KR101732851B1 - 틸트 스테이지 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 작동성이 개선된 틸트 스테이지 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 틸트 스테이지 장치는 회전부, 이동부 그리고 스테이지부를 포함한다. 여기서, 회전부는 동력을 전달받아 수직방향의 중심축선을 중심으로 제1회전한다. 이동부는 회전부의 상부에 회전부와 이격되도록 구비되고 동력을 전달받아 수직 방향으로 왕복 이동하는 링 형상의 가이드부를 가진다. 그리고 스테이지부는 수평방향으로 구비되는 제1회전축이 회전부의 상부에 회전 가능하도록 결합되어 회전부와 함께 제1회전하고, 가이드부가 이동 시 외력을 전달받아 제1회전축을 중심으로 제2회전이 이루어지며, 피검사물이 안착된다.

Description

틸트 스테이지 장치{TILT STAGE APPARATUS}
본 발명은 틸트 스테이지 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 작동성이 개선된 틸트 스테이지 장치에 관한 것이다.
일반적으로, LCD, LED, OLED 등의 디스플레이 분야 및 반도체 분야의 제조 공정 및 각종 검사 공정에서 대상물의 정밀한 위치결정을 위한 목적, 또는 의료 분야용 부품의 정밀 측정을 위해 회전이 가능한 스테이지 장치가 사용되고 있다.
근래 들어, 반도체 장치 등 모든 분야에서의 연구는 보다 많은 데이터를 단시간 내에 처리하기 위하여 반도체 기판의 고집적화 및 고성능화를 추구하는 방향으로 진행되고 있다. 고직접화 및 고성능화에 따라 미세 구조물의 치수나 미세 구조물들 사이의 간격이 계속 줄어들고 있으며, 반도체 기판상에 정확한 치수로 패턴을 포함하는 미세 구조물을 형성하고 있다. 그러나, 이러한 미세 구조물의 형성에 실패하는 경우, 미세 구조물 자체의 불량뿐만 아니라 후속 공정에 영향을 미쳐 반도체 장치의 전체 불량률을 높이는 문제가 발생될 수 있다. 따라서, 반도체 기판에 정확한 치수로 미세 구조물을 형성하는 것이 매우 중요하게 대두되고 있다. 특히, 미세 구조물을 가지는 반도체 기판이 의료 분야에 사용되는 경우, 구조적 정밀성의 확보는 더욱 중요시 될 수 있다.
이러한 이유로 인하여 각 미세 구조물을 형성하기 위한 공정 전후에 정확한 치수로 미세 구조물이 형성되는 지를 판별하는 미세 구조물의 측정 공정이 반드시 필요하다. 그리고, 미세 구조물의 측정을 위해, 회전 스테이지가 개발되어 사용되고 있다.
도 1은 종래의 회전 스테이지 중 일 예를 개략적으로 나타낸 예시도이다.
도 1에서 보는 바와 같이, 종래의 회전 스테이지는 수직 방향으로 구비되는 제1회전축(10)과 결합되어 제1회전축(10)을 중심으로 회전하는 제1회전 스테이지(11)를 가진다. 그리고, 제1회전 스테이지(11)에는 고정블록(12)이 구비되며, 고정블록(12)에는 수평 방향으로 구비되는 제2회전축(20)과 결합되어 제2회전축(20)을 중심으로 회전하는 제2회전 스테이지(21)가 결합된다. 제2회전 스테이지(21)에는 피검사물이 안착될 수 있다. 이에 따라, 제2회전 스테이지(21)는 제1회전축(10) 및 제2회전축(20)을 중심으로 회전될 수 있다.
이처럼, 종래의 회전 스테이지에서는 제2회전 스테이지(21)가 제1회전 스테이지(11)와 독립적으로 구성되지 않고 제1회전 스테이지(11) 상에 구비되기 때문에, 연동되어 작동되게 되고, 이로 인한 문제점이 발생할 수 있다.
즉, 고정블록(12)에는 구동장치(미도시)의 구동력을 제2회전축(20)에 전달하기 위한 연결부(22)(예를 들면, 전선, 신호전달선 등)가 결합된다. 그런데, 제1회전 스테이지(11)가 제1회전축(10)을 중심으로 회전하는 경우, 고정블록(12)이 제1회전 스테이지(11)와 함께 회전하게 되면서 여러 문제점들이 발생할 수 있다. 일 예로, 연결부(22)가 충분히 긴 길이로 마련되지 않는 경우, 연결부(22)의 길이 제한으로 인하여 제1회전 스테이지(11)가 일방향으로 충분하게 회전이 이루어질 수 없게 되는 문제점이 발생할 수 있다. 또한, 이때, 제1회전 스테이지(11)가 일방향으로 무리하게 회전하는 경우, 연결부(22)가 파손되는 등의 문제점이 발생할 수 있다. 그리고, 제1회전 스테이지(11)의 일방향으로의 회전각도를 증대시키기 위해서는 연결부(22)를 충분히 긴 길이로 마련해야 하기 때문에 비용이 증가하게 되는 문제점이 있다.
등록특허공보 제10-1234343호(2013.03.15.공고)
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 작동성이 개선된 틸트 스테이지 장치를 제공하는 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 동력을 전달받아 수직방향의 중심축선을 중심으로 제1회전하는 회전부; 상기 회전부의 상부에 상기 회전부와 이격되도록 구비되고 동력을 전달받아 수직 방향으로 왕복 이동하는 링 형상의 가이드부를 가지는 이동부; 그리고 수평방향으로 구비되는 제1회전축이 상기 회전부의 상부에 회전 가능하도록 결합되어 상기 회전부와 함께 상기 제1회전하고, 상기 가이드부가 이동 시 외력을 전달받아 상기 제1회전축을 중심으로 제2회전이 이루어지며, 피검사물이 안착되는 스테이지부를 포함하는 틸트 스테이지 장치를 제공한다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 스테이지부는 상기 제1회전축이 양단부에 형성되어 상기 제1회전축을 중심으로 상기 제2회전이 이루어지고, 피검사물이 안착되는 안착홈을 가지는 안착부와, 상기 안착부와 연결되고, 상기 가이드부의 수직 이동 시에 연동하여 상하 방향으로 이동하면서 상기 안착부에 회전력을 제공하는 회동부를 가질 수 있다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 제1회전축은 상기 회전부의 상부에 서로 이격되어 마련되는 한 쌍의 고정부에 회전되도록 결합될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 회동부는 상기 안착부와 연결되는 몸체부와, 상기 몸체부의 양단부에 구비되고, 상기 회전부의 상기 제1회전 시 및 상기 이동부의 수직 이동 시에 상기 가이드부의 상면에 지속적으로 위치되는 지지부를 가질 수 있다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 일단부는 상기 몸체부에 연결되고, 타단부는 상기 회전부에 연결되며, 상기 몸체부를 상기 회전부 방향으로 잡아당겨 상기 지지부가 상기 가이드부의 상면에 밀착되도록 하는 탄성부재가 마련될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 회전부의 상부에는 상기 회동부의 하면을 지지하여 상기 안착부가 수평 상태로 되도록 하는 조정돌기부가 구비될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 가이드부는 상기 회전부의 상기 수직방향의 중심축선을 중심으로 하는 원형의 링 형상으로 형성될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 있어서, 상기 가이드부는 상면이 수평하게 구비될 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 회전부의 회전운동 및 이동부의 수직운동을 이용하여 스테이지부의 다축 회전이 동시에 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 따르면, 회전부의 회전운동 및 이동부의 수직운동은 독립적으로 이루어질 수 있다. 따라서, 회전부의 회전운동 및 이동부의 수직운동 간의 간섭이 없어 작동성이 향상될 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 종래의 회전 스테이지 중 일 예를 개략적으로 나타낸 예시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치를 나타낸 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치를 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 회전부를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 회전부의 일부를 분해하여 나타낸 분해사시도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 회전부를 나타낸 구성도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 이동부를 나타낸 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 이동부의 일부를 분해하여 나타낸 분해사시도이다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 스테이지부를 중심으로 나타낸 사시도이다.
도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 스테이지부를 중심으로 하는 분해사시도이다.
도 12는 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 회전부의 작동 시 스테이지부의 작동을 나타낸 평면예시도이다.
도 13은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 이동부의 작동 시 스테이지부의 작동을 나타낸 정면예시도이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치를 나타낸 정면도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치를 나타낸 평면도이다.
도 2 내지 도 4에서 보는 바와 같이, 틸트 스테이지 장치는 회전부(100), 이동부(200) 그리고 스테이지부(300)를 포함할 수 있다. 여기서 회전부(100)는 동력을 전달받아 수직방향의 중심축선(L)을 중심으로 제1회전할 수 있다. 또한, 이동부(200)는 회전부(100)의 상부에 회전부(100)와 이격되도록 구비되고 동력을 전달받아 수직 방향으로 왕복 이동하는 링 형상의 가이드부(240)를 가질 수 있다.
그리고, 스테이지부(300)는 수평방향으로 구비되는 제1회전축(312)이 회전부(100)의 상부에 회전 가능하도록 결합될 수 있으며, 이를 통해, 회전부(100)와 함께 제1회전할 수 있다. 또한, 스테이지부(300)는 가이드부(240)가 이동 시 외력을 전달받을 수 있으며, 이를 통해, 스테이지부(300)는 제1회전축(312)을 중심으로 제2회전이 이루어질 수 있다. 스테이지부(300)에는 피검사물이 안착될 수 있으며, 이에 따라, 피검사물의 측정, 검사 등을 위한 필요한 위치 상태로의 다양한 조정이 가능하다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 회전부를 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 회전부의 일부를 분해하여 나타낸 분해사시도이고, 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 회전부를 나타낸 구성도이다. 이하에서는 도 5 내지 도 7을 포함하여 상세히 설명한다.
틸트 스테이지 장치는 베이스 플레이트(400)를 포함할 수 있으며, 회전부(100)는 베이스 플레이트(400)상에 구비될 수 있다. 그리고, 회전부(100)는 제1동력발생부(110), 동력전달부(120), 회전조립체(130) 및 고정부(170)를 가질 수 있다.
제1동력발생부(110)는 동력을 발생시킬 수 있으며, 제1동력발생부(110)로는 서보(Servo) 모터 또는 스텝(Step) 모터가 사용될 수 있다. 또한, 동력전달부(120)는 제1동력발생부(110)로부터 제공되는 동력을 전달할 수 있다.
회전조립체(130)는 동력전달부(120)로부터 동력을 전달받아 회전할 수 있다. 회전조립체(130)는 수직방향의 중심축선(L)을 중심으로 제1회전할 수 있다. 또한, 회전조립체(130)는 동력입력부(140) 및 회전블록(150)을 가질 수 있다. 동력입력부(140)는 동력전달부(120)로부터 동력을 전달받을 수 있으며, 동력입력부(140)는 수직방향의 중심축선(L)을 가질 수 있다. 본 실시예에서 동력전달부(120) 및 동력입력부(140)는 웜 기어(Worm Gear)로 구성될 수 있다. 예를 들면, 동력전달부(120)는 제1동력발생부(110)의 동력으로 회전하는 구동축(미도시) 및 상기 구동축에 결합되는 나사형의 웜(Worm)을 포함할 수 있다. 그리고, 동력입력부(140)는 상기 나사형의 웜과 맞물려지는 기어형의 웜 휠(Worm Wheel)을 포함할 수 있다. 이를 통해, 제1동력발생부(110)에서 발생되는 동력에 의해 상기 구동축이 회전하고, 이에 따라 상기 나사형의 웜이 회전하면, 상기 나사형의 웜과 맞물려진 상기 기어형의 웜 휠이 회전하면서 동력입력부(140)는 수직방향의 중심축선(L)을 중심으로 제1회전할 수 있게 된다. 그러나, 동력전달부(120) 및 동력입력부(140)는 전술한 바와 같은 웜 기어의 구성으로 한정되는 것은 아니며, 다른 구성으로 구현될 수도 있다. 예를 들면, 동력전달부 및 동력입력부는 볼 스크류(Ball Screw) 방식 등을 포함하여 구현될 수도 있다.
회전블록(150)은 동력입력부(140)의 상부에 결합될 수 있으며, 동력입력부(140)와 일체로 회전할 수 있다. 회전블록(150) 및 동력입력부(140)은 볼트와 같은 체결부재(미도시)에 의해 결합될 수 있다. 또한, 회전블록(150)에는 제1관통공(151)이 형성될 수 있다. 그리고, 회전블록(150)의 하면에는 제1걸림부(152)가 형성될 수 있다. 제1관통공(151)에는 후술할 탄성부재(500, 도 11 참조)의 하단부가 위치될 수 있으며, 제1걸림부(152)에는 탄성부재(500)의 하단부가 결합될 제1고정핀(153)이 구비될 수 있다.
그리고, 고정부(170)는 회전블록(150)의 상부에 구비될 수 있다. 고정부(170)는 한 쌍으로 구비될 수 있으며, 각각의 고정부(170)는 서로 이격되어 구비될 수 있다. 고정부(170)에는 제2관통공(171)이 형성될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 이동부를 나타낸 사시도이고, 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 이동부의 일부를 분해하여 나타낸 분해사시도이다.
도 8 및 도 9를 포함하여 보는 바와 같이, 이동부(200)는 제2동력발생부(210), 컬럼부(220), 슬라이딩부(230) 및 가이드부(240)를 가질 수 있다. 제2동력발생부(210)는 동력을 발생시킬 수 있으며, 제2동력발생부(210)로는 서보(Servo) 모터 또는 스텝(Step) 모터가 사용될 수 있다.
컬럼부(220)는 베이스 플레이트(400)의 상부에 구비될 수 있다. 컬럼부(220)의 상부에는 제2동력발생부(210)가 구비될 수 있으며, 컬럼부(220)의 내측에는 제2동력발생부(210)로부터 동력을 전달받아 회전하는 제1축(221)이 구비될 수 있다. 제1축(221)은 수직방향으로 구비될 수 있으며, 외주면에 제1나사산(222)을 가질 수 있다. 또한, 컬럼부(220)는 수직방향으로 한 쌍의 제1가이드레일(223)을 가질 수 있다.
그리고, 슬라이딩부(230)는 제1가이드레일(223)과 각각 맞물리도록 한 쌍의 제2가이드레일(231)을 가질 수 있으며, 이를 통해, 슬라이딩부(230)는 컬럼부(220)에 수직방향으로 슬라이딩되도록 결합될 수 있다. 또한, 슬라이딩부(230)는 내주면에 제2나사산(232)이 형성되어 상기 제1나사산(222)에 나사 결합되는 결합블록(233)을 가질 수 있다. 이를 통해, 제2동력발생부(210)에 의해 제1축(221)이 회전하게 되면, 결합블록(233)이 제1축(221)의 길이 방향으로 이동할 수 있게 되며, 제1축(221)의 회전방향에 따라 직선 이동방향이 변경될 수 있다.
가이드부(240)는 슬라이딩부(230)에 결합될 수 있다. 가이드부(240)는 링 형상으로 형성될 수 있으며, 가이드부(240)는 회전부(100)의 수직방향의 중심축선(L)을 중심으로 하도록 구비될 수 있다. 가이드부(240)는 회전부(100)의 상부에 회전부(100)와 이격되도록 구비될 수 있으며, 슬라이딩부(230)와 함께 수직방향으로 왕복 이동할 수 있다. 가이드부(240)는 상면(241)이 수평하게 구비되도록 설치될 수 있다.
도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 스테이지부를 중심으로 나타낸 사시도이고, 도 11은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 스테이지부를 중심으로 하는 분해사시도이다.
도 10 및 도 11을 포함하여 보는 바와 같이, 스테이지부(300)는 안착부(310) 및 회동부(320)를 가질 수 있다. 안착부(310)는 상면에 피검사물이 안착되는 안착홈(311)을 가질 수 있다. 그리고, 안착부(310)의 양단부에는 제1회전축(312)이 형성될 수 있다. 제1회전축(312)은 고정부(170)의 제2관통공(171)에 베어링(313)에 의해 결합될 수 있으며, 이를 통해, 안착부(310)는 제1회전축(312)을 중심으로 제2회전할 수 있다.
회동부(320)는 몸체부(321) 및 지지부(322)를 가질 수 있다. 몸체부(321)는 안착부(310)와 연결될 수 있으며, 본 실시예에서, 몸체부(321)는 안착부(310)와 일체로 형성될 수 있다. 지지부(322)는 몸체부(321)의 양단부에 구비될 수 있다. 지지부(322)는 몸체부(321)의 양단부에 돌출되도록 형성될 수 있으며, 가이드부(240)의 상면(241)에 밀착되도록 위치될 수 있다. 회동부(320)는 가이드부(240)의 수직 이동 시에 연동하여 상하 방향으로 이동하게 되는데, 이러한 회동부(320)의 이동이 안착부(310)에 회전력을 제공하게 되기 때문에, 안착부(310)는 제1회전축(312)을 중심으로 제2회전할 수 있게 된다.
그리고, 지지부(322)는 탄성부재(500)에 의해 가이드부(240)의 상면(241)에 밀착될 수 있다. 이를 위해, 회동부(320)에는 제3관통공(323)이 형성될 수 있으며, 회동부(320)의 상면에는 제2걸림부(324)가 형성될 수 있다. 제3관통공(323)에는 탄성부재(500)의 상단부가 위치될 수 있으며, 제2걸림부(324)에는 제2고정핀(325)이 구비되어 탄성부재(500)의 일단부가 결합될 수 있다. 또한, 전술한 바와 같이, 탄성부재(500)의 하단부는 회전블록(150)에 형성되는 제1관통공(151)에 위치될 수 있으며, 탄성부재(500)의 하단부는 제1고정핀(153)에 결합될 수 있다. 탄성부재(500)는 회동부(320)를 회전블록(150) 방향으로 잡아당길 수 있으며, 이를 통해, 지지부(322)는 가이드부(240)의 상면(241)에 지속적으로 밀착될 수 있다.
또한, 회전블록(150)의 상부에는 조정돌기부(155)가 더 구비될 수 있다. 조정돌기부(155)는 회동부(320)의 하면을 지지하도록 형성될 수 있다. 따라서, 가이드부(240)가 상당히 하강 이동하더라도 조정돌기부(155)는 회동부(320)의 하면을 지지하여 안착부(310)의 하향 회전이 어느 지점 이상으로 이루어지지 않도록 회전을 구속할 수 있다. 조정돌기부(155)는 회동부(320)의 하면을 지지하여 회동부(320)의 하향 회전을 구속하였을 때, 안착부(310)가 수평 상태로 되도록 형성될 수 있다.
이하에서는 틸트 스테이지 장치의 작동을 설명한다.
도 12는 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 회전부의 작동 시 스테이지부의 작동을 나타낸 평면예시도이다.
도 12의 (a) 및 (b)에서 보는 바와 같이, 회전블록(150)이 중심축선(L)을 중심으로 제1회전하게 되면, 고정부(170)에 결합된 스테이지부(300)도 회전블록(150)과 함께 제1회전을 할 수 있다. 본 발명에서는 회전부(100, 도 2 참조) 및 이동부(200)가 독립적으로 작동할 수 있기 때문에, 회전블록(150)이 회전하는 동안 가이드부(240)는 고정된 상태일 수 있다.
여기서, 회전블록(150)은 일방향으로만 회전될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니며, 양방향으로 왕복 회전될 수 있다.
도 13은 본 발명의 일실시예에 따른 틸트 스테이지 장치의 이동부의 작동 시 스테이지부의 작동을 나타낸 정면예시도이다.
도 13의 (a) 및 (b)에서 보는 바와 같이, 슬라이딩부(230)와 결합된 가이드부(240)가 상향 이동을 하게 되면, 가이드부(240)의 상면(241)에 밀착된 지지부(322)도 상향 이동을 하게 된다. 따라서, 지지부(322)가 결합된 회동부(320)도 상향 이동을 하게 되며, 안착부(310)는 제1회전축(312)을 중심으로 상향으로 제2회전을 하게 된다. 마찬가지로, 슬라이딩부(230)와 결합된 가이드부(240)가 하향 이동을 하게 되면, 탄성부재(500)가 압축되면서 가이드부(240)의 상면(241)에 밀착된 지지부(322)도 하향 이동을 하게 된다. 따라서, 지지부(322)가 결합된 회동부(320)도 하향 이동을 하게 되며, 안착부(310)는 제1회전축(312)을 중심으로 하향으로 제2회전을 하게 된다. 즉, 제1회전축(312)을 중심으로 스테이지부(300)는 왕복 회전을 할 수 있다.
상기 제1회전 및 제2회전은 동시에 이루어질 수 있으며, 이를 통해, 스테이지부(300)는 다양한 위치 상태로 조절될 수 있다. 또한, 회전부(100)의 회전동작 및 이동부(200)의 수직동작은 독립적으로 이루어질 수 있기 때문에, 회전부(100)의 회전동작 및 이동부(200)의 수직동작 간의 간섭이 없어 전체적으로 작동성이 향상될 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 회전부
110: 제1동력발생부
150: 회전블록
155: 조정돌기부
170: 고정부
200: 이동부
220: 컬럼부
230: 슬라이딩부
240: 가이드부
300: 스테이지부
310: 안착부
312: 제1회전축
320: 회동부
322: 지지부
500: 탄성부재

Claims (8)

  1. 동력을 전달받아 수직방향의 중심축선을 중심으로 제1회전하는 회전부;
    상기 회전부의 상부에 상기 회전부와 이격되도록 구비되고 동력을 전달받아 수직 방향으로 왕복 이동하는 링 형상의 가이드부를 가지는 이동부; 그리고
    수평방향으로 구비되는 제1회전축이 상기 회전부의 상부에 회전 가능하도록 결합되어 상기 회전부와 함께 상기 제1회전하고, 상기 가이드부가 이동 시 외력을 전달받아 상기 제1회전축을 중심으로 제2회전이 이루어지며, 피검사물이 안착되는 스테이지부를 포함하고,
    상기 스테이지부는,
    상기 제1회전축이 양단부에 형성되어 상기 제1회전축을 중심으로 상기 제2회전이 이루어지고, 피검사물이 안착되는 안착홈을 가지는 안착부와,
    상기 안착부와 연결되고, 상기 가이드부의 수직 이동 시에 연동하여 상하 방향으로 이동하면서 상기 안착부에 회전력을 제공하는 회동부를 가지는 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1회전축은 상기 회전부의 상부에 서로 이격되어 마련되는 한 쌍의 고정부에 회전되도록 결합되는 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 회동부는
    상기 안착부와 연결되는 몸체부와,
    상기 몸체부의 양단부에 구비되고, 상기 회전부의 상기 제1회전 시 및 상기 이동부의 수직 이동 시에 상기 가이드부의 상면에 지속적으로 위치되는 지지부를 가지는 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    일단부는 상기 몸체부에 연결되고, 타단부는 상기 회전부에 연결되며, 상기 몸체부를 상기 회전부 방향으로 잡아당겨 상기 지지부가 상기 가이드부의 상면에 밀착되도록 하는 탄성부재가 마련되는 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 회전부의 상부에는 상기 회동부의 하면을 지지하여 상기 안착부가 수평 상태로 되도록 하는 조정돌기부가 구비되는 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 회전부의 상기 수직방향의 중심축선을 중심으로 하는 원형의 링 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부는 상면이 수평하게 구비되는 것을 특징으로 하는 틸트 스테이지 장치.
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