローブヘッドであって、前記機械のヘ
   ッドに前記プローブヘッドを接続するための支持部と、 該支持部に装着され、第１の軸を中心にして前記支持部
   に対して回動可能な第１のロータと、該第１のロータに
   装着され、前記第１のロータと共に前記第１の軸を中心
   にして回動し、前記第１の軸に対してほぼ直交する第２
   の軸を中心にして前記第１のロータに対して回動可能な
   第２のロータとを具え、 前記第２のロータは、前記プローブを装着するためのコ
   ネクタを有しており、前記プローブは軸を有していて、
   前記第１および前記第２のロータの相対的な方向が、前
   記プローブの軸と前記第１の軸とを平行とするものであ
   るときに、前記コネクタと前記支持部との間の距離が、
   前記第２の軸と前記支持部との間の距離より小となるこ
   とを特徴とするプローブヘッド。 ２）前記コネクタは、前記プローブを収納するための前
   記プローブヘッドのボアの中に引っ込んで設けられてい
   ることを特徴とする請求項１に記載のプローブヘッド。 ３）前記プローブヘッドは手動操作可能であり、前記第
   １および前記第２のロータは、繰り返して設けられた複
   数の休止位置間で回動可能に、かつ前記休止位置に着座
   可能になるよう装着されていることを特徴とする請求項
   １に記載のプローブヘッド。 ４）前記第１および前記第２のロータをそれらの休止位
   置に軸方向に係合させ、または、前記第１および前記第
   ２のロータのそれらの休止位置における軸方向の係合を
   解除する手段を具備し、前記第１および前記第２のロー
   タの相対的回動を可能としたことを特徴とする請求項３
   に記載のプローブヘッド。 ５）前記第１及び前記第２のロータの休止位置のそれぞ
   れは動的であることを特徴とする請求項３に記載のプロ
   ーブヘッド。 ６）前記支持部、前記第１のロータおよび前記第２のロ
   ータが係合していないときに、前記支持部に対する前記
   第１のロータの位置、および前記第１のロータに対する
   前記第２のロータの位置を定める手段を具えたことを特
   徴とする請求項４に記載のプローブヘッド。 ７）請求項２に記載のプローブヘッドとプローブとの組
   立体において、前記プローブは前記コネクタに動的に支
   持されることを特徴とする組立体。 ８）前記プローブまたは前記コネクタのいずれか一方に
   、前記プローブを前記コネクタに固定する固定機構を具
   備し、当該固定機構は前記ボアの外から操作可能である
   ことを特徴とする請求項７に記載の組立体。 ９）座標位置決め機械のヘッドに対してプローブの方向
   を定めるためのプローブヘッドであって、前記機械のヘ
   ッドに前記プローブヘッドを接続するための支持部と、 該支持部に装着され、第１の軸を中心にして前記支持部
   に対して回動可能な第１のロータと、該第１のロータに
   装着され、前記第１のロータと共に前記第１の軸を中心
   にして回動し、前記第１の軸に対して平行ではない第２
   の軸を中心にして前記第１のロータに対して回動可能な
   第２のロータとを具え、 前記第２のロータには、プローブを装着するコネクタを
   、前記プローブを収納するための前記プローブヘッドの
   ボアの中に引込ませて設けたことを特徴とするプローブ
   ヘッド。 １０）前記第１の軸と前記第２の軸とは直交しており、
   前記第１および前記第２のロータの相対的な方向が、装
   着されたプローブの軸と前記第１の軸とを平行とするも
   のであるときに、前記コネクタと前記支持部との間の距
   離が、前記第２の軸と前記支持部との間の距離よりも小
   となることを特徴とするプローブヘッド。 １１）プローブを接続する場合に、前記プローブは前記
   コネクタに動的に支持されることを特徴とする請求項１
   ０に記載のプローブヘッド。 １２）前記プローブまたは前記コネクタのいずれか一方
   に、前記プローブを前記コネクタに固定する固定機構を
   具備し、当該固定機構は前記ボアの外から操作可能であ
   ることを特徴とする請求項１１に記載のプローブヘッド
   。 １３）前記プローブヘッドは手動操作可能であり、前記
   第１および前記第２のロータは、繰り返して設けられた
   複数の休止位置間で回動可能に、かつ前記休止位置に着
   座可能になるよう装着されていることを特徴とする請求
   項９に記載のプローブヘッド。 １４）前記第１および前記第２のロータをそれらの休止
   位置に軸方向に係合させ、または、前記第１および前記
   第２のロータのそれらの休止位置における軸方向の係合
   を解除する手段を具備し、前記第１および前記第２のロ
   ータの相対的回動を可能としたことを特徴とする請求項
   １３に記載のプローブヘッド。 １５）前記第１及び前記第２のロータの休止位置のそれ
   ぞれは動的であることを特徴とする請求項１３に記載の
   プローブヘッド。 １６）前記支持部、前記第１のロータおよび前記第２の
   ロータが係合していないときに、前記支持部に対する前
   記第１のロータの位置、および前記第１のロータに対す
   る前記第２のロータの位置を定める手段を具えたことを
   特徴ヒする請求項１４に記載のプローブヘッド。 １７）座標位置決め機械のヘッドに対してプローブの方
   向を定めるためのプローブヘッドであって、前記機械の
   ヘッドに前記プローブヘッドを持続するための支持部と
   、 該支持部に装着され、第１の軸を中心にして前記支持部
   に対して可動可能な第１のロータと、前記プローブを装
   着するために前記第１のロータに設けられたコネクタと
   を具え、 前記第１のロータは、繰り返して設けられる多数の休止
   位置間で回動可能に、かつ前記休止位置に着座可能にな
   るよう前記支持部に装着され、前記第１のロータを前記
   休止位置に軸方向に係合させ、または前記第１のロータ
   の前記休止位置における軸方向の係合を解除することに
   より前記第１のロータと前記支持部との相対的回動を可
   能にする手段と、 前記第１のロータと前記支持部とが係合していないとき
   、前記支持部に対する前記第１のロータの位置を定める
   手段とを具えたことを特徴とするプローブヘッド。 １８）前記複数の休止位置は、 前記第１のロータまたは前記支持部のいずれか一方に設
   けられ、ほぼ円の周上に配置されて互いに収束する少く
   とも６対の表面と、 他方の前記第１のロータまたは前記支持部に、それぞれ
   が前記互いに収束する表面に着座する位置に配置された
   ３つの着座部であって、前記第１のロータと前記支持部
   との動的位置が得られるようにする３つの着座部と、 によって提供され、 前記位置を定める手段は、 前記他方の前記第１のロータまたは前記支持部に、前記
   互いに収束する表面の他の対に着座するように設けられ
   た３つの位置決め部材と、 該位置決め部材を軸方向に変位させて前記互いに収束す
   る表面の前記他の対に着座させる手段と を有し、 前記第１のロータと前記支持部との相対的な回動の結果
   として前記収束する表面ごとに前記位置決め部材が軸方
   向に移動できるようにしたことを特徴とする請求項１７
   に記載のプローブヘッド。 １９）前記収束する表面は、前記第１の軸と同心となる
   ように環状に配置された複数個のボールによって形成さ
   れ、 前記着座部は前記第１の軸に対してその径方向に等位置
   に設けられた３つのローラによって形成され、 前記位置決め部は、前記第１の軸に平行に延在する３つ
   のピストンによって形成されることを特徴とする請求項
   １８に記載のプローブヘッド。 ２０）前記コネクタは第２のロータを介して前記第１の
   ロータに装着されており、前記第２のロータは、前記第
   １の軸に対して平行ではない第２の軸を中心にして前記
   第１のロータに対して回動可能なように前記第１のロー
   タに装着されていることを特徴とする請求項１７に記載
   のプローブヘッド。