JPH02245019A - 半導体製造用組成物 - Google Patents

半導体製造用組成物

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JPH02245019A
JPH02245019A JP6693089A JP6693089A JPH02245019A JP H02245019 A JPH02245019 A JP H02245019A JP 6693089 A JP6693089 A JP 6693089A JP 6693089 A JP6693089 A JP 6693089A JP H02245019 A JPH02245019 A JP H02245019A
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ion
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organic semiconductor
polymer
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Susumu Tanaka
進 田中
Kyoji Kaeriyama
帰山 享二
Aizo Yamauchi
山内 愛造
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National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST
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Agency of Industrial Science and Technology
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は新規なチオフェン系重合体より成る有機半導体
材料に関するものである。
従来の技術 近年、各種産業機器の電子化が進み、機器の小型化並び
に高性能化が可能となった。この背景には、半導体、集
積回路、LSIなどの産業の成長が大きく貢献しており
、今後も電子材料の利用範囲の拡大と需要増大が予測さ
れる。
このような情勢において新規半導体の開発が重要な課題
となり、無機材料に加えて有機材料についての研究が活
発に行われているが、有機材料の中でも、高分子材料は
成形性、可塑性、可どう性に優れており、高分子半導体
の利用は特に広いものと期待され、多くの研究がなされ
ている。
これまで、高分子半導体として、ポリアセチレン、ポリ
フェニレンなどの重合体に対し、電子受容体をドープし
て半導体としての性質を付与したもの[ジャーナル・オ
ブ・ジ・アメリカン・ケミカル・ソサエティ(J、 A
m、 Chem、 Soc、 )第100巻、第101
3ページ(1978年)、シンセテイック・メタル(S
ynth、 Met、 )第1巻、第307ページ(1
980年)コや、陰イオンをドープしたポリチオフェン
[ジャパニーズ・ジャーナル・オブ・アプライド・フィ
ジックス(Jpn、 J、 of Appl、 Phy
s、 )第22巻、第412ページ(1983年)]な
どが知られている。
しかしながら、これらの有機半導体は一般に有機溶媒に
不溶であり、また、加熱しても溶融しな=3− いため成形性が劣っていた。
ポリアセチレンは酸素の作用を受けやすく、空気中で不
安定であり、実用上問題がある。また、ポリフェニレン
は安定性に優れている反面、ポリアセチレンと同様、成
形加工が困難である。ポリチオフェンは電解重合により
容易にドープされた重合体が電極表面上に得られる特徴
をもつが、溶媒には不溶である。最近、溶媒に可溶なポ
リチオフェン誘導体としてポリチオフェンのβ位に長鎖
アルキル基、又は、メトキシ基を導入したポリ(3−ド
デシルチオフェン)、ポリ(3−メトキシチオフェン)
が報告されている[マクロモレキュラー・ヘミ−(Ma
kromol、 Chem、 )第188巻、第176
3ページ(°1987年)、シンセティック・メタル(
Synth、 Met、 )第25巻、第277ページ
(1988年)]が、前者はドーピング状態が不安定で
あり、また、後者は安定性には優れているものの、ドー
ピング状態のポリマーは高沸点溶媒にしか溶解しなかっ
た。
発明が解決しようとする課題 本発明の目的は、ドーピング状態で汎用の低沸点溶媒に
可溶であり、優れた成形性を有し、しかも、空気中で安
定な新規な有機半導体材料を得ることである。
課題を解決しようとする手段 本発明者らは、このような有機半導体材料を得るために
鋭意研究を重ねた結果、チオフェン重合体のチオフェン
のβ位に比較的長鎖のアルキル基を導入し、これに陰イ
オンをドープさせることにより、その目的を達成しうる
ことを見い出し、この知見に基づいて本発明をなすに至
った。すなわち、本発明は、式 (式中のRは炭素数3以上、12以下のアルキル基) で示される繰り返し単位を有する重合体に陰イオンをド
ープさせて成る有機半導体材料を提供するものである。
本発明の重合体は、いずれも文献未載の新規化合物であ
り、そのままの中性状態及び陰イオンをドープした酸化
状態のいずれの場合も、クロロホルム、塩化メチレン、
ベンゼン、アセトン等の汎用の低沸点有機溶媒に可溶で
あり、成形性に優れている。上記の重合体にドープされ
る陰イオンとしては、過塩素酸イオン、塩素イオン、臭
素イオン、硝酸イオン、硫酸イオン、硫酸水素イオン、
テトラクロロ鉄(I[[)酸イオン、テトラクロロ銅(
II)酸イオン、テトラブロモ鉄(m)酸イオン、テト
ラブロモ銅(II)酸イオン、テトラフルオロホウ酸イ
オン、p−トルエンスルホン酸イオンなどがあげられる
。本発明の重合体は、中性状態では電気的に絶縁体であ
るが、酸化状態では半導体としての性質を示すようにな
る。
本発明のチオフェン重合体は、例えば、式(式中のRは
炭素数3以上、12以下のアルキル基) で示される化合物を陰イオンを供給しうる酸化剤の存在
下で重合することにより製造することができる。重合に
よって、得られた重合体は使用した酸化剤の陰イオンが
ドープされているが、これにアンモニアを反応させるこ
とにより、ドーパントが除かれ中性状態の重合体を得る
ことができる。
ドーパントの除去は導電性基盤上にキャストフィルムを
つくり、これを電気化学的に脱ドープすることによって
も実施できる。
重合は窒素、アルゴン等の不活性雰囲気で行うのが有利
である。このように、不活性雰囲気下で行うことにより
、反応中間体が酸素と化合して副生物が生じるのを防ぐ
ことができる。また、この際の反応溶媒としては、アセ
トニトリル、クロロポルム、塩化メチレン、ニトロベン
ゼン、ニトロメタン、ベンゾニトリル、炭酸プロピレン
、テI・ラヒドロフラン、ジメチルスルホキシド、ジメ
チルポルムアミド、ヘキサメチルポスポルトリアミド、
1−メチル−2−ピロリジノンなどから選ぶことができ
る。
陰イオンを供給しうる酸化剤としては、過塩素酸鉄(■
)、過塩素酸銀(■)、塩化鉄(III)、塩化銅(■
)、臭化鉄(■)、臭化銅(■)、硝酸鉄(■)、硝酸
銅(■)、硝酸銀(I)、硫酸鉄(■)、テトラフルオ
ロホウ酸銀(II)、p−トルエンスルホン酸酸銀n)
などがあげられる。
前記(II)の化合物は、例えば、3−ブロムチオフェ
ンに金属ナトリウムとアルキルアルコールから調製した
アルコラード体を酸化銅及びヨウ化カリウムの存在下で
反応させることにより合成される。
発明の効果 本発明の重合体は陰イオンがドープされた状態で得られ
、重合とドーピング過程が実質的に一段=8− 階で行いうるという長所を有する。ドーパントの除去は
上で得られた陰イオンがドープされた重合体を電気化学
的に処理することにより容易に実施でき、中性状態の重
合体となる。また、アンモニアを直接反応させて脱ドー
プすることも可能である。
陰イオンをドープした重合体の電導度は10−737c
mから最大1O−2S/cmを示し、空気中で安定であ
り、電磁波シールド材、太陽電池などへも応用できる。
前記(I)の重合体は中性状態、ドーピング状態のいず
れの状態でも、クロロホルム、塩化メチレン、ベンゼン
、アセトン等の汎用の低沸点有機溶媒に可溶であり、優
れた成形性を有し、その重合度は10−500である。
脱ドープした中性状態の重合体は絶縁体であるが、これ
に臭素、ヨウ素、三酸化イオウ、三フッ化ホウ素、五フ
ッ化アンチモンのような電子受容体を添加することによ
り、再び半導体としての性質をもたせることもできる。
実施例 次に、実施例により本発明を更に詳細に説明する。
参考例1 スターラー付き200m1耐圧容器に、1−プロパツー
ル50g (0,83モル)、金属ナトリウム3.5g
(0,15モル)から調製したアルコラード体、酸化銅
(II)5g、ヨウ化カリウム0.5g、及び3−ブロ
ムチオフェン10g (0,06モル)を仕込み、16
0℃で3時間反応させた。反応混合物を2倍量の水に入
れ、エーテル抽出した。エーテル留去後、減圧蒸留し、
3−プロポキシチオフェンを得た。収量7.2g(84
%)、沸点83.5−85℃(18mmHg )。
元素分析値 C? H+ a OSとして計算値(%)
  C59,12H7,09S 22.54実測値(%
)C58,51H7,03S 22.59参考例2 参考例1において1−プロパツールの代わりに、1−オ
クタツール50g (0,38モル)を用い、金属ナト
リウムの使用量を2.5g (0,11モル)とし、1
〇− 反応温度を180℃としたほかは同様の操作を行ない、
3−オクチルオキシチオフェンを得た。収量4.5g(
35%)、沸点118.5−119.5℃(3mmHg
) 。
元素分析値 Cl2H211O3として計算値(%) 
 C67,87H9,49S 15.10実測値(%)
  C67,8089,4OS 15.35実施例1 窒素導入管、スターラー、コンデンサー付き100m1
三頚フラスコに過塩素酸鉄(III ) 1.42g 
(4ミリモル)、アセトニトリル20m lを入れると
褐色透明液となる。ここに、3−オクチルオキシチオフ
ェン0.424g (2ミリモル)を加えると、色が黒
変した。30°Cで2時間かくはん後、反応混合物を炉
別、アセトニトリルで洗浄し、過塩素酸イオンがドープ
された黒色粉末0.256gを得た。この粉末の電導度
は3.3X 10−’ S / cmを示し、クロロホ
ルム、塩化メチレン、ベンゼン、アセトンに溶解した。
また、重合体の赤外吸収スペクトルを図(a)に示す、
この図から明らかなように、2. 3. 5一トリ置換
チオフェン環の存在を示す820cm−’のバンドが認
められ、重合体の構造が全共役型であることを示す。
実施例2 実施例1において、過塩素酸鉄(m ) 1.42g 
(4ミリモル)の代わりに、過塩素酸1(II)(六水
塩) 1.48g (4ミリモル)を用いたほかは同様
の操作を行い、過塩素酸イオンがドープされた黒色粉末
0.117gを得た。この粉末の電導度は1.lX1O
−7S/cmを示した。
実施例3 実施例1において、3−オクチルオキシチオフェン0.
424g(2ミリモル)の代わりに、3−プロポキシチ
オフェン0.284g (2ミリモル)を用いたほかは
同様の操作を行い、過塩素酸イオンがドープされた黒色
粉末0.156gを得た。この粉末の電導度は4.1X
 1O−3S / cmを示し、りooボルム、塩化メ
チレンに溶解した。また、重合体の赤外吸収スペクトル
を図(b)に示す、この図から明らかなように、2,3
.5−)−り置換チオフェン環の存在を示す820cm
−’のバンドが認められ、重合体の構造が全共役型であ
ることを示す。
実施例4 実施例3において、過塩素酸鉄(m ) 1.42g 
(4ミリモル)の代わりに、過塩素酸銀(■)(六水塩
) 1.48g (4ミリモル)を用いたほかは同様の
操作を行い、過塩素酸イオンがドープされた黒色粉末0
.086gを得た。この粉末の電導度は1.0X10−
2S/cmを示した。
【図面の簡単な説明】
図は実施例1[曲線(a)]及び実施例3[曲線(b)
]で得られたドープした重合体の赤外吸収スペクトルを
示す。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 1. 式 ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中のRは炭素数3以上、12以下のアルキル基) で示される繰り返し単位を有する重合体及びこれにドー
    プされた陰イオンから成る有機半導体材料。
  2. 2. 陰イオンが過塩素酸イオン、塩素イオン、臭素イ
    オン、硝酸イオン、硫酸イオン、硫酸水素イオン、テト
    ラクロロ鉄(III)酸イオン、テトラクロロ銅(II)酸
    イオン、、テトラブロモ鉄(III)酸イオン、テトラブ
    ロモ銅(II)酸イオン、テトラフルオロホウ酸イオン、
    p−トルエンスルホン酸イオンである請求項1記載の有
    機半導体材料。
  3. 3. 式 ▲数式、化学式、表等があります▼ (式中のRは炭素数3以上、12以下のアルキル基) で示されるチオフェン化合物を、陰イオンを供給しうる
    酸化剤の存在下で重合させることを特徴とする請求項1
    記載の有機半導体材料の製造方法。
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