JPH02242006A - 排ガス熱焼処理装置における逆火防止装置 - Google Patents
排ガス熱焼処理装置における逆火防止装置Info
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- 230000002265 prevention Effects 0.000 title claims description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 47
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 claims description 6
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 claims description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract description 3
- WHVLVEATLPIRED-UHFFFAOYSA-N C=C.F.F.F Chemical group C=C.F.F.F WHVLVEATLPIRED-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 9
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 4
- 239000003440 toxic substance Substances 0.000 description 4
- 238000009841 combustion method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical group FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 2
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- -1 diborane (ax tts ) Chemical compound 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000006864 oxidative decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Gas Burners (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、アルシン（ＡｓＨ，） 、ホスフィン（ＰＨ
３）、ジボラン（ａｘ ｔｔｓ ）、モノシラン（Ｓｉ
Ｈ４）等で代表される有毒性ガスを無害化するための燃
焼装置における逆火防止装置に関するものである。
３）、ジボラン（ａｘ ｔｔｓ ）、モノシラン（Ｓｉ
Ｈ４）等で代表される有毒性ガスを無害化するための燃
焼装置における逆火防止装置に関するものである。
〔従来技術及び発明が解決しようとする課題〕半導体製
造工程からは、前記した如きガス状の有毒性物質を含む
有毒性排ガスが生成する。このような有毒性排ガスは人
体に対する毒性が極めて高いので、その排ガスの大気へ
の放出に際しては、それに含まれる有毒性物質の完全除
去が要求される。また排ガスの処理操作中における有毒
ガスの漏洩も防止する必要がある。
造工程からは、前記した如きガス状の有毒性物質を含む
有毒性排ガスが生成する。このような有毒性排ガスは人
体に対する毒性が極めて高いので、その排ガスの大気へ
の放出に際しては、それに含まれる有毒性物質の完全除
去が要求される。また排ガスの処理操作中における有毒
ガスの漏洩も防止する必要がある。
排ガス中に含まれる有毒性物質を除去するための有効な
方法の１つとして、燃焼法が知られている（特開昭６２
−１３４４１４号、特開昭６２−１５２５１７号）、こ
の方法は、排ガス中の有毒性物質を燃焼条件で酸化分解
し、単体元素や酸化物の固体状物質に変換させて除去す
る方法である。
方法の１つとして、燃焼法が知られている（特開昭６２
−１３４４１４号、特開昭６２−１５２５１７号）、こ
の方法は、排ガス中の有毒性物質を燃焼条件で酸化分解
し、単体元素や酸化物の固体状物質に変換させて除去す
る方法である。
燃焼法においては、安全対策上、逆火防止装置の設置が
必要とされるが、特に上記半導体製造工程からの有毒性
排ガスの燃焼法で用いる逆火装置では下記の点が問題と
なる。
必要とされるが、特に上記半導体製造工程からの有毒性
排ガスの燃焼法で用いる逆火装置では下記の点が問題と
なる。
（１）金網、多孔質材料による逆火防止装置では半導体
装置で生成される微粉体により閉塞されてしまうため使
用できない。
装置で生成される微粉体により閉塞されてしまうため使
用できない。
（２）水封構造の逆火防止装置では蒸気圧が高いため、
常に水を追加しながら運転しなければならない、また前
記有毒性排ガスが加水分解反応したり、溶解したりして
使用上に問題がある。
常に水を追加しながら運転しなければならない、また前
記有毒性排ガスが加水分解反応したり、溶解したりして
使用上に問題がある。
これに対し、この発明は上記水封構造の逆火防止装置の
代りに、不燃性オイルを用いる装置を用いて前記従来の
不具合を克服したものである。つまり、不燃性オイルは
、反応性が極めて低く、排ガスに対し反応による変質を
起さず、長期間使用が可能であり、さらに蒸気圧が低く
長期間使用しても殆んど減少がみられず、従ってオイル
の補給などの手間が実質的に不要であるからである。
代りに、不燃性オイルを用いる装置を用いて前記従来の
不具合を克服したものである。つまり、不燃性オイルは
、反応性が極めて低く、排ガスに対し反応による変質を
起さず、長期間使用が可能であり、さらに蒸気圧が低く
長期間使用しても殆んど減少がみられず、従ってオイル
の補給などの手間が実質的に不要であるからである。
不燃性オイルとは例えばＨを含有せずＣ，Ｆ、 Ｃｎか
らなる沸点が１００℃以上の化合物であり、ＣＣΩ、
ＣＣＱ、、ＣＣＱ２ＣＣＱ、 Ｆ、好ましくは三フッ化
塩化エチレン低重合体（ＣＦ、ＣＦ（、Ｑ）ｎなどが用
いられる。
らなる沸点が１００℃以上の化合物であり、ＣＣΩ、
ＣＣＱ、、ＣＣＱ２ＣＣＱ、 Ｆ、好ましくは三フッ化
塩化エチレン低重合体（ＣＦ、ＣＦ（、Ｑ）ｎなどが用
いられる。
この発明の実施例を図面について説明すると。
第１図はこの発明の逆火防止装置の断面図を示し、全体
は、上下面閉塞した容器状主体１に、排ガス入口配管２
を形成し、上端に近く排ガス出口配管３を形成して構成
され、容器状主体１内には上記排ガス入口配管２の下端
を浸して不燃性オイル４が封入されている。この不燃性
オイル４は、三フッ化塩化エチレン低重合体（Ｃｚ Ｃ
ＱＦａ ）ｎなどである。
は、上下面閉塞した容器状主体１に、排ガス入口配管２
を形成し、上端に近く排ガス出口配管３を形成して構成
され、容器状主体１内には上記排ガス入口配管２の下端
を浸して不燃性オイル４が封入されている。この不燃性
オイル４は、三フッ化塩化エチレン低重合体（Ｃｚ Ｃ
ＱＦａ ）ｎなどである。
この構成により１通常の状態では排ガスは、排ガス人口
排管２より入って、不燃性オイル４内でバブリングし、
排ガス出口配管３より排出されて後段の燃焼処理装置で
処理され、燃焼バーナーで逆火が起きても火炎の伝播は
不燃性オイル４面で遮へいされるから排ガス入口配管２
まで及ぶことはない、又、逆火により排ガス出口配管３
内の圧力が上昇した場合は円筒容器状主体１内の圧力が
高まって、排ガス入口配管２内の不燃性オイル４の液面
が上昇して排ガス入口配管２内は充分の不燃性オイル４
が充てんされた状態となり排ガスの通路が遮断されて逆
火が防止される。
排管２より入って、不燃性オイル４内でバブリングし、
排ガス出口配管３より排出されて後段の燃焼処理装置で
処理され、燃焼バーナーで逆火が起きても火炎の伝播は
不燃性オイル４面で遮へいされるから排ガス入口配管２
まで及ぶことはない、又、逆火により排ガス出口配管３
内の圧力が上昇した場合は円筒容器状主体１内の圧力が
高まって、排ガス入口配管２内の不燃性オイル４の液面
が上昇して排ガス入口配管２内は充分の不燃性オイル４
が充てんされた状態となり排ガスの通路が遮断されて逆
火が防止される。
次に、第２図は第１図の変形例を示し、この場合は排ガ
ス入口配管２の下端縁にバブリング孔５・・・が周設さ
れている。その他の部分は第１図と同じ符号で示されて
いる。この構成においては、バブリング時の気泡を小さ
くすることができるからミストの発生、およびバブリン
グによる圧力変動を小さくすることができ、このバブリ
ングによる圧力変動が小さいことによってバーナの火炎
を安定化させることができる。
ス入口配管２の下端縁にバブリング孔５・・・が周設さ
れている。その他の部分は第１図と同じ符号で示されて
いる。この構成においては、バブリング時の気泡を小さ
くすることができるからミストの発生、およびバブリン
グによる圧力変動を小さくすることができ、このバブリ
ングによる圧力変動が小さいことによってバーナの火炎
を安定化させることができる。
次に第３図は、この発明の逆火防止装置を組み込んだ燃
焼処理装置の一例を示す、同図において、有毒性排ガス
は、逆火防止装置の排ガス入口配管２から、主体１に入
り排ガス出口配管３から排出されバーナ９の先端で支燃
ガス（酸素又は空気）と共に燃焼される。
焼処理装置の一例を示す、同図において、有毒性排ガス
は、逆火防止装置の排ガス入口配管２から、主体１に入
り排ガス出口配管３から排出されバーナ９の先端で支燃
ガス（酸素又は空気）と共に燃焼される。
燃焼炉本体１０上部には、旋回水導管１２から供給され
る水と圧縮ガス導入管１１から供給される圧縮ガス（空
気）との混合物が噴射される。この噴射水は旋回流とな
り炉内壁面には上端部から下流へ向けて流れる水膜１３
が形成される。水膜は有毒性排ガスを燃焼処理した時に
生成する固体微粉末を捕捉吸収する為のものである。
る水と圧縮ガス導入管１１から供給される圧縮ガス（空
気）との混合物が噴射される。この噴射水は旋回流とな
り炉内壁面には上端部から下流へ向けて流れる水膜１３
が形成される。水膜は有毒性排ガスを燃焼処理した時に
生成する固体微粉末を捕捉吸収する為のものである。
燃焼炉下部にはスプレーノズル１４が設置され水滴を炉
内に噴射し、燃焼ガスに衝突させガスを冷却すると共に
炉内壁水膜と併せて燃焼ガス中の固体微粉末を除去する
。固体微粉末の除去された燃焼ガスは、燃焼ガス排出口
１５より排気される。
内に噴射し、燃焼ガスに衝突させガスを冷却すると共に
炉内壁水膜と併せて燃焼ガス中の固体微粉末を除去する
。固体微粉末の除去された燃焼ガスは、燃焼ガス排出口
１５より排気される。
すなわち、上記第３図によれば、有毒性排ガスを、燃焼
炉本体１０の炉壁内面にその上端部がら下端部へ流下す
る水膜を形成した炉体内で燃焼処理し、この燃焼処理に
より生成した固体状粉末を水膜に捕捉させて炉外に排出
させることにより、燃焼反応による酸化分解に悪影響を
及ぼすことなく燃焼炉内において燃焼と除塵を一工程で
行うことができ、併せて燃焼処理における逆火防止を確
実に行うことができる。
炉本体１０の炉壁内面にその上端部がら下端部へ流下す
る水膜を形成した炉体内で燃焼処理し、この燃焼処理に
より生成した固体状粉末を水膜に捕捉させて炉外に排出
させることにより、燃焼反応による酸化分解に悪影響を
及ぼすことなく燃焼炉内において燃焼と除塵を一工程で
行うことができ、併せて燃焼処理における逆火防止を確
実に行うことができる。
第１図はこの発明の逆火防止装置の縦断面図、第２図は
第１図の変形例を示す縦断面図、第３図はこの発明の逆
火防止装置を備えた排ガス燃焼処理装置の縦断面図であ
る。 ｌ・・・容器状主体、 ３・・・排ガス出口配管。 ５・・・バブリング孔、 １０・・・燃焼炉本体、 １２・・・旋回水源水管、 １５・・・燃焼ガス排出口。 ２・・・排ガス入口配管、 ４・・・不燃性オイル、 ９・・・バーナ、 １１・・・圧縮ガス導入管、 １４・・・スプレー
第１図の変形例を示す縦断面図、第３図はこの発明の逆
火防止装置を備えた排ガス燃焼処理装置の縦断面図であ
る。 ｌ・・・容器状主体、 ３・・・排ガス出口配管。 ５・・・バブリング孔、 １０・・・燃焼炉本体、 １２・・・旋回水源水管、 １５・・・燃焼ガス排出口。 ２・・・排ガス入口配管、 ４・・・不燃性オイル、 ９・・・バーナ、 １１・・・圧縮ガス導入管、 １４・・・スプレー
Claims (3)
- （１）上下面閉塞した容器状主体に、排ガス入口配管な
らびに上端に近く排ガス出口配管を各形成し、かつ内部
に上記排ガス入口配管の下端を浸して不燃性オイルを封
入してなる排ガス燃焼処理装置における逆火防止装置。 - （２）上下面閉塞した容器状主体に、周面下縁にバブリ
ング孔を有する排ガス入口配管ならびに上端に近く排ガ
ス出口配管を各形成し、かつ内部に上記排ガス入口配管
の下端を浸して不燃性オイルを封入してなる排ガス燃焼
処理装置における逆火防止装置。 - （３）内部上方に拡散型バーナおよび内面を流下する水
膜形成用の給水機構を備え、下端に燃焼ガス排口を有す
る縦型燃焼炉の上記拡散型バーナに、別に上下面閉塞し
た円筒容器状主体に、その上面中心を貫く立管を垂設し
て排ガス入口配管ならびに上端に近く横管を連設して排
ガス出口配管を各形成し、かつ内部に上記排ガス入口配
管の下端を浸して不燃性オイルを封入した逆火防止装置
を接続してなる排ガス燃焼処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6183889A JP2688658B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 排ガス熱焼処理装置における逆火防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6183889A JP2688658B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 排ガス熱焼処理装置における逆火防止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02242006A true JPH02242006A (ja) | 1990-09-26 |
| JP2688658B2 JP2688658B2 (ja) | 1997-12-10 |
Family
ID=13182636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6183889A Expired - Fee Related JP2688658B2 (ja) | 1989-03-13 | 1989-03-13 | 排ガス熱焼処理装置における逆火防止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2688658B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009063194A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | 炳霖 ▲楊▼ | 燃焼ガス供給路に設置される水式逆火防止装置 |
-
1989
- 1989-03-13 JP JP6183889A patent/JP2688658B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009063194A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | 炳霖 ▲楊▼ | 燃焼ガス供給路に設置される水式逆火防止装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2688658B2 (ja) | 1997-12-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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