JPH02247840A - 光ディスク基板 - Google Patents
光ディスク基板Info
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- JPH02247840A JPH02247840A JP1069870A JP6987089A JPH02247840A JP H02247840 A JPH02247840 A JP H02247840A JP 1069870 A JP1069870 A JP 1069870A JP 6987089 A JP6987089 A JP 6987089A JP H02247840 A JPH02247840 A JP H02247840A
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- JP
- Japan
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- pits
- areas
- grooves
- area
- optical disk
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- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 16
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 6
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 241000282376 Panthera tigris Species 0.000 description 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光ディスク基板に関する。
従来の光ディスク基板は第４図に示すようにトラ、キン
グ用グループ９とグループ間のアドレスピットｌＯとを
所定領域に形成していた。
グ用グループ９とグループ間のアドレスピットｌＯとを
所定領域に形成していた。
このような光ディスク基板はグループとピットとを露光
する２本のレーザビームをトラックピッチの１７２の間
隔で配置し２本のビームの強度を各々制御して、フォト
レジスト基板を露光し、グループの深さとピットの深さ
を各々最適化して、光ディスク原盤を作成し、この原盤
から電鋳によりスタンパを形成し、更に例えば射出成形
等により光ディスク基板を作成していた。
する２本のレーザビームをトラックピッチの１７２の間
隔で配置し２本のビームの強度を各々制御して、フォト
レジスト基板を露光し、グループの深さとピットの深さ
を各々最適化して、光ディスク原盤を作成し、この原盤
から電鋳によりスタンパを形成し、更に例えば射出成形
等により光ディスク基板を作成していた。
このような光ディスク基板の例では、トラックピッチ１
．６μｍに対し、２本のビーム間隔は０．８μｍであり
、その設定精度や露光時の光学系のずれ等により、実際
には０．８μｍからずれることもあった。
．６μｍに対し、２本のビーム間隔は０．８μｍであり
、その設定精度や露光時の光学系のずれ等により、実際
には０．８μｍからずれることもあった。
しかしながら、このような上述した従来の光ディスク基
板は、トラッキング用グループの間に、の間隔を調べる
ためには、走査型電子顕微鏡観察等によって行なう必要
があり、特に、原盤での検査においては、破壊検査とな
り、その原盤が後工程で使えなくなるという欠点があっ
た。
板は、トラッキング用グループの間に、の間隔を調べる
ためには、走査型電子顕微鏡観察等によって行なう必要
があり、特に、原盤での検査においては、破壊検査とな
り、その原盤が後工程で使えなくなるという欠点があっ
た。
レスピット１０とを含んで構成される所定領域１の内周
側および外周側に中心角３０°程度で半径方向の幅約１
ｍｍのモニター用エリア２をもつ。
側および外周側に中心角３０°程度で半径方向の幅約１
ｍｍのモニター用エリア２をもつ。
第２図は第１図に示すモニター用エリアの拡大平面図で
ある。トラッキング用グループ９を露光するグループ用
ビームとアドレスピッ）１０を露セクタ番号を示すアド
レスピットとを形成した所定領域と、前記所定領域の内
周側および外周側の少なくとも一方に前記グループとピ
ットと同じ間隔で形成されかつ、同一長さのピットパタ
ーンを形成してなるモニタ用エリアとを含んで構成され
る。
ある。トラッキング用グループ９を露光するグループ用
ビームとアドレスピッ）１０を露セクタ番号を示すアド
レスピットとを形成した所定領域と、前記所定領域の内
周側および外周側の少なくとも一方に前記グループとピ
ットと同じ間隔で形成されかつ、同一長さのピットパタ
ーンを形成してなるモニタ用エリアとを含んで構成され
る。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図である。
第１図に示す光ディスク基板は、１．６μｍピッチのト
ラッキング用グループ９と該グループ間に形成されたト
ラック番号とセクタ番号を示すアトるように設定し、モ
ニター用エリア２の間連続に露光し同形状のピット３と
ピット４とを所定領域１と同じ間隔で作成する。
ラッキング用グループ９と該グループ間に形成されたト
ラック番号とセクタ番号を示すアトるように設定し、モ
ニター用エリア２の間連続に露光し同形状のピット３と
ピット４とを所定領域１と同じ間隔で作成する。
第２図で示したようにモニター用エリア２は、トラック
ピッチの１７２の間隔で作られた回折格子となるので第
３図に示すように光ディスク基板５のモニター用エリア
２にレーザ光６を一定角で入射させた時回折光７が生じ
る。
ピッチの１７２の間隔で作られた回折格子となるので第
３図に示すように光ディスク基板５のモニター用エリア
２にレーザ光６を一定角で入射させた時回折光７が生じ
る。
この回折光７を検出器８を用いて回折パターンを観察す
ることによって、グループとピットを露光する２本のビ
ーム間隔を測定し、ピッチが０．８μｍであることを確
認できた。
ることによって、グループとピットを露光する２本のビ
ーム間隔を測定し、ピッチが０．８μｍであることを確
認できた。
この測定により原盤を非破壊、非接触で検査し、２本の
ビーム間隔がトラックピッチの１７２の間隔となってい
ることを確認し、後工程に進めることができる。
ビーム間隔がトラックピッチの１７２の間隔となってい
ることを確認し、後工程に進めることができる。
この原盤から作成された基板には当然ピット３とピット
４とが形成されているので、成形基板でも間隔測定が可
能である。
４とが形成されているので、成形基板でも間隔測定が可
能である。
本発明の光ディスク基板は、トラッキング用グループと
該グループ間に形成されるアドレスピットが形成される
所定領域の内周側、外周側の少なくとも一方に前記グル
ープおよびピットを露光する２本のレーザビームで露光
した同一長さのピットパターンを形成することによって
、非破壊、非接触で２本のレーザビームの間隔を測定で
きるという効果がある。
該グループ間に形成されるアドレスピットが形成される
所定領域の内周側、外周側の少なくとも一方に前記グル
ープおよびピットを露光する２本のレーザビームで露光
した同一長さのピットパターンを形成することによって
、非破壊、非接触で２本のレーザビームの間隔を測定で
きるという効果がある。
第３図は４／第１図に示す実施例を測定するための測定
機のブロック構成図、第４図は従来の一例を示す要部拡
大平面図である。
機のブロック構成図、第４図は従来の一例を示す要部拡
大平面図である。
１・・・・・・所定領域、２・・・・・・モニター用エ
リア、３．４・・・・・・ピット、５・・・・・・光デ
ィスク基板、６・・・・・・レーザ光、７・・・・・・
回折光、８・・・・・・検出器、９・・・・・・トラッ
キング用グループ、１０・・・・・・アドレスピット。
リア、３．４・・・・・・ピット、５・・・・・・光デ
ィスク基板、６・・・・・・レーザ光、７・・・・・・
回折光、８・・・・・・検出器、９・・・・・・トラッ
キング用グループ、１０・・・・・・アドレスピット。
代理人 弁理士 内 原 晋
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２因は〆第
１図に示すモニターエリアの拡大平面図、亭 Ｉ 図 昇 図 第 閃 井 図
１図に示すモニターエリアの拡大平面図、亭 Ｉ 図 昇 図 第 閃 井 図
Claims (1)
- トラッキング用グループと該グループ間に形成されトラ
ック番号とセクタ番号を示すアドレスピットとを形成し
た所定領域と、前記所定領域の内周側および外周側の少
なくとも一方に前記グループとピットとの間隔と同一の
間隔で形成され、かつ、同一長さのピットパターンを形
成してなるモニタ用エリアとを含むことを特徴とする光
ディスク基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1069870A JP2722629B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 光ディスク基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1069870A JP2722629B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 光ディスク基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02247840A true JPH02247840A (ja) | 1990-10-03 |
| JP2722629B2 JP2722629B2 (ja) | 1998-03-04 |
Family
ID=13415260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1069870A Expired - Fee Related JP2722629B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 光ディスク基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2722629B2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57141035A (en) * | 1981-02-25 | 1982-09-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical recording and reproducing disc |
| JPS6218831U (ja) * | 1985-07-18 | 1987-02-04 |
-
1989
- 1989-03-20 JP JP1069870A patent/JP2722629B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57141035A (en) * | 1981-02-25 | 1982-09-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical recording and reproducing disc |
| JPS6218831U (ja) * | 1985-07-18 | 1987-02-04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2722629B2 (ja) | 1998-03-04 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |