JPH02266286A - 計測用プローブ - Google Patents
計測用プローブInfo
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- JPH02266286A JPH02266286A JP8759089A JP8759089A JPH02266286A JP H02266286 A JPH02266286 A JP H02266286A JP 8759089 A JP8759089 A JP 8759089A JP 8759089 A JP8759089 A JP 8759089A JP H02266286 A JPH02266286 A JP H02266286A
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Landscapes
- Measuring And Recording Apparatus For Diagnosis (AREA)
- Nuclear Medicine (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は生体中の極低レベルのベータ線またはポジトロ
ン(陽電子)を計測するための生体内計測用プローブに
関するものである。
ン(陽電子)を計測するための生体内計測用プローブに
関するものである。
「従来の技術」
従来、ベータ線の生体中の計測用プローブとしては、第
14図に示すような半導体検出器が用いられていた。こ
れは、生体内の放射線の作用により半導体検出器(1)
の半導体素子(2)中に電子ホール対が生成されるのを
利用して検出し、これをすぐに変換器(3)で電気信号
に変換して同軸線路(4)により光検出器(図示せず)
へ伝送するようにしたものである。
14図に示すような半導体検出器が用いられていた。こ
れは、生体内の放射線の作用により半導体検出器(1)
の半導体素子(2)中に電子ホール対が生成されるのを
利用して検出し、これをすぐに変換器(3)で電気信号
に変換して同軸線路(4)により光検出器(図示せず)
へ伝送するようにしたものである。
「発明が解決しようとする課題」
この半導体検出器はベータ線を検出する部分に半導体素
子(2)が使われているため、生体の温度による特性変
化や、周囲の電磁界の影響を受は易く、極低レベル時の
計測が困難であるという問題があった。また、半導体検
出器の小形化や形状変更が容易でないためベータ線の検
出範囲を自由に変化させることができず、さらにコスト
も高いという問題があった。
子(2)が使われているため、生体の温度による特性変
化や、周囲の電磁界の影響を受は易く、極低レベル時の
計測が困難であるという問題があった。また、半導体検
出器の小形化や形状変更が容易でないためベータ線の検
出範囲を自由に変化させることができず、さらにコスト
も高いという問題があった。
本出願人は、半導体素子を用いた方式に代えて、シンチ
レーションファイバでベータ線またはポジトロンを検出
し、そのとき発生するせん光を導光部を介してそのまま
光検出器に送るようにしたものをすでに提案した。これ
は温度の変化や周囲の電磁器の影響を受けにくいという
特徴を有するが、極低レベル時の検出にやや問題があっ
た。
レーションファイバでベータ線またはポジトロンを検出
し、そのとき発生するせん光を導光部を介してそのまま
光検出器に送るようにしたものをすでに提案した。これ
は温度の変化や周囲の電磁器の影響を受けにくいという
特徴を有するが、極低レベル時の検出にやや問題があっ
た。
本発明は、生体内の極低レベルのベータ線またはポジト
ロンを計測できるものを得ることを目的とするものであ
る。
ロンを計測できるものを得ることを目的とするものであ
る。
「課題を解決するための手段」
本発明はシンチレーションファイバから形成されたプロ
ーブ部と、このプローブ部に結合されて検出された光信
号をそのまま伝送する複数の導光用ファイバからなる導
光部と、この導光部の複数の導光ファイバ毎に結合され
た複数の光検出器とからなるものである。
ーブ部と、このプローブ部に結合されて検出された光信
号をそのまま伝送する複数の導光用ファイバからなる導
光部と、この導光部の複数の導光ファイバ毎に結合され
た複数の光検出器とからなるものである。
[作用」
生体に注射針を差込み、固定し、その注射針の中を通し
てプローブ部を差込む、すると、プローブ部の先端のシ
ンチレータにベータ線またはポジトロンが当ることによ
ってせん光を発生し、これがシンチレーションファイバ
で検出され、さらに導光部の複数の導光ファイバを通り
それぞれ独立した光検出器へ伝送される。複数の光検出
部の出力は同時計測回路を含む信号処理回路で処理され
る。単一の光検出部の出力を用いる場合に比し、ノイズ
が極端に低減し、極低レベルのβ線またはポジトロンが
検出される。なお、シンチレーションファイバは可視光
の入射を阻止するためのアルミ蒸着膜などの遮光膜が設
けられる。
てプローブ部を差込む、すると、プローブ部の先端のシ
ンチレータにベータ線またはポジトロンが当ることによ
ってせん光を発生し、これがシンチレーションファイバ
で検出され、さらに導光部の複数の導光ファイバを通り
それぞれ独立した光検出器へ伝送される。複数の光検出
部の出力は同時計測回路を含む信号処理回路で処理され
る。単一の光検出部の出力を用いる場合に比し、ノイズ
が極端に低減し、極低レベルのβ線またはポジトロンが
検出される。なお、シンチレーションファイバは可視光
の入射を阻止するためのアルミ蒸着膜などの遮光膜が設
けられる。
「実施例」
以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。
第1図において、(10)は生体(19)に挿入される
プローブ部、 (11)は光信号を伝送する導光部、(
12)は光検出器である。
プローブ部、 (11)は光信号を伝送する導光部、(
12)は光検出器である。
前記プローブ部(10)の先端部(22)は、例えば直
径が約0.5mmの2本のシンチレーションファイバ(
13)(13)の先端をそれぞれ斜めに切断した後第2
図に示すように互いにその端面を接合し、また、先端部
(22)だけが露出するようにして他は第3図(a)の
ような長円形または(b)のような円形の金属管(17
)で被覆されている。なお、前記先端部(22)の周囲
に、必要に応じて測定可能なベータ線または陽電子エネ
ルギーの最小値を考慮した上で、可視光を阻止するため
のアルミ蒸着膜のような遮光膜を形成してもよい。
径が約0.5mmの2本のシンチレーションファイバ(
13)(13)の先端をそれぞれ斜めに切断した後第2
図に示すように互いにその端面を接合し、また、先端部
(22)だけが露出するようにして他は第3図(a)の
ような長円形または(b)のような円形の金属管(17
)で被覆されている。なお、前記先端部(22)の周囲
に、必要に応じて測定可能なベータ線または陽電子エネ
ルギーの最小値を考慮した上で、可視光を阻止するため
のアルミ蒸着膜のような遮光膜を形成してもよい。
前記導光部(11)は前記シンチレーションファイバ(
13) (13)に連結した導光用ファイバ(16)
(16)からなり、この第1図の例では導光用ファイバ
(16)(16)は前記シンチレーションファイバ(1
3) (13)を一体に延長して形成する。また、この
導光用ファイバ(26) (16)の他端にはそれぞれ
独立した前記光検出器(12) (12)が結合されて
いる。
13) (13)に連結した導光用ファイバ(16)
(16)からなり、この第1図の例では導光用ファイバ
(16)(16)は前記シンチレーションファイバ(1
3) (13)を一体に延長して形成する。また、この
導光用ファイバ(26) (16)の他端にはそれぞれ
独立した前記光検出器(12) (12)が結合されて
いる。
前記シンチレーションファイバ(13) (13)の直
径は一例であって、この直径や長さはベータ線またはポ
ジトロンの検出範囲、分解能等を考慮して最適となるよ
うに決定される。
径は一例であって、この直径や長さはベータ線またはポ
ジトロンの検出範囲、分解能等を考慮して最適となるよ
うに決定される。
以上のようにして構成されたプローブ(18)を用い生
体(19)でベータ線を検出するには、第4図に示すよ
うに、直径的1mmの注射針のような中空の案内針(2
0)を生体(19)に差込み、接着剤(21)で固定し
、この案内針(20)の中空部分にプローブ(18)を
差込む、そしてプローブ部(10)の先端部(22)に
ベータ線が当ることによってせん光を発生する。
体(19)でベータ線を検出するには、第4図に示すよ
うに、直径的1mmの注射針のような中空の案内針(2
0)を生体(19)に差込み、接着剤(21)で固定し
、この案内針(20)の中空部分にプローブ(18)を
差込む、そしてプローブ部(10)の先端部(22)に
ベータ線が当ることによってせん光を発生する。
すなわち、ベータ線のエネルギは一般に数10〜数メガ
ev(エレクトロンボルト)と高いので、シンチレーシ
ョンファイバ(13) (13)からなる先端部(22
)中で多数個の光子を一度に生成し、等方的に発生する
。これらの発生した光は導光部(11)の2本の導光フ
ァイバ(16) (16)に分割して伝送されてそれぞ
れ独立した光検出器(B)(12)に送られ、同時に受
光さ5れる。
ev(エレクトロンボルト)と高いので、シンチレーシ
ョンファイバ(13) (13)からなる先端部(22
)中で多数個の光子を一度に生成し、等方的に発生する
。これらの発生した光は導光部(11)の2本の導光フ
ァイバ(16) (16)に分割して伝送されてそれぞ
れ独立した光検出器(B)(12)に送られ、同時に受
光さ5れる。
この2個の光検出器(12)(12)は第10図に示す
ように、それぞれアンプ(23) (23) 、タイミ
ング識別回路(24) (24)に導びかれる。ここで
は信号レベルより小さいノイズ成分を除去すると同時に
、それぞれの電気パルスの到達時間に対応したディジタ
ルパルスを生成する。これらのパルスは同時計数回路(
25)にそれぞれ導びかれ、予め設定されたある一定時
間内に2つのパルスが生じたときのみを信号イベントと
して出力する。この出力頻度をカウンタ(26)で計数
し、コンピュータ(27)により記録、処理する。
ように、それぞれアンプ(23) (23) 、タイミ
ング識別回路(24) (24)に導びかれる。ここで
は信号レベルより小さいノイズ成分を除去すると同時に
、それぞれの電気パルスの到達時間に対応したディジタ
ルパルスを生成する。これらのパルスは同時計数回路(
25)にそれぞれ導びかれ、予め設定されたある一定時
間内に2つのパルスが生じたときのみを信号イベントと
して出力する。この出力頻度をカウンタ(26)で計数
し、コンピュータ(27)により記録、処理する。
前記同時計数回路(25)における同時計数時間幅をτ
、各光検出器(12) (12)からのノイズをそれぞ
れN工、N2の計数率とすると、これらのノイズは時間
的に相関がないので。
、各光検出器(12) (12)からのノイズをそれぞ
れN工、N2の計数率とすると、これらのノイズは時間
的に相関がないので。
N=2τN、 N2
で支えられる同時計数ノイズNとなる。
例えばt=5ns、N、=N、=1kcpsとすると、
N=10−” となり、単一の検出器出力のみを用いる場合に比較して
ノイズは1 /10’に低減する。
N=10−” となり、単一の検出器出力のみを用いる場合に比較して
ノイズは1 /10’に低減する。
これにより生体内での極低レベルのベータ線検出が可能
となる。
となる。
なお、ポジトロン検出の場合、ポジトロン消滅により生
ずるガンマ線でバックグラウンドを減少するため、ポジ
トロンの飛散に対して充分阻止能力があり、ガンマ線に
対しては断面積が小さいように先端のシンチレーション
ファイバ(13) (13)の体積と材質が設定される
。
ずるガンマ線でバックグラウンドを減少するため、ポジ
トロンの飛散に対して充分阻止能力があり、ガンマ線に
対しては断面積が小さいように先端のシンチレーション
ファイバ(13) (13)の体積と材質が設定される
。
つぎに、本発明の他の実施例を説明する。
前記第1図に示した実施例では、プローブ部(]O)の
先端部(22)にて、シンチレーションファイバ(13
) (13)を2本に分岐したが、第5図に示すように
、先端部(22)は1本のシンチレーションファイバ(
13)とし、金属管(17)の内部で2本の導光用ファ
イバ(16) (16)に分岐結合するようにしてもよ
い。
先端部(22)にて、シンチレーションファイバ(13
) (13)を2本に分岐したが、第5図に示すように
、先端部(22)は1本のシンチレーションファイバ(
13)とし、金属管(17)の内部で2本の導光用ファ
イバ(16) (16)に分岐結合するようにしてもよ
い。
また、第6図に示すように、先端部(22)だけをシン
チレーションファイバ(13)とし、金属’!? (1
7)内は1本の導光用ファイバ(16)として、金属管
(17)の外部で2本に分岐結合するようにしてもよい
。
チレーションファイバ(13)とし、金属’!? (1
7)内は1本の導光用ファイバ(16)として、金属管
(17)の外部で2本に分岐結合するようにしてもよい
。
さらに、第7図に示すように、先端部(22)から金属
管(17)内までを1本のシンチレーションファイバ(
13)で構成し、金属管(17)の外部で2本の導光用
ファイバ(16) (16)にて分岐結合するようにし
てもよい。
管(17)内までを1本のシンチレーションファイバ(
13)で構成し、金属管(17)の外部で2本の導光用
ファイバ(16) (16)にて分岐結合するようにし
てもよい。
さらにまた、第8図に示すように、1本のシンチレーシ
ョンファイバ(13)を180度屈白させ、その先端部
(22)を露出させ、かつ導光部(11)もすべてシン
チレーションファイバ(13)で構成するようにしても
よい。
ョンファイバ(13)を180度屈白させ、その先端部
(22)を露出させ、かつ導光部(11)もすべてシン
チレーションファイバ(13)で構成するようにしても
よい。
第9図はプローブ部(10)の先端部(22)から金属
管(17)の内部、導光部(11)とすべて導光ファイ
バ(16)を用いて構成し、露出した先端部(22)の
み螢光体(28)を塗布したものとすることもできる。
管(17)の内部、導光部(11)とすべて導光ファイ
バ(16)を用いて構成し、露出した先端部(22)の
み螢光体(28)を塗布したものとすることもできる。
第11図はプローブ部(10)を、第1、第2.第3の
3本のシンチレーションファイバ(13a) (13b
) (13c)で構成し、第1 (13a)と第2 (
13b)、第2 (13b)と第3 (13c) 、第
3 (13c)と第1 (13a)の各2本を対として
光検出器(12a)(12b012c)に結合し、さら
にオア回路(29)、カウンタ(26)を経てコンピュ
ータ(27)に結合する。このような構成とすることに
より、さらに効率が向上する。
3本のシンチレーションファイバ(13a) (13b
) (13c)で構成し、第1 (13a)と第2 (
13b)、第2 (13b)と第3 (13c) 、第
3 (13c)と第1 (13a)の各2本を対として
光検出器(12a)(12b012c)に結合し、さら
にオア回路(29)、カウンタ(26)を経てコンピュ
ータ(27)に結合する。このような構成とすることに
より、さらに効率が向上する。
つぎに、第12図はプローブ部(10)を2本のシンチ
レーションファイバ(13a) (13b)が略接する
ように構成し、これにβ線が入射したとき、散乱により
2本ともせん光を起こした例を示すものである。
レーションファイバ(13a) (13b)が略接する
ように構成し、これにβ線が入射したとき、散乱により
2本ともせん光を起こした例を示すものである。
この第12図の光検出器(12) (12)を第10図
の回路に結合すると、β線の散乱を利用して同時計数に
よる低ノイズのβ線が検出できる。
の回路に結合すると、β線の散乱を利用して同時計数に
よる低ノイズのβ線が検出できる。
つぎに、第13図はプローブ部(lO)を4本のシンチ
レーションファイバ(13a) (13b) (13c
) (13d)で構成し、2本ずつの組合せ(f3a)
と(13b)、(13a)と(13c)、(13a)と
(13d)、(13b)と(13c)、(13b)と(
13d)、(13c)と(13d)のそれぞれアンド回
路(30a) (30b) (30c) (30d)
(30e) (30f)をとり、全体をオア回路(31
)で結合することによって同時7gf数すると、β線の
散乱の利用による検出効率がより一層上昇する。
レーションファイバ(13a) (13b) (13c
) (13d)で構成し、2本ずつの組合せ(f3a)
と(13b)、(13a)と(13c)、(13a)と
(13d)、(13b)と(13c)、(13b)と(
13d)、(13c)と(13d)のそれぞれアンド回
路(30a) (30b) (30c) (30d)
(30e) (30f)をとり、全体をオア回路(31
)で結合することによって同時7gf数すると、β線の
散乱の利用による検出効率がより一層上昇する。
「発明の効果」
本発明は、上述のように構成したので、ベータ線または
ポジトロンを検出するプローブ部を極めて小型にでき、
生体等の微小領域のベータ線やポジトロンを検出するこ
とができる。また、プローブ部、導光部とも電気的な信
号を伝送する部分がなく、光で信号を伝送するので、電
磁ノイズの影響を受けず、また途中でノイズを増加させ
る要因となる部分がない、さらに5本発明の最も特徴と
するところは、極低レベルのベータ線をS/N良く検出
できるというすぐれた効果を有する。
ポジトロンを検出するプローブ部を極めて小型にでき、
生体等の微小領域のベータ線やポジトロンを検出するこ
とができる。また、プローブ部、導光部とも電気的な信
号を伝送する部分がなく、光で信号を伝送するので、電
磁ノイズの影響を受けず、また途中でノイズを増加させ
る要因となる部分がない、さらに5本発明の最も特徴と
するところは、極低レベルのベータ線をS/N良く検出
できるというすぐれた効果を有する。
第1図は本発明によるプローブの一部切欠いた正面図、
第2図はA−Am!断面図、第3図(a) (b)はB
−B線の異なる例の断面図、第4図は生体へ差込んだ状
態の断面図、第5図、第6図、第7図、第8図および第
9図は本発明によるプローブの2本に分岐した他の実施
例の断面図、第10図は処理回路のブロック図、第11
図は本発明によるプローブの3本に分岐した実施例の説
明図、第12図および第13図は本発明のさらに異なる
例の説明図、第14図は従来のプローブの断面図である
。 (10)・・・プローブ部、(11)・・・導光部、(
12) (12a)(12b) (12c) (12d
)−光検出器、(13) (13a) (13b) (
13C)・・・シンチレーションファイバ、(16)・
・・導光ファイ/<、(17)・・・金属管、(18)
・・・プローブ、 (19)・・・生体、(20)・・
・案内針、(21)・・・接着剤、 (22)・・・先
端部、(23)・・・アンプ、 (24)・・・タイミ
ング識別回路、(25)・・同時計数回路、 (26)
・・・カウンタ、(27)・・・コンピュータ、 (2
g)・・・螢光体、(29)・・・オア@路、(30a
)〜(30f)・・・アンド回路、(31)・・・オア
回路。 第 図 第 図 第 図 第 図
第2図はA−Am!断面図、第3図(a) (b)はB
−B線の異なる例の断面図、第4図は生体へ差込んだ状
態の断面図、第5図、第6図、第7図、第8図および第
9図は本発明によるプローブの2本に分岐した他の実施
例の断面図、第10図は処理回路のブロック図、第11
図は本発明によるプローブの3本に分岐した実施例の説
明図、第12図および第13図は本発明のさらに異なる
例の説明図、第14図は従来のプローブの断面図である
。 (10)・・・プローブ部、(11)・・・導光部、(
12) (12a)(12b) (12c) (12d
)−光検出器、(13) (13a) (13b) (
13C)・・・シンチレーションファイバ、(16)・
・・導光ファイ/<、(17)・・・金属管、(18)
・・・プローブ、 (19)・・・生体、(20)・・
・案内針、(21)・・・接着剤、 (22)・・・先
端部、(23)・・・アンプ、 (24)・・・タイミ
ング識別回路、(25)・・同時計数回路、 (26)
・・・カウンタ、(27)・・・コンピュータ、 (2
g)・・・螢光体、(29)・・・オア@路、(30a
)〜(30f)・・・アンド回路、(31)・・・オア
回路。 第 図 第 図 第 図 第 図
Claims (13)
- (1)シンチレーションファイバから形成されたプロー
ブ部と、このプローブ部に結合されて検出された光信号
をそのまま伝送する複数の導光用ファイバからなる導光
部と、この導光部の複数の導光ファイバ毎に結合された
複数の光検出器とからなることを特徴とする生体内計測
用プローブ。 - (2)プローブ部は、先端部のみ露出せしめ、他は金属
管で被覆してなる請求項(1)記載の生体内計測用プロ
ーブ。 - (3)プローブ部の先端は2本のシンチレーションファ
イバを斜めに切断して互いに結合してなる請求項(1)
または(2)記載の生体内計測用プローブ。 - (4)プローブ部の先端部は1本のシンチレーションフ
ァイバを180度屈曲せしめてなる請求項(1)または
(2)記載の生体内計測用プローブ。 - (5)プローブ部と導光部はともにシンチレーションフ
ァイバからなる請求項(1)、(2)、(3)または(
4)記載の生体内計測用プローブ。 - (6)プローブ部はシンチレーションファイバからなり
、導光部は導光ファイバからなる請求項(1)、(2)
、(3)または(4)記載の生体内計測用プローブ。 - (7)プローブ部の先端部のみシンチレーションファイ
バからなり、プローブ部の金属管内と導光部は導光ファ
イバからなる請求項(1)、(2)、(3)または(4
)記載の生体内計測用プローブ。 - (8)プローブ部の先端で分岐してなる請求項(1)、
(2)、(3)、(4)、(5)、(6)または(7)
記載の生体内計測用プローブ。 - (9)プローブ部の金属管内で分岐してなる請求項(2
)、(5)、(6)または(7)記載の生体内計測用プ
ローブ。 - (10)プローブ部と導光部の結合点で分岐してなる請
求項(1)、(2)、(5)、(6)または(7)記載
の生体内計測用プローブ。 - (11)プローブ部は3本以上のシンチレーションファ
イバを結合してなる請求項(1)、(2)、(5)、(
6)、(7)、(8)、(9)または(10)記載の生
体内計測用プローブ。 - (12)プローブ部の先端は2本以上のシンチレーショ
ンファイバを略接してなり、これらのシンチレーション
ファイバのうち少なくとも2本が放射線の散乱によりせ
ん光を起こしたとき、このせん光による信号を同時計数
により検出する同時計数回路を具備してなる請求項(1
)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)、(7)
または(11)記載の生体内計測用プローブ。 - (13)導光ファイバの先端外周に螢光体を塗布してな
るプローブ部と、このプローブ部に結合されて検出され
た光信号をそのまま伝送する複数の導光用ファイバから
なる導光部と、この導光部の複数の導光ファイバ毎に結
合された複数の光検出器とからなることを特徴とする生
体内計測用プローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8759089A JPH068858B2 (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 計測用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8759089A JPH068858B2 (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 計測用プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02266286A true JPH02266286A (ja) | 1990-10-31 |
JPH068858B2 JPH068858B2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=13919215
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8759089A Expired - Fee Related JPH068858B2 (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 計測用プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH068858B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5424546A (en) * | 1993-01-18 | 1995-06-13 | Hamamatsu Photonics K.K. | Scintillation counter having two scintillation fibers provided in series and which emit at different wavelengths |
JPH10213663A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Mitsubishi Electric Corp | 局所線量計 |
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JP2011523577A (ja) * | 2008-06-04 | 2011-08-18 | チェック−キャップ リミテッド | 組織を撮像するための装置及び方法 |
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CN112987074A (zh) * | 2021-02-09 | 2021-06-18 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 三维阵列式x射线探测器、x射线探测单元及其制备方法 |
-
1989
- 1989-04-06 JP JP8759089A patent/JPH068858B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4634494B2 (ja) * | 2008-10-31 | 2011-02-16 | 独立行政法人 宇宙航空研究開発機構 | 放射線源位置検出システム、及び放射線源位置検出用プローブ |
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CN112987074A (zh) * | 2021-02-09 | 2021-06-18 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 三维阵列式x射线探测器、x射线探测单元及其制备方法 |
CN112987074B (zh) * | 2021-02-09 | 2024-01-23 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 三维阵列式x射线探测器、x射线探测单元及其制备方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH068858B2 (ja) | 1994-02-02 |
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