JPH02273320A - 磁気テープ用保護膜の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気テープ上に設けた強磁性金属薄膜上に形成
する保護膜の製造装置に関する。

（従来の技術） 従来、強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気テープは
、テープ基板上に強磁性金属材料を真空蒸着あるいはス
パッタリングすること等により製造されている。この強
磁性金属薄膜は、高密度記録に優れた特性を有するが、
ヘッドの接触によって摩耗や損傷を受けやすく、また空
気中で酸化され特性変化を起こし易いという欠点を有し
ていた。

そこで従来強磁性金属薄膜上に種々の保護膜を設けるこ
とにより、耐久性、耐食性を改善することが実施されて
いる。特に最近、プラズマ重合法を利用して樹脂の保護
膜を形成することが行われている。

しかし、このプラズマ重合法による重合膜を保護膜とし
て形成するには、モノマーとして常温常圧で気体状ある
いは液体状の物質が使用されかつ得られた保護膜の性能
は軟質のものが多（、スチル耐久テストなどの結果によ
れば、耐久性や耐摩耗性に劣っていた。

（発明が解決しようとする課題） 本発明者はモノマーとして常温常圧で固体状の有機化合
物を用いてプラズマ重合を行えば耐久性、耐摩耗性に優
れた保護膜が得られることを見出し特許出願を行った（
特開昭６２−２４３１２３号公報）。しかしながら、こ
の方法に用いる装置においては固体子ツマ−を保護膜作
製毎に計量し蒸発用加熱ボートに入れなければならなか
った。そのため磁気テープのような長尺物の保護膜の作
製には適さなかった。また一定品質の保護膜を被着する
のは容易ではなかった。

本発明は、かかる問題点を解決する磁気テープ用保護膜
の製造装置を提供する目的でなされたものである。

（課題を解決するための手段） 本発明は、（１）真空容器内において常温常圧下で固体
状態の有機化合物を、蒸発用加熱ボートから気化させ、
プラズマ重合させて得られる重合膜を磁気テープの表面
に保護膜として被着する装置において、前記加熱ボート
に対し固体状有機化合物を連続的かつ定量供給する供給
手段を具備させてなることを特徴とする磁気テープ用保
護膜の製造装置、 （２）有機化合物を蒸発用加熱ボートに定量的に供給す
る手段が、有機化合物送り出し用らせん状の溝を有する
スクリューと固体状態の有機化合物を貯蔵する部分を有
する円筒状容器からなることを特徴とする（１）記載の
磁気テープ用保護膜の製造装置、及び （３）固体状態の有機化合物がベンゼン環を２つ以上含
むことを特徴とする１項記載の磁気テープ用保護膜の製
造装置、 を提供するものである。

本発明装置で処理する磁気テープは、特に制限はないが
例えば基体となるポリエステル、ポリイミド、ポリカー
ボネート、芳香族アラミド等の合成樹脂フィルムからな
るテープ基板上に物理的または化学的手法により強磁性
金属薄膜を形成したものが挙げられる。

本発明において使用する有機化合物としては、常温常圧
で固相を呈するものであり、具体的には、ナフタレン、
アントラセン、テトラセン、ペンタセン、ヘキサセン、
ペリレン、フェナントレン、クリセン、トリフェニレン
、ピレン、ベンゾピレン、ビオラントレン、コロネン、
オバレン等の芳香族炭化水素もしくはその誘導体、ある
いはジフェニール、ジフェニルメタン、ジベンジル、ト
リフェニルメタン、ジフェニルエチレン、トリフェニル
エチレン、ジフェニルアセチレン、ターフェニル等の脂
肪族−芳香族炭化水素（アレーン）あるいはその誘導体
、トリフェニルクロロシラン等のシラン化合物、パーフ
ルオロジフェニル等の含フッ素系化合物である。これら
の中でも特に、昇華性の著しいまたは溶融時に高い蒸気
圧を示す固体化合物が望ましい。

これらの有機化合物の気化を促進するための加熱体とし
ては例えばＭｏ、Ｗ等の蒸着用金属ボートを使用する。

また、本発明装置におけるキャリアーガスとしてはアル
ゴン、ヘリウム等の不活性ガス又は水素、窒素、酸素で
あり、必要に応じてメタン、エタン、プロパン、エチレ
ン、プロピレン、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ４等の炭化水素系ガス
を混合してもよい。

これらのガスを真空容器内に導入し、０．００５〜３Ｔ
ｏｒｒ、望ましくは、Ｏ，Ｏｌ〜１．５Ｔｏｒｒの範囲
に保持する。

高周波によりプラズマ重合を行う場合、高周波出力と電
極面積の大きさから、エネルギー密度を、０．２〜４Ｗ
／ｃｒｔＩｔ、好ましくは、０．５〜３　Ｗ　／　ｃ　
ｒｒｒの範囲に入るようにし、できる限り高エネルギー
密度下で行うことにより硬質の保護膜を得ることができ
る。なお高周波電源は通常１３．５６ＭＨｚの発振周波
数であるが、特にこの周波数に限定されることな（、直
流からマイクロ波までのいかなる周波数であってもよい
。またここで用いられるプラズマ発生装置は上記に限定
されず誘導コイル型、導波管型、コンデンサ型等のいず
れであってもよい。

反応時間は、モノマーの種類、気化速度および電極配置
等によって影響を及ぼすものであるが、通常５秒〜１０
分、好ましくは１０秒〜３分にて所望の膜厚のものを得
ることができる。

本発明による保護膜の厚さは、通常、ｌＯ〜１０００オ
ングストロームであり、好ましくは、８０〜６００オン
グストロームに分布することが望ましい。この膜厚が薄
すぎると耐久性、耐摩耗性が劣り、逆に膜厚が厚すぎる
とスペーシングロスが大きくなり、記録の読み出し特性
に悪影響をもたらすものであると共に場合によっては強
固な膜が得られないことも考えられる。

（作用） 本発明の製造装置番こおいて、固体状有機化合物を定量
供給すると蒸発用加熱ボートから該有機化合物が気化し
、長尺磁気テープ上にこれを重合させて連続的にかつ安
定条件化で保護膜を形成することができる。

（実施例） 以下に本発明の実施例を図面に従って説明する。

第１図は本発明装置の一実施例を示す模式図である。

図中１はテープ表面に強磁性金属薄膜を形成した磁気テ
ープ本体、２Ａ・２Ｂは対向する電極、３はペルジャー
、４はテーブル、５は原反ロール、６はガイドロール、
７はペルジャー３内を真空にする真空ポンプ、８は絶対
真空計、９は電極２Ａ・２Ｂに接続された高周波電源、
ｌＯはキャリアーガス源、１１は固体状有機化合物、１
２は固体状有機化合物１１を気化させるための抵抗加熱
体、１３は抵抗加熱体１２に接続された電源、１４はペ
ルジャー３内にキャリアーガスを導入するためのノズル
、１５は固体状有機化合物１１を抵抗加熱体１２に定量
的に供給する装置であ以上の構成の装置において、装置
１５により固体状有機化合物１１を抵抗加熱体１２のボ
ート上に供給し、この抵抗加熱体１２に電源１３によっ
て電圧を印加し、有機化合物１１を気化させプラズマ重
合を行い強磁性金属膜上に保護膜を形成する。保護膜形
成が終了すればロール５．６によりテープを巻き、新た
な保護膜を形成する。このとき供給装置１５により有機
化合物１１が連続して定量、抵抗加熱体１２に供給され
ることとなる。

有機化合物を加熱体に定量的に供給する装置の好ましい
実施態様としては第２図に示す装置が挙げられる。この
装置は外面に有機化合物を投入収容する漏斗状投入口１
６ａを有する円筒１６と、外周部にらせん状溝を形成し
た円柱状胴部１７ａを円筒に回動可能に嵌入するととも
に、この胴部の一端からは頭部１７ｂを円筒外に露出さ
せた操作棒１７とからなる。この装置１５は加熱体１２
の上方に配置する。有機化合物を投入口１６ａへ入れ、
操作棒１７を一定回転させることにより加熱体のボート
中に有機化合物を定量供給することができる。なお、操
作棒１７は手動あるいは自動で回転可能とする。

以下に本発明装置による磁気テープの保護膜製造例を詳
細に説明する。

第１図に示した如く対極型プラズマ重合装置を使用し、
常温常圧で固体状の有機化合物として、ジベンジルの存
在下にて、厚さ１０μｍのポリエステルフィルム上に蒸
着法により強磁性金属を０．１μｍ被着させた磁気テー
プ本体の表面にプラズマ重合法により保護膜を形成せし
めた。

すなわち、２００ｍｍＸ１００ｍｍのステンレス製の一
対の電極を使用し、この電極間の距離を２５ｍｍに保持
し、キャリアーガスとして純アルゴンガスを使用し、ペ
ルジャー内の圧力を０．　　ＩＴｏｒｒにし、高周波電
源の周波数を１３．５６ＭＨｚ　、供給エネルギー密度
を２．５Ｗ／ｃｄとし、モノマーとして融点５２℃のジ
ベンジルを円筒内より操作棒を一定角速度で回転させる
ことにより、１０ｍｇ／分の割合で５■の電圧を印加し
ているタングステンボート上に供給し気化ゼしめ、プラ
ズマ重合を行った。またこの時の磁気テープの移動速度
は１ｍ／分であった。こうして磁気テープ上に得た保護
膜の厚さは約２５０オングストロームであった。本例で
は操作棒な一定角速度で回転させるだけで一定量のジベ
ンジルをタングステンボート上に連続的に供給できた。

このようにして連続的に保護膜を形成できた。

（発明の効果） 以上説明したように本発明装置によれば、６競気テープ
の移動に合わせて、固体状有機化合物を自動的に容易に
抵抗加熱体に一定量供給して、長尺物である磁気テープ
に、一定の、安定状態での保護膜が連続して形成され、
製品品質の安定と製造コストの低減に顕著な効果を奏す
る。もちろん耐久性に優れた磁気記録媒体を製造するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明磁気ディスク用保護膜の製造装置の１例
を示す模式図、第２図（Ａ）、（Ｂ）は、固体状有機化
合物を抵抗加熱体に定量的に供給する装置の１例を示す
断面図及び分解斜視図である。 符号の説明 １　・・・磁気テープ本体 ２Ａ・２Ｂ・・・対向する電極 ３　・・・ペルジャー ４　・・・ベースプレート ５　・・・原反ロール ６　・・・ガイドロール ７　・・・真空ポンプ ８　・・・絶対真空計 ９　・・・高周波電源 ｌＯ・・・キャリアーガス源 １１　　・・・固体状有機化合物 １２　　・・・抵抗加熱体 １３　　・・・電源 １４　　・・・キャリアーガス導入ノズル１５　　・・
・固体状有機化合物供給装置１６　　・・・円筒 ・・・固体状有機化合物投入収容口 ・・・操作棒 ・・・胴体 ・・・頭部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空容器内において常温常圧下で固体状態の有機
   化合物を、蒸発用加熱ボートから気化させ、プラズマ重
   合させて得られる重合膜を磁気テープの表面に保護膜と
   して被着する装置において、前記加熱ボートに対し固体
   状有機化合物を連続的かつ定量供給する供給手段を具備
   させてなることを特徴とする磁気テープ用保護膜の製造
   装置。
2. （２）有機化合物を蒸発用加熱ボートに定量的に供給す
   る手段が、有機化合物送り出し用らせん状の溝を有する
   スクリューと固体状態の有機化合物を貯蔵する部分を有
   する円筒状容器からなることを特徴とする請求項１記載
   の磁気テープ用保護膜の製造装置。
3. （３）固体状態の有機化合物がベンゼン環を２つ以上含
   むことを特徴とする請求項１記載の磁気テープ用保護膜
   の製造装置。