JPH0225451B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0225451B2 JPH0225451B2 JP18195581A JP18195581A JPH0225451B2 JP H0225451 B2 JPH0225451 B2 JP H0225451B2 JP 18195581 A JP18195581 A JP 18195581A JP 18195581 A JP18195581 A JP 18195581A JP H0225451 B2 JPH0225451 B2 JP H0225451B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- electrical signal
- delayed
- delay
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 claims description 25
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、物体の表面欠陥の検出方法とその装
置に係り、特には、主に金属加工物の表面キズ等
の欠陥を光電子増倍管等の光電変換器を利用して
電気信号に変換して検出する方法とその方法の実
施に使用する装置に関する。
置に係り、特には、主に金属加工物の表面キズ等
の欠陥を光電子増倍管等の光電変換器を利用して
電気信号に変換して検出する方法とその方法の実
施に使用する装置に関する。
このような検出方法の先行技術が、特開昭55−
66740号公報において開示されている。この先行
技術は、第１図に示すように、光源１と集光レン
ズ２とからなる照明光学系を介して、例えば円筒
状の被検物３の表面を均一に照明し、ハーフミラ
ー４、結像レンズ５、集光レンズ６等の結像光学
系を介して被検物３の実像を光電子増倍管９等の
光電変換手段の前面に結像させ、結像光学系にお
ける固定スリツト６、回転スリツト７等からなる
走査機構によつて、固定スリツト６を通過した被
検物３の実像を走査して、その実像に係る光を光
電子増倍管９によつて電気信号に変換し、そし
て、この電気信号を第２図に示すような電気回路
に入力させて、被検物表面の欠陥の有無を判定検
出するものである。次に、第２図に示される先行
技術の電気回路の構成および動作を説明する。上
述したようにして、被検物の実像に係る光を受光
してこれを電気信号に変換する。光電子増倍管９
等を含めて構成される光電変換部１０からその電
気信号が出力される。その電気信号は増幅器１１
で増幅される。増幅器１１で増幅された電気信号
Ａの波形には、被検物の表面欠陥や、表面欠陥で
はない仕上げ粗さ等の被検物の表面の微細構造に
したがつて、第３図に示すように、周波数成分の
高い信号が含まれている。
66740号公報において開示されている。この先行
技術は、第１図に示すように、光源１と集光レン
ズ２とからなる照明光学系を介して、例えば円筒
状の被検物３の表面を均一に照明し、ハーフミラ
ー４、結像レンズ５、集光レンズ６等の結像光学
系を介して被検物３の実像を光電子増倍管９等の
光電変換手段の前面に結像させ、結像光学系にお
ける固定スリツト６、回転スリツト７等からなる
走査機構によつて、固定スリツト６を通過した被
検物３の実像を走査して、その実像に係る光を光
電子増倍管９によつて電気信号に変換し、そし
て、この電気信号を第２図に示すような電気回路
に入力させて、被検物表面の欠陥の有無を判定検
出するものである。次に、第２図に示される先行
技術の電気回路の構成および動作を説明する。上
述したようにして、被検物の実像に係る光を受光
してこれを電気信号に変換する。光電子増倍管９
等を含めて構成される光電変換部１０からその電
気信号が出力される。その電気信号は増幅器１１
で増幅される。増幅器１１で増幅された電気信号
Ａの波形には、被検物の表面欠陥や、表面欠陥で
はない仕上げ粗さ等の被検物の表面の微細構造に
したがつて、第３図に示すように、周波数成分の
高い信号が含まれている。
一方、この電気信号Ａをローパスフイルタ１２
に通すと、前記被検物の表面の微細構造に起因す
る高周波数成分の信号のとり除かれた信号Ｂが、
得られる。ところで、ローパスフイルタ１２は、
被検物表面の欠陥の有無を判定するための電気信
号Ｂを発生させるために増幅器１１の後段に挿入
されるのであるが、ローパスフイルタ自体の有す
る周波数カツト特性等によつてもとの電気信号Ａ
に対し、電気信号Ｂの位相が△Ｔだけ遅れてしま
い、位相の遅れた電気信号Ｂそのままでは電気信
号Ａと比較して、被検物表面の欠陥の有無判定用
信号として利用することができないおそれがあ
る。このため、先行技術の回路では、この遅れを
防止するために、遅延回路１３を比較回路１４と
ローパスフイルタ１２との間に挿入し、この遅延
回路１３を介することによつて、もとの電気信号
Ａと位相の一致した電気信号Ｃを作り、この電気
信号Ｃともとの電気信号Ａとを比較回路１４で比
較して、被検物表面の欠陥の有無を判定してい
た。ところが、このような構成の先行技術の電気
回路にあつては、第３図に示すように、もとの電
気信号Ａに含まれている被検物表面の欠陥に対応
する電気信号A0が回転スリツト７が現在走査し
ている被検物表面に関しての或るレベルから、次
の回転スリツト７で走査された被検物表面に関す
る次のレベルに上昇してゆく際に、その上昇が比
較的緩やかであつた場合（第３図の電気信号A01
〜A05参照。）には、ローパスフイルタ１２を介
して得られる電気信号Ｃの電気信号A0に対応す
る電気信号C0も、前回の走査による信号から処
理された信号であるが故に第３図の電気信号C01
〜C05に示すように、徐々にそのレベルを上昇さ
せてゆく。その結果、被検物表面の欠陥に対応す
る電気信号A0のレベルが、電気信号C0のレベル
以下のままになり、比較回路１４において、もと
の電気信号Ａに含まれる電気信号A0の電気信号
Ｃと比較することによつて、被検物表面の欠陥の
有無を判定させることができない。また、電気信
号Ｃは、ローパスフイルタ１２を通過した信号で
あるので、第３図のＤ点における電気信号Ｃの部
分が、ローパスフイルタ１２を構成するコンデン
サ、抵抗などにより定まる時定数の関係から、滑
らかになりすぎ、このためにもとの電気信号Ａの
周辺部分に含まれることのある被検物表面の欠陥
に対応する電気信号A0を検出することが困難と
なる。更には、電気信号A0の周波数成分が、被
検物表面の欠陥の多様性のために、非常に広範囲
は周波数にわたる場合があり、このような場合ロ
ーパスフイルタ１２の周波数カツト特性を設定す
ることが困難である。
に通すと、前記被検物の表面の微細構造に起因す
る高周波数成分の信号のとり除かれた信号Ｂが、
得られる。ところで、ローパスフイルタ１２は、
被検物表面の欠陥の有無を判定するための電気信
号Ｂを発生させるために増幅器１１の後段に挿入
されるのであるが、ローパスフイルタ自体の有す
る周波数カツト特性等によつてもとの電気信号Ａ
に対し、電気信号Ｂの位相が△Ｔだけ遅れてしま
い、位相の遅れた電気信号Ｂそのままでは電気信
号Ａと比較して、被検物表面の欠陥の有無判定用
信号として利用することができないおそれがあ
る。このため、先行技術の回路では、この遅れを
防止するために、遅延回路１３を比較回路１４と
ローパスフイルタ１２との間に挿入し、この遅延
回路１３を介することによつて、もとの電気信号
Ａと位相の一致した電気信号Ｃを作り、この電気
信号Ｃともとの電気信号Ａとを比較回路１４で比
較して、被検物表面の欠陥の有無を判定してい
た。ところが、このような構成の先行技術の電気
回路にあつては、第３図に示すように、もとの電
気信号Ａに含まれている被検物表面の欠陥に対応
する電気信号A0が回転スリツト７が現在走査し
ている被検物表面に関しての或るレベルから、次
の回転スリツト７で走査された被検物表面に関す
る次のレベルに上昇してゆく際に、その上昇が比
較的緩やかであつた場合（第３図の電気信号A01
〜A05参照。）には、ローパスフイルタ１２を介
して得られる電気信号Ｃの電気信号A0に対応す
る電気信号C0も、前回の走査による信号から処
理された信号であるが故に第３図の電気信号C01
〜C05に示すように、徐々にそのレベルを上昇さ
せてゆく。その結果、被検物表面の欠陥に対応す
る電気信号A0のレベルが、電気信号C0のレベル
以下のままになり、比較回路１４において、もと
の電気信号Ａに含まれる電気信号A0の電気信号
Ｃと比較することによつて、被検物表面の欠陥の
有無を判定させることができない。また、電気信
号Ｃは、ローパスフイルタ１２を通過した信号で
あるので、第３図のＤ点における電気信号Ｃの部
分が、ローパスフイルタ１２を構成するコンデン
サ、抵抗などにより定まる時定数の関係から、滑
らかになりすぎ、このためにもとの電気信号Ａの
周辺部分に含まれることのある被検物表面の欠陥
に対応する電気信号A0を検出することが困難と
なる。更には、電気信号A0の周波数成分が、被
検物表面の欠陥の多様性のために、非常に広範囲
は周波数にわたる場合があり、このような場合ロ
ーパスフイルタ１２の周波数カツト特性を設定す
ることが困難である。
本発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、
容易かつ正確に被検物表面の欠陥の有無を検出す
ることのできる検出方法およびその装置を提供す
ることである。
容易かつ正確に被検物表面の欠陥の有無を検出す
ることのできる検出方法およびその装置を提供す
ることである。
第４図は、本発明の実施例の信号処理回路ブロ
ツク図である。本発明の実施例においては、被検
物表面を照明する照明光学系、被検物の実像を結
像させる結像光学系、その実像に係る光を電気信
号に変換する光電変換系、並びに走査機構は、上
述した第１図におけるものであつて良い。特に、
光電変換系および走査機構の他の例として、撮像
管、等を用いても良いことは本発明の実施例の記
載から明らかである。被検物表面の実像に係る光
を電気信号に変換する光電変換器１００からその
電気信号（以下、映像信号という）E1が出力さ
れる。増幅器１０１は、映像信号E1を増幅して
映像信号E2を出力する。映像信号E2には、第３
図の電気信号Ａと同様にして、被検物表面の欠
陥、仕上げ粗さ等の被検物表面の微細構造にした
がつた周波数成分の高い信号が乗つている。この
ような映像信号E2は、比較回路１０３に入力さ
れるとともに、遅延回路１０４にも入力される。
遅延回路１０４は、映像信号E2を遅延させるた
めの遅延素子（例えば、松下電子株式会社製の
BBD）d1〜dnを、第５図に示すように複数個、
本件実施例ではｎ個、縦続接続して構成される。
１個の遅延素子di（ｉ＝１〜ｎ）は、映像信号E2
を、現在の回転スリツトから次の回転スリツトに
到るまでの１走査分、遅延させることのできるも
のであり、したがつて、映像信号E2は、遅延回
路１０４を介することによつて、ｎ走査分、遅延
させられる。このようにして、遅延回路１０４を
介した映像信号（この場合の信号は、以下、遅延
信号という）Ｆは、更に遅延回路１０４と同様の
遅延素子をＮ個、縦続接続して構成されるもう１
つの遅延回路１０５に入力される。後段の遅延回
路１０５を構成するＮ個の遅延素子D1〜DNの
各々から合計Ｎ個の遅延信号G1〜GNが個別的に
取り出される。これらの遅延信号G1〜GNの各々
は、加算器１０６に個別的に入力される。加算器
１０６は、受信したこれらの遅延信号G1〜GNを
加算し、出力部からその平均値を出力する。この
結果、加算器１０６の出力は、Ｎ回走査分の遅延
信号の平均値を出力することになり、更にこの出
力は、ゲイン設定器１０４に入力されて、ゲイン
を設定された後、比較回路１０３に入力される。
なお、本件実施例においては、遅延時間が、回転
スリツトの回転速度に対応して設定され、このた
めに回転スリツトに回転むらがあればその遅延時
間の正確な設定をすることが困難になる。そこ
で、これを避けてもとの映像信号と遅延信号との
同期をとるために回転スリツトの回転速度の変化
に対応して光電変換器１００から、同期信号Ｈを
フリツプフロツプ回路１０８に入力し、このフリ
ツプフロツプ回路１０８のフリツプフロツプ出力
を破線で囲むPLL（フエーズドロツクループの略
称）回路１０９に入力し、そのPLL回路１０９
の出力を遅延回路１０４および１０５に入力して
いる。このPLL回路１０９は、位相比較回路１
１０、ローパスフイルタ１１１、電圧制御発振器
１１２、およびカウンタ１１３からなる公知のも
のである。なお、カウンタ１１３の出力は、一旦
PLL回路１０９の外部にあるフリツプフロップ
回路１１４に入力された後、位相比較回路１１０
に入力されるとともに、電圧制御発振器１１２の
出力がPLL回路１０９の出力として遅延回路１
０４および１０５に入力されるように構成されて
いる。このようにして、PLL回路１０９は、回
転スリツトの回転速度変化に対応して遅延時間の
より正確な設定を可能にしている。
ツク図である。本発明の実施例においては、被検
物表面を照明する照明光学系、被検物の実像を結
像させる結像光学系、その実像に係る光を電気信
号に変換する光電変換系、並びに走査機構は、上
述した第１図におけるものであつて良い。特に、
光電変換系および走査機構の他の例として、撮像
管、等を用いても良いことは本発明の実施例の記
載から明らかである。被検物表面の実像に係る光
を電気信号に変換する光電変換器１００からその
電気信号（以下、映像信号という）E1が出力さ
れる。増幅器１０１は、映像信号E1を増幅して
映像信号E2を出力する。映像信号E2には、第３
図の電気信号Ａと同様にして、被検物表面の欠
陥、仕上げ粗さ等の被検物表面の微細構造にした
がつた周波数成分の高い信号が乗つている。この
ような映像信号E2は、比較回路１０３に入力さ
れるとともに、遅延回路１０４にも入力される。
遅延回路１０４は、映像信号E2を遅延させるた
めの遅延素子（例えば、松下電子株式会社製の
BBD）d1〜dnを、第５図に示すように複数個、
本件実施例ではｎ個、縦続接続して構成される。
１個の遅延素子di（ｉ＝１〜ｎ）は、映像信号E2
を、現在の回転スリツトから次の回転スリツトに
到るまでの１走査分、遅延させることのできるも
のであり、したがつて、映像信号E2は、遅延回
路１０４を介することによつて、ｎ走査分、遅延
させられる。このようにして、遅延回路１０４を
介した映像信号（この場合の信号は、以下、遅延
信号という）Ｆは、更に遅延回路１０４と同様の
遅延素子をＮ個、縦続接続して構成されるもう１
つの遅延回路１０５に入力される。後段の遅延回
路１０５を構成するＮ個の遅延素子D1〜DNの
各々から合計Ｎ個の遅延信号G1〜GNが個別的に
取り出される。これらの遅延信号G1〜GNの各々
は、加算器１０６に個別的に入力される。加算器
１０６は、受信したこれらの遅延信号G1〜GNを
加算し、出力部からその平均値を出力する。この
結果、加算器１０６の出力は、Ｎ回走査分の遅延
信号の平均値を出力することになり、更にこの出
力は、ゲイン設定器１０４に入力されて、ゲイン
を設定された後、比較回路１０３に入力される。
なお、本件実施例においては、遅延時間が、回転
スリツトの回転速度に対応して設定され、このた
めに回転スリツトに回転むらがあればその遅延時
間の正確な設定をすることが困難になる。そこ
で、これを避けてもとの映像信号と遅延信号との
同期をとるために回転スリツトの回転速度の変化
に対応して光電変換器１００から、同期信号Ｈを
フリツプフロツプ回路１０８に入力し、このフリ
ツプフロツプ回路１０８のフリツプフロツプ出力
を破線で囲むPLL（フエーズドロツクループの略
称）回路１０９に入力し、そのPLL回路１０９
の出力を遅延回路１０４および１０５に入力して
いる。このPLL回路１０９は、位相比較回路１
１０、ローパスフイルタ１１１、電圧制御発振器
１１２、およびカウンタ１１３からなる公知のも
のである。なお、カウンタ１１３の出力は、一旦
PLL回路１０９の外部にあるフリツプフロップ
回路１１４に入力された後、位相比較回路１１０
に入力されるとともに、電圧制御発振器１１２の
出力がPLL回路１０９の出力として遅延回路１
０４および１０５に入力されるように構成されて
いる。このようにして、PLL回路１０９は、回
転スリツトの回転速度変化に対応して遅延時間の
より正確な設定を可能にしている。
このようにして構成される上述の電気回路にお
いては、増幅器１０１と比較器１０３との間に、
被検物表面の欠陥の有無の判定検出のための、ロ
ーパスフイルタを使用せずに、遅延回路１０４お
よび１０５を使用しているので、映像信号E2に
含まれている、各走査毎の被検物表面の欠陥に対
応する信号E21〜E25が、第８図に示すように、
徐々に大きくなつていつたとしても、ゲイン設定
回路１０７を介して得られる平均値信号Ｉがその
信号E21〜E25のレベル変化に対応して変化するこ
とが少なく、したがつて比較回路１０３において
は、映像信号E2に含まれる前記信号E21〜E25を、
平均値信号Ｉと比較して検出することが可能とな
る。
いては、増幅器１０１と比較器１０３との間に、
被検物表面の欠陥の有無の判定検出のための、ロ
ーパスフイルタを使用せずに、遅延回路１０４お
よび１０５を使用しているので、映像信号E2に
含まれている、各走査毎の被検物表面の欠陥に対
応する信号E21〜E25が、第８図に示すように、
徐々に大きくなつていつたとしても、ゲイン設定
回路１０７を介して得られる平均値信号Ｉがその
信号E21〜E25のレベル変化に対応して変化するこ
とが少なく、したがつて比較回路１０３において
は、映像信号E2に含まれる前記信号E21〜E25を、
平均値信号Ｉと比較して検出することが可能とな
る。
第６図は、本発明の他の実施例の回路ブロツク
図であり、第４図と類似し対応する部分には同一
の参照符が付されている。注目すべきは、増幅器
１０１と比較回路１０３との間に、遅延回路１０
４および１０５が挿入されるとともに、第７図で
示す遅延回路１０４を構成する各遅延素子d1〜
dnの各々が個別的に加算器１０６に入力接続さ
れており、更に遅延回路１０４内の最終段の遅延
素子dnが次段の遅延回路１０５内の最初の遅延
素子D1に接続され、遅延回路１０５内の最終段
の遅延素DNはそのまま比較回路１０３に入力接
続されていることである。加算器１０６はゲイン
設定器１０７を介して比較回路１０３に接続され
ている点は、第４図と同様である。したがつて、
このような構成を有する本件実施例の電気回路に
おいては、映像信号E2は、遅延回路１０４にお
いて、各遅延素子d1〜dnからそのまま加算器１
０６で先に加算されｎ回走査分の映像信号の平均
値としてその加算器１０６から出力される。そし
て、遅延回路１０４および１０５から比較回路１
０３に入力される映像信号E2は、遅延回路１０
４では遅延信号Ｆとして、更に遅延回路１０５で
は遅延信号Ｇとして遅延された後に、比較回路１
０３に入力される。
図であり、第４図と類似し対応する部分には同一
の参照符が付されている。注目すべきは、増幅器
１０１と比較回路１０３との間に、遅延回路１０
４および１０５が挿入されるとともに、第７図で
示す遅延回路１０４を構成する各遅延素子d1〜
dnの各々が個別的に加算器１０６に入力接続さ
れており、更に遅延回路１０４内の最終段の遅延
素子dnが次段の遅延回路１０５内の最初の遅延
素子D1に接続され、遅延回路１０５内の最終段
の遅延素DNはそのまま比較回路１０３に入力接
続されていることである。加算器１０６はゲイン
設定器１０７を介して比較回路１０３に接続され
ている点は、第４図と同様である。したがつて、
このような構成を有する本件実施例の電気回路に
おいては、映像信号E2は、遅延回路１０４にお
いて、各遅延素子d1〜dnからそのまま加算器１
０６で先に加算されｎ回走査分の映像信号の平均
値としてその加算器１０６から出力される。そし
て、遅延回路１０４および１０５から比較回路１
０３に入力される映像信号E2は、遅延回路１０
４では遅延信号Ｆとして、更に遅延回路１０５で
は遅延信号Ｇとして遅延された後に、比較回路１
０３に入力される。
したがつて、第６図の電気回路においても、被
検物表面の欠陥に対応する上述の映像信号E21〜
E25を、正確に検出することが可能となる。
検物表面の欠陥に対応する上述の映像信号E21〜
E25を、正確に検出することが可能となる。
以上説明したように、本発明によれば、遅延素
子によつて、被検物表面の実像に係る電気信号を
少なくとも１走査分以上遅延させるようにしたの
で、被検物表面の欠陥に対応する電気信号がその
レベルを徐々に変化させていつても、その電気信
号と比較されて被検物表面の欠陥の有無を判定す
るための判定信号（平均値信号）に対する影響を
大きく軽減することができる。また、先行技術の
ようにローパスフイルタを使用していないので、
ローパスフイルタの周波数カツト特性を設定する
ための困難さを回避することができる。特に、本
発明にあつては、各遅延素子の各々の出力の平均
をとり、その平均的な信号と比較するように構成
したので、微細な欠陥の検出を行うことができ
る、等の特有の効果を奏する。
子によつて、被検物表面の実像に係る電気信号を
少なくとも１走査分以上遅延させるようにしたの
で、被検物表面の欠陥に対応する電気信号がその
レベルを徐々に変化させていつても、その電気信
号と比較されて被検物表面の欠陥の有無を判定す
るための判定信号（平均値信号）に対する影響を
大きく軽減することができる。また、先行技術の
ようにローパスフイルタを使用していないので、
ローパスフイルタの周波数カツト特性を設定する
ための困難さを回避することができる。特に、本
発明にあつては、各遅延素子の各々の出力の平均
をとり、その平均的な信号と比較するように構成
したので、微細な欠陥の検出を行うことができ
る、等の特有の効果を奏する。
第１図は、被検物表面の状態を光学的に検出し
電気的信号に変換するための装置の１例を示す
図、第２図は先行技術の信号処理回路ブロツク
図、第３図は先行技術による場合の信号の波形を
示す図、第４図は本発明の実施例の信号処理回路
ブロツク図、第５図はその要部の詳細回路ブロツ
ク図、第６図は本発明の他の実施例の信号処理回
路ブロツク図、第７図はその要部の詳細回路ブロ
ツク図、第８図は本発明による場合の信号の波形
を示す図である。 １００……光電変換部、１０１……増幅器、１
０３……比較回路、１０４，１０５……遅延回
路、１０６……加算器、１０７……ゲイン設定
器、d1〜dn，D1〜DN……遅延素子。
電気的信号に変換するための装置の１例を示す
図、第２図は先行技術の信号処理回路ブロツク
図、第３図は先行技術による場合の信号の波形を
示す図、第４図は本発明の実施例の信号処理回路
ブロツク図、第５図はその要部の詳細回路ブロツ
ク図、第６図は本発明の他の実施例の信号処理回
路ブロツク図、第７図はその要部の詳細回路ブロ
ツク図、第８図は本発明による場合の信号の波形
を示す図である。 １００……光電変換部、１０１……増幅器、１
０３……比較回路、１０４，１０５……遅延回
路、１０６……加算器、１０７……ゲイン設定
器、d1〜dn，D1〜DN……遅延素子。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被検物の光学的実像を走査して電気信号に変
換し、その電気信号波形により物体の表面欠陥を
検出する方法において、前記電気信号を少なくと
も１走査分遅延させて得られた遅延信号を、更に
複数段の遅延素子を介して遅延させ、前記各遅延
素子の各々の出力を加算平均して、現在走査中に
係る前記電気信号をその加算平均に係る信号と比
較することにより物体の表面欠陥を検出する方
法。 ２ 被検物の光学的実像を走査して電気信号に変
換し、その電気信号波形により物体の表面欠陥を
検出する方法において、前記電気信号を複数段の
遅延素子を介して遅延させ、前記各遅延素子の
各々の出力の加算平均値を求め、前記各遅延素子
の最終段からの出力を少なくとも１走査分更に遅
延して遅延信号を得、前記加算平均値に係る信号
と前記遅延信号とを比較することにより物体の表
面欠陥を検出する方法。 ３ 被検物の光学的実像を走査して電気信号に変
換し、その電気信号波形により物体の表面欠陥を
検出する装置において、前記電気信号またはこの
信号に関連する信号を少なくとも１走査分遅延さ
せる第１の遅延回路と、前記電気信号を直接また
は第１の遅延回路の遅延信号を遅延させる複数段
の遅延素子を含む第２の遅延回路と、第２の遅延
回路内の各遅延素子の各々の出力を加算平均する
加算器と、前記加算器の出力に関する信号と、前
記電気信号または第１の遅延回路の出力信号とを
比較する比較器とを含むことを特徴とする、物体
の表面欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18195581A JPS5883238A (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 物体の表面欠陥の検出方法とその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18195581A JPS5883238A (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 物体の表面欠陥の検出方法とその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5883238A JPS5883238A (ja) | 1983-05-19 |
| JPH0225451B2 true JPH0225451B2 (ja) | 1990-06-04 |
Family
ID=16109789
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18195581A Granted JPS5883238A (ja) | 1981-11-12 | 1981-11-12 | 物体の表面欠陥の検出方法とその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5883238A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61217746A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-27 | Mitsubishi Electric Corp | 光学的表面検査装置 |
-
1981
- 1981-11-12 JP JP18195581A patent/JPS5883238A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5883238A (ja) | 1983-05-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0225451B2 (ja) | ||
| EP0496867A1 (en) | Method and apparatus for locating perforation | |
| EP0152165A2 (en) | Defect inspecting apparatus for inspecting defects in optical type disc | |
| JPH0682376A (ja) | 表面検査装置 | |
| JP3147171B2 (ja) | 白調整方法 | |
| JPH0656293B2 (ja) | 欠陥検出方法 | |
| JPS5842420B2 (ja) | 物体の表面きず検出方法 | |
| JPH08152314A (ja) | 電子部品の検査装置 | |
| JPH0642199Y2 (ja) | 欠陥弁別回路 | |
| JP3495809B2 (ja) | 欠陥品検査方法及び欠陥品検査装置 | |
| JPS62223652A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPS61256242A (ja) | 欠陥検査方法及びその装置 | |
| JPH0743458B2 (ja) | 自動焦点制御装置 | |
| JPS59208446A (ja) | レ−ザ式表面検査装置 | |
| JPS62140007A (ja) | パタ−ン検出装置 | |
| JPH0540098A (ja) | 外観検査装置 | |
| JPH05240798A (ja) | パターン付きウエハ表面のレーザ検査装置 | |
| JPS61277038A (ja) | カ−ドウエブ測定方法 | |
| JPS60148293A (ja) | 自動焦点調節方法および装置 | |
| JPH11166905A (ja) | 表面検査装置、表面検査方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | |
| JPH03167408A (ja) | 実装部品の高さ測定装置 | |
| JPH06309829A (ja) | 光ディスクの表面欠陥検査装置 | |
| JP2000231634A (ja) | パターン形状検査装置及びパターン形状検査方法 | |
| JPH05273349A (ja) | レーザードップラ速度計の信号処理装置 | |
| JPH02166646A (ja) | 光記憶媒体欠陥検査装置 |