JPH02232162A - 電解ドレッシング研削による導電性砥石のツルーイング及びドレッシング方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、機械加工分野における研削加工で用いられる
加工方式および加工装置に関し、特に高能率加工から精
密加工まで広範に適用されつつある導電性砥石である鋳
鉄ファイバボンド砥石等の性能を最大限に発揮させるた
めに不可欠なツルーイング・ドレッシング方法および装
置に関する。

（従来技術） 昨今の新素材ブームと相まって、剛性メタルボンド超砥
粒砥石の代表例である鋳鉄ファイバポンド砥石の有する
研削性能が一般に評価されるに従い、ファインセラミソ
クスの高能率加工を目論んで本砥石の適用が急速に広ま
りつつある。その一方で、本砥石の利用者間で問題とな
ってきているのが、その高能率且つ高精度なツルーイン
グ方法である。つまり、鋳鉄ファイバボンド砥石が有す
る最大の特徴である強固な砥粒保持力は、逆にその使用
初期における加工機上での砥石形直しおよび振れ取り作
業であるツルーイングの困難さを引き起こしてしまって
いる。

自生作用を有するボンド材の砥石に関しては、同様の性
質を持つ他の砥石（ツルア）と擦り合わせることによっ
て容易にツルーイングを行うといった慣用法が存在した
。このような自生発刃作用を有する砥石の場合には砥粒
保持力がさほど強固ではないため、ツルア側の粒度を被
ツルーイング砥石よりも多少粗くしておけば容易にツル
ーイングを行うことができた。しかしながら鋳鉄ファイ
バボンド砥石に関しては、同様の方式ではツルア側が減
耗する一方で、被ツルーイング側はいつまで経っても振
れが容易には除去できず、見切り発車的な利用により次
第に砥石を慣らしていくといった適用を強いられていた
．このような利用で鋳鉄ファイバボンド砥石を使い慣ら
すには相当のダミーワーク加工量が必要となり、適切な
利用法とは言えなかった。実際には、高除去能率を主眼
とした粗粒鋳鉄ファイバボンド砥石に関しては、砥粒径
つまりは砥粒突出量が大きいため、ツルーイング精度が
多少悪くても性能を落としながらちなんとか利用するこ
とができていたと言える。

一方、鋳鉄ファイバボンド砥石の性能を最大限に活かす
研削手法として、加工中も砥石のボンド部あるいは研削
屑を微弱な電気分解作用で溶出・解離させる電解インプ
ロセスドレッシング研削法の有効性が発見されるに至り
、微細砥粒を用いた鋳鉄ファイバボンド砥石の適用も実
用段階に入ったと言える。現在では、この電解インプロ
セスドレッシング研削法の適用により、微粒鋳鉄ファイ
バボンド砥石を用いた研磨加工を越える鏡面研削加工の
みならず、粗粒鋳鉄ファイバボンド砥石を用い安定して
高除去能率を実現する研削加工をも可能となった。また
、これらの研削加工技術の適用分野も拡大の一途を辿り
、既に硬脆材料ならびに金属材料の大半が高能率・高精
度加工できるようになった。しかしながら、本鏡面研削
における微細砥粒の適用に際しては粗粒鋳鉄ファイバボ
ンド砥石では無視できたツルーイングの甘さも、重大な
問題となってしまう。結局のところ、粒径１００μｍの
砥石については１０μｍの砥石面振れが許容できたとし
ても、粒径４μｍの鏡面研削用砥石については初期面が
１０μｍ振れているだけでも電解目立て後も有効砥粒が
少なく、実質的にはいくらも加工には寄与できないこと
になる。

慣用ツルアによる機械的なツルーイング法が鋳鉄ファイ
バボンド砥石等の剛性メタルボンド砥石に関しては極め
て非効率的であることが認識されにようになり、非機械
的ツルーイング法として放電加工を利用する手法も提案
されてきた。しかし放電加工による方法ではメタルボン
ド砥石の”形を変える”ことは可能でも”精度を出す”
ことは容易でなかった。それは、ツルーイングを放電現
象で実現しようとする以上、放電痕をいくら小さくしよ
うとしても限界があること、また、かといって放電加工
精度を上げようとすればするほど加工能率が大幅に低下
してしまうという矛盾を解決できないでいたためである
。現状では、初期の放電ツルーイングに時間がかかる上
、研削後の目づまりや目つぶれを落とすために一定研削
距離毎に機械を止め放電ツルーイングをし直すことが必
要とされていたわけである。”成形”の手法としては有
効な放電加工であったが、”整形”の手法としては適切
ではなかった。

さらに、放電加工によるツルーイング法では放電によっ
て砥石面のダイヤモンド砥粒を傷めたまま使用さぜるを
得す、有効砥粒数の減少に伴い研削性能が低下してしま
っていた。そのため研削抵抗の上昇から機械剛性の向上
に無駄な費用を投じる必要があった上、放電ツルーイン
グで砥石を必要以上減らしてしまっていたことになる。

また、放電現象は一般に環境条件（加工液導電性・放電
条件・電極条件ｅｔｃ．）の設定および維持に困難があ
り、ダイヤモンド砥粒との誘電率の大きな相違によって
放電加工ではＣＢＮ砥石のツルーイングがままならない
ことも指摘されていた。さらに、微細砥粒の鋳鉄ファイ
バボンド砥石に至っては百害あって一利もなかった。特
に、微細砥粒鋳鉄ファイバボンド砥石に放電ツルーイン
グを利用すると、電解ドレッシング後も放電痕が砥石面
に残ってしまい、本来の砥石が持つ砥粒を有効に利用で
きないことになる。これでは、砥石面振れを取ることが
逆に砥石面に凹凸を作ることになり、せっかくの電解イ
ンプロセスドレッシング鏡面研削の性能を落とすことに
他ならない。

慣用の機械的ツルーイング法および放電加工によるツル
ーイング法は、上述のような欠点により鋳鉄ファイバボ
ンド砥石など剛性メタルボンド超砥粒砥石に適切なツル
ーイング法とは言えなかった。どちらかと言えば現場的
には、前者は微粒の鋳鉄ファイバポンド砥石、後者は粗
粒の鋳鉄ファイバボンド砥石のツルーイング法としてこ
れまでやむなく利用される機会が多かった。その弊害と
して、ツルーイングの善し悪しが研削性能に後々まで影
響を残し、ひいては作業者間の技能差を顕著なものにし
てしまっていた。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明では、慣用、の機械的なツルーイング・ドレッシ
ング法あるいは放電加工によるツルーイング・ドレッシ
ング法が剛性メタルボンド超砥粒砥石に適した方式と言
えなかった問題点、すなわち（１）ツルーイング能率，
（２）ツルーイング精度，（３）ツルーイング・ドレッ
シングの質，（４）ツルーイング・ドレッシングの一貫
性，等の主要因を解決することを主眼とする。

まず（１）および（２）の問題点は、これまで鋳鉄ファ
イバボンド砥石などに関して一般砥石と同様に容易にツ
ルーイング能率および精度を実現することができなかっ
た問題点で、（３）は砥石面をできるだけ平滑にツルー
イングし、しかも砥粒にはダメージを与えずにツルーイ
ング・ドレッシングできなかった問題点である。更に（
４）は、これまでツルーイングとドレッシングに一貫性
がなく、その場その場によって（使用砥粒径、研削方式
等）全く脈絡のない方法で独立して行ってきたという問
題点である。（１）　，　（２）　，　（３）の全ての
基本的な問題点を解決した上で容易にシステム化できれ
ば、（４）の問題点も解決されることになろう。これら
の問題点の解決によって始めて、従来にはない強力なツ
ルーイング・ドレッシングシステムが構築されることに
なる。

（問題点を解決するための手段） 発明者らが既述の問題点を解決するために着目したのは
、（１）減耗の少ないツルアを用いた機械的ツルーイン
グ法，（２）ツルアの切れ味を安定・維持させツルーイ
ング精度向上，（３）被ツルーイング砥石の目立ては電
解ドレッシングを採用，（４）機械的ツルーイングと電
解ドレッシングのシステム化，等のコンセプトであった 上記（１）および（２）を問題解決の手段とするために
は、ツルア自体を従来の砥石から高強度の砥石に変え、
且つ導電性砥石として電解ドレッシングを付与すること
が必要であることに気づいた．更に、上記（３）　，　
（４）を利用するためには、高強度導電性砥石であるツ
ルアに電解ドレッシングを付与しながらツルーイング後
、即座に被フルーイング砥石に電解ドレッシングを切替
えるといったシステムによる解決を考えるに至った．つ
まり、本発明では剛性メタルボンド超砥粒砥石の性能を
最大限に発揮する手法であると考えられる電解ドレッシ
ング研削法を有効に実現するために、電解ドレッシング
研削により同様の砥石をツルアとして利用することで高
能率且つ精密なツルーイングを実現することになる。こ
の新しいツルーイング・ドレッシング法は、機械的なツ
ルーイングでありながらツルアの砥粒脱落が少ない上、
電解ドレッシングにより高強度砥石のツルーイングを安
定して維持することができるので、鋳鉄ファイバボンド
（ダイヤモンド／ＣＢＮ，粗粒／微粒を問わず）砥石等
の効果的な利用で期待できる。

結局のところ、本発明によるツルーイング・ドレッシン
グ法は”砥石により高能率・高精度な研削加工を行うた
めには、砥石の高能率・高精度加工から始めなければな
らない”という重大且つ最も道理的で基本的な事実を、
現実に忠実且つ確実に実現する手法に他ならない。

（作用） 通常の研削法で同種の砥石同士．特にメタルボンド砥石
同士を擦り合わせると、当然のことながらお互いに減耗
しにくい上ボンド同志が溶着を起こし易く、仮にどちら
か一方をツルアにしたところで容易にツルーイングは実
現できない。また、使用砥粒径の関係によっては溶着が
起きなくてもッルアとなる砥石の減耗が極端に大きくな
る危険がある。ツルアに電解ドレッシングを付加しない
場合には、概して直径の小さいツルアが周速の違いで被
ツルーイング砥石に負け、これらの直径比の逆数にほぼ
近い値でツルアと被ツルーイング砥石の減耗量が決まっ
てくることが予想できる。つまり、電解をかけない場合
にはこれらの砥石が同粒度であっても圧倒的にツルアが
負け、現実には被ツルーイング砥石の数倍の減耗量とな
ろう。これでは高能率且つ精密なツルーイングが実現で
きないことになるが、ツルアであるメタルボンド砥石を
電解ドレッシングしながらツルーイングに供すれば、常
時目立てされた砥石により相手砥石を研削することにな
り、通常研削で予想される弊害は一気に解決されること
が期待できる。これが本発明における強力なツルーイン
グ作用となる。

第ＩＡ図は本発明のこのツルーイング工程を説明する図
である。工作機械テーブル２上に設置されたプレーキツ
ルア４に導電性砥石部６を有するツルア８が装着されて
いる．このツルア８の導電性砥石部６と擦り合わされる
導電性砥石部１０を有する被ツルーイング砥石１２が回
転駆動軸１４に装着されている．研削液がノズル１６．
１８から供給されるが、ノズル１６から供給される研削
液と接触し、導電性砥石部６と対向して電極２０が設け
られている。また、給電ブラシ２２が導電性砥石部６と
電気的に接触して設けられている。

電極２０お゛よび給電ブラシ２２をそれぞれ陰極および
陽極として電源装置２４に接続されている。

このような構成に基づいてツルア８の導電性砥石部６に
電解ドレッシングを施しつつ、駆動軸１４を回転すると
、被ツルーイング砥石１２の導電性砥石部６に極めて良
好にツルーイングが施される。

本ツルーイング法を鋳鉄ファイバボンドダイヤモンド砥
石等に適用すれば、常時電解ドレッシング作用によって
目立てされ、しかも鋳鉄ファイバボンドにより強固に保
持されたダイヤモンド砥粒により目的の被ツルーイング
砥石面を平滑化することができるので、高能率ばかりで
なく高精度なツルーイングが容易に実現できるわけであ
る。また、特に本法を微細砥粒の鋳鉄ファイバボンド砥
石のツルーイングに適用すれば、同様の作用により砥石
面の振れを確実に砥粒径以内に収めることが容易と考え
られるので、砥石面上に突出した砥粒のほぼ全てを鏡面
研削に寄与させることができ、最終的に得ることができ
る鏡面研削仕上精度は慣用ツルーイング法を軽く上回る
ことが充分期待できよう。ツルア砥石と被ツルーイング
砥石が同粒度で前者が後者の直径の数分の一であったと
しても、通常ツルーイングの場合と立場が全く逆転して
ツルアが被ツルーイング砥石に勝ってしまうことが大い
に期待できる。同時に、ツルアに対し電解ドレッシング
を適切に作用させればツルアの減耗量を極めて微小に抑
えることも可能と思われる．こうした本ツルーイング作
用は、被ツルーイング砥石の粒度がツルアよりも細かい
場合やＣＢＮ砥粒の場合には更にツルア減耗量が少なく
なると考えられる。同粒度でも電解ドレッシングされる
ツルア砥石の減耗量が少ないと考えられるのは、有効砥
粒が多いことと研削屑の除去がスムーズなために摩擦熱
等の拡散速度が大きくダイヤモンド砥粒の熱損傷が極め
て少なくなる作用が挙げられよう。

一方、上述の作用により高能率且つ高精度にツルーイン
グされた鋳鉄ファイバボンド砥石を有効に研削加工に活
かすためには、今度はツルアではなくツルーイングされ
た砥石側に電解ドレッシングを施すことになる。すなわ
ち、ツルーイング時には鋳鉄ファイバボンドダイヤモン
ド砥石であるツルアに、ドレッシング時には研削加工に
利用する鋳鉄ファイバボンド砥石に電解ドレッシングを
施すことになる。

第ＩＢ図は本発明の被゛ンルーイング砥石の電解ドレッ
シング工程を説明する図である。被ツルーイング砥石１
２の導電性砥石部１０にはノズル２６から研削液が供給
されるが、このノズル２６から供給される研削液と接触
し、導電性砥石部１０と対向して電極２８が設けられて
いる。また、給電ブラシ３０が導電性砥石１０と電気的
に接触して設けられている。電極２８および給電ブラシ
３０はそれぞれ陰極および陽極として電源装置２４に接
続されている。これにより、ツルーイング後の被ツルー
イング砥石の導電性砥石部の電解ドレッシングが施され
る。本願発明によると、極めて効率の高いツルーイング
・ドレッシング作用を実現できる。第ＩＡ図および第Ｉ
Ｂ図に示される２つのプロセスを一貫して（同一の装置
で）行うことが可能であり、またそうすることが極めて
好ましい。

また、本電解ドレッシング工程は被ツルーイング砥石に
よる被加工物体の研削時に平行して行うようにしてもよ
い。

本願発明により極めて効率の高いツルーイング及びドレ
ッシング作用を実現できる． （実施例） 本　　日の具　的な構 以下、本願発明を好適な実施例に基づいて、詳細に説明
する。

第２図は本願発明のツルーイング・ドレッシング方法を
実施するための装置の概略図であり、第ＩＡ図および第
ＩＢ図に示される２つのプロセスを切り換えて行う装置
の概略図である。第ＩＡ図および第ＩＢ図に示される構
成要素と同一の構成要素に対しては同一の参照番号を付
してその説明を省略するが、本構成においては、電極２
０、２８及び給電プラシ２２、３０にはスイッチＳＷｌ
およびＳＷ２を介して同一の電源２４により電圧が印加
されていることを特徴とする。この装置においては、■
先ず、スイッチＳＷＩ及びＳＷ２をＡ側に切り換え、ツ
ルアである粗粒鋳鉄ファイバボンドダイヤモンド砥石８
により被ツルーイング砥石ｌ２に電解インプロセスドレ
ッシング研削を行い研削に利用する鋳鉄ファイバボンド
ダイヤモンド砥石１２を仕上げ（ツルーイングモード）
、■次にスイッチＳＷ１及びＳＷ２をＢ側に自動的に（
タイムシークエンスにより）切り換え、精密にツルーイ
ングされ仕上げされた鋳鉄ファイバボンド砥石１２側に
自動的に電解目立てを行う（ドレッシングモード）。

第２図に示されるツルーイングドレッシングシステムを
被加工物体への研削装置と一体化し、被ツルーイング砥
石によって、被加工物体への電解ドレッシング研削が所
定の期間行われた後に（或いは被ツルーイング砥石の型
崩れがセンサーにより観測される毎に）、自動的にツル
ーイング、プロセスが行われるように構成すると、研削
作業の完全自動化が達成されることになる。具体的な構
成としては、ツルア回転中心の延長線上に被加工物体を
設置し、被ツルーイング砥石１２を、ツルア８と被加工
物体との間で出し入れできるようにすればよい。

ツルーイングモード、ドレッシングモードの両モードと
も鋳鉄ファイバボンド砥石側を（＋）極，各砥石面に対
向させたアタッチメントを（−）極とし微弱な電気分解
を発生させる電解ドレ・ノシング装置が備えられ、しか
も１台の装置で兼用可能なため、本システム化により高
機能化という作用が生み出される。強力なツルアと電解
ドレツシング研削で安定した精密ツルーイングを実現し
、回路切替えで自動的に目立てが高速・確実に実現でき
るため、本発明によるツルーイング・ドレッシング作用
は鋳鉄ファイバボンド砥石等の剛性メタルボンド砥石を
利用した加工工程の自動化に多大な貢献をすることにな
ろう。

なお、本願発明のツルーイング及びドレ・ノシング方法
の内、ツルーイングに関しては非導電性砥石の高能率、
高精度ツルーイング法としても極めて有効であることか
期待できる。近年、メタルボンド砥石以外の剛性ポンド
砥石に限らず、いわゆる弾性ボンド砥石にも種々な複合
形態を有する複合ボンド砥石なるものも出現してきた。

これらには、やはり慣用ツルーイング法を適用しにくい
ものがあり、やはり慣用ツルーイング法を適用しににく
いものがあり、第２図に示されるような本願発明を実施
する装置において、そのような、非導電性ポンド砥石を
導電性ボンド砥石に置き換えることにより、好適なツル
ーイングを達成できる。

この際、非導電性ボンド砥石の電解ドレッシングは行わ
れることはない。

既述の方式・作用により、本発明による新しいツルーイ
ング／ドレッシング法を様々な加工方式に対応させシス
テム化することで、多大な利益をもたらすことが期待で
きる。マシニングセンタ上でストレート砥石を運用する
第２図の方式を含め、平面研削盤．円筒研削盤，ラップ
研削盤など各種の加工方式・使用工具に合わせて第３Ａ
図、第３Ｂ図及び第３Ｃ図のように分類されるシステム
を構成することができる。第３Ａ図は平面研削等に適用
するタイプである。この場合、ツルア８の側方に被研削
材が設置され、被ツルーイング砥石が、ンルア８と被研
削材との間で移動できるようにされ、必要に応じて被ツ
ルーイング砥石にツルーイングが施される。第３Ｂ図は
円筒研削等に適用するタイプである。この場合もやはり
ツルア８の回転軸延長線上に被研削材が設置され、被ツ
ルーイング砥石が、ツルア８と被研削材との間で移動で
きるようにされ、必要に応じてツルーイングが施される
。第３Ｃ図はラップ研削等に適用するタイプである。こ
の場合は、被研削材が除去された際に、ツルア８が、被
ツルーイング砥石１２上に移動して被ツルーイング砥石
１２をツルーインイグする。第３Ａ図、第３Ｂ図及び第
３Ｃ図に示される各装置において、ツーリング時には電
極Ａ（＋）、Ａ（−）間に電圧が印加され、被ツルーイ
ング砥石電解ドレッシング時に電極Ｂ　（＋）　、Ｂ　
（−）間に電圧が印加される。

第２図、第３Ａ図、第３Ｂ図及び第３Ｃ図に示されるツ
ルーイング装置の何れかのタイプ、あるいはこれらの複
合形態で適用すれば、既存の加工機（汎用ＮＣ加工機２
専用研削盤ｅｔｃ．）上で本発明の作用を最大限に利用
できる。

本廓−　と′来一術との　六 次に、ツルアに電解ドレッシングを施しつつ行う本願の
ツルーイングプロセスの効果上の差を確認するために行
った比較実験の結果を以下に示す。

実験は第２図に示す装置により行われた。具体的な実験
条件を下表１に示す。

ツルアと被ツルーイング砥石は粒度＃１４０，集中度１
００で径を除き同一使用である。

実験結果を下表２に示す。

表２ 表２Ａに示すように、ツルアに電解ドレッシングを施さ
ない通常のツルーイングの場合、１００μｍ程切り込ん
でも両砥石とも減るだけで、被ツルーイング砥石振れは
１０μｍを切らなかった。

結局、ツルアと被ツルーイング砥石は同粒度でも周速が
大きい後者の方が強力で減耗比は直径比の逆するに近い
。ツルアの減耗が大きいと、高速且つ精密なツルーイン
グは望めないことか再確認された。

ツルアに電解ドレッシングを施しつつツルーイングを行
った場合、先の通常のツルーイング時とは各砥石の立場
が逆転し、電解ドレッシングで有効砥粒が増加したツル
アが被ツルーイング砥石を研削し始めた。この場合、径
が小さくてもツルア砥石は殆ど摩耗せず、表２Ｂに示す
ように被ツルーイング砥石の摩耗量が振れ低減量に近く
、殆ど無駄がなかった。結果として電解ドレッシングを
ツルアに施しつつツルーイングする本発明のツルーイン
グ法により同粒度でもツルーイングでき、通常時よりも
極めて短時間で砥石振れを１／５以下にできることが確
認された。

また、ツルアに電解ドレッシングを施しつつツルーイン
グを行うと、被ツルーイング砥石の面が通常のツルーイ
ングによる面に比べ極めて光沢を有し、鏡面に近い平滑
度を有することが確認された。この状態でないと充分な
研削能を発揮できない。

鏡面研削加工への゛用 電解ドレッシングツルーイング効果が顕著に現れること
が期待できる鏡面研削を行った。慣用ツルーイング（ｔ
Ｆ　１　０　０、＃４００Ｃ砥石使用）および電解ドレ
ッシングツルーイング（＃１４０鋳鉄ファイバポンドダ
イヤモンド砥石使用）をそれぞれ施した＃８　０　０　
０鋳鉄ファイバポンドダイヤモンド砥石を用い、第３Ｃ
図に示される装置によりシリコンウエハーの鏡面研削を
おこなった。

微粒砥石ほど慣用ツルーイングでは平滑度をえるのが難
しく、いくら電解目立てしても有効砥粒が足りないため
充分平滑な面が得られないが、電解ドレッシングツルー
イングを施した砥石では＃８０００砥粒が活きて、両者
の違いは粗さで約３〜４倍にも達することが分かった。

（発明の効果） 本発明により鋳鉄ファイバボンド砥石に代表される剛性
メタルボンド超砥粒砥石に最も適したツルーイングおよ
びドレッシング法がシステム化されると言えよう。本発
明に基づく新しいツルーイング・ドレッシングシステム
は、高能率研削から精密仕上研削に至るまで極めて効率
的に実現することになろう。本発明は砥石の粒度に無関
係な方式で砥石を利用可能とするため、これまで特に問
題であったメタルボンド砥石利用上の技能差は本システ
ムにより極めて減少されるものと考えられる。同時に、
これまでの利用法では容易に実現できなかった研削除去
能率および研削加工精度を容易に実現することが期待で
きる。

また、本発明は研削工程の自動化・無人化に対して大き
く貢献するものと考えられる。これまでの研削工程が容
易に自動化できないでいたのは、砥石の利用上の問題が
理由と言われている。本発明によって砥石利用上の問題
の主要因といえるツルーイング・ドレッシングが解決さ
れることは、生産工程における研削加工の自動化を推進
することはまちがいない。またこのような本発明の効果
によって、既存の生産工程にお．いては複数のラフビン
グなど研磨加工に幀っていた鏡面仕上は、本システムを
利用した鏡面研削工程に次々と置き替えられていく可能
性が高い。

これまでのメタルボンド超砥粒砥石のツルーイング技術
を見るに、ただ強靭な砥石の成形にのみ力を注いできた
感がある。しかしながら本発明によるツルーイング・ド
レッシング技術は、本来のツルーイング・ドレッシング
とでも言うべきで、使用時までに除去する砥石量を最小
限に抑えながら振れ取りを行うと共に、砥粒に最低限ダ
メージを与えずにドレッシングを行うといった人間技で
は実現できないツルーイング・ドレッシング能率を容易
に実現できる。これは、本来減耗の少ない剛性メタルボ
ンド超砥粒砥石を更に極限まで減耗させずに使い切る方
式と言える。ツルーイング条件とドレッシング条件の連
動により、砥石購入・装着時から殆ど減らさずに使用で
きることが、砥石のコストパフォーマンスを最大限にま
で高めることにつながろう。

また、鋳鉄ファイバボンドダイヤモンド砥石ツルアの減
耗は慣用ツルア砥石と比較すると極めて少ないために、
ツルア砥石の交換が殆ど必要ないことも本発明による大
きな作用効果と考えられる。

電解インプロセスドレッシング法により鋳鉄ファイバボ
ンド砥石の切れ味を自動的に制御しながら研削を実現で
きることから、将来的には研削加工作業の全自動化（無
人化）に大きく貢献する高能率・高精度ツルーイング・
ドレッシング研削システムであると期待される。

【図面の簡単な説明】

第ＩＡ図は本発明のツルーイング工程を説明する概略図
、 第ＩＢ図は本発明の被ツルーイング砥石への電解ドレッ
シング工程を説明する概略図、第２図は本発明のツルー
イング及びドレッシング方法を実施するための装置の一
例の概略図、第３Ａ図、第３Ｂ図及び第３Ｃ図は本発明
の種々の形態の研削盤に適用した場合の概略図である。 ２・・・・・・工作機械テーブル ４・・・・・・プレーキツルア ６・・・・・・導電性砥石部 ８・・・・・・ツルア １０・・・・・・導電性砥石部 ２・・・・・・被ツルーイング砥石 ４・・・・・・回転駆動軸 ６．１８．２６・・・・・・ノズル ０，２８・・・・・・電極 ２．３０・・・・・・給電ブラシ ４・・・・・・電源装置 図面の浄丑（内容に変３！なし》 第ＩＡ図 第１Ｂ図 第２図 手 続 補 正 書（方式）

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）ツルアの導電性砥石部に電解ドレッシングを施し
   、 該電解ドレッシングが施されたツルアによ り被ツルーイング砥石の導電性砥石部にツルーイングを
   施し、そして 該ツルーイングが施された被ツルーイング砥石の導電性
   砥石部に電解ドレッシング研削を施す電解ドレッシング
   研削による導電性砥石のツルーイング及びドレッシング
   方法。
2. （２）前記導電性砥石部が、砥粒とメタルボンドからな
   ることを特徴とする請求項（１）記載の方法。
3. （３）前記導電性砥石部が砥石と金属粒子を含む非メタ
   ルボンドからなることを特徴とする請求項（１）記載の
   方法。
4. （４）前記ツルアの電解ドレッシングが、前記ツルーイ
   ングと平行して施されることを特徴とする請求項（１）
   記載の方法。
5. （５）導電性砥石部を備えるツルアを支持する第１の支
   持手段、 このツルアによってツルーイングが施される導電性砥石
   部を備える被ツルーイング砥石を支持する第２の支持手
   段、 前記ツルア及び前記被ツルーイング砥石の少なくとも一
   方を駆動し、前記ツルアの砥石部と被ツルーイングの砥
   石部との間で摩擦摺動を生じる駆動手段、 前記ツルアの砥石部を陽極側とし、このツルアの砥石部
   に接触する研削液を陰極側として、これらの間で電圧を
   印加する第１の電圧印加手段、及び 前記被ツルーイング砥石の砥石部を陽極側とし、この被
   ツルーイング砥石の砥石部に接触する研削液を陰極側と
   して、これらの間の電圧を印加する第２の電圧印加手段
   から構成される電解ドレッシング研削による導電性砥石
   のツルーイング及びドレッシング装置。
6. （６）前記第１の電圧印加手段および前記第２の電圧印
   加手段には、同一の電源により電圧が印加されることを
   特徴とする請求項（５）記載の装置。
7. （７）前記第１の電圧印加手段及び前記第２の電圧印加
   手段と前記電源との間には、切り換えスイッチが設けら
   れており、 この切り換えスイッチにより、前記第１の 電圧印加手段と前記電源が接続された際に、前記ツルア
   の砥石部が電解ドレッシングされ、前記切り換えスイッ
   チにより、前記第２の 電圧印加手段と前記電源が接続された際に、前記被ツル
   ーイング砥石の砥石部が電解ドレッシングされることを
   特徴とする請求項（６）記載の装置。