JPH02247088A - 多層薄膜体の加工装置及びその方法 - Google Patents
多層薄膜体の加工装置及びその方法Info
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- JPH02247088A JPH02247088A JP1065857A JP6585789A JPH02247088A JP H02247088 A JPH02247088 A JP H02247088A JP 1065857 A JP1065857 A JP 1065857A JP 6585789 A JP6585789 A JP 6585789A JP H02247088 A JPH02247088 A JP H02247088A
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Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明はプラスチックフィルムに蒸着された金属膜を
レーザ光で除去する多層薄膜体の加工装置に関する。
レーザ光で除去する多層薄膜体の加工装置に関する。
１〜５μｍの薄いプラスチックフィルムにアルミニュウ
ムなどの金属を蒸着した多層薄膜体が用いられている。
ムなどの金属を蒸着した多層薄膜体が用いられている。
このようなプラスチックフィルムにより構成されるコン
デンサは、上記プラスチックフィルムを２枚重ね合せて
巻込んで作る方法と、積層させて作る方法とがある。ど
ちらの方法においても、プラスチックフィルム間の耐圧
を確保するため、金属膜が付着していない部分であるマ
ージン部が必要である。
デンサは、上記プラスチックフィルムを２枚重ね合せて
巻込んで作る方法と、積層させて作る方法とがある。ど
ちらの方法においても、プラスチックフィルム間の耐圧
を確保するため、金属膜が付着していない部分であるマ
ージン部が必要である。
すなわち、第８図においてａはプラスチックフィルム、
ｂはそのプラスチックフィルムａに蒸着された金属膜、
Ｃは金属膜すが除去されたマージン部である。
ｂはそのプラスチックフィルムａに蒸着された金属膜、
Ｃは金属膜すが除去されたマージン部である。
従来、上記マージン部Ｃはプラスチックフィルムａに金
属を蒸着するときにマスキングして形成するようにして
いた。しかしながら、このような方法によると、マージ
ン部Ｃの幅が１ ＋＋＋＋＋＋以下になると、蒸着部と
非蒸着部と゛の境界かはけてしまうので、適用すること
ができなかった。
属を蒸着するときにマスキングして形成するようにして
いた。しかしながら、このような方法によると、マージ
ン部Ｃの幅が１ ＋＋＋＋＋＋以下になると、蒸着部と
非蒸着部と゛の境界かはけてしまうので、適用すること
ができなかった。
そこで、マスキングによる方法に代わり第９図に示すよ
うに金属膜をレーザ光で照射蒸発させてマージン部Ｃを
形成する方法が採用されている。
うに金属膜をレーザ光で照射蒸発させてマージン部Ｃを
形成する方法が採用されている。
すなわち、同図中ｄはピークパワーの高いＱスイッチＹ
ＡＧレーザなどのレーザ発振器で、このレザ発振器ｄか
ら発振されたレーザ光りは集束レンズｅを介して光ファ
イバｆに導入される。この光ファイバｆから出射したレ
ーザ光りは、複数のレンズｇからなる加工光学系りに導
入される。この加工光学系りて集束されたレーザ光りは
矢示方向に走行させられるプラスチックフィルムａを照
射し、それによってこのプラスチックフィルムａに蒸着
された金属膜すが除去されてマージン部Ｃが形成される
ことになる。
ＡＧレーザなどのレーザ発振器で、このレザ発振器ｄか
ら発振されたレーザ光りは集束レンズｅを介して光ファ
イバｆに導入される。この光ファイバｆから出射したレ
ーザ光りは、複数のレンズｇからなる加工光学系りに導
入される。この加工光学系りて集束されたレーザ光りは
矢示方向に走行させられるプラスチックフィルムａを照
射し、それによってこのプラスチックフィルムａに蒸着
された金属膜すが除去されてマージン部Ｃが形成される
ことになる。
しかしながら、レーザ光りによって金属膜すを溶融除去
すると、加工時に金属膜すの金属が融点あるいは沸点に
近い温度に上昇するため、これによって下地の誘電体と
なるプラスチクフィルムａに熱影響か及んでしまう。そ
れによって、プラスチックフィルムａの一部が伸びてし
わが生じるので、そのしわによって耐電圧の低下を招い
たり、コンデンサ形状に悪影響を及ぼすなどのことが生
しる。
すると、加工時に金属膜すの金属が融点あるいは沸点に
近い温度に上昇するため、これによって下地の誘電体と
なるプラスチクフィルムａに熱影響か及んでしまう。そ
れによって、プラスチックフィルムａの一部が伸びてし
わが生じるので、そのしわによって耐電圧の低下を招い
たり、コンデンサ形状に悪影響を及ぼすなどのことが生
しる。
（発明が解決しようとする課題）
このように、プラスチクフィルムに蒸着された金属膜を
レーザ光で溶融除去すると、そのときの熱影響によって
プラスチックフィルムが損傷するということがあった。
レーザ光で溶融除去すると、そのときの熱影響によって
プラスチックフィルムが損傷するということがあった。
この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、レーザ光の熱影響を受けてプラスチ
クフィルムが損傷するのを防止できるようにした多層薄
膜体の加工装置を提供することにある。
的とするところは、レーザ光の熱影響を受けてプラスチ
クフィルムが損傷するのを防止できるようにした多層薄
膜体の加工装置を提供することにある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段及び作用）上記課題を解決
するためにこの発明は、プラスチックフィルムの表面に
金属膜が設けられた多層薄膜体を上記プラスチックフィ
ルム側を加工ドラムの外周面に接触させて走行させると
ともに、上記加工ドラムの箇所で上記多層薄膜体にレー
ザ光を上記金属膜側から照射して金属膜の一部を除去す
る多層薄膜体の加工装置において、上記多層薄膜体の上
記加工ドラムに接触している部−位を冷却する冷却手段
を備える。
するためにこの発明は、プラスチックフィルムの表面に
金属膜が設けられた多層薄膜体を上記プラスチックフィ
ルム側を加工ドラムの外周面に接触させて走行させると
ともに、上記加工ドラムの箇所で上記多層薄膜体にレー
ザ光を上記金属膜側から照射して金属膜の一部を除去す
る多層薄膜体の加工装置において、上記多層薄膜体の上
記加工ドラムに接触している部−位を冷却する冷却手段
を備える。
それによって、レーザ光で金属膜を溶融除去する・とき
に、プラスチックフィルムが溶融金属の熱影響を受けす
らいようにした。
に、プラスチックフィルムが溶融金属の熱影響を受けす
らいようにした。
（実施例）
以下、この発明の一実施例を第１図乃至第５図を参照し
て説明する。第１図は多層薄膜体としてのコンデンサ用
フィルムの加工装置を示し、この加工装置は供給ローラ
ーを備えている。この供給ローラーにはコンデンサ用フ
ィルム２が巻装されている。このコンデンサ用フィルム
２は、第３図に示すようにポリプロピレンやポリエステ
ルなどの厚さか１〜５ｕｍの薄いプラスチックフィルム
３の表面（一方の面）全体にアルミニュムなどの金属膜
４が蒸着されてなる。このコンデンサ用フィルム２は上
記供給ローラーとほぼ同じレベルで配置された巻取りロ
ーラ５によって巻取られるようになっている。
て説明する。第１図は多層薄膜体としてのコンデンサ用
フィルムの加工装置を示し、この加工装置は供給ローラ
ーを備えている。この供給ローラーにはコンデンサ用フ
ィルム２が巻装されている。このコンデンサ用フィルム
２は、第３図に示すようにポリプロピレンやポリエステ
ルなどの厚さか１〜５ｕｍの薄いプラスチックフィルム
３の表面（一方の面）全体にアルミニュムなどの金属膜
４が蒸着されてなる。このコンデンサ用フィルム２は上
記供給ローラーとほぼ同じレベルで配置された巻取りロ
ーラ５によって巻取られるようになっている。
上記（ｐ：給ローラーと巻取りローラ５との間には、こ
れらのローラよりも大径な加工トラムロが上記各ローラ
ー、５よりも高いレベルで回転自在に配置されている。
れらのローラよりも大径な加工トラムロが上記各ローラ
ー、５よりも高いレベルで回転自在に配置されている。
それによって、上記コンデンサ用フィルム２は上記加工
トラムロの外周面の周方向の所定角度の範囲、たとえば
約１２０〜１８０度にわたって金属膜４が蒸着されてい
ない面を接触させて走行するようになっている。
トラムロの外周面の周方向の所定角度の範囲、たとえば
約１２０〜１８０度にわたって金属膜４が蒸着されてい
ない面を接触させて走行するようになっている。
なお、上記巻取りローラ５は図示しない駆動源によって
回転駆動されるようになっている。
回転駆動されるようになっている。
上記加工トラムロの上方にはたとえばＹＡＧレサなとの
レーザ発振器７が配設されている。このレーザ発振器７
から出力されたレーザ光りは第１のレンズ８で集束され
て光ファイバ９に入射する。
レーザ発振器７が配設されている。このレーザ発振器７
から出力されたレーザ光りは第１のレンズ８で集束され
て光ファイバ９に入射する。
この光ファイバ９から出射したレーザ光りは、複数の第
２のレンズ１１からなる加工光学系１２によって集束さ
れて上記コンデンサ用フィルム２の金属ＩＩ！ ４か蒸
着された面を照射し、それにょフて上記金属膜４を溶融
除去してコンデンサ用フィルム２にマージン部１Ｂを形
成する。
２のレンズ１１からなる加工光学系１２によって集束さ
れて上記コンデンサ用フィルム２の金属ＩＩ！ ４か蒸
着された面を照射し、それにょフて上記金属膜４を溶融
除去してコンデンサ用フィルム２にマージン部１Ｂを形
成する。
上記加工トラムロは熱伝導率の高い４Ａ料、たとえばア
ルミニュム、銅、鋼なとの金属によって中空状に形成さ
れていて、その一方の端面には供給パイプ１４の一端が
接続されている。この供給パイプ］４の他端は図示しな
い液体窒素１５の供給源に連通している。したがって、
上記加工トラムロはこの内部空間に供給される液体窒素
１５によって冷却されるようになっている。
ルミニュム、銅、鋼なとの金属によって中空状に形成さ
れていて、その一方の端面には供給パイプ１４の一端が
接続されている。この供給パイプ］４の他端は図示しな
い液体窒素１５の供給源に連通している。したがって、
上記加工トラムロはこの内部空間に供給される液体窒素
１５によって冷却されるようになっている。
このように、加工トラムロを中空状に形成してその内部
空間に液体窒素１５を供給するようにしたことにより、
上記加工トラムロが低温度に冷却される。そのため、巻
取りローラ５によって巻取られて走行するコンデンサ用
フィルム２は、上記加工トラムロに接触することで低温
に冷却されながら加工点に到達し、上記加工トラムロに
接触した状態でレーザ光りの照射を受けることになる。
空間に液体窒素１５を供給するようにしたことにより、
上記加工トラムロが低温度に冷却される。そのため、巻
取りローラ５によって巻取られて走行するコンデンサ用
フィルム２は、上記加工トラムロに接触することで低温
に冷却されながら加工点に到達し、上記加工トラムロに
接触した状態でレーザ光りの照射を受けることになる。
したがって、コンデンサ用フィルム２がレーザ光りの照
射を受けて金属膜４が溶融温度に達しても、プラスチク
フィルム３の温度上昇は少ないから、そのプラスチック
フィルム３にしわができすらくなるなど損傷を受けこと
がほとんどなくなる。
射を受けて金属膜４が溶融温度に達しても、プラスチク
フィルム３の温度上昇は少ないから、そのプラスチック
フィルム３にしわができすらくなるなど損傷を受けこと
がほとんどなくなる。
第４図はコンデンサ用フィルム２がレーザ光りによって
照射されたときに温度勾配を示し、同図中Ａは加工トラ
ムロを冷却した場合で、Ｂは冷却しない場合であり、こ
の図から明らかなように冷却することによってプラスチ
ックフィルム３の温度上昇を十分に低くすることができ
る。
照射されたときに温度勾配を示し、同図中Ａは加工トラ
ムロを冷却した場合で、Ｂは冷却しない場合であり、こ
の図から明らかなように冷却することによってプラスチ
ックフィルム３の温度上昇を十分に低くすることができ
る。
また、第５図は第４図におけるＸ点、つまりプラスチッ
クフィルム２の温度変化を示したもので、同図中入は加
工トラムロを冷却した場合で、Ｂは冷却しない場合であ
る。この図から明らかなように、Ｘ点における温度は、
加工トラムロを冷却することによって加工後に短時間で
低下するから、そのことによっても、プラスチックフィ
ルム３が損傷を受けすらいことになる。
クフィルム２の温度変化を示したもので、同図中入は加
工トラムロを冷却した場合で、Ｂは冷却しない場合であ
る。この図から明らかなように、Ｘ点における温度は、
加工トラムロを冷却することによって加工後に短時間で
低下するから、そのことによっても、プラスチックフィ
ルム３が損傷を受けすらいことになる。
第６図はこの発明の他の実施例を示し、この実施例は加
工トラムロとコンデンサ用フィルム２との接触面間に熱
伝導率の高い水溶液などの液体１６を供給ノズル１７に
よって供給するようにした。この場合、液体１６が加工
トラムロとコンデンサ用フィルム２との間に確実に介在
するようコンデンサ用フィルム２を下方に向かって湾曲
させて加工トラムロと接触させた。それによって、コン
デンサ用フィルム２と加工トラムロとが熱伝導率の高い
液体１６を介して密告することになるから、コンデンサ
用フィルム２の冷却効率を高めることができるばかりか
、レーザ光りの照射によってプラスチックフィルム３が
受けた熱が回転ドラム６へ逃げ易くなる。
工トラムロとコンデンサ用フィルム２との接触面間に熱
伝導率の高い水溶液などの液体１６を供給ノズル１７に
よって供給するようにした。この場合、液体１６が加工
トラムロとコンデンサ用フィルム２との間に確実に介在
するようコンデンサ用フィルム２を下方に向かって湾曲
させて加工トラムロと接触させた。それによって、コン
デンサ用フィルム２と加工トラムロとが熱伝導率の高い
液体１６を介して密告することになるから、コンデンサ
用フィルム２の冷却効率を高めることができるばかりか
、レーザ光りの照射によってプラスチックフィルム３が
受けた熱が回転ドラム６へ逃げ易くなる。
第７図はこの発明のさらに他の実施例を示し、この実施
例は加工トラムロを冷却せずに、加工点よりも手前で冷
却された気体１８をノズル１９がらコンデンサ用フィル
ム２に向けて噴射させるようにしたもので、このような
構成であっても、プラスチックフィルム３が受ける熱影
響を低減することができる。
例は加工トラムロを冷却せずに、加工点よりも手前で冷
却された気体１８をノズル１９がらコンデンサ用フィル
ム２に向けて噴射させるようにしたもので、このような
構成であっても、プラスチックフィルム３が受ける熱影
響を低減することができる。
［発明の効果］
以上述べたようにこの発明は、プラスチックフィルムに
金属膜が設けられた多層薄膜体の加工ドラムに接触する
部位を冷却するようにした。したがって、上記金属膜を
レーザ光で溶融除去する際に、プラスチックフィルムが
受ける熱影響を低減させることができるから、プラスチ
ックフィルムにしわが生じたり、損傷するなどのことを
防止できる。
金属膜が設けられた多層薄膜体の加工ドラムに接触する
部位を冷却するようにした。したがって、上記金属膜を
レーザ光で溶融除去する際に、プラスチックフィルムが
受ける熱影響を低減させることができるから、プラスチ
ックフィルムにしわが生じたり、損傷するなどのことを
防止できる。
第１図はこの発明の一実施例を示す装置全体の概略的構
成の斜視図、第２図は同じく加工ドラムの断面図、第３
図は同じくコンデンサ用フィルムの拡大断面図、第４図
は同じくレーザ光が照射されたときのコンデンサ用フィ
ルムの温度勾配のグラフ、第５図は同じくプラスチック
フィルムの温度と時間の関係のグラフ、第６図と第７図
はそれぞれこの発明の他の実施例を示す側面図、第８図
は一般的なコンデンサ用フィルムを説明するための斜視
図、第９図は従来の加工装置の説明図である。 ２・・・コンデンサ用フィルム（多層薄膜体）、３・・
・プラスチックフィルム、４・・・金属膜、５・・加工
ドラム、７・・・レーザ発振器、１５・・・液体窒素（
冷却手段）、１６・・・液体（冷却手段）、］８・・・
気体（冷却手段）。
成の斜視図、第２図は同じく加工ドラムの断面図、第３
図は同じくコンデンサ用フィルムの拡大断面図、第４図
は同じくレーザ光が照射されたときのコンデンサ用フィ
ルムの温度勾配のグラフ、第５図は同じくプラスチック
フィルムの温度と時間の関係のグラフ、第６図と第７図
はそれぞれこの発明の他の実施例を示す側面図、第８図
は一般的なコンデンサ用フィルムを説明するための斜視
図、第９図は従来の加工装置の説明図である。 ２・・・コンデンサ用フィルム（多層薄膜体）、３・・
・プラスチックフィルム、４・・・金属膜、５・・加工
ドラム、７・・・レーザ発振器、１５・・・液体窒素（
冷却手段）、１６・・・液体（冷却手段）、］８・・・
気体（冷却手段）。
Claims (1)
- プラスチックフィルムの表面に金属膜が設けられた多
層薄膜体を上記プラスチックフィルム側を加工ドラムの
外周面に接触させて走行させるとともに、上記加工ドラ
ムの箇所で上記多層薄膜体にレーザ光を上記金属膜側か
ら照射して上記金属膜の一部を除去する多層薄膜体の加
工装置において、上記多層薄膜体の上記加工ドラムに接
触している部位を冷却する冷却手段を備えていることを
特徴とする多層薄膜体の加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1065857A JPH02247088A (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 多層薄膜体の加工装置及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1065857A JPH02247088A (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 多層薄膜体の加工装置及びその方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02247088A true JPH02247088A (ja) | 1990-10-02 |
Family
ID=13299104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1065857A Pending JPH02247088A (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 多層薄膜体の加工装置及びその方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02247088A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0890271A (ja) * | 1994-09-16 | 1996-04-09 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | レーザ加工装置 |
| JPH08118045A (ja) * | 1994-10-19 | 1996-05-14 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61249693A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-11-06 | シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト | プラスチツクフイルム上の金属の無い帯状部の形成方法 |
| JPS62244593A (ja) * | 1986-04-17 | 1987-10-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 蒸着フイルムのレ−ザ加工方法 |
-
1989
- 1989-03-20 JP JP1065857A patent/JPH02247088A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61249693A (ja) * | 1985-04-24 | 1986-11-06 | シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト | プラスチツクフイルム上の金属の無い帯状部の形成方法 |
| JPS62244593A (ja) * | 1986-04-17 | 1987-10-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 蒸着フイルムのレ−ザ加工方法 |
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| JPH0890271A (ja) * | 1994-09-16 | 1996-04-09 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | レーザ加工装置 |
| JPH08118045A (ja) * | 1994-10-19 | 1996-05-14 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | レーザ加工方法およびレーザ加工装置 |
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