JPH02249196A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
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- JPH02249196A JPH02249196A JP1070957A JP7095789A JPH02249196A JP H02249196 A JPH02249196 A JP H02249196A JP 1070957 A JP1070957 A JP 1070957A JP 7095789 A JP7095789 A JP 7095789A JP H02249196 A JPH02249196 A JP H02249196A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 21
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000006378 damage Effects 0.000 abstract 2
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 101150111088 WAR1 gene Proteins 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 210000000352 storage cell Anatomy 0.000 description 1
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- Static Random-Access Memory (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
E産業上の利用分野、コ
本発明は、半導体記憶装置、さらにはり、SI(大規模
半導体集積回路装置)化された大容量RAMに適用して
有効な技術に関するもので、例えばECL−RAMに利
用して有効な技術に関するものである。
半導体集積回路装置)化された大容量RAMに適用して
有効な技術に関するもので、例えばECL−RAMに利
用して有効な技術に関するものである。
[従来の技術]
従来のこの種の半導体記憶装置は、例えば第6図に示す
ように、多数の記憶セルか7トリツクス状に配列された
記憶面1と、この記憶面1内の記憶セルを選択するため
に布線された多数のワード線W1〜Wnおよびデータ線
D1〜Dnと、外部から任意に与えられる複数ピッ1へ
長のアドレス信号(Ao〜Δi、Aj−Ak)をそれぞ
れ正論理と負論理の信号河(ハ0.八〇〜ハl、ハ1.
ハj、Aj−Ak、Ak)に分割して出力するアドレス
バッファ2と、このアドレスバッファ2の出力信号(A
o、A、o−Ai、Ai)によってワード線W1〜Wn
を択一的に選択するワード線選択回路(Xデコーダ)3
と、上記アドレスバッファ2の出力信号によって上記デ
ータ線D1〜Dmを択一的に選択するための選択信号を
出力するYデコーダ4と、このYデコーダ4から出力さ
れる選択信号に従って上記データ線D1〜Dmの選択を
行なうとともに選択されたデータ線を介して記憶情報の
読出あるいは書込を行なうY選択および読出/書込回路
5と、外部から任意に与えられる制御信号R/Wおよび
C8などにしたがって上記Y選択および読出/書込回路
5を制御するデータ入出力および読出/書込制御回路6
などを有し、アドレス信号(Ao−Ai、Aj−Ak)
によってアドレス指定された記憶セルに対して記憶情報
の読出および書込を行なうように構成されていた。
ように、多数の記憶セルか7トリツクス状に配列された
記憶面1と、この記憶面1内の記憶セルを選択するため
に布線された多数のワード線W1〜Wnおよびデータ線
D1〜Dnと、外部から任意に与えられる複数ピッ1へ
長のアドレス信号(Ao〜Δi、Aj−Ak)をそれぞ
れ正論理と負論理の信号河(ハ0.八〇〜ハl、ハ1.
ハj、Aj−Ak、Ak)に分割して出力するアドレス
バッファ2と、このアドレスバッファ2の出力信号(A
o、A、o−Ai、Ai)によってワード線W1〜Wn
を択一的に選択するワード線選択回路(Xデコーダ)3
と、上記アドレスバッファ2の出力信号によって上記デ
ータ線D1〜Dmを択一的に選択するための選択信号を
出力するYデコーダ4と、このYデコーダ4から出力さ
れる選択信号に従って上記データ線D1〜Dmの選択を
行なうとともに選択されたデータ線を介して記憶情報の
読出あるいは書込を行なうY選択および読出/書込回路
5と、外部から任意に与えられる制御信号R/Wおよび
C8などにしたがって上記Y選択および読出/書込回路
5を制御するデータ入出力および読出/書込制御回路6
などを有し、アドレス信号(Ao−Ai、Aj−Ak)
によってアドレス指定された記憶セルに対して記憶情報
の読出および書込を行なうように構成されていた。
DoutおよびDinはその読出情報および書込情報で
ある。
ある。
ここで、この種の半導体記憶装置においては。
長時間選択されたツー1〜線に隣接するワー1へ線上の
・記憶情報が破壊されるという不良を生しることがあっ
た。この不良はロング・サイクル不良あるいはワード線
ポーズ不良などと呼ばれ、この不良を含む製品は選択に
よって排除しなければならなし1゜ そこで、従来の半2尊体記憶装置においては、ワード線
を順次1本ずつ長時間選択するとともに、その長時間選
択されたツー1’線に隣接するワード線上に記憶情報の
破壊か生したか否かをチエツクするテストを行なってい
た。
・記憶情報が破壊されるという不良を生しることがあっ
た。この不良はロング・サイクル不良あるいはワード線
ポーズ不良などと呼ばれ、この不良を含む製品は選択に
よって排除しなければならなし1゜ そこで、従来の半2尊体記憶装置においては、ワード線
を順次1本ずつ長時間選択するとともに、その長時間選
択されたツー1’線に隣接するワード線上に記憶情報の
破壊か生したか否かをチエツクするテストを行なってい
た。
なお、半導体記憶装置のテス1−に関連する文献として
は、例えば特開昭61−047571号公報、工業調査
会 昭和61年11月180発行「電子材料別冊198
7版 超LSI製造試験装置j p207〜213があ
る。
は、例えば特開昭61−047571号公報、工業調査
会 昭和61年11月180発行「電子材料別冊198
7版 超LSI製造試験装置j p207〜213があ
る。
[発明か解決しようとする課題]
しかしながら、上述した技術には1次のような問題のあ
ることが本発明者らによって明らかとされた。
ることが本発明者らによって明らかとされた。
すなわち、上述した選別テストでは、多数のワード線を
順次1本ずつ長時間選択しなければならないため、1製
品ごとに非常に長いテスト時間を必要としていた。例え
ば、7ビツト長のアドレス信号で128本のワード線を
択一的に選択する半導゛体記憶装置では、その128本
のワード線のそれぞれについて50m5ec程度の選択
を行なわなければならなかった。このため、少なくとも
1製品あたり13sec (50msecX128本岬
13sec)ものテスト時間が必要であった。
順次1本ずつ長時間選択しなければならないため、1製
品ごとに非常に長いテスト時間を必要としていた。例え
ば、7ビツト長のアドレス信号で128本のワード線を
択一的に選択する半導゛体記憶装置では、その128本
のワード線のそれぞれについて50m5ec程度の選択
を行なわなければならなかった。このため、少なくとも
1製品あたり13sec (50msecX128本岬
13sec)ものテスト時間が必要であった。
本発明の目的は、半導体記憶装置において、隣接ワード
線が選択されたときの記憶情報破壊の有無を短時間でテ
ストできるようにするという技術を提供することにある
。
線が選択されたときの記憶情報破壊の有無を短時間でテ
ストできるようにするという技術を提供することにある
。
この発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴に
ついては、本明細書の記述および添附図面から明らかに
なるであろう。
ついては、本明細書の記述および添附図面から明らかに
なるであろう。
[課題を解決するための手段]
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、下記のとおりである。
を説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、テスト時にワー1へ線を1本おきに同時選択
させる回路手段を設けるというものである。
させる回路手段を設けるというものである。
[作用]
上記した手段によれば、奇数番目のワード線と偶数番目
のワード線をそれぞれ1回ずつ同時選択するだけでもっ
て、隣接ワード線の長時間選択による記憶情報破壊の有
無をチエツクすることができる。
のワード線をそれぞれ1回ずつ同時選択するだけでもっ
て、隣接ワード線の長時間選択による記憶情報破壊の有
無をチエツクすることができる。
これにより、半導体記憶装置において、隣接ワード線が
選択されたときの記憶情報破壊の有無を短時間でテスト
できるJ:うにする、という目的が達成される。
選択されたときの記憶情報破壊の有無を短時間でテスト
できるJ:うにする、という目的が達成される。
[実施例]
以下、本発明の好適な実施例を図面を参照しながら説明
する。
する。
なお、図において、同一符号は同一あるいは相当部分を
示すものとする。
示すものとする。
第1図は本発明の技術が適用された半導体記憶装置の一
実施例を示したものであって、まず、その基本的な部分
は、上述した従来のものと同様に、記憶面1、ワード線
W1〜Wn、データ線D1〜Dm、アドレスバッファ2
、ワード線選択回路(Xデコーダ)3、Yデコーダ4、
Y選択および読出/書込回路5、データ入出力および読
出/書込制御回路6などによって構成されている。
実施例を示したものであって、まず、その基本的な部分
は、上述した従来のものと同様に、記憶面1、ワード線
W1〜Wn、データ線D1〜Dm、アドレスバッファ2
、ワード線選択回路(Xデコーダ)3、Yデコーダ4、
Y選択および読出/書込回路5、データ入出力および読
出/書込制御回路6などによって構成されている。
記憶面1には、多数の記憶セルがマトリックス状に配列
されている。この記憶面1内の記憶セルを選択するため
に、多数のワード線W1〜Wnおよびデータ線D1〜D
nが布線されている。
されている。この記憶面1内の記憶セルを選択するため
に、多数のワード線W1〜Wnおよびデータ線D1〜D
nが布線されている。
アドレスバッファ2は、外部から任意に与えられる複数
ビット長のアドレス信号(Ao〜Ai。
ビット長のアドレス信号(Ao〜Ai。
Aj−Ak)をそれぞれ正論理と負論理の信号対(Ao
、Ao−Ai、Ai、Aj、Aj−Ak。
、Ao−Ai、Ai、Aj、Aj−Ak。
Ak)に位相分割して出力する。
ワード線選択回路(Xデコーダ)3は、アドレスバッフ
ァ2の出力信号(Ao、Ao〜Ai、Ai)を入力信号
とし、ワード線W1〜Wnを択一的に選択して駆動する
。
ァ2の出力信号(Ao、Ao〜Ai、Ai)を入力信号
とし、ワード線W1〜Wnを択一的に選択して駆動する
。
Yデコーダ4は、上記アドレスバッファ2の出力信号(
Aj+Aj〜Ak、π丁)を入力信号として、上記デー
タ線D]〜Dmを択一的に選択するための選択信号を出
力する。
Aj+Aj〜Ak、π丁)を入力信号として、上記デー
タ線D]〜Dmを択一的に選択するための選択信号を出
力する。
Y選択および読出/書込回路5は、Yデコーダ4から出
力される選択信号に従って上記データ線D1〜Dmの選
択を行なうとともに、選択されたデータ線を介して記憶
情報のん“こ出あるいは書込を行なう。
力される選択信号に従って上記データ線D1〜Dmの選
択を行なうとともに、選択されたデータ線を介して記憶
情報のん“こ出あるいは書込を行なう。
データ入出力およびUl出/書込制御回路6は、外部か
ら任意に与えられる読出/書込制御信号R/Wおよびチ
ップ選択信号C8などにしたがって、上記Y選択および
読出/書込回路5の動作を制御する。
ら任意に与えられる読出/書込制御信号R/Wおよびチ
ップ選択信号C8などにしたがって、上記Y選択および
読出/書込回路5の動作を制御する。
以上のような構成により、アミルレス信号(A。
〜Ai、Aj〜Ak)による記憶セルの選択と、選択さ
れた記憶セルに対する記憶情報の読出および書込を行な
うようになっている。DoutおよびDinは記憶の読
出情報および書込情報である。
れた記憶セルに対する記憶情報の読出および書込を行な
うようになっている。DoutおよびDinは記憶の読
出情報および書込情報である。
さらに、第1図に示した実施例の半導体記憶装置では、
上述した構成に加えて、テスト端子パラド7からハイ(
高レベル:論理値1)のテストモード設定信号TPが与
えられたときに、上記ワード線W1〜Wnを1本おきに
同時選択させる回路手段21が設けられている。
上述した構成に加えて、テスト端子パラド7からハイ(
高レベル:論理値1)のテストモード設定信号TPが与
えられたときに、上記ワード線W1〜Wnを1本おきに
同時選択させる回路手段21が設けられている。
この回路手段21は、第2図にその具体的な実施例を示
すように、TPがハイ(論理値1)に設定されたテスト
時に、アドレスバッファ2からワード線選択回路3に入
力される複数の信号対(AAi)を共に同じハイ(論理
値1)の能動レベルにさせるような回路によって付加的
に構成することができる。
すように、TPがハイ(論理値1)に設定されたテスト
時に、アドレスバッファ2からワード線選択回路3に入
力される複数の信号対(AAi)を共に同じハイ(論理
値1)の能動レベルにさせるような回路によって付加的
に構成することができる。
同図に示した実施例の場合、上記回路手段21は、E’
CL型バッファ回路B1〜Bi+□のうち、2番目から
i番目までのバッファ回路B2〜Biや□にそれぞれ1
個ずつのバイポーラトランジスタQ5を付加するだけで
構成されている。
CL型バッファ回路B1〜Bi+□のうち、2番目から
i番目までのバッファ回路B2〜Biや□にそれぞれ1
個ずつのバイポーラトランジスタQ5を付加するだけで
構成されている。
同図において、アドレスバッファ2の部分は、バイポー
ラトランジスタQ1〜Q4によるE CL型バッファ回
路B1〜B]+□をアドレス入力信号(Ao−Ai)の
ビット数い+1)個だけ設けることによって構成される
。Vccは高レベル側電源電位、Veeは低レベル側電
源電位、Vcsは定電流制御電圧、Verfは論理しき
い値を定める基準電位である。
ラトランジスタQ1〜Q4によるE CL型バッファ回
路B1〜B]+□をアドレス入力信号(Ao−Ai)の
ビット数い+1)個だけ設けることによって構成される
。Vccは高レベル側電源電位、Veeは低レベル側電
源電位、Vcsは定電流制御電圧、Verfは論理しき
い値を定める基準電位である。
上記回路手段21の部分は、ECL型バッファ回路B1
〜Bi+1のうち、2番目からi番目までのバッファ回
路B2〜13i+□にそれぞれ1個がつのバイポーラト
ランジスタQ5を付加するだけで構成されている。
〜Bi+1のうち、2番目からi番目までのバッファ回
路B2〜13i+□にそれぞれ1個がつのバイポーラト
ランジスタQ5を付加するだけで構成されている。
これにより、例えば7ビツI−長のアドレス信号によっ
て128本のワード線を択一的に選択する半導体記憶装
置の場合には、わずか6個のバイポーラトランジスタQ
5を付加するだけでもって、128本のワード線を1本
おきに同時選択させる回路手段21を構成することがで
きる。
て128本のワード線を択一的に選択する半導体記憶装
置の場合には、わずか6個のバイポーラトランジスタQ
5を付加するだけでもって、128本のワード線を1本
おきに同時選択させる回路手段21を構成することがで
きる。
以上のように構成された半導体記憶装置について、以下
、その動作を説明する。
、その動作を説明する。
まず、テストモード設定信号TPの論理値が0″′に設
定された通常動作時には、第3図にその通常動作時にお
けるワード線選択回路の動作論理を示すように、各ワー
ド線W1〜W16はそれぞれ、アドレス信号AO〜A3
の各ビットでの論理値の組み合わせによって、常に1本
だけが選択される。これにより、任意のワード線を選択
し、この選択されたワード線上の記憶セルに対して記憶
情報の読出あるいは書込を行なうことができる。
定された通常動作時には、第3図にその通常動作時にお
けるワード線選択回路の動作論理を示すように、各ワー
ド線W1〜W16はそれぞれ、アドレス信号AO〜A3
の各ビットでの論理値の組み合わせによって、常に1本
だけが選択される。これにより、任意のワード線を選択
し、この選択されたワード線上の記憶セルに対して記憶
情報の読出あるいは書込を行なうことができる。
なお、下線部分は、ワード線が選択されるためにRI
IIの論理値(能動レベル)をとらなければならない箇
所を示す。
IIの論理値(能動レベル)をとらなければならない箇
所を示す。
ここで、テストモード設定信号TPの論理値が“1″に
設定されると、第4図あるいは第5図に示すように、ワ
ード線W1〜W16が1本おきに同時選択されるテスト
状態となる。
設定されると、第4図あるいは第5図に示すように、ワ
ード線W1〜W16が1本おきに同時選択されるテスト
状態となる。
第4図は、最下位ビットのアドレス信号対AOの論理値
をII OIIにした場合の各ワード線W1〜W16の
選択状態を示したものであって、この状態では、奇数番
目のワード線Wl、W3.・・・・W15が同時に選択
される。
をII OIIにした場合の各ワード線W1〜W16の
選択状態を示したものであって、この状態では、奇数番
目のワード線Wl、W3.・・・・W15が同時に選択
される。
第5図は、最下位ビットのア1くレス信号対AOの論理
値をII I IIにした場合の各ワード線W1〜W1
6の選択状態を示したものであって、この状態では、偶
数番目のワード線W2.W4.・・・・・W16が同時
に選択される。。
値をII I IIにした場合の各ワード線W1〜W1
6の選択状態を示したものであって、この状態では、偶
数番目のワード線W2.W4.・・・・・W16が同時
に選択される。。
以上のようにして、テスト時には、奇数番目のワード線
と偶数番目のワード線を交互に同時選択することができ
る。これにより、隣接ワード線の長時間選択による記憶
情報破壊の有無を短時間でテストすることができるよう
になる。
と偶数番目のワード線を交互に同時選択することができ
る。これにより、隣接ワード線の長時間選択による記憶
情報破壊の有無を短時間でテストすることができるよう
になる。
例えば、7ビツ1〜長のアドレス信号で128本のワー
ド線を択一的に半導体記憶装置の場合、従来のものでは
、少なくとも1製品あたり13sec (50msec
X128本:13sec)ものテスト時間が必要であっ
たが、」一連した実施例のものでは、わずかO,1se
c (50msecX2弁0.1sec)にも短縮され
る。
ド線を択一的に半導体記憶装置の場合、従来のものでは
、少なくとも1製品あたり13sec (50msec
X128本:13sec)ものテスト時間が必要であっ
たが、」一連した実施例のものでは、わずかO,1se
c (50msecX2弁0.1sec)にも短縮され
る。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
例えば、回路手段21はワイヤード論理などを用いて構
成してもよい。
成してもよい。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるECL−RAMに適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、例えばCMOS5−8RAあるいはDRAM
にも適用できる。
をその背景となった利用分野であるECL−RAMに適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、例えばCMOS5−8RAあるいはDRAM
にも適用できる。
[発明の効果]
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば下記のとおりである
。
て得られる効果を簡単に説明すれば下記のとおりである
。
すなわち、テスト性能が高められ、隣接ワード線の長時
間選択による記憶情報破壊の有無を短時間でテストする
ことができるようになる、という効果が得られる。
間選択による記憶情報破壊の有無を短時間でテストする
ことができるようになる、という効果が得られる。
第1図は本発明の一実施例による半導体記憶装置の概略
構成図、 第2図は上記装置の一部を詳細に示した回路図、第3図
は通常動作時のツー1〜線選択論理を表形式で示す図、 第4図はテスト時のワード線選択状態(奇数番目)を表
形式で示す図、 第5図はテスト時のワーI・線選択状態(偶数番目)を
表形式で示す図、 第6図は従来の半導体記憶装置の概略構成図である。 1・・・・記憶面、W1〜Wn・・・・ツー1−線、D
1〜Dm・・・・データ線、2・・・アドレスバッファ
、3・・・・ツー1−線選択回路(Xデコーダ)、4・
・・Yデコーダ、5・・・・Y選択および読出/書込回
路、6・・・・データ入出力および読出/書込制御回路
、21・・・・ワード線を同時選択させるための回路手
段。
構成図、 第2図は上記装置の一部を詳細に示した回路図、第3図
は通常動作時のツー1〜線選択論理を表形式で示す図、 第4図はテスト時のワード線選択状態(奇数番目)を表
形式で示す図、 第5図はテスト時のワーI・線選択状態(偶数番目)を
表形式で示す図、 第6図は従来の半導体記憶装置の概略構成図である。 1・・・・記憶面、W1〜Wn・・・・ツー1−線、D
1〜Dm・・・・データ線、2・・・アドレスバッファ
、3・・・・ツー1−線選択回路(Xデコーダ)、4・
・・Yデコーダ、5・・・・Y選択および読出/書込回
路、6・・・・データ入出力および読出/書込制御回路
、21・・・・ワード線を同時選択させるための回路手
段。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、多数のワード線とデータ線を介して記憶セルの選択
を行なう半導体記憶装置であって、複数ビットからなる
アドレス信号の各ビット信号をそれぞれ正論理と負論理
の信号対に位相分割して出力するアドレスバッファと、
このアドレスバッファの出力信号によって上記ワード線
を択一的に選択するワード線選択回路とともに、テスト
時に上記ワード線を1本おきに同時選択させる回路手段
を備えたことを特徴とする半導体記憶装置。 2、多数のワード線とデータ線を介して記憶セルの選択
を行なう半導体記憶装置であって、複数ビットからなる
アドレス信号の各ビット信号をそれぞれ正論理と負論理
の信号対に位相分割して出力アドレスバッファと、この
アドレスバッファの出力信号によって上記ワード線を択
一的に選択するワード線選択回路とともに、テスト時に
、アドレスバッファからワード線選択回路に入力される
複数の信号対のうち、最下位ビット以外の信号対を共に
同じ能動レベルにさせる回路手段を備えたことを特徴と
する半導体記憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1070957A JPH02249196A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 半導体記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1070957A JPH02249196A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 半導体記憶装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02249196A true JPH02249196A (ja) | 1990-10-04 |
Family
ID=13446510
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1070957A Pending JPH02249196A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 半導体記憶装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02249196A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04149900A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-22 | Sharp Corp | 半導体記憶装置のテスト方法 |
-
1989
- 1989-03-22 JP JP1070957A patent/JPH02249196A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04149900A (ja) * | 1990-10-11 | 1992-05-22 | Sharp Corp | 半導体記憶装置のテスト方法 |
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