JPH01162283A

JPH01162283A - 基準ディスク

Info

Publication number: JPH01162283A
Application number: JP31860287A
Authority: JP
Inventors: Shinji Hara; 原　臣司
Original assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Current assignee: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Priority date: 1987-12-18
Filing date: 1987-12-18
Publication date: 1989-06-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、光ディスクの機械的精度を検出する装置の較
正に使用する基準ディスクに関する。

（発明の背景〕光ディスクの面振れ、偏心等の機械的精度は、光記録再
生装置のフォーカス、トラックアクチュエータ等の制御
を性能に与える影響が大きい。このため光ディスクの互
換性を保証するためには、製造、検査の段階において面
振れ、偏心等の機械的精度が一定の規格内に入っている
ことを確認す゛る必要がある。

このための検査装置として、襲来では通常の光ディスク
装置に類似した装置が用いられている。

この検査装置には、光学的変位計又は静電容量変位計が
備えられており、光ディスクの振動に高い精度で追従す
る対物レンズの移動量が、その変位計で検出されて間接
的に光ディスクの振動が測定されている。

このような検査装置は、これに用いられている変位計の
経時劣化が懸念され、通常は定期的に較正が行われてい
る。この較正を簡単に行うために、所定の高さを有する
較正面を備えたアキシャル方向変位較正用基準ディスク
（特願昭６１−６４８３８、特願昭６２−１２３９６５
）あるいは所定のピッチを有する複数個の溝を備えたラ
ジアル方向変位較正用基準ディスクが提案されている。

ところで、光ディスクの機械的精度として要求される特
性は、上記ラジアル方向変位およびアキシャル方向変位
と同時に、ラジアル方向加速度およびアキシャル方向加
速度も重要な測定項目である。これらの加速度は、−ａ
に上記ラジアル方向変位およびアキシャル方向変位を２
同機分することにより求めるか、或いはフォーカス又は
トラックアクチュエータの駆動電流を用いて測定してい
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前者の微分法では、微分器の特性を各測定機で揃えるこ
とがかなり困難であり、同一の光ディスクのラジアル方
向加速度およびアキシャル方向加速度を計っても、測定
機により５〜１０倍も測定値が異なってしまうことがあ
る。また、この微分法と後者のアクチュエータの駆動電
流を用いる方法とによる測定結果に差異を生じることも
よくある。

このような問題があるため、ラジアル方向加速度および
アキシャル方向加速度用の基準ディスクが要望されてい
る。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、機械
的精度検出装置の較正を高精度で効率良く行うことので
きる基準ディスクを提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、光ディスクの検査装置において使用される基
準ディスクであって、上記光ディスクの情報記録面に対応した所定の反射率を
有する平面上に、回転中心から一定の半径の円周上の一
部又は全周にわたり、面内方向に正弦波状、矩形状又は
台形状に蛇行する適数のトラックを備えてなるラジアル
方向加速度較正部と、上記と同様の平面上に、回転中心
から一定の半径の円周上の一部又は全周にわたり、面外
方向に正弦波状、矩形状又は台形状にうねった面を形成
してなるアキシャル方向加速度較正部との２つの較正部
の内、少なくとも一方の較正部をディスク本体の片面又
は両面に設けて構成した。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例の基準ディスクについて説明す
る。第１図において、１は基準ディスクを総括的に示し
、２はそのディスク本体、３は該ディスク本体２の表面
部に形成された基準面で、該基準面３は、光ディスクに
おける透明基板のディスク表面に相当する。４は該基準
面３の外側にに形成されたラジアル方向加速度較正部、
５は該ラジアル方向加速度較正部４のさらに外側に形成
されたアキシャル方向加速度較正部である。

ラジアル方向加速度較正部４は、基準面３がら所定の高
さにあって所定の反射率を有し、第２図に示すようにデ
ィスク回転中心Ｏから一定の半径の理想的な円周Ｃに対
し、面内において振幅２ａ、波長ｌの例えば正弦波状の
トラックとしての溝４１が一つ又は複数本形成されてい
る。この溝は、通常の光ディスクの製造において用いら
れるスタンパの作製段階において、スタンパ原盤へのト
ラック溝のカッティング時に、原盤に塗布されているレ
ジスト等の感光材に照射するビームの位置を制御するこ
とで実現できる。

具体的にはヘッドのトラック制御系に正弦波状の基準信
号を加え、レンズを加振し、ビームを正弦波状に振れば
よい。ラジアル方向加速度の基準として必要な振幅およ
び周波数の範囲はおよそ０．３〜３μｍ、１００〜１０
００Ｈｚである。このようにして感光させた原盤から作
られたスタンパを用いて、インジェクシジン又はいわゆ
る２Ｐ法によりディスクを作製し、これを所定の寸法に
切出して、基準ディスクの所定の部分に貼着すればよい
。なお、半径方向に異なる振幅又は周波数の溝を形成す
ることは容易である。

アキシャル方向加速度較正部５も、基準面から所定の高
さにあって所定の反射率を有し、第３図に示すようにデ
ィスク回転中心Ｏから一定の半径の領域に対し、面外方
向に振幅２ｂ、波長にの例えば正弦波状のうねりを成す
面で形成されている。

アキシャル方向の加速度の基準として必要な振幅および
周波数の範囲はおよそ１〜５μｍ、１００〜１０００１
（ｚである。この面は例えば、所定の厚さの平行・平面
ガラス板を回転させ、所定の半径位置に加工用の強力な
レーザビームを照射し、このビーム強度を正弦波的に変
化させることにより、加工できる。又は、所定の厚さの
平行・平面ガラス板を回転させ、ダイヤモンドペースト
のような研磨材を塗布したパフ状の物体を、負荷荷重を
周期的に変えながら押しつけることによっても加工でき
る。このようにして作製したディスクを所定の寸法に切
出して、基準ディスクの所定の部分に貼着すればよい。

なお、ラジアル方向加速度較正部４及びアキシャル方向
加速度較正部５の何れの製造法も上記の方法に限定する
ものではない。また、上記例では、ラジアル方向加速度
較正部４の溝４１およびアキシャル方向加速度較正部５
の面のうねりを正弦波状に形成したが、これを矩形や台
形状に形成することも可能である。また、両較正部４．
５共に一定の周波数による加速度基準面を形成したが、
円周方向に沿って周波数及び／又は振幅を変えることも
可能である。更に、上記両較正部４．５はその一方のみ
をディスク本体の片面に設けてもよく、或いは各々をデ
ィスク本体の両面に設けても良い。

さて、本例の基準ディスク１を使用するには、まず、基
準ディスク１を検査装置の回転駆動系に取り付けて一定
速度で回転させる。そしてレンズ移動量検出器のついた
光ヘッドにより、ラジアル方向加速度較正部４にフォー
カシングおよびトラッキングをかけると、レンズ移動量
検出器のラジアル方向出力から溝４１の形状に対応した
第４図（ａｌに示されるような正弦波信号が得られる。

この正弦波信号を２同機分すると第４図（ｂ）に示され
るいわゆる加速度波形が得られる。ラジアル方向加速度
較正部４には、上記のように所定の正弦波状の溝４１が
形成され、またディスク１が一定速度で回転させられて
いるので、上記加速度波形は較正されたラジアル方向加
速度を示している。

同様にアキシャル方向加速度較正部５にフォーカシング
をかけると、レンズ移動量検出器のアキシャル方向出力
からアキシャル方向加速度較正部　ｄ５の表面形状に対
応した第５図（ａ）に示されるような正弦波信号が得ら
れる。そしてこの正弦波信号を２同機分すると、第５図
（ｂ）に示されるいわゆる加速度波形が得られる。アキ
シャル方向加速度較正部５には、上記のように所定の正
弦波状の面が形成され、またディスク１は一定速度で回
転させられているので、上記加速度波形は較正されたア
キシャル方向加速度を示している。

〔発明の効果〕

以上から本発明によれば、基準ディスクを検査装置の回
転駆動系に取り付け、一定速度で回転させるのみで、レ
ンズ移動量検出器のラジアル方向又はアキシャル方向か
らの出力の２回微分値、或いはラジアル又はアキシャル
各アクチュエータの駆動電流によるラジアル方向加速度
又はアキシャル方向加速度を容易に較正できる。さらに
、円周方向に周波数又は振幅を変えたディスクを用いれ
ば、−周の間に、各種の加速度を較正できるので、より
短時間に加速度の検定が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の基準ディスクの斜視図、第
２図はそのラジアル方向加速度較正部の平面説明図、第
３図はアキシャル方向加速度較正部の説明図、第４図（
ａ）は基準ディスクのラジアル方向変位検出出力を示す
波形図、第４図（ｂ）はそのラジアル方向加速度を示す
波形図、第５図（ａ）は基準ディスクのアキシャル方向
変位検出出力を示す波形図、第５図（ｂ）はそのアキシ
ャル方向加速度を示す波形図である。１・・・基準ディスク、２・・・ディスク本体、３・・
・基準面、４・・・ラジアル方向加速度較正部、４１・
・・溝、５・・・アキシャル方向加速度較正部、０・・
・ディスク回転中心、Ｃ・・・円周。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）、光ディスクの検査装置において使用される基準
ディスクであって、上記光ディスクの情報記録面に対応した所定の反射率を
有する平面上に、回転中心から一定の半径の円周上の一
部又は全周にわたり、面内方向に正弦波状、矩形状又は
台形状に蛇行する適数のトラックを備えてなるラジアル
方向加速度較正部と、上記と同様の平面上に、回転中心
から一定の半径の円周上の一部又は全周にわたり、面外
方向に正弦波状、矩形状又は台形状にうねった面を形成
してなるアキシャル方向加速度較正部との２つの較正部の内、少なくとも一方の較正部をディス
ク本体の片面又は両面に設けたことを特徴とする基準デ
ィスク。
（２）、上記ラジアル方向加速度較正部のトラックの蛇
行のピッチ及び／又は振幅を、上記円周方向に沿って変
化するように形成したことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の基準ディスク。
（３）、上記アキシャル方向加速度較正部の上記うねっ
た面のピッチ及び／又は振幅を、上記円周方向にしたが
って変化するように形成したことを特徴とする特許請求
の範囲第１項又は第２項記載の基準ディスク。