JPH02248086A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
- Publication number
- JPH02248086A JPH02248086A JP1069682A JP6968289A JPH02248086A JP H02248086 A JPH02248086 A JP H02248086A JP 1069682 A JP1069682 A JP 1069682A JP 6968289 A JP6968289 A JP 6968289A JP H02248086 A JPH02248086 A JP H02248086A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration sensor
- piezoelectric element
- divided
- lead wire
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 title claims abstract description 18
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は一般の振動検知及び加速度測定等に使用される
加速度センサに関するものである。
加速度センサに関するものである。
従来の技術
従来、この種の加速度センサは、第３図、第４図に示す
ような構成であった。同図において、チップ状の圧電素
子１の表、裏面には電極２が全面に施されている。この
圧電素子１は２本のリード線３の間に３０度の傾きを設
けて挿入され、この状態でリード線３と圧電素子１の電
極２は半田４で固着され、この固着部をエポキシ接着剤
５で補強されている。なお６は真空封止して圧電素子１
を保護するケースである。
ような構成であった。同図において、チップ状の圧電素
子１の表、裏面には電極２が全面に施されている。この
圧電素子１は２本のリード線３の間に３０度の傾きを設
けて挿入され、この状態でリード線３と圧電素子１の電
極２は半田４で固着され、この固着部をエポキシ接着剤
５で補強されている。なお６は真空封止して圧電素子１
を保護するケースである。
このように構成された加速度センサは、垂直方向に外部
振動が加わると圧電素子１がその振動を感知し、外部振
動の大きさに応じたたわみを生じ、圧電効果によりその
たわみの大きさに応じた電荷を発生する。そしてリード
線３を通じて出力電圧が取り出されるものである。
振動が加わると圧電素子１がその振動を感知し、外部振
動の大きさに応じたたわみを生じ、圧電効果によりその
たわみの大きさに応じた電荷を発生する。そしてリード
線３を通じて出力電圧が取り出されるものである。
発明が解決しようとする課題
このような従来の構成では、外部振動により発生する出
力電圧は１Ｇ当たり９ｍＶｏ−ｐ程度であり、低い加速
度になるとＳ、Ｎ比が低下し０．Ｉ Ｇ以下の加速度で
は、測定が出来ないという課題があった。また感度を高
くするために振動子の長さを長くすることも考えられる
が小型化には不向きである。また圧電素子１をリード線
３に対し３０度の傾きを持たせた構造は製造工法も複雑
になり、製造コストも高くつくものであった。
力電圧は１Ｇ当たり９ｍＶｏ−ｐ程度であり、低い加速
度になるとＳ、Ｎ比が低下し０．Ｉ Ｇ以下の加速度で
は、測定が出来ないという課題があった。また感度を高
くするために振動子の長さを長くすることも考えられる
が小型化には不向きである。また圧電素子１をリード線
３に対し３０度の傾きを持たせた構造は製造工法も複雑
になり、製造コストも高くつくものであった。
本発明は、このような課題を解決するもので、感度をあ
げることにより低い加速度でのＳ、Ｎ比の向上を図り、
さらに製造工法の簡単な加速度センサを供給すること、
を目的とするものである。
げることにより低い加速度でのＳ、Ｎ比の向上を図り、
さらに製造工法の簡単な加速度センサを供給すること、
を目的とするものである。
課題を解決するだめの手段
この課題を解決するために本発明は、圧電素子の裏面の
電極を分割するとともに、分割された電極にリード線を
接続したものである。
電極を分割するとともに、分割された電極にリード線を
接続したものである。
作用
この構成により、外部振動が加わると片持梁状の圧電素
子が振動を感知し、これにより各部分電極毎に電荷が発
生する。この電荷は圧電素子の表面電極は全面電極にな
っている為結合され、裏面の電極を２分割した時には２
倍の出力が得られるのでＳ、Ｎ比が向上する。
子が振動を感知し、これにより各部分電極毎に電荷が発
生する。この電荷は圧電素子の表面電極は全面電極にな
っている為結合され、裏面の電極を２分割した時には２
倍の出力が得られるのでＳ、Ｎ比が向上する。
また、圧電素子はリード線に対し平行に取り付けられて
いるため、製造工法の極めて容易なものとなる。
いるため、製造工法の極めて容易なものとなる。
実施例
以下、本発明の一実施例について第１図、第２図を用い
て説明する。
て説明する。
同図において、圧電素子１の表、裏面には電極２が設け
られ、このうち裏面の電極は中央部より２分割されてい
る。そしてこの裏面の分割された電極は２本のリード線
３に対し平行に取り付けられ、半田４で固着され、さら
にその固着部はエポキシ樹脂５で補強され、この状態で
ケースθ内に真空封止されている。
られ、このうち裏面の電極は中央部より２分割されてい
る。そしてこの裏面の分割された電極は２本のリード線
３に対し平行に取り付けられ、半田４で固着され、さら
にその固着部はエポキシ樹脂５で補強され、この状態で
ケースθ内に真空封止されている。
このように構成された加速度センサに対し垂直方向に外
部振動が加わると、片持梁状の圧電素子１がその振、動
を感知し、外部振動の大きさに応じたたわみを生じ圧電
効果によりその大きさ応じた電荷を発生させ、リード線
３を通じて出力電圧が出される。
部振動が加わると、片持梁状の圧電素子１がその振、動
を感知し、外部振動の大きさに応じたたわみを生じ圧電
効果によりその大きさ応じた電荷を発生させ、リード線
３を通じて出力電圧が出される。
発明の効果
以上のように本発明によれば、圧電素子の裏面の電極を
分割するとともに、各分割電極にリード線を接続したの
で電圧感度を数倍にする事ができ、Ｓ、Ｎ比が向上する
。また圧電素子がリード線に平行に接続されているため
、製造工法が極めて容易になり、量産性も向上するもの
となる。
分割するとともに、各分割電極にリード線を接続したの
で電圧感度を数倍にする事ができ、Ｓ、Ｎ比が向上する
。また圧電素子がリード線に平行に接続されているため
、製造工法が極めて容易になり、量産性も向上するもの
となる。
第１図ａ、ｂは本発明の一実施例の加速度センサを示す
側面断面図と正面断面図、第２図ａ、ｂ。 Ｃは同加速度センサの圧電素子の平面図、正面図。 裏面図、第３図ａ、ｂは従来の加速度センサを示す側面
断面図と正面断面図、第４図ａ、ｂ、ｃは同加速度セン
サの圧電素子の平面図、正面図、裏面図である。 １・・・・・・圧電振動子、２・・・・・・電極、３・
・団・リード線、４・・・・・・半田、６・・・・・・
エポキシ樹脂、６・・・・・・ケース。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名（Ｑ
） （ｂン ６一一一ケース 第２図
側面断面図と正面断面図、第２図ａ、ｂ。 Ｃは同加速度センサの圧電素子の平面図、正面図。 裏面図、第３図ａ、ｂは従来の加速度センサを示す側面
断面図と正面断面図、第４図ａ、ｂ、ｃは同加速度セン
サの圧電素子の平面図、正面図、裏面図である。 １・・・・・・圧電振動子、２・・・・・・電極、３・
・団・リード線、４・・・・・・半田、６・・・・・・
エポキシ樹脂、６・・・・・・ケース。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名（Ｑ
） （ｂン ６一一一ケース 第２図
Claims (1)
- ケースと、このケース内に設けた圧電素子とを備え、前
記圧電素子の表面と裏面に電極を設けるとともに、この
うち裏面の電極は分割し、分割した各裏面の電極にリー
ド線を接続した加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1069682A JPH02248086A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1069682A JPH02248086A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02248086A true JPH02248086A (ja) | 1990-10-03 |
Family
ID=13409880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1069682A Pending JPH02248086A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02248086A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0768532A2 (en) * | 1995-10-09 | 1997-04-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Acceleration sensor and method for producing the same, and shock detecting device using the same |
| US6111338A (en) * | 1993-05-28 | 2000-08-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor and method for producing the same |
| JP2006234795A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-09-07 | Kyocera Corp | 加速度センサ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53131078A (en) * | 1977-03-31 | 1978-11-15 | Tdk Corp | Accelearation sensor |
| JPS5713806A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-23 | Hitachi Ltd | Piezoelectric oscillator |
-
1989
- 1989-03-22 JP JP1069682A patent/JPH02248086A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53131078A (en) * | 1977-03-31 | 1978-11-15 | Tdk Corp | Accelearation sensor |
| JPS5713806A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-23 | Hitachi Ltd | Piezoelectric oscillator |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6111338A (en) * | 1993-05-28 | 2000-08-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor and method for producing the same |
| EP0768532A2 (en) * | 1995-10-09 | 1997-04-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Acceleration sensor and method for producing the same, and shock detecting device using the same |
| EP0768532A3 (en) * | 1995-10-09 | 1997-07-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Accelerometer and manufacturing method therefor, and shock detector using such a sensor |
| US6098460A (en) * | 1995-10-09 | 2000-08-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor and shock detecting device using the same |
| JP2006234795A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-09-07 | Kyocera Corp | 加速度センサ |
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