JPH0225236Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、ピツチ切替用ウエーハ・ホールダに
関し、とくに一連のウエーハを一の保持手段から
他の保持手段へ移す際にウエーハ間のピツチを切
替えるためのウエーハ・ホールダに関する。

従来の技術 第７図及び第８図を参照するに、加工等のため
半導体ウエーハ１０を各種ステーシヨンで受入れ
たり送出したりする目的に移載機３０が使われ
る。ウエーハ１０は、移載機３０上ではキヤリ
ア・カセツト（以下カセツトという。）３１に保
持される。ステーシヨンから送出されるウエーハ
１０は、移載機３０の押上機３３（第２図）によ
りウエーハ・ホールダ１の位置へ押上げられ、挟
持腕２，３に把持された後ホールダ駆動装置４０
により移載位置３２へ運ばれ、移送ボート５０
（第９図，第１０図）に移し替えられこの移送ボ
ート５０に載置されたまま他のステーシヨン等へ
送られる。ウエーハ１０がステーシヨンに受入れ
られる場合には、上記送出時の手順が逆の順序で
行なわれる。

移送ボート５０は例えば全体が石英製であつ
て、横部材５１により２本の側杆５２が適当間隔
で結合され、両側杆上にピツチＰで刻設された溝
５３によりウエーハ１０を保持する。典型的な移
送ボート５０は約150枚のウエーハ１０を約4.76
mmのピツチＰで保持する。このような移送ボート
５０と併用されるウエーハ・ホールダ１及びカセ
ツト３１は25枚程度のウエーハ１０を同様なピツ
チＰで保持する。

処理工程によつては、移送ボート５０又はカセ
ツト３１上でのウエーハ１０の間隔を他の処理工
程における標準的なピツチＰの整数倍、例えば２
倍又は３倍（2P−3P）とする場合がある。従来
この様なピツチＰの切替は手作業で行なつていた
が、手動切替には塵埃付着のおそれ、薄いウエー
ハ１０を破損するおそれ、熟練作業員の必要など
の欠点があつた。

このためウエーハ保持のピツチ切替を自動化す
る必要があつたが、適当な自動的ピツチ切替装置
は未だ見当らない。

考案が解決しようとする問題点 従つて、本考案が解決しようとする問題点は、
ウエーハ保持のピツチ切替の自動化にある。本考
案の目的は、そのピツチ切替自動化に適するピツ
チ切替用ウエーハ・ホールダを提供するにある。

問題点を解決するための手段 第１図及び第２図を参照するに、本考案による
ピツチ切替用ウエーハ・ホールダ１は、移送ボー
ト５０（第９図）とカセツト３１（第７図）との
間にウエーハ１０を移載するウエーハ・ホールダ
１において、１対の可動挟持腕２，３に結合され
たばね１１、そのばね１１と共働して挟持腕２，
３間の間隔を増減するカム装置、挟持腕２，３の
対向面にピツチＰで形成された複数の直線状溝
４、及びこれらの直線状溝４のうちピツチnP（ｎ
は自然数）ごとの溝の下端部分にウエーハ１０が
保持される支承突部５を備えてなる構成を用い
る。

図示例のカム装置は、軸１５に固定されたカム
１７、連結部材７，９に枢支されカム１７に駆動
されるカム・フオロア１８、及び挟持腕２，３を
連結部材７，９に結合するロツド６，８からな
る。また図示例のばね１１は、ロツド６，８及び
連結部材７，９を介して可動支持腕２，３に結合
される。

本考案によれば、ピツチＰで保持されたウエー
ハ列からピツチnPでウエーハを取り出してピツ
チnPの保持に切替え移載する。また、ピツチnP
で保持されたウエーハ列からピツチnPでウエー
ハを取り出し順次１ピツチづつずらして移載する
ことによりピツチＰの保持に切替え移載する。

作 用 図示実施例によりウエーハ１０をカセツト３１
から移送ボート５０へ移す場合のピツチ切替作用
を説明する。第６Ａ図のカセツト３１は９枚のウ
エーハ１０をピツチＰの位置Ｆ１−Ｆ９で保持
し、これら９枚のウエーハ１０が第１図の押上機
３３により第２図に示されるように２本の挟持腕
２，３の間へ各挟持腕の９本の溝４に位置合わせ
されて押上げられる。ただし、本発明は９枚のウ
エーハ１０を同時に処理するウエーハ・ホールダ
１、カセツト３１及び押上機３３に限定されるも
のではない。

ウエーハ１０が押上げられた後、図示例では軸
１５に固定されたカム１７、連結部材７，９に枢
支されカム１７に駆動されるカム・フオロア１
８、及び挟持腕２，３を連結部材７，９に結合す
るロツド６，８からなるカム装置が、両挟持腕
２，３を第１図の矢印Ａのように相互に弾性的に
引寄せる。ウエーハ１０の両側部分が、引寄せら
れた挟持腕２，３の溝４に進入する。第３図ない
し第５図は、引寄せられた挟持腕２，３とウエー
ハ１０との関係を示す。ただし、支承突部５が設
けられた溝４に一部進入した１枚のウエーハ１０
と支承突部５のない溝４に一部進入した１枚のウ
エーハ１００のみが示され、他のウエーハ１０は
省略されている。第４図から明らかなように支承
突部５はウエーハ１０を溝４内に保持する。しか
し、支承突部５がない場合には、第５図から明ら
かなように押上機３３の下降とともにウエーハ１
０が溝４を離脱して下降する。

従つて、９枚のウエーハ１０をウエーハ・ホー
ルダ１内へ押上げた押上機３３が両挟持腕２，３
の相互引寄の後に下降すると、ウエーハ・ホール
ダ１は第６Ａ図に示されるように３枚のウエーハ
１０をピツチ3Pで保持することとなる。このウ
エーハ・ホールダ１をカセツト３１の位置から移
送ボート５０の位置へ移動し、第６Ａ図でウエー
ハ・ホールダ１内の左端のウエーハ１０を移送ボ
ート５０の左端の溝５３に位置合わせした後、両
挟持腕２，３を相互に引離せば、３枚のウエーハ
１０がピツチ3Pで移送ボート５０上に移され、
これら３枚のウエーハ１０についてピツチ切替の
目的が達成される。

つぎに第６Ｂ図において、ウエーハ・ホールダ
１の左端の溝４をカセツト３１内の残りのウエー
ハ１０の左端のものに位置合わせした上で押上機
３３の上記昇降及び両挟持腕２，３の相互引寄せ
を行なえば、ウエーハ・ホールダ１は再び３枚の
ウエーハ１０をピツチ3Pで保持する。このウエ
ーハ・ホールダ１をカセツト３１の上から移送ボ
ート５０の位置へ移動し、第６Ｂ図でウエーハ・
ホールダ１内の左端のウエーハ１０を移送ボート
５０上の右端のウエーハ１０からピツチ3Pの溝
５３に位置合わせした後、両挟持腕２，３を相互
に引離せば、上記既存右端のウエーハ１０からピ
ツチ3Pをおいて後続の３枚のウエーハ１０が相
互にピツチ3Pで移送ボート５０上に移される。

さらに第６Ｃ図において、ウエーハ・ホールダ
１の左端の溝４をカセツト３１内の残りのウエー
ハ１０の左端のものに位置合わせした上で押上機
３３の上記昇降及び両挟持腕２，３の相互引寄せ
を行なえば、ウエーハ・ホールダ１は最後の３枚
のウエーハ１０をピツチ3Pで保持する。このウ
エーハ・ホールダ１をカセツト３１の位置から移
送ボート５０の位置へ移し、第６Ｃ図でウエー
ハ・ホールダ１内の左端のウエーハ１０を移送ボ
ート５０上の右端のウエーハ１０からピツチ3P
の溝５３に位置合わせした後、両挟持腕２，３を
相互に引離せば、上記既存右端のウエーハ１０か
らピツチ3Pをおいて最後の３枚のウエーハ１０
が相互にピツチ3Pで移送ボート５０上に移され
る。

こうしてカセツト３１上の９枚のウエーハ１０
の全てに対するピツチ切替の目的が達成される。

移送ボート５０に標準ピツチＰで保持されてい
るウエーハ１０をピツチnPでカセツト３１へ移
すピツチ切替操作、移送ボート５０にピツチnP
で保持されているウエーハ１０を標準ピツチＰで
カツセト３１へ移すピツチ切替操作その他のピツ
チ切替操作は、以上詳細に説明したピツチ切替態
様から当業者には明らかである。

実施例 第１図及び第２図の実施例では、ウエーハ・ホ
ールダ１の開閉のため、一方の挟持腕２が一対の
ロツド６により連結部材７へ一体的に結合され、
他方の挟持腕３が一対のロツド８を介して連結部
材９へ一体的に結合される。両連結部材７，９は
ばね１１により常時相互に引寄せられる。ウエー
ハ・ホールダ１の本体１ａ上に案内ロツド１２を
設け、その案内ロツド１２に対する挿通孔１３を
連結部材７，９の下端部分に穿つ。挟持腕２のロ
ツド６を遊嵌するための挿通孔１４を、挟持腕３
の連結部材９の上端部分に穿つ。

両挟持腕２，３を相互に接近又は離隔させウエ
ーハ１０を保持又は解放するため、軸１５を介し
て本体１ａ上のモータ１６にカム１７を連結する
とともに、このカム１７と係合するカム・フオロ
ア１８を連結部材７，９上に回転自在に取付け
る。

カム１７を第１図の矢印Ｒの方向に回転すれ
ば、カム・フオロア１８がばね１１の力によりカ
ム面に沿つて同図の矢印Ａの方向、即ち両連結部
材７，９を相互に接近させる方向に移動する。こ
れに応じて両挟持腕２，３が相互に接近してウエ
ーハ１０の外周部が両挟持腕２，３の溝４に進入
する。

ウエーハ１０を把持する位置にあるカム１７を
さらに第１図の矢印Ｒの方向に回転すれば、その
回転に応じるカム・フオロア１８の運動により、
両連結部材７，９がばね１１の力に抗して相互に
離され、従つて両挟持腕２，３も相互に離されて
第１図の位置へ戻る。

本発明おによれば、ウエーハ１０をばね１１の
弾性力で把持するので、ウエーハ１０に無理な力
が加わるのを防ぐことができる。例えば、何等か
の原因でウエーハ１０が挟持腕２，３の溝４に嵌
合せず、溝４以外の面に挟まつて挟持腕２，３の
相互引き寄せ阻害する場合であつても、ばね１１
の通性力を適当に選定しておくならば、挟持腕
２，３をその阻害された位置に留め、強制的な引
き寄せ力によりウエーハ１０を破壊することがな
い。

考案の効果 以上詳細に説明した如く、本考案によればピツ
チ切替用ウエーハ・ホールダは、１対の可動挟持
腕の対向面にピツチＰで形成した直線状溝のうち
ピツチnP（ｎは自然数）ごとの溝の下端部分にウ
エーハが保持される支承突部を設けてなる構成を
用いるので、次の効果を奏する。

(イ) ウエーハ１０を一枚ずつ移載してピツチを切
替える従来方法に比し、一時に数枚のウエーハ
１０を移載しながらピツチ切替をするので、ピ
ツチ切替操作を高速化することができる。

(ロ) ウエーハ間ピツチの切替操作中におけるウエ
ーハの汚損及び破損を防止できる。

(ハ) 自動化された装置により移載とピツチ切替と
を同時に遂行するので、ピツチ切替操作を効率
化することができる。

(ニ) 手動切替に比しピツチ誤りのおそれが少な
い。

(ホ) ばね１１の弾性力選定により、ウエーハ１０
の把持力をウエーハ１０の耐力以下とし、把持
腕２，３の強制的な把持力によるウエーハ破損
を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案によるウエーハ・ホールダの平
面図、第２図はその一部切断立面図、第３図，第
４図及び第５図はウエーハ・ホールダの動作説明
図、第６Ａ図，第６Ｂ図及び第６Ｃ図はピツチ切
替動作の説明図、第７図及び第８図は移載機の説
明図、第９図及び第１０図は移送ボートの説明図
である。 １……ウエーハ・ホールダ、２，３……挟持
腕、４……溝、５……支承突部、６，８……ロツ
ド、７，９……連結部材、１０……ウエーハ、１
１……ばね、１２……案内ロツド、１３，１４…
…挿通孔、１５……軸、１６……モータ、１７…
…カム、１８……カム・フオロア、３０……移載
機、３１……カセツト、３２……移載位置、３３
……押上機、４０……ホールダ駆動装置、５０…
…移送ボート、５１……横部材、５２……側杆、
５３……溝。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 移送ボートとカセツトとの間にウエーハを移載
   するウエーハ・ホールダにおいて、１対の可動挟
   持腕に結合されたばね、そのばねと共働して前記
   挟持腕間の間隔を増減するカム装置、前記挟持腕
   の対向面にピツチＰで形成された複数の直線状
   溝、及び前記直線状溝のうちピツチnP（ｎは自然
   数）ごとの溝の下端部分にウエーハが保持される
   支承突部を備えてなり、ピツチＰで保持されたウ
   エーハ列からピツチnPでウエーハを取り出して
   ピツチnPの保持に切替え移載し、ピツチnPで保
   持されたウエーハ列からピツチnPでウエーハを
   取り出し順次１ピツチづつずらして移載すること
   によりピツチＰの保持に切替え移載してなるピツ
   チ切替用ウエーハ・ホールダ。