JPH02255544A - 石英母材製造用焼結炉 - Google Patents
石英母材製造用焼結炉Info
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- JPH02255544A JPH02255544A JP1076706A JP7670689A JPH02255544A JP H02255544 A JPH02255544 A JP H02255544A JP 1076706 A JP1076706 A JP 1076706A JP 7670689 A JP7670689 A JP 7670689A JP H02255544 A JPH02255544 A JP H02255544A
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Classifications
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
-
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-
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
- C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＶＡＤ法や外付法等の火炎加水分解法によっ
て作製した石英多孔質母材を脱水、弗素添加、焼結の少
なくとも一工程を行なうための石英母材製造用焼結炉に
関する。
て作製した石英多孔質母材を脱水、弗素添加、焼結の少
なくとも一工程を行なうための石英母材製造用焼結炉に
関する。
例えば光フアイバ用石英ガラス母材等の石英母材を製造
するための焼結炉・の炉芯管材料として、その内壁及び
／又は外壁にガス不透過性コーティングした高純度カー
ボンが使われている例がある。
するための焼結炉・の炉芯管材料として、その内壁及び
／又は外壁にガス不透過性コーティングした高純度カー
ボンが使われている例がある。
この−例として特開昭６１−２０１６３４号公報に提案
されているものを第２図に示す。第２図において１は多
孔質母材で、回転かつ上下動可能な軸２に取り付けられ
ている。３は電気炉で、カーボン等の発熱体を備えてい
る。１５が炉３内に内層ささたカーボン製の炉芯管であ
って、表面にＳＩＣコーティングがなされており、さら
にその表面は酸化されている。６は上記ＳＩＣコートカ
ーボン製炉芯管１５内にガス（庵、 ＣＬ、 ５ＩＦ４
等）供給するために該炉芯管１５下端に設けられたガス
供給口である。カーボン製炉心管表面へのＳＩＣコーテ
ィングは通常のＣＶＤ法あるいはプラズマ−ＣＶＤ法に
より、Ｓｌノ原料としてはｓｔ Ｃ１！４ 、 Ｓｉ
Ｈ４。
されているものを第２図に示す。第２図において１は多
孔質母材で、回転かつ上下動可能な軸２に取り付けられ
ている。３は電気炉で、カーボン等の発熱体を備えてい
る。１５が炉３内に内層ささたカーボン製の炉芯管であ
って、表面にＳＩＣコーティングがなされており、さら
にその表面は酸化されている。６は上記ＳＩＣコートカ
ーボン製炉芯管１５内にガス（庵、 ＣＬ、 ５ＩＦ４
等）供給するために該炉芯管１５下端に設けられたガス
供給口である。カーボン製炉心管表面へのＳＩＣコーテ
ィングは通常のＣＶＤ法あるいはプラズマ−ＣＶＤ法に
より、Ｓｌノ原料としてはｓｔ Ｃ１！４ 、 Ｓｉ
Ｈ４。
Ｓｉ ＨＣｂ等を用いて、またＣの原料としてはＣＨｓ
等を用いて行なう。蒸着温度・は通常のＣＶＤ法の場合
１０００〜１６００℃で、プラズマＣＶＤ法で７００〜
１０００℃である。ＳｌＣのコーティング厚さは、その
表面を酸化・させた状態で使用する場合に、はｌ／Ｊ１
以上で有効である。さらに、カーボン製炉芯管に表面を
酸化しないＳｚＣやガス不透過性のカーボンをコーティ
ングしたものも知られている。
等を用いて行なう。蒸着温度・は通常のＣＶＤ法の場合
１０００〜１６００℃で、プラズマＣＶＤ法で７００〜
１０００℃である。ＳｌＣのコーティング厚さは、その
表面を酸化・させた状態で使用する場合に、はｌ／Ｊ１
以上で有効である。さらに、カーボン製炉芯管に表面を
酸化しないＳｚＣやガス不透過性のカーボンをコーティ
ングしたものも知られている。
しかしながら、上記技術の問題点はＳ＋Ｃコート高純度
カーボン製炉芯管で現在入手できるものは最大長が９０
０閣前後と短く、これ以上の長さを要する場合には継い
で使用することにある。従って第２図１８）の従来構成
においては、比較的小型の設備を除いて、炉体内部また
は炉体の外でも比較的高温部に継ぎ目をもっている。第
２図１ｂ＋はこのような継ぎ口部の部分断面図であり、
分割した上下の炉芯管１５−１．１５−０１のそれぞれ
にネジがきってあり、このネジで炉芯管上下をねじこん
でいくことにより閉めていき、カーボンバッキングを介
してシールにするようになっている。
カーボン製炉芯管で現在入手できるものは最大長が９０
０閣前後と短く、これ以上の長さを要する場合には継い
で使用することにある。従って第２図１８）の従来構成
においては、比較的小型の設備を除いて、炉体内部また
は炉体の外でも比較的高温部に継ぎ目をもっている。第
２図１ｂ＋はこのような継ぎ口部の部分断面図であり、
分割した上下の炉芯管１５−１．１５−０１のそれぞれ
にネジがきってあり、このネジで炉芯管上下をねじこん
でいくことにより閉めていき、カーボンバッキングを介
してシールにするようになっている。
しかし、この構造によるガスの不透過性は完全でなく、
外径２１０■φの炉芯管で測定したところ、０．３６
ＣＣ／分閤・ｌｂ Ｏのガス透過量が測定された。、こ
のように少量ながら炉芯管内外でのガス透過があるため
、炉芯管外の０１やＨＩＯ１不純物が炉芯管内に侵入し
、このような炉心管で焼結した光フアイバ用母材を最終
的に光ファイバとしたとき、該光ファイバのロス（伝送
損失）の平均値が僅かながら石英製炉芯管で製造したも
のより大きくなるという欠点があった。
外径２１０■φの炉芯管で測定したところ、０．３６
ＣＣ／分閤・ｌｂ Ｏのガス透過量が測定された。、こ
のように少量ながら炉芯管内外でのガス透過があるため
、炉芯管外の０１やＨＩＯ１不純物が炉芯管内に侵入し
、このような炉心管で焼結した光フアイバ用母材を最終
的に光ファイバとしたとき、該光ファイバのロス（伝送
損失）の平均値が僅かながら石英製炉芯管で製造したも
のより大きくなるという欠点があった。
一方、石英製炉芯管は高温で熱変形し、−度昇温した後
６００℃以下に降温すると割れるなど寿命上の問題があ
りコストが高くつくため、石英製炉芯管と同程度の平均
ロスのファイバを製造できる高純度カーボン製炉芯管へ
の要求が強まっている。
６００℃以下に降温すると割れるなど寿命上の問題があ
りコストが高くつくため、石英製炉芯管と同程度の平均
ロスのファイバを製造できる高純度カーボン製炉芯管へ
の要求が強まっている。
本発明はこのような現状に鑑みてなされたものであり、
その炉芯管がガス不透過性被覆を施した高純度カーボン
製であって、より長寿命であると同時に不純物やＯＨ基
によるロスの少ない光ファイバを得るのに適した炉芯管
を有してなる石英母材製造用焼結炉を提供することを目
的としている。
その炉芯管がガス不透過性被覆を施した高純度カーボン
製であって、より長寿命であると同時に不純物やＯＨ基
によるロスの少ない光ファイバを得るのに適した炉芯管
を有してなる石英母材製造用焼結炉を提供することを目
的としている。
本発、明は上記問題点を解決するための手段として、ガ
ス不透過性被覆を施した高純度カーボン製炉芯管の継ぎ
目部分のシール方法を改善する点に着目してなされたも
のである。
ス不透過性被覆を施した高純度カーボン製炉芯管の継ぎ
目部分のシール方法を改善する点に着目してなされたも
のである。
すなわち、本発明は石英多孔質母材の脱水、弗素添加、
焼結の少なくとも一工程を行なう石英母材製造用焼結炉
であって、内壁及び／又は外壁にガス不透過性膜をコー
ティングした高純度カーボン製炉芯管を有し、該炉心管
は長手方向を軸とする円筒型で、長手方向に複数個に分
割されており、かつ該分割部の上下端面は平面仕上げを
した当たり部を形成しており、該当たり部はカーボンパ
ツキンを挟んで押しつける構造でシールされており、該
炉芯管を炉芯管周方向に均等な力で軸方向に押す押しつ
け機構を有してなる石英母材製造用焼結炉である。
焼結の少なくとも一工程を行なう石英母材製造用焼結炉
であって、内壁及び／又は外壁にガス不透過性膜をコー
ティングした高純度カーボン製炉芯管を有し、該炉心管
は長手方向を軸とする円筒型で、長手方向に複数個に分
割されており、かつ該分割部の上下端面は平面仕上げを
した当たり部を形成しており、該当たり部はカーボンパ
ツキンを挟んで押しつける構造でシールされており、該
炉芯管を炉芯管周方向に均等な力で軸方向に押す押しつ
け機構を有してなる石英母材製造用焼結炉である。
本発明においては、上記押しっけ機構は炉心管が温度変
化により熱膨張をしても一定の範囲の押しつけ力を維持
して押しつけることができるものであることが特に好ま
しく１、このような機構として、分、割された炉芯管の
一端の部分を固定し、他端の部分をエアシリンダーによ
り押しっけ、該エアシリンダーは炉芯管の熱膨張による
変化の全域に対応できるストロークを有しており、該エ
アシリンダーの空気導入管には該エアシリンダーの位置
変化に伴うシリンダー内容積の変化より充分大きな容積
を持った空気だまりが介装されている押しっけ機構、ま
たは分割された炉芯管の一端の部分を固定し、他端の部
分をバネにより押しっけ、該バネの押しっけカは炉芯管
の熱膨張による変化の全域に対応できるストロークを有
しており、その間の押し付けカが所定の範囲内に入るよ
うに設計されている押しっけ機構が挙げられる。
化により熱膨張をしても一定の範囲の押しつけ力を維持
して押しつけることができるものであることが特に好ま
しく１、このような機構として、分、割された炉芯管の
一端の部分を固定し、他端の部分をエアシリンダーによ
り押しっけ、該エアシリンダーは炉芯管の熱膨張による
変化の全域に対応できるストロークを有しており、該エ
アシリンダーの空気導入管には該エアシリンダーの位置
変化に伴うシリンダー内容積の変化より充分大きな容積
を持った空気だまりが介装されている押しっけ機構、ま
たは分割された炉芯管の一端の部分を固定し、他端の部
分をバネにより押しっけ、該バネの押しっけカは炉芯管
の熱膨張による変化の全域に対応できるストロークを有
しており、その間の押し付けカが所定の範囲内に入るよ
うに設計されている押しっけ機構が挙げられる。
本発明の石英母材用焼結炉は中空なゾーン炉であり、上
記炉芯管は該中空部を貫通しており、がつ上記押しっけ
機構は炉外にあるもの、または均熱炉であり、上記炉芯
管の少なくとも一端は加熱部又は炉体を貫通しており、
上記押しっけ機構は該炉芯管の均熱炉を貫通した部分ま
たは均熱炉内の低温部にあるものが好ま・しい。
記炉芯管は該中空部を貫通しており、がつ上記押しっけ
機構は炉外にあるもの、または均熱炉であり、上記炉芯
管の少なくとも一端は加熱部又は炉体を貫通しており、
上記押しっけ機構は該炉芯管の均熱炉を貫通した部分ま
たは均熱炉内の低温部にあるものが好ま・しい。
本発、明者等が上記目的に沿って種々検討の結果、従来
のネジ方式で完全なシールができなかったのは、■ネジ
でシールする方法ではパツキンを介する当たり面の平行
度が充分でなく、均一にパツキンを締めつけることにな
らない。■パツキンに充分な締めつけ力を与えることが
できない、ためであることが判った。
のネジ方式で完全なシールができなかったのは、■ネジ
でシールする方法ではパツキンを介する当たり面の平行
度が充分でなく、均一にパツキンを締めつけることにな
らない。■パツキンに充分な締めつけ力を与えることが
できない、ためであることが判った。
そして、上記の知見に基づき研究を進め、分割部の上下
端面を平面仕上げし、パツキンを介し全周を均一にクラ
ンプすれば、完全に気体のリークを止めることができる
ことが判った。但しこの方法は分割部が５００℃以上に
なる部分では、クランプとして通常用いられる銅、ＳＵ
Ｓ、アルミ合金などが使えないため採用できない。そこ
で本発明では分割された炉芯管の一端部の５００℃以下
になる部分を固定し、他端の５００℃以下になる部分よ
り炉芯管軸方向に、周方向に力が均等になるように押し
つける機構を設けたことを特徴とする。また、本発明で
は炉芯管が温度変化により熱膨張をしても一定の範囲の
・押しつけ力を維持できるような機構になっていること
を特徴とする。このような機構はたとえばエアシリンダ
ーやバネの使用により実現可能であり、以下具体例に従
って説明する。
端面を平面仕上げし、パツキンを介し全周を均一にクラ
ンプすれば、完全に気体のリークを止めることができる
ことが判った。但しこの方法は分割部が５００℃以上に
なる部分では、クランプとして通常用いられる銅、ＳＵ
Ｓ、アルミ合金などが使えないため採用できない。そこ
で本発明では分割された炉芯管の一端部の５００℃以下
になる部分を固定し、他端の５００℃以下になる部分よ
り炉芯管軸方向に、周方向に力が均等になるように押し
つける機構を設けたことを特徴とする。また、本発明で
は炉芯管が温度変化により熱膨張をしても一定の範囲の
・押しつけ力を維持できるような機構になっていること
を特徴とする。このような機構はたとえばエアシリンダ
ーやバネの使用により実現可能であり、以下具体例に従
って説明する。
第１図＋ａｌは本発明の石英母材製造用焼結炉の一具体
例である。同図においてｌは多孔質ガラス母材で回転か
つ上下動可能な軸２に取付けられている。３は電気炉で
カーボン等の発熱体４を備えている。５が炉３内に内装
されたカーボン製の炉芯管であって、上蓋１４と円筒部
分１５からなり、表面にＳｉＣがコーティングされてい
る。炉芯管５の円筒部分１５は上部より１５−１．１５
−２．１５−３．１５−４．１５−５と５分割されてい
る。６は上記炉芯管５にガスを供給するためのガス供給
口である。炉芯管円筒部１５はサポート７により１５−
１のフランジ部を固定されており、１５−５部を板８、
エアシリンダー９を介して押されている。板８とエアシ
リンダー９は点接触となっているため、炉芯管５の軸方
向の押し付け力は周方向に均一である。エアシリンダー
９には減圧弁１０、バルブ１１、スピードコントロ−ラ
ー１２、空気だまり１３を介してエア圧が供給されてい
る。第１図１８＋は第１図１８＋の継ぎ目部分の拡大断
面図であって、１５−１の下端と１５−口１（ｉは１〜
４）の上端は共に平面仕上げされており、カーボンバッ
キング１６を挟んであり、該カーボンバッキング１６は
１５−１４１に加工された位置決め構造１７により位置
を固定されていて、この位置決め構造１７部分で上下の
分割部は嵌合している。第１図１８＋はエアシリンダー
９の代わりにバネでおさえる機構の１例を示したもので
、板８と板１９の間を複数のバネ１８により軸方向の押
しっけ力が周方向に均一になるように押しつけている。
例である。同図においてｌは多孔質ガラス母材で回転か
つ上下動可能な軸２に取付けられている。３は電気炉で
カーボン等の発熱体４を備えている。５が炉３内に内装
されたカーボン製の炉芯管であって、上蓋１４と円筒部
分１５からなり、表面にＳｉＣがコーティングされてい
る。炉芯管５の円筒部分１５は上部より１５−１．１５
−２．１５−３．１５−４．１５−５と５分割されてい
る。６は上記炉芯管５にガスを供給するためのガス供給
口である。炉芯管円筒部１５はサポート７により１５−
１のフランジ部を固定されており、１５−５部を板８、
エアシリンダー９を介して押されている。板８とエアシ
リンダー９は点接触となっているため、炉芯管５の軸方
向の押し付け力は周方向に均一である。エアシリンダー
９には減圧弁１０、バルブ１１、スピードコントロ−ラ
ー１２、空気だまり１３を介してエア圧が供給されてい
る。第１図１８＋は第１図１８＋の継ぎ目部分の拡大断
面図であって、１５−１の下端と１５−口１（ｉは１〜
４）の上端は共に平面仕上げされており、カーボンバッ
キング１６を挟んであり、該カーボンバッキング１６は
１５−１４１に加工された位置決め構造１７により位置
を固定されていて、この位置決め構造１７部分で上下の
分割部は嵌合している。第１図１８＋はエアシリンダー
９の代わりにバネでおさえる機構の１例を示したもので
、板８と板１９の間を複数のバネ１８により軸方向の押
しっけ力が周方向に均一になるように押しつけている。
継ぎ口部の押しつけ力は外径２１０ａｍφ、厚さ８ミリ
φの炉芯管では２００ ｋｉｆ以上で十分な気密を得ら
れることが実験により確認された。ただしこの値はパツ
キンの種類や面積、当たり面の仕上精度、許容リーク量
により決定されるもので、−概に断言できるものではな
い。一方押しっけ力の上限は炉芯管の構造とか−ボン材
質により決まる強度、から求められるものである。第１
図１８＋の装置では１５−１の固定フランジ部にかかる
曲げ応力でこの値が決定され、安全率を考えて最大５０
０ｋｇｒの押しっけ力がかけられるように設計されてい
る。また炉体３の軸方向全長が８００＋ｍのとき、常温
から１７００℃まで加熱したときの炉芯管１５の熱膨張
は約１０１１１０１であり１５ｍ＋ａ以上のストローク
があれば、この熱膨張を吸収できる。もしこの熱膨張吸
収機構が押しつけ機構に付属してないと、上限押しつけ
力をはるかに越える熱応力が炉芯管に加わることになり
、炉芯管が破損する、または押しつけ機構が破損するこ
とになる。
φの炉芯管では２００ ｋｉｆ以上で十分な気密を得ら
れることが実験により確認された。ただしこの値はパツ
キンの種類や面積、当たり面の仕上精度、許容リーク量
により決定されるもので、−概に断言できるものではな
い。一方押しっけ力の上限は炉芯管の構造とか−ボン材
質により決まる強度、から求められるものである。第１
図１８＋の装置では１５−１の固定フランジ部にかかる
曲げ応力でこの値が決定され、安全率を考えて最大５０
０ｋｇｒの押しっけ力がかけられるように設計されてい
る。また炉体３の軸方向全長が８００＋ｍのとき、常温
から１７００℃まで加熱したときの炉芯管１５の熱膨張
は約１０１１１０１であり１５ｍ＋ａ以上のストローク
があれば、この熱膨張を吸収できる。もしこの熱膨張吸
収機構が押しつけ機構に付属してないと、上限押しつけ
力をはるかに越える熱応力が炉芯管に加わることになり
、炉芯管が破損する、または押しつけ機構が破損するこ
とになる。
上記の条件を満たすために、第１図（ａｌの装置ではシ
リンダー径１００ ｍｍφのエアシリンダー９を用い、
常温５ ｋｇｆ／ｃｌの空気圧をこのシリンダー９にか
けた。空気溜まり１３の内容積は１Ｎとした。
リンダー径１００ ｍｍφのエアシリンダー９を用い、
常温５ ｋｇｆ／ｃｌの空気圧をこのシリンダー９にか
けた。空気溜まり１３の内容積は１Ｎとした。
また、空気溜まり１３は炉３を加熱することによって、
温度変化しないよう、炉３より十分離したところに設置
した。このときシリンダー９の押しつけ力は約３９０
ｋｇｆで、ストローク１５ｍｍの空気量は約１２０ｃｃ
なので、シリンダー９の変位による押し付け力変化は高
々１割強、実際にはストローク変位は約１０１１ＩＩＩ
であり、空気量の全容積も空気溜まり容量よりやや大き
いために１割以下でしかない。
温度変化しないよう、炉３より十分離したところに設置
した。このときシリンダー９の押しつけ力は約３９０
ｋｇｆで、ストローク１５ｍｍの空気量は約１２０ｃｃ
なので、シリンダー９の変位による押し付け力変化は高
々１割強、実際にはストローク変位は約１０１１ＩＩＩ
であり、空気量の全容積も空気溜まり容量よりやや大き
いために１割以下でしかない。
また、第１図（Ｃ１の□構成においては、バネ定数２０
ｋｇｆ／ａｌ、負荷長さ６ａ１のバネ５本を用い、常
温時にこの押しつけ機構全体が自由長さより３０１１縮
むように設定して取付け、押しつけ力３００ ｋｇｆと
した。この場合炉芯管が１５ｍ＋ａ伸びたときの押しつ
け力は４５０ ｋｇｆで５００ ｋｇ４以下である。
ｋｇｆ／ａｌ、負荷長さ６ａ１のバネ５本を用い、常
温時にこの押しつけ機構全体が自由長さより３０１１縮
むように設定して取付け、押しつけ力３００ ｋｇｆと
した。この場合炉芯管が１５ｍ＋ａ伸びたときの押しつ
け力は４５０ ｋｇｆで５００ ｋｇ４以下である。
ｒ実施例１
実施例１
第１図（ａｌの装置を用い炉芯管上蓋１４のかわりに盲
板を炉芯管１５にしっかり締めつけ（０リングで盲板と
炉芯管の間をシールした）で、炉芯管内圧が３００ ｗ
ＨｔｏとなるまでＮｔガスを導入した。炉３は常温とし
た。２０分間放置した後、炉芯管内圧を確認したが変化
はなかった。
板を炉芯管１５にしっかり締めつけ（０リングで盲板と
炉芯管の間をシールした）で、炉芯管内圧が３００ ｗ
ＨｔｏとなるまでＮｔガスを導入した。炉３は常温とし
た。２０分間放置した後、炉芯管内圧を確認したが変化
はなかった。
実施例２
第１図（Ｃ１の装置を用いて、実施例１と同じ実験をし
た。やはり２０分間放置で内圧変化がなかった。
た。やはり２０分間放置で内圧変化がなかった。
比較例１
従来のネジ締め式の炉芯管を用いて実施例１と同様の実
験を行った。最初３００１１１１Ｎ！０であった内圧は
、１０分間放置で約３０ｍｍＨｔＯにまで低下した。こ
の差圧性は継ぎ目部分からリークしたものと考えられる
。
験を行った。最初３００１１１１Ｎ！０であった内圧は
、１０分間放置で約３０ｍｍＨｔＯにまで低下した。こ
の差圧性は継ぎ目部分からリークしたものと考えられる
。
実施例３
第１図１８＋の装置を用い炉芯管内を１とＳｉ Ｆ４の
雰囲気で１６５０℃まで加熱した。炉芯管のコーティン
グにはガス不透過性の熱分解カーボン膜を用いた。継ぎ
目のうち炉外に出ている部分の外側にリドマス試験紙を
当てて変色の有無を調べたところ、全く変色しなかった
。また、炉３内のガスについては２００℃及び１６００
℃のＩＩ Ｆ検知管で１−Ｉ Ｆガスの有無を調べた。
雰囲気で１６５０℃まで加熱した。炉芯管のコーティン
グにはガス不透過性の熱分解カーボン膜を用いた。継ぎ
目のうち炉外に出ている部分の外側にリドマス試験紙を
当てて変色の有無を調べたところ、全く変色しなかった
。また、炉３内のガスについては２００℃及び１６００
℃のＩＩ Ｆ検知管で１−Ｉ Ｆガスの有無を調べた。
いずれも検出限界以下であった。これらはガスのリーク
のないことを示す。
のないことを示す。
比較ｆ１１２
第１図ｔｃ＞の装置を用いて、実施例３と炉芯管内雰囲
気及び加熱温度を同じにしておき、炉外に出ている継ぎ
口部にリドマス試験紙を近づけたところ、８１ ＦＪを
流し始めて間もなく黄変した。１２００℃で炉３内のガ
スについてＨＦ検知管でＨＦａ度を測定したところ、検
知管の測定限界であるｌＯｐｐｍ以上のＩ（Ｆが検出さ
れた。これらの結果はいずれも第１図１ｃ）の構造では
炉芯管からのリークがあることを示している。
気及び加熱温度を同じにしておき、炉外に出ている継ぎ
口部にリドマス試験紙を近づけたところ、８１ ＦＪを
流し始めて間もなく黄変した。１２００℃で炉３内のガ
スについてＨＦ検知管でＨＦａ度を測定したところ、検
知管の測定限界であるｌＯｐｐｍ以上のＩ（Ｆが検出さ
れた。これらの結果はいずれも第１図１ｃ）の構造では
炉芯管からのリークがあることを示している。
以上説明したように、本発明の石英母材製造用焼結炉を
用いた場合、一体で成形できない長尺の炉芯管の継ぎ目
を完全に気密に保つことができ、炉芯管外からの炉芯管
内への大気中へのＨｔ Ｏ、Ｏｓ、不純物の混入、炉芯
管内から炉芯管外への腐食性ガス、毒性ガスの漏れを防
ぐことができる。また炉芯管としてガス不透過性のカー
ボンを用いた場合、石英炉芯管のように熱変形や降温し
たときの炉芯管の割れを心配する必・要がない。そして
また完全に気密なため石英炉芯管と同等にロスの平均値
を持った光ファイバの生産が期待できる、という効果を
奏する。
用いた場合、一体で成形できない長尺の炉芯管の継ぎ目
を完全に気密に保つことができ、炉芯管外からの炉芯管
内への大気中へのＨｔ Ｏ、Ｏｓ、不純物の混入、炉芯
管内から炉芯管外への腐食性ガス、毒性ガスの漏れを防
ぐことができる。また炉芯管としてガス不透過性のカー
ボンを用いた場合、石英炉芯管のように熱変形や降温し
たときの炉芯管の割れを心配する必・要がない。そして
また完全に気密なため石英炉芯管と同等にロスの平均値
を持った光ファイバの生産が期待できる、という効果を
奏する。
第１図１ａｌ乃至ｔｅｌは本発明の石英母材製造用焼結
炉であって、同図Ｔａｌは本発明の一実施例の説明図で
同図（ｂｌはその部分拡大断面図である。同図（Ｃ１は
本発明の別の実施例の説明図である。第１図１ａｌは従
来構造を説明する断面図であり、同図Ｔｂｌはその部分
拡大断面図である。 図中、■は多孔質ガラス母材、２は軸、３は電気炉、４
は発熱体、５は炉芯管、６はガス供給口８はサポート、
９はエアシリンダー、ｌＯは減圧弁、１１はバルブ、１
２はスピードコントローラー１３は空気溜まり、１４は
炉芯管上蓋、１５は炉芯管円筒部、１５−１．１５−２
．１５−３．１５−４．１５−５は炉芯管円筒部を構成
する部分、１６はカーボンパツキン、１７は位置決め構
造、１８はバネ、１９は板を表す。
炉であって、同図Ｔａｌは本発明の一実施例の説明図で
同図（ｂｌはその部分拡大断面図である。同図（Ｃ１は
本発明の別の実施例の説明図である。第１図１ａｌは従
来構造を説明する断面図であり、同図Ｔｂｌはその部分
拡大断面図である。 図中、■は多孔質ガラス母材、２は軸、３は電気炉、４
は発熱体、５は炉芯管、６はガス供給口８はサポート、
９はエアシリンダー、ｌＯは減圧弁、１１はバルブ、１
２はスピードコントローラー１３は空気溜まり、１４は
炉芯管上蓋、１５は炉芯管円筒部、１５−１．１５−２
．１５−３．１５−４．１５−５は炉芯管円筒部を構成
する部分、１６はカーボンパツキン、１７は位置決め構
造、１８はバネ、１９は板を表す。
Claims (6)
- （１）石英多孔質母材の脱水、弗素添加、焼結の少なく
とも一工程を行なう石英母材製造用焼結炉であって、内
壁及び／又は外壁にガス不透過性膜をコーティングした
高純度カーボン製炉芯管を有し、該炉心管は長手方向を
軸とする円筒型で、長手方向に複数個に分割されており
、かつ該分割部の上下端面は平面仕上げをした当たり部
を形成しており、該当たり部はカーボンパッキンを挟ん
で押しつける構造でシールされており、該炉芯管を炉芯
管周方向に均等な力で軸方向に押す押しつけ機構を有し
てなる石英母材製造用焼結炉。 - （２）上記押しつけ機構は炉心管が温度変化により熱膨
張をしても一定の範囲の押し付け力を維持して押しつけ
ることができるものであることを特徴とする請求項（１
）に記載の石英母材製造用焼結炉。 - （３）上記押しつけ機構が分割さた炉芯管の一端の部分
を固定し、他端の部分をエアシリンダーにより押しつけ
、該エアシリンダーは炉芯管の熱膨張による変化の全域
に対応できるストロークを有しており、該エアシリンダ
ーの空気導入管には該エアシリンダーの位置変化に伴う
シリンダー内容積の変化より充分大きな容積を持った空
気だまりが介装されていることを特徴とする請求項（２
）に記載の石英母材製造用焼結炉。 - （４）上記押しつけ機構が分割された炉芯管の一端の部
分を固定し、他端の部分をバネにより押しつけ、該バネ
の押しつけ力は炉芯管の熱膨張による変化の全域に対応
できるストロークを有しており、その間の押し付け力が
所定の範囲内に入るように設計されていることを特徴と
する請求項（２）に記載の石英母材製造用焼結炉。 - （５）上記石英母材用焼結炉は中空なゾーン炉であり、
上記炉芯管は該中空部を貫通しており、かつ上記押しつ
け機構は炉外にあることを特徴とする請求項（１）〜（
４）に記載の石英母材製造用焼結炉。 - （６）上記石英母材製造用焼結炉は均熱炉であり、上記
炉芯管の少なくとも一端は加熱部又は炉体を貫通してお
り、上記押しつけ機構は該炉芯管の均熱炉を貫通した部
分または均熱炉内の低温部にあることを特徴とする請求
項（１）〜（４）に記載の石英母材製造用焼結炉。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019900702519A KR0140210B1 (ko) | 1989-03-30 | 1989-03-28 | 석영모재 제조용 소결로 |
| JP1076706A JPH02255544A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 石英母材製造用焼結炉 |
| PCT/JP1990/000418 WO1990011974A1 (fr) | 1989-03-30 | 1990-03-28 | Four de frittage pour la production de matieres a base de quartz |
| EP90905639A EP0420989B1 (en) | 1989-03-30 | 1990-03-28 | Sintering furnace for producing quartz base material |
| DE69009379T DE69009379T2 (de) | 1989-03-30 | 1990-03-28 | Sinterofen zur herstellung von quarz-basismaterial. |
| CA002029881A CA2029881C (en) | 1989-03-30 | 1990-03-28 | A sintering furnace for the production of a quartz preform |
| AU53472/90A AU627294B2 (en) | 1989-03-30 | 1990-03-28 | Sintering furnace for producing quartz base material |
| US07/613,878 US5133796A (en) | 1989-03-30 | 1990-03-28 | Air-tight sintering furnace for the production of a quartz preform |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1076706A JPH02255544A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 石英母材製造用焼結炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02255544A true JPH02255544A (ja) | 1990-10-16 |
| JPH0561209B2 JPH0561209B2 (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=13612966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1076706A Granted JPH02255544A (ja) | 1989-03-30 | 1989-03-30 | 石英母材製造用焼結炉 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5133796A (ja) |
| EP (1) | EP0420989B1 (ja) |
| JP (1) | JPH02255544A (ja) |
| KR (1) | KR0140210B1 (ja) |
| AU (1) | AU627294B2 (ja) |
| CA (1) | CA2029881C (ja) |
| DE (1) | DE69009379T2 (ja) |
| WO (1) | WO1990011974A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006151715A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法及び製造装置 |
| JP2016522382A (ja) * | 2013-05-31 | 2016-07-28 | サンドヴィック マテリアルズ テクノロジー ドイチュラント ゲーエムベーハー | 焼鈍炉のための炉マッフル |
| JP2017124953A (ja) * | 2016-01-14 | 2017-07-20 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2808857B2 (ja) * | 1989-09-06 | 1998-10-08 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材の加熱炉および製法 |
| KR0165211B1 (ko) * | 1995-09-29 | 1998-12-15 | 김광호 | 광섬유의 인출 장치 |
| DK0867412T3 (da) * | 1997-03-27 | 2001-06-18 | Cit Alcatel | Termisk isolation til en ovn til trækning af optiske fibre |
| US6442978B1 (en) * | 1999-03-10 | 2002-09-03 | Shin-Etsu Chemical Co. Ltd. | Apparatus for sintering a porous glass base material and a method therefor |
| KR100346112B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2002-08-01 | 삼성전자 주식회사 | 솔-젤 공법을 채용한 광섬유 모재 제조공정의 소결공정에서 오버 자켓팅 튜브 소결장치 및 그 방법 |
| WO2002010081A1 (fr) * | 2000-07-31 | 2002-02-07 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Mandrin pour la production de verre de quartz et matrice de fibre optique utilisant ce mandrin, fibre optique et procede de production pour element en verre de quartz |
| US7849714B2 (en) * | 2003-12-08 | 2010-12-14 | Fujikura Ltd. | Dehydration-sintering furnace |
| JP5603024B2 (ja) * | 2009-01-20 | 2014-10-08 | 古河電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
| JP5541775B2 (ja) * | 2009-12-03 | 2014-07-09 | 信越化学工業株式会社 | ガラス母材延伸装置 |
| JP5528489B2 (ja) * | 2012-02-09 | 2014-06-25 | 信越化学工業株式会社 | 多孔質ガラス母材の焼結方法 |
| CN112503939A (zh) * | 2020-11-12 | 2021-03-16 | 山东招金科技有限公司 | 一种马弗炉用的瓷方舟推进装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4552577A (en) * | 1983-04-05 | 1985-11-12 | Pedro B. Macedo | Method of producing shaped foamed-glass articles |
| DE3472577D1 (en) * | 1983-08-31 | 1988-08-11 | Japan Res Dev Corp | Apparatus for growing single crystals of dissociative compounds |
| JPS60147636U (ja) * | 1984-03-12 | 1985-10-01 | 日立電線株式会社 | 光フアイバ母材製造用加熱炉 |
| JPS6186434A (ja) * | 1984-10-04 | 1986-05-01 | Hitachi Cable Ltd | 光フアイバ母材製造用加熱炉 |
| JPS61201634A (ja) * | 1985-03-01 | 1986-09-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光フアイバ用母材の製造方法 |
| US4741749A (en) * | 1987-01-02 | 1988-05-03 | Ppg Industries, Inc. | Vertical delivery arrangement for float glass process |
| DE3855370T2 (de) * | 1987-02-16 | 1997-01-02 | Sumitomo Electric Industries | Ofen zum Erhitzen einer Glasvorform für optische Faser und Verfahren zum Herstellen einer Glasvorform |
| JPH06186434A (ja) * | 1992-12-22 | 1994-07-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバの被覆除去方法及び装置 |
-
1989
- 1989-03-28 KR KR1019900702519A patent/KR0140210B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1989-03-30 JP JP1076706A patent/JPH02255544A/ja active Granted
-
1990
- 1990-03-28 CA CA002029881A patent/CA2029881C/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-03-28 DE DE69009379T patent/DE69009379T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-03-28 AU AU53472/90A patent/AU627294B2/en not_active Ceased
- 1990-03-28 US US07/613,878 patent/US5133796A/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-03-28 WO PCT/JP1990/000418 patent/WO1990011974A1/ja active IP Right Grant
- 1990-03-28 EP EP90905639A patent/EP0420989B1/en not_active Expired - Lifetime
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| JP2006151715A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法及び製造装置 |
| JP2016522382A (ja) * | 2013-05-31 | 2016-07-28 | サンドヴィック マテリアルズ テクノロジー ドイチュラント ゲーエムベーハー | 焼鈍炉のための炉マッフル |
| JP2017124953A (ja) * | 2016-01-14 | 2017-07-20 | 住友電気工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0561209B2 (ja) | 1993-09-03 |
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| CA2029881C (en) | 1999-08-31 |
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| CA2029881A1 (en) | 1990-10-01 |
| AU627294B2 (en) | 1992-08-20 |
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| KR920700167A (ko) | 1992-02-19 |
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