JPH02241564A - 低圧溶射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は低圧溶射装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第６図に従来の低圧溶射装置の構成図を示す。

図において、１は真空チャンバー本体、２は前記本体１
°の両端に設けられた真空チャンバー蓋、３は前記本体
１の側部に設けられた溶射ガン取付部、４は前記蓋２の
一方のものに設けられた覗き窓である。以上の部分が、
その内部で低圧溶射が行われる真空チャンバーの構成部
分である。５はオイルフィルター　６は排気装置、７は
排気管、８は高真空バルブである０以上の部分が真空チ
ャンバー内を低圧雰囲気にするための排気系統である。

オイルフィルター５は微粒粉塵の排出を防ぐために設け
られたものである。

第７図に上記装置の真空チャンバーの断面図を示す。図
において、９は前記排気系統に連る真空チャンバーの排
気孔、１０は粉塵排出防止のために同排気孔に設けられ
たフィルターである。１１は真空チャンバーの溶射ガン
取付部３に装着されている溶射ガ／、１２は同ガン用の
ケーブル、１３は被溶射物保持台、１４はチャンバー内
を低圧から常圧に戻す時に用いる通気パルプである。

上述の低圧溶射装置は、真空チャンバー内を排気系統に
よって低圧雰囲気にした後、被溶射物保持台上に置かれ
た被溶射物に対して、溶射ガンからプラズマ溶射を施す
装置である。溶射材料は被溶射物に付着するとともに、
粉塵となって真空チャンバーの内面にも付着する。従来
の低圧溶射装置には、真空チャンバーの内側に付着した
粉塵を除去する装置は備えてないので、作業終了後、通
気パルプを開いて真空チャ／バー内の圧力を常圧に戻し
てから、蓋２を開き、人手によって圧搾空気で真空チャ
ンバーの内面に付着した粉塵を吹き飛ばすか、または掃
除機で吸い取っていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

溶射材料を異ったものと交換して溶射を行う場合には溶
射皮膜に不純物が含まれることを防ぐために、真空チャ
ンバー内の粉塵を全部取り除くことが必要である。

従来の方法のうち、チャンバーの蓋を開いて圧搾空気で
粉塵を吹き飛ばす方法は、粉塵を飛散させることである
が、溶射によって生じる粉塵は、数ミクロン単位のセラ
ミックスからなる微粒粉であるため、衛生管理上好まし
くない。

また掃除機を用いて吸い取る方法では、必ずしも隅々ま
で除去することができず、またかなりの作業時間を必要
としていた。

本発明は、粉塵を外部へ飛散させることなく、かつ真空
チャンバーの隅々の粉塵まで、自動的に短時間で吸収す
ることのできる粉塵除去装置を備えた低圧溶射装置を提
供しようとするものである。

〔ａ題を解決するための手段〕

本発明は前記課題を解決したものであって、真空チャン
バー内を低圧雰囲気にし、その中で物体に対して溶射を
施す低圧溶射装置において、前記真空チャンバーの内面
に向けて圧縮空気を噴出させる手段と、前記真空チャン
バー内の空気を吸引し浮遊粉塵を捕集する手段とを具備
したことを特徴とする低圧溶射装置に関するものである
。

〔作用〕

真空チャンバーの内面に付着していた粉塵は、圧縮空気
を吹き付けられることによりて真空チャ／バー内の空気
中に拡散し浮遊する。真空チャンバー内の空気を吸引す
ることによって、浮遊している粉塵も共に吸引されて、
捕集される。

以上によって真空チャンバー内の粉塵が除去される。

〔実施例〕

第１図に本発明の一実施例における真空チャンバーの断
面図、第２図および第３図に第１図の部分拡大図、第４
図に上記真空チャンバーの側面図、第５図に上記実施例
の低圧溶射装置の全体構成図を示す。図において、符号
１〜１４を付した部分は、従来技術における対応する符
号の部分と同一の構造・機能の部分であるから説明を省
略する。

第１図において、１５は真空チャンバー１の内面に沿っ
て配設された複数本の圧搾空気噴出管である。第２図に
、第１図のＡ部分の圧搾空気噴出管の拡大断面図を、第
３図に矢印Ｂ方向から見た圧搾空気噴出管の外観図を示
す。これらの図において、１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃは、
噴出管１５の真空チャンバーの内面に対向する側に３列
に設けられた多数の噴出孔である。第４図において、１
６は前記圧搾空気噴出管に連り、真空チャンバー１の外
部へ伸延している複数本の圧搾中気送管、１７は複数本
の圧搾中気送管１７をまとめているヘッダー　１８は同
ヘッダーに連るパルプで、バルブの他端に連る管は、図
示していない圧搾空気源に連っている。

以上に述べた部分が本実施例における圧搾空気噴出系統
を構成する部分である。

再び第１図において、１９は真空チャンバー本体１の下
部に設けられ丸集塵孔、２０は同集塵孔１９に連る県警
ダクト、２１は集塵ダクト２０に投けられたダクト開閉
真空バルブ、２２は集塵孔１９の上部に設けられた金網
で、大きな塵芥の吸込みを防ぐためのものである。ダク
ト開閉真空パルプ２１は真空チャンバー内を低圧にする
時には閉鎖され、集塵時に開かれる。

第５図において、２３は集塵機であり、集塵ダクト２０
に連っている。この集塵機は、基本的には、空気を吸引
する装置であるが、その排出端において、吸引された空
気中に浮遊している粉塵の排出が阻止される構造となっ
ているため、集ａｍとして機能するものである０以上に
述べた部分が本実施例における集塵系統を構成する部分
である。前述の圧搾空気噴出系統とこの集塵系統とによ
りて粉塵除去装置が構成される。

本実施例の低圧溶射装置において、プラズマ溶射作業が
終了した後、排気装置６を停止し、７％ 通気パルプ社逢を開いてチャンバー内を常圧にもどす。

真空チャンバー蓋２は開けない、その後、圧搾空気源に
連るパルプ１８を開き、圧搾空気噴出管１５の噴出孔１
５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃから圧搾空気を真空チャンバー内
面に向けて噴出し、同内面に付着していた粉塵を吹き飛
ばして空気中に拡散浮遊させる。同時にダクト開閉真空
パルプ２１を開き、集塵機９を運転して、集塵孔１９を
経て内部の空気を吸引することにより、空気中に浮遊し
ている粉塵を吸引することによりて、真空チャンバー内
から粉塵を除去する。

以上詳述したように本実施例の低圧溶射装置は圧搾空気
噴出系統と集塵系統とからなる粉塵除去装置を備えてい
るので、蓋を開けることなく、シたがりて粉塵を外部へ
飛散させることなく、かつ真空チャ／バーの隅々の粉塵
まで、自動的に短時間で除去することができる。

〔発明の効果〕

本発明の低圧溶射装置は、真空チャンバーの内面に向け
て圧縮空気を噴出させる手段と、真空チャンバー内の空
気を吸引し浮遊粉塵を捕集する手段とを具備しているの
で、粉塵を外部へ飛散させることな（、かつ真空チャン
バーの隅々の粉塵まで、自動的に短時間で除去すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における真空チャンバーの断
面図、第２図および第３図は第１図の部分拡大図、第４
図は前記真空チャンバーの側面図、第５図は上記実施例
の低圧溶射装置の全体構成図、第６図は従来の低圧溶射
装置の全体構成図、第７図は従来の真空チャンバーの断
面図である。 １・・・真空チャンバー本体、 ２・・・真空チャンバー蓋、 ３・・・溶射ガン取付部、　　４・・・覗き窓、５・・
・オイルフィルター ６・・・排気装置、　　　　　７・・・排気管、８・・
・高真空パルプ　　　　９・・・排気孔、ｌＯ・・・フ
ィルター　　　　１１−・・溶射ガン、１２・・・ケー
ブル　　　　　１３・・・被溶射物保持台、１４・・・
通気パルプ １５・・・圧搾空気噴出管、 １５Ａ、１５Ｂおよび１５Ｃ・・・噴出孔、１６・・・
圧搾空気送管、 １７・・・ヘッダー　　　　１８・・・パルプ、１９・
・・集塵孔、　　　　２０・・・集塵ダクト、２１・・
・ダクト開閉真空パルプ、 ２２・・・金網、　　　　　２３・・・集塵機。 代理人　弁理士　　坂　間　　　暁　外２名躬１ｍ ２１ダク）ｍ口１版゛ 躬４Ｚ 躬２ｍ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空チャンバー内を低圧雰囲気にし、その中で物体に対
   して溶射を施す低圧溶射装置において、前記真空チャン
   バーの内面に向けて圧縮空気を噴出させる手段と、前記
   真空チャンバー内の空気を吸引し浮遊粉塵を捕集する手
   段とを具備したことを特徴とする低圧溶射装置。