JP3295896B2 - 自在総型砥石を用いた電解ドレッシング方法 - Google Patents

自在総型砥石を用いた電解ドレッシング方法

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電解ドレッシング用の
自在総型砥石を用いた電解ドレッシング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】鋳鉄ファイバボンドダイヤモンド砥石等
の導電性砥石を用い、この砥石に電圧を印加し、砥石を
電解によりドレッシングする導電性砥石の電解ドレッシ
ング方法及び装置が、本願と同一の出願人による特開平
1-188266号( 特願昭63-12305号) に開示され、電子材料
であるシリコン等の半導体材料を鏡面研削することに成
功している。更に、この方法及び装置を発展させた電解
インプロセスドレッシング研削法(Electrolytic Inproc
ess Dressing: 以下 ELID 研削法という) と呼ばれる方
法及び装置が本願出願人により開発され、発表されてい
る( 理研シンボジウム「鏡面研削の最新技術動向」、平
成3年3月5日開催)。
【0003】この ELID 研削法は、ワークとの接触面を
有する砥石と、接触面に対向する電極と、砥石と電極と
の間に導電性液を流すノズルと、砥石と電極との間に電
圧を印加する電源及び給電体とからなる装置を用い、砥
石と電極との間に導電性液を流しながら、砥石と電極と
の間に電圧を印加し、砥石を電解によりドレッシングす
るものである。
【0004】この ELID 研削法によるドレッシングの機
構を図5に示す。砥石の目立て開始時(A)には、砥石
と電極との間の電気抵抗が少なく比較的大きい電流(5
〜10A)が流れる。これにより、電解効果により砥石
表面の金属部(ボンド)が溶解し、非導電性のダイヤモ
ンド砥粒が突出する。更に、通電を続けると、酸化鉄(F
e2O3)を主とした絶縁被膜が砥石表面に形成され、砥石
の電気抵抗が大きくなる。これにより、電流が低下し、
ボンドの溶解が減り、砥粒の突出(砥石の目立て)が実
質的に終了する(B)。この状態で研削を開始する
(C)と、被膜が研削屑を遊離しつつ、ワークの研削に
つれてダイヤモンド砥粒が摩耗していく。更に研削を続
けると(D)、砥石表面の絶縁被膜が摩耗により除去さ
れ、砥石の電気抵抗が低下し、砥石と電極間の電流が増
大し、ボンドの溶解が増し、砥粒の突出(砥石の目立
て)が再開される。従って、 ELID 研削法による研削中
には、(B)〜(D)のように被膜の形成・除去により
ボンドの過溶出が抑えられ、砥粒の突出(砥石の目立
て)が自動的に調整される。(B)〜(D)に示したサ
イクルを以下 ELID サイクルと呼ぶ。
【0005】上述した ELID 研削法では砥粒を細かくし
ても ELID サイクルによる砥石の目立てにより砥石に目
詰まりが生じないので、砥粒を細かくすれば鏡面のよう
な極めて優れた加工面を研削加工により得ることができ
る。従って、 ELID 研削法は、高能率研削から鏡面研削
に至るまで砥石の切れ味を維持でき、研削を多用する金
型加工への適用が期待されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した ELID 研削に
は、従来、砥粒、メタルボンド等の混合物を成形し焼結
させた高強度のメタルボンド超砥粒砥石を用いるため、
砥石を必要な形状に仕上げるのが困難である問題点があ
った。すなわち、かかる高強度の砥石の加工は、通常放
電加工による必要があるが、この放電加工の工程におい
て加工する砥石形状に対応した電極を製作し、これを放
電加工により転写して砥石を加工するため、放電加工用
電極を含めた砥石の製作に時間と費用がかかる問題点が
あった。更に、 ELID 研削に使用する電極も砥石形状に
一致させて精密に製作する必要であり、この ELID 研削
用電極の製作にも時間と費用がかかる問題点があった。
更に、従来の ELID 研削用砥石は、使用によりエッジ部
分が丸くなると、その修正が困難である問題点があっ
た。
【0007】本発明はかかる問題点を解決するために創
案されたものである。すなわち、本発明の目的は、種々
の砥石形状に対応することができ、短時間に安価に製造
することができる電解ドレッシング用の自在総型砥石
用いた電解ドレッシング方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、回転す
るスピンドル(2)に固定されるようになった砥石ホル
ダー(4)と、該砥石ホルダーに取り付けられる複数の
円板状砥石エレメント(6)とからなり、前記砥石ホル
ダー(4)は、円筒状取付面(4b)と、該取付面の一
端に設けられた鍔部(4c)と、その他端に設けられた
ネジ部(4d)とを有し、前記複数の砥石エレメント
(6)は、前記取付面と嵌合する貫通孔を有する金属部
(7)と、該金属部の外周部分に形成されたメタルボン
ド砥石部(8)とを有し、前記砥石ホルダーの取付面に
前記複数の砥石エレメントの貫通孔が挿入され、前記砥
石ホルダーのネジ部と螺合するナット(5)により前記
鍔部との間に前記複数の砥石エレメントを挟持する、自
在総型砥石(10)を備え、前記自在総型砥石によりグ
ラファイト材を研削して自在総型砥石の外周面と同一の
断面形状を有する電解ドレッシング用電極(12)を成
形し、前記自在総型砥石でワーク(1)を研削しなが
ら、前記自在総型砥石と電極との間に導電性液を流して
電解ドレッシングすることを特徴とする自在総型砥石を
用いた電解ドレッシング方法が提供される。
【0009】前記自在総型砥石(10)を用いて互いに
嵌合するスライド雄部(18)とスライド雌部(16)
の一方を研削加工し、次いで前記自在総型砥石の複数の
砥石エレメントの組み合わせを変えてスライド雄部とス
ライド雌部の他方を研削加工する、ことが好ましい。
【0010】
【作用】本発明者等は、 ELID 研削用の砥石の多くが、
基本的な形状、すなわち、平、テーパ、円弧からなるこ
とに着目した。すなわち、上記本発明の構成によれば、
スピンドル(2)に固定される砥石ホルダー(4)と、
これに取り付けられる複数の円板状砥石エレメント
(6)とから自在総型砥石(10)を構成し、円筒面、
切頭円錐面、或いは円弧面の外周面を有する複数の砥石
エレメント(6)の組み合わせによって種々の砥石形状
に対応することができる。従って、基本的な形状の放電
加工用電極により、複数の円板状砥石エレメント(6)
を予め準備しておけば、放電加工用電極を含めた砥石の
製作時間と費用を大幅に低減することができる。また、
砥石のエッジ部分が使用により丸くなっても、複数の砥
石エレメントの個々の外周面は比較的簡単な形状であ
り、容易に修正することができる。
【0011】更に、かかる自在総型砥石(10)を備
え、この自在総型砥石によりグラファイト材を研削して
自在総型砥石の外周面と同一の断面形状を有する電解ド
レッシング用電極(12)を成形し、自在総型砥石でワ
ーク(1)を研削しながら、自在総型砥石と電極との間
に導電性液を流して電解ドレッシングすることにより、
従来別個に製作する必要があった ELID 研削用電極を簡
単に準備することができ、電極の製作時間と費用が大幅
に低減できる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例を説明する。な
お、各図において共通する部分には同一の符号を付して
使用する。
【0013】図1は、本発明に用いる自在総型砥石の全
体断面図である。この図において、この自在総型砥石1
0は、回転するスピンドル2に固定されるようになった
砥石ホルダー4と、この砥石ホルダー4に取り付けられ
る複数の円板状砥石エレメント6とからなる。スピンド
ル2はテーパ状取付面2aを有しており、この取付面2
aに砥石ホルダー4の中心テーパ孔4aを嵌め、締付け
ナット3をスピンドル2の端面の雌ネジに螺合させるこ
とにより砥石ホルダー4をスピンドル2に強固に固定す
ることができる。
【0014】砥石ホルダー4は、円筒状取付面4bと、
該取付面4bの一端に設けられた鍔部4cと、その他端
に設けられたネジ部4dとを有する。また、砥石エレメ
ント6はそれぞれ、前記取付面4bと嵌合する貫通孔7
aを有する金属部7と、該金属部7の外周部分に形成さ
れたメタルボンド砥石部8とを有する。
【0015】砥石ホルダー4の取付面4bに複数の砥石
エレメント6の貫通孔7aを挿入し、砥石ホルダー4の
ネジ部4dと螺合するナット5を締めつけることにより
ナット5と鍔部4cとの間に複数の砥石エレメント6を
挟持し、複数の砥石エレメント6を砥石ホルダー4と一
体化し、スピンドル2の回転を複数の砥石エレメント6
に伝達することができる。
【0016】更に図1に示すように、各砥石エレメント
6が軸方向に整合した位置に複数の貫通孔を有し、この
貫通孔に複数の固定ボルト9(図には1本のみ示す)を
それぞれ通し、砥石ホルダー4の鍔部4cの雌ネジと螺
合させることにより、複数の砥石エレメント6と砥石ホ
ルダー4との連結を更に強化することができる。
【0017】複数の砥石エレメント6のメタルボンド砥
石部8の外周面は、図1に例示するように例えば円筒面
(平)、切頭円錐面(テーパ)、円弧面(R)である。
しかし、本発明はこれに限定されず、厚さ及び/又は外
径の異なる種々の砥石エレメント6を自由に組み合わせ
ることができ、かつ外周面形状も平、テーパ、R、以外
の自由な形状のものを組み合わせてもよい。
【0018】上述した構成により、複数の砥石エレメン
トの組み合わせによって種々の砥石形状に対応すること
ができる。従って、基本的な形状の放電加工用電極によ
り、複数の円板状砥石エレメントを予め準備しておけ
ば、放電加工用電極を含めた砥石の製作時間と費用を大
幅に低減することができる。また、砥石のエッジ部分が
使用により丸くなっても、複数の砥石エレメントの個々
の外周面は比較的簡単な形状であり、容易に修正するこ
とができる。
【0019】図2は、上述した自在総型砥石10を用い
た電解ドレッシング方法を示す図である。最初に図2
(A)に示す複数の砥石エレメント6から所望の組み合
わせにより自在総型砥石10を準備する。次いで、この
自在総型砥石10をスピンドル2に取り付けて適当なグ
ラファイト材を研削し、自在総型砥石10の外周面と同
一の断面形状を有する電解ドレッシング用電極12を成
形する。更に、この電極12を砥石10からわずかに間
隔を隔ててに対向させ、自在総型砥石10でワーク1を
研削しながら、自在総型砥石10と電極12との間にノ
ズル14から導電性液を流して電解ドレッシングする。
かかる方法により、従来別個に製作する必要があった電
解ドレッシング用電極を簡単に準備することができ、電
極の製作時間と費用が大幅に低減できる。
【0020】図3は、図2に示した方法により、スライ
ド雌部とスライド雄部を研削加工した実施例を示す図で
ある。この例では、図3(A)に示す3つの砥石エレメ
ント6からなる自在総型砥石10を用いてスライド雌部
16を研削加工し、次いで図3(B)に示すように自在
総型砥石10の複数の砥石エレメント6の組み合わせを
変えてスライド雌部16に嵌合するスライド雄部18を
研削加工した。かかる方法により、従来のように、スラ
イド雌部とスライド雄部を別々に研削加工した場合に比
べて高い精度で互いに嵌合するスライド雌部とスライド
雄部を研削することができた。
【0021】図4は、図2に示した方法により、円筒部
材20を研削した実施例を示す図である。この例では、
4つの砥石エレメント6からなる自在総型砥石10を用
いて円筒面の外周部を研削加工し、高精度の研削面を得
ることができた。かかる研削において、砥石のエッジ部
分が使用により丸くなっても、複数の砥石エレメントの
個々の外周面は比較的簡単な形状であり、容易に修正す
ることができた。
【0022】
【発明の効果】上述したように、上述した自在総型砥石
によれば、複数の砥石エレメントの組み合わせによって
種々の砥石形状に対応することができ、従って、基本的
な形状の放電加工用電極により、複数の円板状砥石エレ
メントを予め準備しておけば、放電加工用電極を含めた
砥石の製作時間と費用を大幅に低減することができる。
また、砥石のエッジ部分が使用により丸くなっても、容
易に修正することができる。
【0023】更に、本発明によれば、かかる自在総型砥
石によりグラファイト材を研削して自在総型砥石と同一
の断面形状を有する電極を成形することにより、従来別
個に製作する必要があった電極を簡単に準備することが
でき、電極の製作時間と費用が大幅に低減できる。
【0024】従って、本発明の自在総型砥石とこれを用
いた電解ドレッシング方法は、種々の砥石形状に対応す
ることができ、短時間に安価に製造することができる、
等の優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に用いる自在総型砥石の全体断面図であ
る。
【図2】自在総型砥石を用いた本発明の電解ドレッシン
グ方法を示す図である。
【図3】スライド雌部とスライド雄部を研削加工した本
発明の実施例を示す図である。
【図4】円筒面を研削した本発明の実施例を示す図であ
る。
【図5】ELID 研削法における ELID サイクルを示す説
明図である。
【符号の説明】
1 ワーク 2 スピンドル 3 ナット 4 砥石ホルダー 6 砥石エレメント 7 金属部 8 砥石部 9 固定ボルト 10 自在総型砥石 12 電解ドレッシング用電極 16 スライド雌部 18 スライド雄部 20 円筒部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI B24B 53/07 B24B 53/07 B24D 5/16 B24D 5/16 (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B24D 7/18 B24D 5/16 B23H 5/00 B23H 5/10 B24B 45/00 B24B 53/00 B24B 53/07

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転するスピンドル(2)に固定される
    ようになった砥石ホルダー(4)と、該砥石ホルダーに
    取り付けられる複数の円板状砥石エレメント(6)とか
    らなり、前記砥石ホルダー(4)は、円筒状取付面(4
    b)と、該取付面の一端に設けられた鍔部(4c)と、
    その他端に設けられたネジ部(4d)とを有し、前記複
    数の砥石エレメント(6)は、前記取付面と嵌合する貫
    通孔を有する金属部(7)と、該金属部の外周部分に形
    成されたメタルボンド砥石部(8)とを有し、前記砥石
    ホルダーの取付面に前記複数の砥石エレメントの貫通孔
    が挿入され、前記砥石ホルダーのネジ部と螺合するナッ
    ト(5)により前記鍔部との間に前記複数の砥石エレメ
    ントを挟持する、自在総型砥石(10)を備え、 前記自在総型砥石によりグラファイト材を研削して自在
    総型砥石の外周面と同一の断面形状を有する電解ドレッ
    シング用電極(12)を成形し、 前記自在総型砥石でワーク(1)を研削しながら、前記
    自在総型砥石と電極との間に導電性液を流して電解ドレ
    ッシングすることを特徴とする自在総型砥石を用いた
    解ドレッシング方法。
  2. 【請求項2】 前記自在総型砥石(10)を用いて互い
    に嵌合するスライド雄部(18)とスライド雌部(1
    6)の一方を研削加工し、次いで前記自在総型砥石の複
    数の砥石エレメントの組み合わせを変えてスライド雄部
    とスライド雌部の他方を研削加工する、ことを特徴とす
    る請求項に記載の電解ドレッシング方法。
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