JP2722629B2 - 光ディスク基板 - Google Patents
光ディスク基板Info
- Publication number
- JP2722629B2 JP2722629B2 JP1069870A JP6987089A JP2722629B2 JP 2722629 B2 JP2722629 B2 JP 2722629B2 JP 1069870 A JP1069870 A JP 1069870A JP 6987089 A JP6987089 A JP 6987089A JP 2722629 B2 JP2722629 B2 JP 2722629B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical disk
- disk substrate
- groove
- tracking
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光ディスク基板に関する。
従来の光ディスク基板は第４図に示すようにトラッキ
ング用グルーブ９とグルーブ間のアドレスピット10とを
所定領域に形成していた。
ング用グルーブ９とグルーブ間のアドレスピット10とを
所定領域に形成していた。
このような光ディスク基板はグルーブとピットとを露
光する２本のレーザビームをトラックピッチの1/2の間
隔で配置し２本のビームの強度を各々制御して、フォト
レジスト基板を露光し、グルーブの深さとピットの深さ
を各々最適化して、光ディスク原盤を作成し、この原盤
から電鋳によりスタンパを形成し、更に例えば射出成形
等により光ディスク基板を作成していた。
光する２本のレーザビームをトラックピッチの1/2の間
隔で配置し２本のビームの強度を各々制御して、フォト
レジスト基板を露光し、グルーブの深さとピットの深さ
を各々最適化して、光ディスク原盤を作成し、この原盤
から電鋳によりスタンパを形成し、更に例えば射出成形
等により光ディスク基板を作成していた。
このような光ディスク基板の例では、トラックピッチ
1.6μｍに対し、２本のビーム間隔は0.8μｍであり、そ
の設定精度や露光時の光学系のずれ等により、実際には
0.8μｍからずれることもあった。
1.6μｍに対し、２本のビーム間隔は0.8μｍであり、そ
の設定精度や露光時の光学系のずれ等により、実際には
0.8μｍからずれることもあった。
しかしながら、このような上述した従来の光ディスク
基板は、トラッキング用グルーブの間に、小さなアドレ
スピットが不連続に入ることになるので、トラッキング
用グルーブとアドレスピットの間隔を調べるためには、
走査型電子顕微鏡観察等によって行なう必要があり、特
に、原盤での検査においては、破壊検査となり、その原
盤が後工程で使えなくなるという欠点があった。
基板は、トラッキング用グルーブの間に、小さなアドレ
スピットが不連続に入ることになるので、トラッキング
用グルーブとアドレスピットの間隔を調べるためには、
走査型電子顕微鏡観察等によって行なう必要があり、特
に、原盤での検査においては、破壊検査となり、その原
盤が後工程で使えなくなるという欠点があった。
本発明の光ディスク基板は、トラッキング用グルーブ
と該グルーブ間に形成されトラック番号とセクタ番号を
示すアドレスピットとを形成した所定領域と、前記所定
領域の内周側および外周側の少なくとも一方に前記グル
ーブとピットと同じ間隔で形成されかつ、同一長さのピ
ットパターンを形成してなるモニタ用エリアとを含んで
構成される。
と該グルーブ間に形成されトラック番号とセクタ番号を
示すアドレスピットとを形成した所定領域と、前記所定
領域の内周側および外周側の少なくとも一方に前記グル
ーブとピットと同じ間隔で形成されかつ、同一長さのピ
ットパターンを形成してなるモニタ用エリアとを含んで
構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図である。
第１図に示す光ディスク基板は、1.6μｍピッチのト
ラッキング用グルーブ９と該グルーブ間に形成されたト
ラック番号とセクタ番号を示すアドレスピット10とを含
んで構成される所定領域１の内周側および外周側に中心
角30゜程度で半径方向の幅約1mmのモニター用エリア２
をもつ。
ラッキング用グルーブ９と該グルーブ間に形成されたト
ラック番号とセクタ番号を示すアドレスピット10とを含
んで構成される所定領域１の内周側および外周側に中心
角30゜程度で半径方向の幅約1mmのモニター用エリア２
をもつ。
第２図は第１図に示すモニター用エリアの拡大平面図
である。トラッキング用グルーブ９を露光するグルーブ
用ビームとアドレスピット10を露光するアドレス用ビー
ムを用いて、このグルーブ用ビームとアドレス用ビーム
との強度が同一になるように設定し、モニター用エリア
２の間連続に露光し同形状のピット３とピット４とを所
定領域１と同じ間隔で作成する。
である。トラッキング用グルーブ９を露光するグルーブ
用ビームとアドレスピット10を露光するアドレス用ビー
ムを用いて、このグルーブ用ビームとアドレス用ビーム
との強度が同一になるように設定し、モニター用エリア
２の間連続に露光し同形状のピット３とピット４とを所
定領域１と同じ間隔で作成する。
第２図で示したようにモニター用エリア２は、トラッ
クピッチの1/2の間隔で作られた回折格子となるので第
３図に示すように光ディスク基板５のモニター用エリア
２にレーザ光６を一定角で入射させた時回折光７が生じ
る。
クピッチの1/2の間隔で作られた回折格子となるので第
３図に示すように光ディスク基板５のモニター用エリア
２にレーザ光６を一定角で入射させた時回折光７が生じ
る。
この回折光７を検出器８を用いて回折パターンを観察
することによって、グルーブとピットを露光する２本の
ビーム間隔を測定し、ピッチが0.8μｍであることを確
認できた。
することによって、グルーブとピットを露光する２本の
ビーム間隔を測定し、ピッチが0.8μｍであることを確
認できた。
この測定により原盤を非破壊，非接触で検査し、２本
のビーム間隔がトラックピッチの1/2の間隔となってい
ることを確認し、後工程に進めることができる。
のビーム間隔がトラックピッチの1/2の間隔となってい
ることを確認し、後工程に進めることができる。
この原盤から作成された基板には当然ピット３とピッ
ト４とが形成されているので、成形基板でも間隔測定が
可能である。
ト４とが形成されているので、成形基板でも間隔測定が
可能である。
本発明の光ディスク基板は、トラッキング用グルーブ
と該グルーブ間に形成されるアドレスピットが形成され
る所定領域の内周側、外周側の少なくとも一方に前記グ
ルーブおよびピットを露光する２本のレーザビームで露
光した同一長さのピットパターンを形成することによっ
て、非破壊、非接触で２本のレーザビームの間隔を測定
できるという効果がある。
と該グルーブ間に形成されるアドレスピットが形成され
る所定領域の内周側、外周側の少なくとも一方に前記グ
ルーブおよびピットを露光する２本のレーザビームで露
光した同一長さのピットパターンを形成することによっ
て、非破壊、非接触で２本のレーザビームの間隔を測定
できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図に示すモニターエリアの拡大平面図、第３図は第１図
に示す実施例を測定するための測定機のブロック構成
図、第４図は従来の一例を示す要部拡大平面図である。 １……所定領域、２……モニター用エリア、3,4……ピ
ット、５……光ディスク基板、６……レーザ光、７……
回折光、８……検出器、９……トラッキング用グルー
ブ、10……アドレスピット。
図に示すモニターエリアの拡大平面図、第３図は第１図
に示す実施例を測定するための測定機のブロック構成
図、第４図は従来の一例を示す要部拡大平面図である。 １……所定領域、２……モニター用エリア、3,4……ピ
ット、５……光ディスク基板、６……レーザ光、７……
回折光、８……検出器、９……トラッキング用グルー
ブ、10……アドレスピット。
Claims (1)
- 【請求項１】トラッキンググルーブと、該グルーブ間に
形成されトラック番号とセクタ番号を示すアドレスピッ
トとを形成した所定領域と、 前記所定領域の内周側及び外周側の少なくとも一方に形
成されてなるモニタ用エリアであり、このモニタ用エリ
アには、複数のトラッキンググルーブと、これらトラッ
キンググルーブの間にトラッキンググルーブと同一形状
の円周状グルーブとが形成されたモニタ用エリア とを含むことを特徴とする光デイスク基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1069870A JP2722629B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 光ディスク基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1069870A JP2722629B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 光ディスク基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02247840A JPH02247840A (ja) | 1990-10-03 |
| JP2722629B2 true JP2722629B2 (ja) | 1998-03-04 |
Family
ID=13415260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1069870A Expired - Fee Related JP2722629B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 光ディスク基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2722629B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57141035A (en) * | 1981-02-25 | 1982-09-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical recording and reproducing disc |
| JPS6218831U (ja) * | 1985-07-18 | 1987-02-04 |
-
1989
- 1989-03-20 JP JP1069870A patent/JP2722629B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02247840A (ja) | 1990-10-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |