JPH02273319A

JPH02273319A - 磁気ディスク用保護膜の製造装置

Info

Publication number: JPH02273319A
Application number: JP9174389A
Authority: JP
Inventors: Takuya Nishimoto; 卓矢西本
Original assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Current assignee: Furukawa Electric Co Ltd
Priority date: 1989-04-13
Filing date: 1989-04-13
Publication date: 1990-11-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は磁気ディスク基板上に設けた強磁性金属薄膜上
に形成する保護膜の製造装置に関する。

（従来の技術）従来、強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気ディスク
は、金属ディスク基板上に強磁性金属材料を真空蒸着あ
るいはスパッタリングすること等により製造されている
。この強磁性金属薄膜は、高密度記録に優れた特性を有
するが、ヘッドの接触によって摩耗や損傷を受けやすく
、また空気中で酸化され特性変化を起こし易いという欠
点を有していた。

そこで従来強磁性金属薄膜上に種々の保護膜を設けるこ
とにより、耐久性、耐食性を改善することが実施されて
いる。特に最近、プラズマ重合法を利用して樹脂の保護
膜を形成することが行われている。

しかし、このプラズマ重合法による重合膜を保護膜とし
て形成するには、モノマーとして常温常圧で気体状ある
いは液体状の物質が使用されかつ得られた保護膜の性能
は軟質のものが多く、ＣＳ　Ｓ　（Ｃｏｎｔａｃｔ　５
ｔａｒｔ／５ｔｏｐ）テストなどの結果によれば、耐久
性や耐摩耗性に劣っていた。

（発明が解決しようとする課題）本発明者はモノマーとして常温常圧で固体状の有機化合
物を用いてプラズマ重合を行えば耐久性、耐摩耗性に優
れた保護膜が得られることを見出し特許出願を行った（
特開昭６２−２４３１２３号公報）。しかしながら、こ
の方法に用いる装置においては固体モノマーを保護膜作
製毎に計量し蒸発用加熱ボートに入れなければならなか
った。そのため一定品質の保護膜を被着するのは容易で
はなかった。

本発明は、かかる問題点を解決する磁気ディスク用保護
膜の製造装置を提供する目的でなされたものである。

（課題を解決するための手段）本発明は、（１）真空容器内において常温常圧下で固体
状態の有機化合物を、蒸発用加熱ボートから気化させ、
プラズマ重合させて得られる重合膜を磁気ディスクの表
面に保護膜として被着する装置において、前記加熱ボー
トに対し固体状有機化合物を定量供給する供給手段を具
備させてなることを特徴とする磁気ディスク用保護膜の
製造装置、（２）有機化合物を蒸発用加熱ボートに定量的に供給す
る手段が、有機化合物送り出し用らせん状の溝を有する
スクリューと固体状態の有機化合物を貯蔵する部分を有
する円筒状容器からなることを特徴とする（１）記載の
磁気ディスク用保護膜の製造装置、及び（３）固体状態の有機化合物がベンゼン環を２つ以上含
むことを特徴とする（１）記載の磁気ディスク用保護膜
の製造装置、を提供するものである。

本発明装置で処理する磁気ディスクは、特に制限はない
が例えば基体となるアルミニウム基板上にＮ１−Ｐなど
の化学メツキ層を密着せしめ、研磨仕上げなどの後処理
を施したのち、その表面に物理的または化学的手法によ
り強磁性金属薄膜を形成したものが挙げられる。

本発明において使用する有機化合物としては、常温常圧
で固相を呈するものであり、具体的には、ナフタレン、
アントラセン、テトラセン、ペンタセン、ヘキサセン、
ペリレン、フェナントレン、クリセン、トリフェニレン
、ピレン、ベンゾピレン、ビオラントレン、コロネン、
オバレン等の芳香族炭化水素もしくはその誘導体、ある
いはジフェニール、ジフェニルメタン、ジベンジル、ト
リフェニルメタン、ジフェニルエチレン、トリフェニル
エチレン、ジフェニルアセチレン、ターフェニル等の脂
肪族−芳香族炭化水素（アレーン）あるいはその誘導体
、トリフェニルクロロシラン等のシラン化合物、パーフ
ルオロジフェニル等の含フッ素系化合物である。これら
の中でも特に、昇華性の著しいまたは溶融時に高い蒸気
圧を示す固体化合物が望ましい。

これらの有機化合物の気化を促進するための加熱体とし
ては例えばＭｏ、Ｗ等の蒸着用金属ボートを使用する。

また、本発明装置におけるキャリアーガスとしてはアル
ゴン、ヘリウム等の不活性ガス又は水素、窒素、酸素で
あり、必要に応じてメタン、エタン、プロパン、エチレ
ン、プロピレン、ＣＦ４、Ｃ，Ｆ４等の炭化水素系ガス
を混合してもよい。

これらのガスを真空容器内に導入し、０．００５〜３Ｔ
ｏｒｒ、望ましくは、０．　　Ｏｌ〜１　、　５Ｔｏｒ
ｒの範囲に保持する。

高周波によりプラズマ重合を行う場合、高周波出力と電
極面積の大きさから、エネルギー密度を、０．２〜４Ｗ
／ｃｍ’、好ましくは、０．５〜３　Ｗ　／　ｃ　ｒｒ
ｒｌの範囲に入るようにし、できる限り高エネルギー密
度下で行うことにより硬質の保護膜を得ることができる
。なお高周波電源は通常１３．５６ＭＨｚの発振周波数
であるが、特にこの周波数に限定されることなく、直流
からマイクロ波までのいかなる周波数であってもよい。

またここで用いられるプラズマ発生装置は上記に限定さ
れず誘導コイル型、導波管型、コンデンサ型等のいずれ
であってもよい。

また磁気ディスク本体の温度は膜の成長や下地との密着
力に大きな影響を及ぼすものであり、高温度の方が硬質
で下地との密着力の大きい膜が得られる。従って、強磁
性金属薄膜の表面温度は５０〜３５０℃、好ましくは１
５０〜３００℃に保持することがよい。

反応時間は、モノマーの種類、気化速度および電極配置
等によって影響を及ぼすものであるが、通常５秒〜１０
分、好ましくは１０秒〜３分にて所望の膜厚のものを得
ることができる。

本発明による保護膜の厚さは、通常、１０〜１０００オ
ングストロームであり、好ましくは、８０〜６００オン
グストロームに分布することが望ましい。この膜厚が薄
すぎると耐久性、耐摩耗性が劣り、逆に膜厚が厚すぎる
とスペーシングロスが大きくなり、記録の読み出し特性
に悪影響をもたらすものであると共に場合によっては強
固な膜が得られないことも考えられる。

（作用）本発明の製造装置において、固体状有機化合物を定量供
給すると蒸発用加熱ボートから該有機化合物が気化し、
磁気ディスク上にこれを重合させて連続的にかつ安定条
件下で保護膜を形成することができる。

（実施例）以下に本発明の実施例を図面に従って説明する。

第１図は本発明装置の一実施例を示す模式図である。

図中１は基体表面に強磁性金属薄膜を形成した磁気ディ
スク本体、２Ａ・２Ｂは対向する電極、３はペルジャー
、４はテーブル、５はペルジャー３内を真空にする真空
ポンプ、６は絶対真空計、７は電極２Ａ・２Ｂに接続さ
れた高周波電源、８はキャリアーガス源、９は固体状有
機化合物、１０は固体状有機化合物９を気化させるため
の抵抗加熱体、１１は抵抗加熱体１０に接続された電源
、１２はペルジャー３内にキャリアーガスを導入するた
めのノズル、１３は固体状有機化合物９を抵抗加熱体１
０に定量的に供給する装置である。

以上の構成の装置において、装置１３により固体状有機
化合物９を抵抗加熱体１０のボート上に供給し、この抵
抗加熱体１０に電源１１によって電圧を印加し、有機化
合物９を気化させプラズマ重合を行い強磁性金属膜上に
保護膜を形成する。

有機化合物を加熱体に定量的に供給する装置の好ましい
実施態様としては第２図に示す装置が挙げられる。この
装置は外面に有機化合物を投入収容する漏斗状投入口１
４ａを有する円筒１４と、外周部にらせん状溝を形成し
た円柱状胴部１５ａを円筒に回動可能に嵌入するととも
に、この胴部の一端からは頭部１５ｂを円筒外に露出さ
せた操作棒１５とからなる。この装置１３は加熱体ｌＯ
の上方に配置する。有機化合物を投入口１４ａへ入れ、
操作棒１５を一定回転させることにより加熱体のボート
中に有機化合物を定量供給することができる。なお、操
作棒１５は手動あるいは自動で回転可能とする。

以下に本発明装置による磁気ディスクの保護膜製造例を
詳細に説明する。

第１図に示した如く対極型プラズマ重合装置を使用し、
常温常圧で固体状の有機化合物として、ジベンジルの存
在下にて、直径５インヂの磁気ディスク本体の表面にプ
ラズマ重合法により保護膜を形成せしめた。

すなわち、直径１３０ｍｍのステンレス製電極を使用し
、この電極間の距離を２５ｍｍに保持し、高周波電源の
周波数を１３．５６ＭＨｚ　、供給エネルギー密度を２
．５Ｗ／ｃｒｄとし、モノマーとして融点５２℃のジベ
ンジルを円筒内より操作棒を一定角速度で回転させるこ
とにより１２ｍｇタングステンボート上に供給、５■の
電圧を印加して気化せしめた。

また、キャリアーガスとしては、純アルゴンガスを使用
し、ペルジャー内の圧力を０　、　　Ｉ　Ｔｏｒｒにし
、高周波プラズマを３０秒光発生せて磁気ディスフ上に
約３００オングストロームの保護膜を形成せしめた。本
例では操作棒を一定角速度で回転させるだけで一定量の
ジベンジルをタングステンボート上に供給できた。この
ようにして連続的に保護膜を形成できた。

（発明の効果）以上説明したように本発明装置によれば、固体状有機化
合物を自動的に容易に抵抗加熱体に一定量供給して、一
定状態での保護膜が形成され、製品品質の安定と製造コ
ストの低減に顕著な効果を奏する。もちろん耐久性に優
れた磁気記録媒体を製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明磁気ディスク用保護膜の製造装置の１例
を示す模式図、第２図（Ａ）、（Ｂ）は、固体状有機化
合物を抵抗加熱体に定量的に供給する装置の１例を示す
断面図及び分解斜視図である。符号の説明１　・・・磁気ディスク本体２Ａ・２Ｂ・・・対向する電極・・・ペルジャー・・・ベースプレート・・・真空ポンプ・・・絶対真空計・・・高周波電源・・・キャリアーガス源・・・固体状有機化合物・・・抵抗加熱体・・・電源・・・キャリアーガス導入ノズル・・・固体状有機化合物供給装置・・・円筒・・操作棒・・・固体状有機化合物投入収容口・・・胴体・・・頭部

Claims

【特許請求の範囲】

（１）真空容器内において常温常圧下で固体状態の有機
化合物を、蒸発用加熱ボートから気化させ、プラズマ重
合させて得られる重合膜を磁気ディスクの表面に保護膜
として被着する装置において、前記加熱ボートに対し固
体状有機化合物を定量供給する供給手段を具備させてな
ることを特徴とする磁気ディスク用保護膜の製造装置。
（２）有機化合物を蒸発用加熱ボートに定量的に供給す
る手段が、有機化合物送り出し用らせん状の溝を有する
スクリューと固体状態の有機化合物を貯蔵する部分を有
する円筒状容器からなることを特徴とする請求項１記載
の磁気ディスク用保護膜の製造装置。
（３）固体状態の有機化合物がベンゼン環を２つ以上含
むことを特徴とする請求項１記載の磁気ディスク用保護
膜の製造装置。