JPH0355415A - 燃焼炉の圧力変動の伝達防止方法 - Google Patents
燃焼炉の圧力変動の伝達防止方法Info
- Publication number
- JPH0355415A JPH0355415A JP18935289A JP18935289A JPH0355415A JP H0355415 A JPH0355415 A JP H0355415A JP 18935289 A JP18935289 A JP 18935289A JP 18935289 A JP18935289 A JP 18935289A JP H0355415 A JPH0355415 A JP H0355415A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- ejector
- gas
- exhaust gas
- combustion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 claims description 25
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 claims description 25
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 67
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 abstract description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 abstract description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 abstract description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000001294 propane Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001473 noxious effect Effects 0.000 abstract 3
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 6
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 4
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 4
- 239000003440 toxic substance Substances 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- XQVWYOYUZDUNRW-UHFFFAOYSA-N N-Phenyl-1-naphthylamine Chemical compound C=1C=CC2=CC=CC=C2C=1NC1=CC=CC=C1 XQVWYOYUZDUNRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N arsane Chemical compound [AsH3] RBFQJDQYXXHULB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000009841 combustion method Methods 0.000 description 1
- -1 diborane Chemical compound 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Incineration Of Waste (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は，アルシン，ホスフィン、ジボラン，モノシラ
ン等で代表される有毒性ガスを含む排ガスを燃焼処理す
るにあたって，その排ガスの燃焼処理に際して起る燃焼
炉の圧力変動が有毒性排ガス発生源に伝達するのを防止
する方法に関するものである． （従来の技術および発明が解決しようとする課題）半導
体製造工程からは、前記した如きガス状の有毒性物質を
含む有毒性排ガスが生成する。このような有毒性排ガス
は人体に対する毒性が極めて高いので、その排ガスの大
気への放出に際しては，それに含まれる有毒性物質の完
全除去が要求される． 排ガス中に含まれる有毒性物質を除去するための有効な
方法の１つとして、燃焼法が知られている（特開昭６２
−１３４４１４号，特開昭６２−１５２５１７号）。こ
の方法は、排ガス中の有毒性物質を燃焼条件で酸化分解
し、単体元素や酸化物の固体状物質に変換させて除去す
る方法である． この固体状物質も有毒であるため完全に燃焼ガス中から
除去されなければならないが、生成される固体状物質は
、気相で生成されるためサブミクロンサイズの微粉末で
あることから，通常の数ミクロンサイズの微粉末に比し
燃焼ガス中のこの固体微粉末を燃焼ガスから完全除去す
るのに著しい困難が生じる．本発明者らは、先に、この
ような固体微粉末から効率よく除去するために，燃焼炉
内壁に水膜をを流下させ、この水膜に固体微粉末を捕捉
吸収させる一連の有毒性排ガスの燃焼処理方法及び装置
を提案している（特願昭６３−２１８３８９号，特願昭
６３−２８４９３０号）。
ン等で代表される有毒性ガスを含む排ガスを燃焼処理す
るにあたって，その排ガスの燃焼処理に際して起る燃焼
炉の圧力変動が有毒性排ガス発生源に伝達するのを防止
する方法に関するものである． （従来の技術および発明が解決しようとする課題）半導
体製造工程からは、前記した如きガス状の有毒性物質を
含む有毒性排ガスが生成する。このような有毒性排ガス
は人体に対する毒性が極めて高いので、その排ガスの大
気への放出に際しては，それに含まれる有毒性物質の完
全除去が要求される． 排ガス中に含まれる有毒性物質を除去するための有効な
方法の１つとして、燃焼法が知られている（特開昭６２
−１３４４１４号，特開昭６２−１５２５１７号）。こ
の方法は、排ガス中の有毒性物質を燃焼条件で酸化分解
し、単体元素や酸化物の固体状物質に変換させて除去す
る方法である． この固体状物質も有毒であるため完全に燃焼ガス中から
除去されなければならないが、生成される固体状物質は
、気相で生成されるためサブミクロンサイズの微粉末で
あることから，通常の数ミクロンサイズの微粉末に比し
燃焼ガス中のこの固体微粉末を燃焼ガスから完全除去す
るのに著しい困難が生じる．本発明者らは、先に、この
ような固体微粉末から効率よく除去するために，燃焼炉
内壁に水膜をを流下させ、この水膜に固体微粉末を捕捉
吸収させる一連の有毒性排ガスの燃焼処理方法及び装置
を提案している（特願昭６３−２１８３８９号，特願昭
６３−２８４９３０号）。
ところで、特願昭６３−２３１７８７号では、燃焼炉の
圧力変動を燃焼炉に設けた伸縮性部材を伸縮させること
により制御しているが、燃焼炉の圧力変動が伸縮性部材
の制御能力を超えるような場合には炉内の圧力変動を制
御しきれず、このため，燃焼炉に連なる半導体製造装置
に悪影響を及ぼす恐れがあった。
圧力変動を燃焼炉に設けた伸縮性部材を伸縮させること
により制御しているが、燃焼炉の圧力変動が伸縮性部材
の制御能力を超えるような場合には炉内の圧力変動を制
御しきれず、このため，燃焼炉に連なる半導体製造装置
に悪影響を及ぼす恐れがあった。
（課題を解決するための手段）
本発明者らは、燃焼炉内で起る圧力変動の半導体製造工
程への伝達を防止すべく鋭意研究を重ねた結果、燃焼炉
の上流側に加圧訃動気体を噴出させたエゼクターを配設
し、このエゼクターに有毒性排ガスを吸引させるととも
に、このエゼクターから有毒性排ガスを郭動気体との混
合ガスとして取出し、これを燃焼炉へ導入する時には、
燃焼炉内で起る圧力変動は、そのエゼクタ一部で遮断さ
れ、それより上流側には伝達されないことを見出し，本
発明を完成するに至った。
程への伝達を防止すべく鋭意研究を重ねた結果、燃焼炉
の上流側に加圧訃動気体を噴出させたエゼクターを配設
し、このエゼクターに有毒性排ガスを吸引させるととも
に、このエゼクターから有毒性排ガスを郭動気体との混
合ガスとして取出し、これを燃焼炉へ導入する時には、
燃焼炉内で起る圧力変動は、そのエゼクタ一部で遮断さ
れ、それより上流側には伝達されないことを見出し，本
発明を完成するに至った。
即ち、本発明によれば、有毒性排ガス発生源からの有毒
性排ガスを、加圧能動気体を噴出させた二セクターに吸
引させるとともに、該エゼクターから該馳動気体との混
合ガスとして取出し、これを燃焼炉に導入することを特
徴とする燃焼炉の圧力変動が有毒性排ガス発生源へ伝達
するのを防止する方法が提供される。
性排ガスを、加圧能動気体を噴出させた二セクターに吸
引させるとともに、該エゼクターから該馳動気体との混
合ガスとして取出し、これを燃焼炉に導入することを特
徴とする燃焼炉の圧力変動が有毒性排ガス発生源へ伝達
するのを防止する方法が提供される。
（発明の実施例）
本発明の方法を実施する装置の一例を図簡について説明
すると、第１図において，１は半導体製造装置等の有毒
性排ガス発生源を示す。２は吸着処理装置，３は燃焼処
理装置、４は逆火防止装置、５は除塵フィルターを各示
す。有毒性排ガス発生源からの有毒性排ガス偶給ライン
（配管）は、その切換バルブ７及び８により吸着処理装
置２に続くライン９と、逆火防止装置４を介して燃焼処
理装置３に続くラインｌＯとに分岐される。通常の状態
においては、吸着処理装置に続くバルブ７は閉とされ、
逆火防止装置に続くバルブ８は開放される。
すると、第１図において，１は半導体製造装置等の有毒
性排ガス発生源を示す。２は吸着処理装置，３は燃焼処
理装置、４は逆火防止装置、５は除塵フィルターを各示
す。有毒性排ガス発生源からの有毒性排ガス偶給ライン
（配管）は、その切換バルブ７及び８により吸着処理装
置２に続くライン９と、逆火防止装置４を介して燃焼処
理装置３に続くラインｌＯとに分岐される。通常の状態
においては、吸着処理装置に続くバルブ７は閉とされ、
逆火防止装置に続くバルブ８は開放される。
有毒性排ガス発生ｍｌからの有毒性排ガス（以下、単に
排ガスとも言う）は、ライン６、バルブ８及びラインｌ
Ｏを通って逆火防止装置４を通過した後、ラインｌ１を
通り、バーナ１２を通って燃焼処理装置３内に噴出され
燃焼処理される。燃焼排ガスは、ラインｌ３を通って抜
出され、除塵フィルター５及び排気ボンプ１４を通って
大気へ放出される．燃焼処理装賀３では、有毒性排ガス
の燃焼処理により生成した微粉末は、燃焼処理装置の上
端部にラインｌ８を介して導入され，炉壁を液膜として
流下する液体及び中間部にラインｌ８を介してスプレー
された液滴によって捕捉される．微粉末を捕捉した液体
は、装置底部から、ラインｌ５、液循環ボンプｌ６、冷
却器１７を通って再び焼燃炉へ循環される。その循環液
の一部はラインｌ９を通って廃液ドラム２０に貯留され
る。このような燃焼処理装置は、特願昭６３−２１８３
８９号及び特願昭６３−２８４９３０号明細書に記載さ
れている。
排ガスとも言う）は、ライン６、バルブ８及びラインｌ
Ｏを通って逆火防止装置４を通過した後、ラインｌ１を
通り、バーナ１２を通って燃焼処理装置３内に噴出され
燃焼処理される。燃焼排ガスは、ラインｌ３を通って抜
出され、除塵フィルター５及び排気ボンプ１４を通って
大気へ放出される．燃焼処理装賀３では、有毒性排ガス
の燃焼処理により生成した微粉末は、燃焼処理装置の上
端部にラインｌ８を介して導入され，炉壁を液膜として
流下する液体及び中間部にラインｌ８を介してスプレー
された液滴によって捕捉される．微粉末を捕捉した液体
は、装置底部から、ラインｌ５、液循環ボンプｌ６、冷
却器１７を通って再び焼燃炉へ循環される。その循環液
の一部はラインｌ９を通って廃液ドラム２０に貯留され
る。このような燃焼処理装置は、特願昭６３−２１８３
８９号及び特願昭６３−２８４９３０号明細書に記載さ
れている。
有毒性排ガス発生源と逆火防止装置との間のラインには
，必要に応じ、可燃性ガスがライン２ｌを通って導入さ
れ、燃焼バーナーｌ２には支燃ガスとしての酸素又は空
気がライン２２を通って導入される。燃焼バーナへの排
ガス供給ライン１１には、竃素ガスライン２３がバルブ
２５及びライン２７を介して接続されるとともに，給水
ライン２４がバルブ２６及びライン２７を介して接続さ
れ、必要に応じ、室素ガスと水との混合物が排ガス供給
ライン２７を通って燃焼バーナノズル内を流れるように
なっている。
，必要に応じ、可燃性ガスがライン２ｌを通って導入さ
れ、燃焼バーナーｌ２には支燃ガスとしての酸素又は空
気がライン２２を通って導入される。燃焼バーナへの排
ガス供給ライン１１には、竃素ガスライン２３がバルブ
２５及びライン２７を介して接続されるとともに，給水
ライン２４がバルブ２６及びライン２７を介して接続さ
れ、必要に応じ、室素ガスと水との混合物が排ガス供給
ライン２７を通って燃焼バーナノズル内を流れるように
なっている。
水と室素ガスとの混合物を燃焼バーナノズル内を流通さ
せることによって、バーナノズルの洗浄を行うこヒがで
きる。
せることによって、バーナノズルの洗浄を行うこヒがで
きる。
本発明においては、前記したように燃焼処理装＆！！３
のバーナｌ２に至るライン１ｌに加圧駒動気体ａを噴出
させたエゼクタ−２８を介設させ、排ガスを、エゼクタ
ーから駐動気体との混合ガスとして取出し、これをバー
ナｌ２に送入する。
のバーナｌ２に至るライン１ｌに加圧駒動気体ａを噴出
させたエゼクタ−２８を介設させ、排ガスを、エゼクタ
ーから駐動気体との混合ガスとして取出し、これをバー
ナｌ２に送入する。
このエゼクタ−２８は、一般に使用されるエゼクターと
同様のものであって、第２図に明らかなようにノズル部
分２９、吸引室部分３０、デフユーザー部分３ｌよりな
り、加圧された杯動気体ａをノズル３３から噴射すると
吸引室３４は減圧となり、排ガスｂが吸引されて両者が
激しく混合しなからデフユーザー３５内を通過する．こ
のようにしてエゼクターを通過した排ガスを燃焼バーナ
ｌ２に導入して燃焼処理する時には、燃焼処理装置の燃
焼炉内に圧力変動が生じても、この圧力変動の伝達はエ
ゼクタ−２８によって遮断され、エゼクタ−２８より上
流側には伝達されない． エゼクタ−２８における廓動気体としては、窒素，水素
、メタン、プロパン等の各種のガスが用いられる。馳動
気体の圧力は、デュフユーザー出口圧力の２〜１５倍、
好ましくは３−ｌＯ倍にするのがよく，また、ディフユ
ーザー出口圧力は、吸引される排ガス圧力の１〜１０倍
、好ましくはｌ〜５倍にするのがよい。
同様のものであって、第２図に明らかなようにノズル部
分２９、吸引室部分３０、デフユーザー部分３ｌよりな
り、加圧された杯動気体ａをノズル３３から噴射すると
吸引室３４は減圧となり、排ガスｂが吸引されて両者が
激しく混合しなからデフユーザー３５内を通過する．こ
のようにしてエゼクターを通過した排ガスを燃焼バーナ
ｌ２に導入して燃焼処理する時には、燃焼処理装置の燃
焼炉内に圧力変動が生じても、この圧力変動の伝達はエ
ゼクタ−２８によって遮断され、エゼクタ−２８より上
流側には伝達されない． エゼクタ−２８における廓動気体としては、窒素，水素
、メタン、プロパン等の各種のガスが用いられる。馳動
気体の圧力は、デュフユーザー出口圧力の２〜１５倍、
好ましくは３−ｌＯ倍にするのがよく，また、ディフユ
ーザー出口圧力は、吸引される排ガス圧力の１〜１０倍
、好ましくはｌ〜５倍にするのがよい。
（発明の効果）
本発明は，以上のように、燃焼炉のパーナ上流側にエゼ
クターを通してエゼクター駆動気体との混合ガスとして
取出し、これを燃焼炉へ導入することにより、燃焼炉内
で起る圧力変動の燃焼炉上流側への伝達を、そのエゼク
タ一部で遮断し、有毒性排ガス発生源に伝達することを
防止したものである。従って、本発明によれば、有毒性
排ガス発生温である半導体製造装置において圧力条件が
何ら変動しないことから、その半導体製造装置では安定
な操業を行うことができる。
クターを通してエゼクター駆動気体との混合ガスとして
取出し、これを燃焼炉へ導入することにより、燃焼炉内
で起る圧力変動の燃焼炉上流側への伝達を、そのエゼク
タ一部で遮断し、有毒性排ガス発生源に伝達することを
防止したものである。従って、本発明によれば、有毒性
排ガス発生温である半導体製造装置において圧力条件が
何ら変動しないことから、その半導体製造装置では安定
な操業を行うことができる。
第ｌ図は本発明の方法を実施する装置の系統図、第２図
は同じくエゼクタの縦断図面である。 ｌ・・・有毒性排ガス発生源 ２・・・吸着処理装置 ３・・・燃焼処理装置 ７．８・・・切換バルブ ｌ２・・・バーナ ｌ６・・・液循環ポンプ ２８・・・エゼクター ３３・・・ノズル、 ３４・・・吸引室 ３５・・・デフユーザー ａ・・・駆動気体 ｂ・・・有毒性排ガス
は同じくエゼクタの縦断図面である。 ｌ・・・有毒性排ガス発生源 ２・・・吸着処理装置 ３・・・燃焼処理装置 ７．８・・・切換バルブ ｌ２・・・バーナ ｌ６・・・液循環ポンプ ２８・・・エゼクター ３３・・・ノズル、 ３４・・・吸引室 ３５・・・デフユーザー ａ・・・駆動気体 ｂ・・・有毒性排ガス
Claims (1)
- （１）有毒性排ガス発生源からの有毒性排ガスを、加圧
駆動気体を噴出させたエゼクターに吸引させるとともに
、該エゼクターから該駆動気体との混合ガスとして取出
し、これを燃焼炉に導入することを特徴とする燃焼炉の
圧力変動が有毒性排ガス発生源へ伝達するのを防止する
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1189352A JP2808310B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 燃焼炉の圧力変動の伝達防止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1189352A JP2808310B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 燃焼炉の圧力変動の伝達防止方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0355415A true JPH0355415A (ja) | 1991-03-11 |
| JP2808310B2 JP2808310B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=16239889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1189352A Expired - Fee Related JP2808310B2 (ja) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | 燃焼炉の圧力変動の伝達防止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2808310B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001355820A (ja) * | 2000-06-12 | 2001-12-26 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | 排ガスの処理方法および処理装置 |
| CN107940475A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-04-20 | 中冶焦耐(大连)工程技术有限公司 | 一种处理钒钛还原回转窑废气装置的燃烧室结构及工艺 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5025071A (ja) * | 1973-07-06 | 1975-03-17 | ||
| JPS5037283A (ja) * | 1973-08-06 | 1975-04-07 | ||
| JPS5330025A (en) * | 1976-08-31 | 1978-03-20 | Hitachi Zosen Corp | Gas discharging device |
-
1989
- 1989-07-21 JP JP1189352A patent/JP2808310B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5025071A (ja) * | 1973-07-06 | 1975-03-17 | ||
| JPS5037283A (ja) * | 1973-08-06 | 1975-04-07 | ||
| JPS5330025A (en) * | 1976-08-31 | 1978-03-20 | Hitachi Zosen Corp | Gas discharging device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001355820A (ja) * | 2000-06-12 | 2001-12-26 | Sumitomo Seika Chem Co Ltd | 排ガスの処理方法および処理装置 |
| CN107940475A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-04-20 | 中冶焦耐(大连)工程技术有限公司 | 一种处理钒钛还原回转窑废气装置的燃烧室结构及工艺 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2808310B2 (ja) | 1998-10-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7569193B2 (en) | Apparatus and method for controlled combustion of gaseous pollutants | |
| JP3486022B2 (ja) | 排ガス処理装置 | |
| US5800792A (en) | Exhaust gas treatment unit and method | |
| KR19990072340A (ko) | 배기가스처리설비및그처리방법 | |
| RU2129907C1 (ru) | Обработка загрязненного газа из напорного реактора с псевдоожиженным слоем | |
| US20040141900A1 (en) | Method for processing perfluorocompounds exhaust | |
| JPH0355415A (ja) | 燃焼炉の圧力変動の伝達防止方法 | |
| US6235247B1 (en) | Apparatus for low temperature degradation of diesel exhaust and other incomplete combustion products of carbon-containing fuels | |
| JPH0352616A (ja) | 有毒性排ガスの処理方法及び装置 | |
| JP2799891B2 (ja) | 有毒性排ガス燃焼処理装置における燃焼排ガスの除塵方法および装置 | |
| JPH11300163A (ja) | バッグフイルタ式集塵装置およびその方法 | |
| JP2889944B2 (ja) | 粉塵を除去する装置及びそれを用いた有害性排ガス中の粉塵を除去する方法 | |
| JPH02126014A (ja) | 有毒性ガスの燃焼処理方法及び装置 | |
| US7488460B2 (en) | Combined chemical agent and dynamic oxidation treatment of hazardous gas | |
| JPH10122539A (ja) | 排ガス処理装置 | |
| JP2001248821A (ja) | 半導体製造排ガス処理装置 | |
| EP1106240A3 (en) | Process and apparatus for purifying exhaust gases emanating from motor vehicles | |
| FR2880287A1 (fr) | Procede de denoxification de gaz dans un reacteur catalytique | |
| KR0178256B1 (ko) | 연도가스 처리장치 | |
| JPH10165765A (ja) | 排ガスの処理方法および処理装置 | |
| JP2963792B2 (ja) | 有毒性排ガスの処理方法及び装置 | |
| JPS60118216A (ja) | 排ガス処理装置 | |
| KR20010095715A (ko) | 배기가스 정화장치 | |
| JPH04143511A (ja) | 可燃性ガスの逆火防止方法と装置及びこの装置を含む可燃性ガス燃焼処理装置 | |
| KR20160073006A (ko) | 사전 수처리 장치를 포함하는 스크러버 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |